JPH04170502A - 回折格子の作製方法 - Google Patents
回折格子の作製方法Info
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- JPH04170502A JPH04170502A JP29797790A JP29797790A JPH04170502A JP H04170502 A JPH04170502 A JP H04170502A JP 29797790 A JP29797790 A JP 29797790A JP 29797790 A JP29797790 A JP 29797790A JP H04170502 A JPH04170502 A JP H04170502A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/082—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses having profiled, patterned or microstructured surfaces
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/40—Product characteristics
- C03B2215/41—Profiled surfaces
-
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- C03B2215/41—Profiled surfaces
- C03B2215/412—Profiled surfaces fine structured, e.g. fresnel lenses, prismatic reflectors, other sharp-edged surface profiles
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、耐久性の良いガラス表面に微細加工を施し、
信頼性の良い高精度な回折格子を容易に作製する方法に
関する。
信頼性の良い高精度な回折格子を容易に作製する方法に
関する。
従来の技術
従来、高精度な回折格子を作製する方法として、高精度
なルーリングエンジンを用いて、直接、平面ガラス板に
アルミニウム（ム１）などの金属を蒸着した面上に、ダ
イヤモンドツールを押えつけて等間隔に溝を形成する方
法やレジスト上に等間隔テ他ルシストをラインアンドス
ペースパターンに形成し、物理的にエツチングを行って
、のこぎり歯状にレジストヲ加工する方法（ｒ ＮＩＫ
ＫＫＩＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ Ｊ １９８６．６．１７
、 ｐ、８５）や、特願昭６２−３３１９７２号に示
されているように、ホログラム露光によって感光性樹脂
を回折格子形状にし、現像後、樹脂上にアルミニウムな
どの金属を蒸着して反射型ホログラフィック回折格子を
作製する方法が検討されている。
なルーリングエンジンを用いて、直接、平面ガラス板に
アルミニウム（ム１）などの金属を蒸着した面上に、ダ
イヤモンドツールを押えつけて等間隔に溝を形成する方
法やレジスト上に等間隔テ他ルシストをラインアンドス
ペースパターンに形成し、物理的にエツチングを行って
、のこぎり歯状にレジストヲ加工する方法（ｒ ＮＩＫ
ＫＫＩＭＥＣＨＡＮＩＣＡＬ Ｊ １９８６．６．１７
、 ｐ、８５）や、特願昭６２−３３１９７２号に示
されているように、ホログラム露光によって感光性樹脂
を回折格子形状にし、現像後、樹脂上にアルミニウムな
どの金属を蒸着して反射型ホログラフィック回折格子を
作製する方法が検討されている。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、従来の方法では一つの回折格子を作製す
るのに非常に長い時間全必要とし、さらに、高精度のも
のを再現性良く作製することが困難であった。ま念、作
製した回折格子はいずれも軟らかい材料に回折格子形状
を刻んでいるために、耐久性にも間萌があっｔｏ 本発明は上記課題に鑑み、物理的手法を用いてプレスガ
ラス用平面金型の表面に所望の形状を刻み込むことによ
って回折格子用のプレス成形用金型全ｆ￥製し、該金型
を用いてガラス全プレス成形することによって、高精度
で耐久性の良い回折格子を作製することを目的としてい
る。
るのに非常に長い時間全必要とし、さらに、高精度のも
のを再現性良く作製することが困難であった。ま念、作
製した回折格子はいずれも軟らかい材料に回折格子形状
