JPH04169414A - 荷搬送設備 - Google Patents
荷搬送設備Info
- Publication number
- JPH04169414A JPH04169414A JP29617490A JP29617490A JPH04169414A JP H04169414 A JPH04169414 A JP H04169414A JP 29617490 A JP29617490 A JP 29617490A JP 29617490 A JP29617490 A JP 29617490A JP H04169414 A JPH04169414 A JP H04169414A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load
- dry air
- absolute dry
- air supply
- duct
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 claims description 9
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、クリーンルーム内に設置され、一定経路を自
走し、たとえば半導体のように塵埃を極端に嫌う荷を搬
送する荷搬送台車を備えた荷搬送設備に関するものであ
る。
走し、たとえば半導体のように塵埃を極端に嫌う荷を搬
送する荷搬送台車を備えた荷搬送設備に関するものであ
る。
従来の技術
上記荷搬送設備に使用される荷搬送台車としては、実願
昭５９−１６２５８３号に示された台車か知られている
。すなわち、台車本体上部に荷収納空間か形成され、そ
の荷支持台を通気構造とし、荷収納空間の上方に荷収納
空間へエアを吹きつける、フィルタ付のエア供給室を形
成し、荷収納空間の下方に荷支持台を介して荷収納空間
に連通したエア吸引室を設け、このエア吸引室に連通し
、エアをエア供給室へ供給する送風装置をを設け、また
荷収納空間の左右開口部には、帯電防止用の透明ビニー
ルを開閉自在に取り付けている。上記構成により、フィ
ルタで塵埃か除去されたエアが荷収納空間に載置された
荷に常に供給され、荷を塵埃から保護している。
昭５９−１６２５８３号に示された台車か知られている
。すなわち、台車本体上部に荷収納空間か形成され、そ
の荷支持台を通気構造とし、荷収納空間の上方に荷収納
空間へエアを吹きつける、フィルタ付のエア供給室を形
成し、荷収納空間の下方に荷支持台を介して荷収納空間
に連通したエア吸引室を設け、このエア吸引室に連通し
、エアをエア供給室へ供給する送風装置をを設け、また
荷収納空間の左右開口部には、帯電防止用の透明ビニー
ルを開閉自在に取り付けている。上記構成により、フィ
ルタで塵埃か除去されたエアが荷収納空間に載置された
荷に常に供給され、荷を塵埃から保護している。
発明が解決しようとする課題
しかし、従来の荷搬送台車の構成では、絶乾環境、すな
わち温度：約６０°Ｃ１かつ露点ニー６０°Ｃの環境を
保つことは不可能であり、荷として成形後の光ディスク
を搬送する場合、この光ディスクにひずみか発生すると
いう問題かあった。
わち温度：約６０°Ｃ１かつ露点ニー６０°Ｃの環境を
保つことは不可能であり、荷として成形後の光ディスク
を搬送する場合、この光ディスクにひずみか発生すると
いう問題かあった。
本発明は上記問題を解決するものであり、荷搬送中に絶
乾環境を維持てきる荷搬送設備を提供することを目的と
するものである。
乾環境を維持てきる荷搬送設備を提供することを目的と
するものである。
課題を解決するための手段
上記問題を解決するため本発明の荷搬送設備は、クリー
ンルーム内に設置され、一定径路を走行し、荷を搬送す
る荷搬送台車を備え、経路側に絶乾エアを発生し供給す
る絶乾エア供給装置を設けるとともに、一端か前記絶乾
エア供給装置に接続され、他端か前記荷搬送台車へ接続
されて絶乾エアを供給する耐熱フレキシブルチューブを
敷設し、前記荷搬送台車には荷収納空間へ前記絶乾エア
を吹きつけるエア供給室を形成するとともに、前記荷搬
送台車に前記エア供給室に連通したダクトを形成し、前
記耐熱フレキシブルチューブの他端を前記荷搬送台車本
体底部で前記ダクトに連通したことを特徴とするもので
ある。
ンルーム内に設置され、一定径路を走行し、荷を搬送す
る荷搬送台車を備え、経路側に絶乾エアを発生し供給す
る絶乾エア供給装置を設けるとともに、一端か前記絶乾
エア供給装置に接続され、他端か前記荷搬送台車へ接続
