JPH0419479A - ダイアフラムバルブ - Google Patents
ダイアフラムバルブInfo
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- JPH0419479A JPH0419479A JP12475290A JP12475290A JPH0419479A JP H0419479 A JPH0419479 A JP H0419479A JP 12475290 A JP12475290 A JP 12475290A JP 12475290 A JP12475290 A JP 12475290A JP H0419479 A JPH0419479 A JP H0419479A
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- Japan
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- diaphragm
- preload
- glass plate
- valve
- side glass
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、超小型ポンプに使われるグイムバルプの構造
に関するものである。
に関するものである。
アクラ
［従来の技術］
従来のダイアフラムバルブの構造は以下の様なものであ
った。第２図（α）は従来のダイアフラムバルブの構造
を示す断面図である。ダイアフラム４をエツチングで形
成したダイアフラム７リコン板６を入口側ガラス板２と
出口側ガラス板１にてはさみ込み接着する事によってダ
イアフラムバルブを構成していた。この構造においてバ
ルブとしての機能つまり出口側から入口側への逆流方向
の漏れを防ぐ為にダイアフラム４に予圧を付与しシール
性を向上させる必要がある。従来の構造においては予圧
付与の為に第２図（ｂ）のような製造プロセスをとって
いた。ダイアスラムシリコン板６０両面にフォトリソグ
ラフィー技術及びエツチング技術を使って段差及び穴を
加工してダイアフラム４を形成する。この時ダイアフラ
ムシリコン板３のガラス接合面８とパルプ部６は同一面
上の寸法関係である為にこのまま入口側ガラス板２と出
口側ガラス板１とでサンドイッチしてもダイアフラムに
予圧を付与する事はできない。この為ダイア７ラムシリ
コン板３のバルブ部６の表面ＫＳｉｎ、を数ミクロンの
厚みに形成してから入口側ガラス板２出ロ側ガラス板１
でサンドイッチして接合しダイアフラム４に予圧を付与
していた。
った。第２図（α）は従来のダイアフラムバルブの構造
を示す断面図である。ダイアフラム４をエツチングで形
成したダイアフラム７リコン板６を入口側ガラス板２と
出口側ガラス板１にてはさみ込み接着する事によってダ
イアフラムバルブを構成していた。この構造においてバ
ルブとしての機能つまり出口側から入口側への逆流方向
の漏れを防ぐ為にダイアフラム４に予圧を付与しシール
性を向上させる必要がある。従来の構造においては予圧
付与の為に第２図（ｂ）のような製造プロセスをとって
いた。ダイアスラムシリコン板６０両面にフォトリソグ
ラフィー技術及びエツチング技術を使って段差及び穴を
加工してダイアフラム４を形成する。この時ダイアフラ
ムシリコン板３のガラス接合面８とパルプ部６は同一面
上の寸法関係である為にこのまま入口側ガラス板２と出
口側ガラス板１とでサンドイッチしてもダイアフラムに
予圧を付与する事はできない。この為ダイア７ラムシリ
コン板３のバルブ部６の表面ＫＳｉｎ、を数ミクロンの
厚みに形成してから入口側ガラス板２出ロ側ガラス板１
でサンドイッチして接合しダイアフラム４に予圧を付与
していた。
［発明が解決しようとする課題］
前述したように従来技術にあってはダイアフラムに予圧
を与える為にバルブ先端に予圧スペーサを形成する必要
があった。超小型ポンプの場合バルブ先端の大きさは１
００μｍレベルでア’）バルブ先端の正確な位置に予圧
スペーサを形成する事が必須でありこの為にフォトリソ
グラフィー技術を使う必要があった。従って製造工程数
が増えてしまい低コスト化が難しいという問題点を有し
ていた。
を与える為にバルブ先端に予圧スペーサを形成する必要
があった。超小型ポンプの場合バルブ先端の大きさは１
００μｍレベルでア’）バルブ先端の正確な位置に予圧
スペーサを形成する事が必須でありこの為にフォトリソ
グラフィー技術を使う必要があった。従って製造工程数
が増えてしまい低コスト化が難しいという問題点を有し
ていた。
本発明は従来技術のかかる問題点を解決してダイアフラ
ムバルブの製造工程を簡略化し、更にバルブ部分の耐漏
れ信頼性の高いダイアフラムバルブを提供する事を目的
とする。
ムバルブの製造工程を簡略化し、更にバルブ部分の耐漏
れ信頼性の高いダイアフラムバルブを提供する事を目的
とする。
［課題を解決する為の手段］