を刻んでいるために、耐久性にも間萌があっｔｏ 本発明は上記課題に鑑み、物理的手法を用いてプレスガ
ラス用平面金型の表面に所望の形状を刻み込むことによ
って回折格子用のプレス成形用金型全ｆ￥製し、該金型
を用いてガラス全プレス成形することによって、高精度
で耐久性の良い回折格子を作製することを目的としてい
る。
課題を解決するための手段
上記課題を解決するために、本発明ではプレスガラス用
平面金型の表面にラインアンドスペースパターンのマス
クを形成して、ドライエツチングによってプレスガラス
用平面金型の表面に回折格子形状を形成することによっ
て回折格子のプレス成形用金型を作製し、該金型を用い
てガラスをプレス成形する。
平面金型の表面にラインアンドスペースパターンのマス
クを形成して、ドライエツチングによってプレスガラス
用平面金型の表面に回折格子形状を形成することによっ
て回折格子のプレス成形用金型を作製し、該金型を用い
てガラスをプレス成形する。
作用
本発明は上記した方法によって、容易に所望の形状の高
精度で高強度な回折格子のプレス成形用金型を作製し、
核金型を用いてガラスをプレス成形することによって、
高精度で耐久性の良い回折格子の作製全可能としたもの
である。ま念、マスクの厚みおよびラインアンドスペー
スパターンの線幅によって、回折格子形状を制御するこ
とができるので、再現性良く同じ形状の回折格子用のフ
。
精度で高強度な回折格子のプレス成形用金型を作製し、
核金型を用いてガラスをプレス成形することによって、
高精度で耐久性の良い回折格子の作製全可能としたもの
である。ま念、マスクの厚みおよびラインアンドスペー
スパターンの線幅によって、回折格子形状を制御するこ
とができるので、再現性良く同じ形状の回折格子用のフ
。
レス成形用金型を容易に得ることを可能としたものであ
る。
る。
実施例
実施例１
以下、本発明の一実施例を図面全５照しながら説明する
。
。
厚さ６ｍｍ、縦ａ（＋ｍｍ、横３０ｍＩｎのチタンナイ
トライド（ＴｉＮ ） を主成分とするす−ノット基板
の表面をダイヤモンド砥粒を用いて鏡面に研磨した後、
白金−イリジウム−タンタル（Ｐｔ−Ｉｒ−Ｔａ）合金
薄＠をスパッタリング法によって、約５μｍの厚みで成
膜し、プレス成形用平面金型を作製した。この平型の上
にポリメチルメタクリレート（ＰＭＭム）系のレジスト
ヲ塗布し、電子ビーム露光装置によって、段差２μｍ、
線幅０．５μｍ、ピッチが１．０μｍのラインアンドス
ペースパターンを形成した。このときの金型の断面形状
を第１図に示す。第１図において、１１はレジスト、１
２はＰｔ−Ｉｒ−Ｔａ合金薄膜、１３はＴ１Ｎｉ主成分
とするサーメット基板である。
トライド（ＴｉＮ ） を主成分とするす−ノット基板
の表面をダイヤモンド砥粒を用いて鏡面に研磨した後、
白金−イリジウム−タンタル（Ｐｔ−Ｉｒ−Ｔａ）合金
薄＠をスパッタリング法によって、約５μｍの厚みで成
膜し、プレス成形用平面金型を作製した。この平型の上
にポリメチルメタクリレート（ＰＭＭム）系のレジスト
ヲ塗布し、電子ビーム露光装置によって、段差２μｍ、
線幅０．５μｍ、ピッチが１．０μｍのラインアンドス
ペースパターンを形成した。このときの金型の断面形状
を第１図に示す。第１図において、１１はレジスト、１
２はＰｔ−Ｉｒ−Ｔａ合金薄膜、１３はＴ１Ｎｉ主成分
とするサーメット基板である。
第１図の状態の金型を第２図に示すＥＣＲ（電子サイク
ロトロン共鳴）フ”ラズマイオンシャワーエッチング装
置にイオン源に対して直角にセットし、ＣＨＦ ３ ガ
スによってエツチングし、断面形状を観測した結果、第
３図に示すように、レジストがすべてエツチングされた
時点の形状は、段差が１．０μｍでピッチが１．０μｍ
の波状の回折格子がＰｔ−Ｉｒ−Ｔａ合金薄膜に形成さ
れていることがわかる。第２図において、２１はイオン
引き出し電極、２２ｖ′ｉイオン源、２３はシャッター
、２４は基板ホルダー、２６は排気系である。第３図に
おいて、３１はＰｔ −Ｉｒ −Ｔａ合金薄膜、３２は
ＴｉＮを主成分とするｔ−ノット基板である。
ロトロン共鳴）フ”ラズマイオンシャワーエッチング装
置にイオン源に対して直角にセットし、ＣＨＦ ３ ガ
スによってエツチングし、断面形状を観測した結果、第
３図に示すように、レジストがすべてエツチングされた
時点の形状は、段差が１．０μｍでピッチが１．０μｍ
の波状の回折格子がＰｔ−Ｉｒ−Ｔａ合金薄膜に形成さ
れていることがわかる。第２図において、２１はイオン
引き出し電極、２２ｖ′ｉイオン源、２３はシャッター
、２４は基板ホルダー、２６は排気系である。第３図に