されて絶乾エアを供給する耐熱フレキシブルチューブを
敷設し、前記荷搬送台車には荷収納空間へ前記絶乾エア
を吹きつけるエア供給室を形成するとともに、前記荷搬
送台車に前記エア供給室に連通したダクトを形成し、前
記耐熱フレキシブルチューブの他端を前記荷搬送台車本
体底部で前記ダクトに連通したことを特徴とするもので
ある。
作用
上記構成により、絶乾エアは連通した耐熱フレキシブル
チューブ、ダクト、エア供給室を通って、常に荷収納空
間へ供給され、荷収納空間は絶乾環境に維持される。ま
た耐熱フレキシブルチューブを使用することにより、台
車の走行に際してもチューブか台車より外れたり、走行
の邪魔となることか防止される。
チューブ、ダクト、エア供給室を通って、常に荷収納空
間へ供給され、荷収納空間は絶乾環境に維持される。ま
た耐熱フレキシブルチューブを使用することにより、台
車の走行に際してもチューブか台車より外れたり、走行
の邪魔となることか防止される。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例における荷搬送設備の側面図
、第２図は正面図である。
、第２図は正面図である。
第１図において、１は荷搬送台車であり、本体２の下部
には複数個の走行車輪３が取り付けである。この台車ｌ
は床４上において一定経路（レール）５上を走行（往復
も含む）自在であり、走行は床４側に設けた誘導体に導
かれての自動走行形式でもよいし、床４側に設けたワイ
ヤなとの駆動体に連動させた駆動走行形式でもよい。床
４の下には、一定径路５の中央に一定経路５に沿って溝
部７か形成され、この溝部７に一端か固定され、この一
端より絶乾エア、すなわち温度；約６０°Ｃ１かつ露点
ニー６０°Ｃのエアか絶乾エア供給装置８から供給され
る耐熱フレキンプルチューブ９か敷設されている。
には複数個の走行車輪３が取り付けである。この台車ｌ
は床４上において一定経路（レール）５上を走行（往復
も含む）自在であり、走行は床４側に設けた誘導体に導
かれての自動走行形式でもよいし、床４側に設けたワイ
ヤなとの駆動体に連動させた駆動走行形式でもよい。床
４の下には、一定径路５の中央に一定経路５に沿って溝
部７か形成され、この溝部７に一端か固定され、この一
端より絶乾エア、すなわち温度；約６０°Ｃ１かつ露点
ニー６０°Ｃのエアか絶乾エア供給装置８から供給され
る耐熱フレキンプルチューブ９か敷設されている。
本体２の上部側には左右方向で貫通する荷収納空間１０
か形成され、その荷支持台１１には上面に２個（単数、
複数いずれてもよい）の荷１２の位置決めをする位置決
め具１３か配設しである。また本体２の上部側には、荷
収納空間ＩＯを中にして上方にエア供給室１４が形成さ
れ、下向きに設けたフィルタ１５を介して荷収納空間ｌ
Ｏに連通している。さらに本体２の前部（または後部）
から底部に貫通し、エア供給室１２に連通したダクト１
６が形成され、ダクト１６は、本体２の底部から突出し
て取り付けられ、側部に開口部を有した配管枠１７に連
通しており、走行端で一端折り曲げられた耐熱フレキシ
ブルチューブ９の他端が本体２底部で配管枠１７の開口
部に接続されることにより耐熱フレキシブルチューブ９
に連通している。１８はクリーンルームを示す。
か形成され、その荷支持台１１には上面に２個（単数、
複数いずれてもよい）の荷１２の位置決めをする位置決
め具１３か配設しである。また本体２の上部側には、荷
収納空間ＩＯを中にして上方にエア供給室１４が形成さ
れ、下向きに設けたフィルタ１５を介して荷収納空間ｌ
Ｏに連通している。さらに本体２の前部（または後部）
から底部に貫通し、エア供給室１２に連通したダクト１
６が形成され、ダクト１６は、本体２の底部から突出し
て取り付けられ、側部に開口部を有した配管枠１７に連
通しており、走行端で一端折り曲げられた耐熱フレキシ
ブルチューブ９の他端が本体２底部で配管枠１７の開口
部に接続されることにより耐熱フレキシブルチューブ９
に連通している。１８はクリーンルームを示す。
上記構成による動作を説明する。
台車ｌは、クリーンルーム１８内において一定経路５上
を走行する。この走行時に、絶乾エア供給装置８か作動
されており、絶乾エアか、連通した耐熱フレキシブルチ
ューブ９、配管枠１７、ダクト１６を介してエア供給室
１４に供給され、このエア供給室１４の絶乾エアはフィ
ルタ１５を通ることによりクリーンになり、荷収納空間
１０に下吹きされる。
を走行する。この走行時に、絶乾エア供給装置８か作動