本発明のダイアフラムバルブは、ダイアフラム部を形成
したシリコン板を二枚のガラス板で両面から種層・接合
して成るダイア７ラムパルブにおいて、前記二枚のガラ
ス板のうちどちらか一方に形成した段差によってダイア
フラムに予圧をかける事を特徴とする。
したシリコン板を二枚のガラス板で両面から種層・接合
して成るダイア７ラムパルブにおいて、前記二枚のガラ
ス板のうちどちらか一方に形成した段差によってダイア
フラムに予圧をかける事を特徴とする。
［実施例］
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。第１図（ム）は本発明実施例のダイアフラムバルブ
の構造を示す断面図である。ダイアフラム４をエツチン
グで形成したダイアフラムシリコン板５を入口側ガラス
板２と出口側ガラス板１にてはさみ込み接着する事によ
ってダイアフラムバルブを構成している。この構造にお
いて入口側ガラス板２には厚み数ミクロンの予圧段差７
を形成しである。段差の作り方としては入口側ガラス板
２の表面にフォトリソグラフィー技術及びエツチング技
術を駆使して形成する方法及び予圧段差７の部分をポリ
イミドやポリアミドなどの高分子樹脂材料を印刷技術を
使って形成する方法があるが、いずれの場合においても
、平担なガラス板表面への加工であるとともに平面形状
もパルプ部６より太き（ダイアフラム４の段差形状より
小さければ機能を満足できるのである程度ラフに作り込
んでも良いので簡便な加工方法を採用する事が可能であ
る。第１図（ｂ）に示すようにこのようにして予圧段差
７を形成した入口側ガラス板２とダイアフラムシリコン
板３及び出口側ガラス板１を種層−接合するとダイアフ
ラム４に予圧が与えられ充分な機能を有するダイアフラ
ムバルブを作成する事が可能である。特に予圧段差７を
高分子材料で形成する場合はガラスで形成した場合と比
較するとバルブ部のシール性が向上する。
る。第１図（ム）は本発明実施例のダイアフラムバルブ
の構造を示す断面図である。ダイアフラム４をエツチン
グで形成したダイアフラムシリコン板５を入口側ガラス
板２と出口側ガラス板１にてはさみ込み接着する事によ
ってダイアフラムバルブを構成している。この構造にお
いて入口側ガラス板２には厚み数ミクロンの予圧段差７
を形成しである。段差の作り方としては入口側ガラス板
２の表面にフォトリソグラフィー技術及びエツチング技
術を駆使して形成する方法及び予圧段差７の部分をポリ
イミドやポリアミドなどの高分子樹脂材料を印刷技術を
使って形成する方法があるが、いずれの場合においても
、平担なガラス板表面への加工であるとともに平面形状
もパルプ部６より太き（ダイアフラム４の段差形状より
小さければ機能を満足できるのである程度ラフに作り込
んでも良いので簡便な加工方法を採用する事が可能であ
る。第１図（ｂ）に示すようにこのようにして予圧段差
７を形成した入口側ガラス板２とダイアフラムシリコン
板３及び出口側ガラス板１を種層−接合するとダイアフ
ラム４に予圧が与えられ充分な機能を有するダイアフラ
ムバルブを作成する事が可能である。特に予圧段差７を
高分子材料で形成する場合はガラスで形成した場合と比
較するとバルブ部のシール性が向上する。
［発明の効果コ
以上述べてきたように本発明によればダイアフラムバル
ブのパルプ部の加工方法を暎純化する事ができる為低コ
スト化が可能となる。またプロセスの幣純化が実現した
事によりバルブの接点部分に高分子材料を印刷技術にて
形成する事が可能になり耐漏れ性に優れたダイアフラム
バルブを提供する事ができるという効果を有する。
ブのパルプ部の加工方法を暎純化する事ができる為低コ
スト化が可能となる。またプロセスの幣純化が実現した
事によりバルブの接点部分に高分子材料を印刷技術にて
形成する事が可能になり耐漏れ性に優れたダイアフラム
バルブを提供する事ができるという効果を有する。
第１図（ａ）は本発明実施例の夕°イア７ラムバルブの
構造を示す断面図。 第１図Ｃｂ）は本発明実施例のダイアフラムバルブ接合
前の状態を示す断面図。 第２図（α）は従来のダイアフラムバルブの構造を示す
断面図。 第２図（ｂ）は従来のダイアフラムバルブ接合前の状態
を示す断面図。 １・・・・・・・・・出口側ガラス板 ２・・・・・・・・・入口側ガラス板 ３・・・・・・・・・ダイアフラムシリコン板４・・・
・・・・・・ダイアフラム ５・・・・・・・−・予圧スペーサ ６・・・・・・・・・パルプ部 ７・・・・・・・−・予圧段差 ８・・・・・・・・・接合面 晃１１刀（０） 第１図（し） 第２図（α） 第２図Ｃｂ）
構造を示す断面図。 第１図Ｃｂ）は本発明実施例のダイアフラムバルブ接合
前の状態を示す断面図。 第２図（α）は従来のダイアフラムバルブの構造を示す
断面図。 第２図（ｂ）は従来のダイアフラムバルブ接合前の状態
を示す断面図。 １・・・・・・・・・出口側ガラス板 ２・・・・・・・・・入口側ガラス板 ３・・・・・・・・・ダイアフラムシリコン板４・・・