おいて、３１はＰｔ −Ｉｒ −Ｔａ合金薄膜、３２は
ＴｉＮを主成分とするｔ−ノット基板である。
又、イオン源に対して金型全４５°傾けてセットすると
、第４図に示すようなサーフィンウェーブ形状の回折格
子が得られた。第４図において、４１はＰｔ −Ｉｒ−
Ｔａ合金薄膜、４２ばＴｉＮ ｆ主成分とするサーメッ
ト基板である。
、第４図に示すようなサーフィンウェーブ形状の回折格
子が得られた。第４図において、４１はＰｔ −Ｉｒ−
Ｔａ合金薄膜、４２ばＴｉＮ ｆ主成分とするサーメッ
ト基板である。
さらに、同一ピッチのラインアンドスペースノくターン
のレジストの線幅を変化させたときの金型表面に形成で
きる回折格子形状を第６図から第７図に示す。第６図に
示した回折格子は、ラインとスペースの線・隔の比率が
４：１である。第６図：ｄｌ：１、第７図は１：４であ
る。第６図、第６図、第７図において、６１．６１．７
１はＰｔ−Ｉｒ−Ｔａ合金薄膜、６２．６２．７２はＴ
ｉＮ全主成分とするサーメット基板である。このように
、ラインとるペースの線幅の比率を変化させることによ
って、種々の形状の回折格子のフ゛レス成形用金型を作
製することができる。従って、本発明の方法によって、
所望の形状の回折格子用金型を容易に作製することがで
きるようになった。
のレジストの線幅を変化させたときの金型表面に形成で
きる回折格子形状を第６図から第７図に示す。第６図に
示した回折格子は、ラインとスペースの線・隔の比率が
４：１である。第６図：ｄｌ：１、第７図は１：４であ
る。第６図、第６図、第７図において、６１．６１．７
１はＰｔ−Ｉｒ−Ｔａ合金薄膜、６２．６２．７２はＴ
ｉＮ全主成分とするサーメット基板である。このように
、ラインとるペースの線幅の比率を変化させることによ
って、種々の形状の回折格子のフ゛レス成形用金型を作
製することができる。従って、本発明の方法によって、
所望の形状の回折格子用金型を容易に作製することがで
きるようになった。
次に、以上のようにして作製した金型で平板ガラスをプ
レス成形して、ガラス表面に回折格子を作製する方法に
ついて例を示す。
レス成形して、ガラス表面に回折格子を作製する方法に
ついて例を示す。
実施例２
第４図、第６図、第６図、第７図に示した本発明の回折
格子用金型を上型に、そして、ＴｉＮ ｖ−ノットを母
材とし平面に研磨し、保護膜としてＰｔ −工ｒ −Ｔ
ａ 合金薄膜をコーティングした平型を下型にして、
第８図に示したプレス成形機にセットした。第８図にお
いて、８１１ｄ上型用固定ブロツク、８２は上型用加熱
ヒーター、８３は上型、８４は平板ガラス、８６は下型
、８６は下型用加熱ヒーター、８７は下型用固定ブロッ
ク、８８は上型用熱電対、８９は下型用熱電対、８１０
はフ。
格子用金型を上型に、そして、ＴｉＮ ｖ−ノットを母
材とし平面に研磨し、保護膜としてＰｔ −工ｒ −Ｔ
ａ 合金薄膜をコーティングした平型を下型にして、
第８図に示したプレス成形機にセットした。第８図にお
いて、８１１ｄ上型用固定ブロツク、８２は上型用加熱
ヒーター、８３は上型、８４は平板ガラス、８６は下型
、８６は下型用加熱ヒーター、８７は下型用固定ブロッ
ク、８８は上型用熱電対、８９は下型用熱電対、８１０
はフ。
ランジャー、８１１は位置決め用セン？−１８１２はス
トッパー、８１３は覆いである。
トッパー、８１３は覆いである。
続いて、酸化鉛（ｐｂｏ）７ｏ重量％、シリカ（ＳｉＯ
） ２７重量％及び残シが微愈成分から成る２ｏｍｍ角
、厚さ２ｍｍの平板ガラス８４を下型８６の上に置き、
その上に上型８３を置き、そのまま５２０’Ｃまで昇温
し、窒素雰囲気で約４０ ｋｇ ／ ｃｔｉのプレス圧
力で２分間プレスした。その後、そのままの状態で上下
の型を３００℃まで冷却して、プレス成形されたガラス
製回折格子を型から取シ出して、成形の工程を完了する
以上の工程を繰り返して、１００００回目のプレス終了
時に、上型８３を７”レス成形機より取り呂してプレス
面り状態を光学顕微鏡で観察し、その時のプレス面の表
面粗さ（ＲＭＳ値、人）を測定して、金型精度の評価を
行った。以上のプレス試・験の結果を第１表に示した。
） ２７重量％及び残シが微愈成分から成る２ｏｍｍ角
、厚さ２ｍｍの平板ガラス８４を下型８６の上に置き、
その上に上型８３を置き、そのまま５２０’Ｃまで昇温
し、窒素雰囲気で約４０ ｋｇ ／ ｃｔｉのプレス圧
力で２分間プレスした。その後、そのままの状態で上下
の型を３００℃まで冷却して、プレス成形されたガラス
製回折格子を型から取シ出して、成形の工程を完了する
以上の工程を繰り返して、１００００回目のプレス終了
時に、上型８３を７”レス成形機より取り呂してプレス
面り状態を光学顕微鏡で観察し、その時のプレス面の表
面粗さ（ＲＭＳ値、人）を測定して、金型精度の評価を
行った。以上のプレス試・験の結果を第１表に示した。
第１表 プレス試験結果
第１表よシ明らかなように、いずれの金型も１００００
回プレスを行っても表面粗さ（ＲＭＳ値）は、プレス前
の表面粗さとほとんど変わらず、形状変化もまったく認
められなかった。従って、非常に耐久性の良い、高精度
な回折格子用プレス成形金型が本発明によって得られる
ようになったことがわかる。
回プレスを行っても表面粗さ（ＲＭＳ値）は、プレス前
の表面粗さとほとんど変わらず、形状変化もまったく認
められなかった。従って、非常に耐久性の良い、高精度
な回折格子用プレス成形金型が本発明によって得られる
ようになったことがわかる。
続いて、得られた回折格子の評価を行った例について示
す。
す。
実施例３
第４図、第５図、第６図、第７図に示した本発明の回折
格子用金型を用いて、平板ガラスをプレス成形した。こ
のプレス成形後のガラス平板に、反射膜として、金薄膜
を蒸着法によって成膜した。
格子用金型を用いて、平板ガラスをプレス成形した。こ
のプレス成形後のガラス平板に、反射膜として、金薄膜
を蒸着法によって成膜した。
このようにして作製した反射型回折格子の回折効率をリ
トロ−角３０．３°で測定した。それぞれ回折効率の測
定は、１個目、１０個目、１００個目、１０００個目お
よび１００００個目の回折格子について行った。これら
の回折格子の回折効率の測定結果を第２表に示した。
トロ−角３０．３°で測定した。それぞれ回折効率の測
定は、１個目、１０個目、１００個目、１０００個目お
よび１００００個目の回折格子について行った。これら
の回折格子の回折効率の測定結果を第２表に示した。
第２表各金型で作製しｆ？：、回折格子の回折効率第２
表より明らかなように、各金型を用いてプレス成形を行
った回折格子とも、１００００個目のプレス成形後でも
１個目のものとほとんど変化がなく、非常に高精度に金
型形状が転写され、再現性も極めて良好であることがわ
かる。従って、本発明により、信頼性の非常に高いガラ
ス製回折格子を再現性良く、容易に量産化できるように
なった。
表より明らかなように、各金型を用いてプレス成形を行
った回折格子とも、１００００個目のプレス成形後でも
１個目のものとほとんど変化がなく、非常に高精度に金
型形状が転写され、再現性も極めて良好であることがわ
かる。従って、本発明により、信頼性の非常に高いガラ
ス製回折格子を再現性良く、容易に量産化できるように
なった。
なお、実施例１、実施例２および実施例３において、金
型としてＴｉＮを主成分とするサーノｙ）基板を母材と
しプレス面にＰｔ−Ｉｒ−ＴＩＬ合金薄膜を形成したも
のを作製し、プレス成形に用いたが、母材にｗｅ全主成
分とする超硬合金またはｒｉｃ、Ｃｒ５Ｇ２あるいはム
１２０３を主成分とするサーメットを用い、該母材の表
面にＰｔ、ｐａ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒｅ、ＷＳ
Ｔａのうち、少なくとも一種類似上の金属を含む合金
薄膜をコーティングした構成の金型を用いてガラスをプ
レス成形しても同様の結果が得られた。
型としてＴｉＮを主成分とするサーノｙ）基板を母材と
しプレス面にＰｔ−Ｉｒ−ＴＩＬ合金薄膜を形成したも
のを作製し、プレス成形に用いたが、母材にｗｅ全主成
分とする超硬合金またはｒｉｃ、Ｃｒ５Ｇ２あるいはム
１２０３を主成分とするサーメットを用い、該母材の表
面にＰｔ、ｐａ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒｕ、Ｒｅ、ＷＳ
Ｔａのうち、少なくとも一種類似上の金属を含む合金
薄膜をコーティングした構成の金型を用いてガラスをプ
レス成形しても同様の結果が得られた。
発明の効果
プレスガラス用平面金型の表面にラインアンドスペース
パターンのマスク全形成して、ドライエツチングによっ
て平面金型表面に回折格子形状を形成することによって
、高精度で耐久性の良い回折格子のプレス成形用金型を
容易に作製することが可能となった。
パターンのマスク全形成して、ドライエツチングによっ
て平面金型表面に回折格子形状を形成することによって
、高精度で耐久性の良い回折格子のプレス成形用金型を
容易に作製することが可能となった。
ブレスガラス用平面金型の表面に形成したマスクの厚み
およびラインアンドスペースパターンの線幅ヲ変化させ
て、エツチングすることによって、回折格子のプレス成
形用金型の回折格子形状を制御することを可能とした。
およびラインアンドスペースパターンの線幅ヲ変化させ
て、エツチングすることによって、回折格子のプレス成
形用金型の回折格子形状を制御することを可能とした。
プレスガラス用平面金型の表面にラインアンドスペース
パターンのマスクを形成して、ドライエツチングによっ
て平面金型表面に回折格子形状を形成することによって
作製した回折格子のプレス成形用金型を用いてガラスを
加熱加圧成形することにより、信頼性の高いガラス製回
折格子を再現性良く安価に量産することが可能になった
。
パターンのマスクを形成して、ドライエツチングによっ
て平面金型表面に回折格子形状を形成することによって
作製した回折格子のプレス成形用金型を用いてガラスを
加熱加圧成形することにより、信頼性の高いガラス製回
折格子を再現性良く安価に量産することが可能になった
。
第１図は本発明の一実施例におけるドライエツチング前
のプレス成形用平面金型にレジストでラインアンドスペ
ースパターンを形成した状態の断面図、第２図は本実施
例に用い念エツチング装置の概略図、第３図、第４図、
第６図、第６図および第７図は本発明の方法によって作
製した回折格子用プレス成形金型の断面図、第８図（は
本実施例で用いたプレス成形機の概略図である。 １１・・・・・・レジスト、１２・・・・・Ｐｔ −Ｉ
ｒ −Ｔａ合金薄膜、１３・・・・・・ＴｉＮを主成分
とするサーメット基板。 艶さ 気り 法 −フ第
３ 図 第５図
のプレス成形用平面金型にレジストでラインアンドスペ
ースパターンを形成した状態の断面図、第２図は本実施
例に用い念エツチング装置の概略図、第３図、第４図、
第６図、第６図および第７図は本発明の方法によって作
製した回折格子用プレス成形金型の断面図、第８図（は
本実施例で用いたプレス成形機の概略図である。 １１・・・・・・レジスト、１２・・・・・Ｐｔ −Ｉ
ｒ −Ｔａ合金薄膜、１３・・・・・・ＴｉＮを主成分
とするサーメット基板。 艶さ 気り 法 −フ第
３ 図 第５図
Claims (8)
- （１）プレスガラス用平面金型の表面にラインアンドス
ペースパターンのマスクを形成して、ドライエッチング
によって平面金型表面に回折格子形状を形成することを
特徴とする回折格子のプレス成形用金型の作製方法。 - （２）プレスガラス用平面金型の表面にラインアンドス
ペースパターンのマスクを形成して、ドライエッチング
によって平面金型表面に回折格子形状を形成したことを
特徴とする回折格子のプレス成形用金型。 - （３）プレスガラス用平面金型の表面にラインアンドス
ペースパターンのマスクを形成して、ドライエッチング
によって平面金型表面に回折格子形状を形成した回折格
子のプレス成形用金型を用いてガラスを加熱加圧成形す
ることを特徴とする回折格子の作製方法。 - （４）プレスガラス用平面金型の表面にラインアンドス
ペースパターンのマスクを形成して、ドライエッチング
によって平面金型表面に回折格子形状を形成した回折格
子のプレス成形用金型を用いてガラスを加熱加圧成形し
たことを特徴とする回折格子。 - （５）マスクの厚みおよびラインアンドスペースパター
ンの線幅によって、エッチング後の回折格子形状を制御
することを特徴とする請求項１記載の回折格子のプレス
成形用金型の作製方法。 - （６）マスクの厚みおよびラインアンドスペースパター
ンの線幅によって、エッチング後の回折格子形状を制御
したことを特徴とする請求項２記載の回折格子のプレス
成形用金型。 - （７）プレスガラス用平面金型として、母材にはタング
ステンカーバイド（ＷＣ）を生成分とする超硬合金また
はチタンナイトライド（ＴｉＮ）、チタンカーバイド（
ＴｉＣ）、クロムカーバイド（Ｃｒ＿３Ｃ＿２）あるい
はアルミナ（Ａｌ＿２Ｏ＿３）を主成分とするサーメッ
トを用い、該母材の表面に白金（ｐｔ）、パラジウム（
Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オス
ミウム（Ｏｓ）、ルテニウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ
）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少
なくとも一種類以上の金属を含む合金薄膜をコーティン
グした構成の金型を用いることを特徴とする請求項１記
載の回折格子のプレス成形用金型の作製方法。 - （８）プレスガラス用平面金型として母材にはＷＣを生
成分とする超硬合金またはＴｉＮ、ＴｉＣ、Ｃｒ＿３Ｃ
＿２あるいはＡｌ＿２Ｏ＿３を主成分とするサーメット
を用い、該母材の表面にＰｔ、ｐｄ、Ｉｒ、Ｒｈ、Ｏｓ
、Ｒｕ、Ｒｅ、Ｗ、Ｔａのうち、少なくとも一種類似上
の金属を含む合金薄膜をコーティングした構成の金型を
用いることを特徴とする請求項２記載の回折格子のプレ
ス成形用金型。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29797790A JPH04170502A (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 回折格子の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29797790A JPH04170502A (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 回折格子の作製方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04170502A true JPH04170502A (ja) | 1992-06-18 |
Family
ID=17853545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29797790A Pending JPH04170502A (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 回折格子の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04170502A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5405652A (en) * | 1992-07-21 | 1995-04-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing a die for use in molding glass optical elements having a fine pattern of concavities and convexities |
| JP2000231011A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-08-22 | Sharp Corp | 光学素子およびその製造に用いるスタンパ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57112705A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-13 | Shimadzu Corp | Manufacture of holographic grating |
| JPH02199402A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回折格子のプレス成形用金型の作製方法および回折格子の作製方法 |
-
1990
- 1990-11-01 JP JP29797790A patent/JPH04170502A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57112705A (en) * | 1980-12-29 | 1982-07-13 | Shimadzu Corp | Manufacture of holographic grating |
| JPH02199402A (ja) * | 1989-01-30 | 1990-08-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回折格子のプレス成形用金型の作製方法および回折格子の作製方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5405652A (en) * | 1992-07-21 | 1995-04-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing a die for use in molding glass optical elements having a fine pattern of concavities and convexities |
| JP2000231011A (ja) * | 1999-02-09 | 2000-08-22 | Sharp Corp | 光学素子およびその製造に用いるスタンパ |
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