されており、絶乾エアか、連通した耐熱フレキシブルチ
ューブ９、配管枠１７、ダクト１６を介してエア供給室
１４に供給され、このエア供給室１４の絶乾エアはフィ
ルタ１５を通ることによりクリーンになり、荷収納空間
１０に下吹きされる。
よって、荷収納空間１０に下吹きのクリーンな絶乾エア
の流れか発生し、したかって荷１２を絶乾環境雰囲気内
に位置し得る。また耐熱フレキシブルチューブ９を使用
することにより、台車１の走行に際してもチューブ９か
台車１より外れたり、走行の邪魔となることが防止され
る。
の流れか発生し、したかって荷１２を絶乾環境雰囲気内
に位置し得る。また耐熱フレキシブルチューブ９を使用
することにより、台車１の走行に際してもチューブ９か
台車１より外れたり、走行の邪魔となることが防止され
る。
このように、搬送中の荷１２を絶乾環境雰囲気内に位置
し得ることかできることから、荷１２が光ディスクであ
る場合にも、搬送中の光ディスクのひずみを防止でき、
品質の優れた光ディスクを生産でき、その効果は大きい
。
し得ることかできることから、荷１２が光ディスクであ
る場合にも、搬送中の光ディスクのひずみを防止でき、
品質の優れた光ディスクを生産でき、その効果は大きい
。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、絶乾エアを、連通し
た耐熱フレキシブルチューブ、ダクト、エア供給室を通
って、常に荷収納空間へ供給てきることから、荷収納空
間を絶乾環境に維持することかでき、荷が光ディスクで
ある場合にも、搬送中の光ディスクのひずみを防止でき
、品質の優れた光ディスクを生産でき、その効果は大き
い。また耐熱フレキシブルチューブを使用することによ
り、台車の走行に際してもチューブか台車より外れたり
、走行の邪魔となることを防止することかできる。
た耐熱フレキシブルチューブ、ダクト、エア供給室を通
って、常に荷収納空間へ供給てきることから、荷収納空
間を絶乾環境に維持することかでき、荷が光ディスクで
ある場合にも、搬送中の光ディスクのひずみを防止でき
、品質の優れた光ディスクを生産でき、その効果は大き
い。また耐熱フレキシブルチューブを使用することによ
り、台車の走行に際してもチューブか台車より外れたり
、走行の邪魔となることを防止することかできる。
第１図は本発明の一実施例における荷搬送設備の側面図
、第２図は同荷搬送設備の正面図である。 ｌ・・・荷搬送台車、２・・・荷搬送台車本体、４・・
・床、５・・−一定経路、７・・・溝部、８・・・絶乾
エア供給装置、９・・・耐熱フレキシブルチューブ、ｌ
Ｏ・・・荷収納空間、１２・・・荷、１４・・・エア供
給室、１６・・・ダクト、１８・・・クリーンルーム。
、第２図は同荷搬送設備の正面図である。 ｌ・・・荷搬送台車、２・・・荷搬送台車本体、４・・
・床、５・・−一定経路、７・・・溝部、８・・・絶乾
エア供給装置、９・・・耐熱フレキシブルチューブ、ｌ
Ｏ・・・荷収納空間、１２・・・荷、１４・・・エア供
給室、１６・・・ダクト、１８・・・クリーンルーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、クリーンルーム内に設置され、一定経路を走行し、
荷を搬送する荷搬送台車を備えた荷搬送設備であって、 経路側に絶乾エアを発生し供給する絶乾エア供給装置を
設けるとともに、一端が前記絶乾エア供給装置に接続さ
れ、他端が前記荷搬送台車へ接続されて絶乾エアを供給
する耐熱フレキシブルチューブを敷設し、前記荷搬送台
車には荷収納空間へ前記絶乾エアを吹きつけるエア供給
室を形成するとともに、前記荷搬送台車に前記エア供給
室に連通したダクトを形成し、前記耐熱フレキシブルチ
ューブの他端を前記荷搬送台車本体底部で前記ダクトに
連通した荷搬送設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29617490A JP2585144B2 (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 荷搬送設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29617490A JP2585144B2 (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 荷搬送設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04169414A true JPH04169414A (ja) | 1992-06-17 |