・・・・・・ダイアフラム ５・・・・・・・−・予圧スペーサ ６・・・・・・・・・パルプ部 ７・・・・・・・−・予圧段差 ８・・・・・・・・・接合面 晃１１刀（０） 第１図（し） 第２図（α） 第２図Ｃｂ）
Claims (1)
- ダイアフラム部を形成したシリコン板を二枚のガラス板
で両面から積層、接合して成るダイアフラムバルブにお
いて、前記二枚のガラス板のうちどちらか一方に形成し
た段差によってダイアフラムに予圧をかける事を特徴と
するダイアフラムバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12475290A JPH0419479A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | ダイアフラムバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12475290A JPH0419479A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | ダイアフラムバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0419479A true JPH0419479A (ja) | 1992-01-23 |
Family
ID=14893242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12475290A Pending JPH0419479A (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 | ダイアフラムバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0419479A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995009989A1 (en) * | 1993-10-04 | 1995-04-13 | Research International, Inc. | Micromachined flow switches |
| KR101325042B1 (ko) * | 2011-11-17 | 2013-11-05 | 광주과학기술원 | 마이크로 체크밸브 및 그 제조 방법 |
-
1990
- 1990-05-15 JP JP12475290A patent/JPH0419479A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995009989A1 (en) * | 1993-10-04 | 1995-04-13 | Research International, Inc. | Micromachined flow switches |
| US5585011A (en) * | 1993-10-04 | 1996-12-17 | Research International, Inc. | Methods for manufacturing a filter |
| US5617632A (en) * | 1993-10-04 | 1997-04-08 | Research International, Inc. | Methods for forming a contoured regulator seat |
| US5697153A (en) * | 1993-10-04 | 1997-12-16 | Research International, Inc. | Method for manufacturing a fluid flow regulator |
| US5702618A (en) * | 1993-10-04 | 1997-12-30 | Research International, Inc. | Methods for manufacturing a flow switch |
| US5705070A (en) * | 1993-10-04 | 1998-01-06 | Research International, Inc. | Micromachined filters |
| US5839467A (en) * | 1993-10-04 | 1998-11-24 | Research International, Inc. | Micromachined fluid handling devices |
| KR101325042B1 (ko) * | 2011-11-17 | 2013-11-05 | 광주과학기술원 | 마이크로 체크밸브 및 그 제조 방법 |
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