| JP2585144B2 JP2585144B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=17830122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29617490A Expired - Fee Related JP2585144B2 (ja) | 1990-11-01 | 1990-11-01 | 荷搬送設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585144B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108548228A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-09-18 | 程苏娟 | 一种空气消毒杀菌装置 |
| CN108731115A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-11-02 | 程苏娟 | 一种安全型空气消毒杀菌装置 |
-
1990
- 1990-11-01 JP JP29617490A patent/JP2585144B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108548228A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-09-18 | 程苏娟 | 一种空气消毒杀菌装置 |
| CN108731115A (zh) * | 2018-04-13 | 2018-11-02 | 程苏娟 | 一种安全型空气消毒杀菌装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2585144B2 (ja) | 1997-02-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4807579B2 (ja) | 基板収納設備及び基板処理設備 | |
| TW593082B (en) | Storage facility for use in a clean-room | |
| JPS6162739A (ja) | クリ−ントンネル | |
| JP2009184785A (ja) | 物品収納設備 | |
| JP4378659B2 (ja) | 物品保管庫及びクリーンルーム用の物品保管設備 | |
| JPH04169414A (ja) | 荷搬送設備 | |
| JP4378652B2 (ja) | 浄化空気通風式の物品保管設備 | |
| JP4780401B2 (ja) | クリーンルーム用の物品保管設備 | |
| TWI406804B (zh) | Plate-type goods with a van | |
| JP4715383B2 (ja) | 搬送台車 | |
| TWI412477B (zh) | 物品收納設備（二） | |
| JPH0735209B2 (ja) | クリ−ンル−ム等における被加工物の搬送方法および搬送装置 | |
| JP3861534B2 (ja) | クリーンルーム用無人搬送車 | |
| JP2012096906A (ja) | 自動倉庫 | |
| JPS63304640A (ja) | クリ−ンル−ム内搬送装置 | |
| JP7115356B2 (ja) | 物品搬送設備 | |
| JPH03192005A (ja) | クリーンルーム内の荷保管設備 | |
| JPH0338585Y2 (ja) | ||
| JPH0417420Y2 (ja) | ||
| KR101184320B1 (ko) | 물품 수납 설비 | |
| JP2935444B2 (ja) | クリーンルーム用垂直搬送装置 | |
| JPS5833577A (ja) | 無人誘導台車 | |
| JPS60166554A (ja) | クリ−ンル−ム用運搬車 | |
| JP2009107778A (ja) | クリーンルーム用搬送設備 | |
| JPS584666A (ja) | 搬送コンベヤ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |