JPH0416008B2 - - Google Patents

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JPH0416008B2
JPH0416008B2 JP60278065A JP27806585A JPH0416008B2 JP H0416008 B2 JPH0416008 B2 JP H0416008B2 JP 60278065 A JP60278065 A JP 60278065A JP 27806585 A JP27806585 A JP 27806585A JP H0416008 B2 JPH0416008 B2 JP H0416008B2
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valve metal
oxide
capacitor
capacitor according
lithium
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Fuiritsupusu Jefuerii
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Nippon Chemi Con Corp
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    • H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
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    • H01G9/004—Details
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    • H01G9/042—Electrodes or formation of dielectric layers thereon characterised by the material
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00—Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、新規な大容量のコンデンサに関する
ものである。
さらに詳細には、本発明は酸化物皮膜で被覆さ
れた金属陽極と、リチウムもしくはリチウム合金
陰極と、イオン伝導性のリチウムイオン含有電解
液とを含むよう作成したコンデンサに関するもの
である。
両電極はイオン伝導性の分離材によつて物理的
に分離される。この電極の好適なものとしては、
金属酸化物で被覆された陽極はアルミニウム／酸
化アルミニウムもしくはタンタル／酸化タンタル
の圧延箔がある。
〔従来の技術〕
マイクロコンピユータにより制御される電子装
置は、マイクロコンピユータ系を一時的な主電力
源の停電に際し記憶されたデータを失うことを保
護するための補助電力源を必要とする。
マイクロコンピユータ用の補助電力源は、小型
であつてしかも一時的停電の際のコンピユータ記
憶消失から保護するのに充分な電力を貯えるに足
る静電容量を持たねばならない。
小型かつ容量を増大した補助電力源を設ける試
みにおいて新たなコンデンサが幾つか開発されて
いる。これらコンデンサの一つは活性炭電極とイ
オン伝導性の硫酸電解液とを有する〔真田および
細川、電気二重層コンデンサ（商品名「スーパー
キヤパシタ」）、NECリサーチ・アンド・デイベ
ロツプメントNo.55（1979年10月）、第21〜27頁参
照〕ものがある。この「スーパーキヤパシタ」用
のユニツトセルの電圧はDC1.2Vである。したが
つてマイクロコンピユータ用の記憶保護用に要す
るDC5Vという電圧を得るには、数個のユニツト
セルを積み重ねる必要がある。
同様に、本出願人は、広い表面積の炭素電解電
極と鉛金属電解電極とイオン伝導性電解液とを備
えて高い静電容量を有する新規なコンデンサを開
発した（フイリツプ等、米国特許第4438481号）。
しかしながら、この場合も各ユニツトセルが保
持し得る最高電圧は約DC1.25Vであつて、例え
ばDC3〜5Vの所要の電圧を得るには複数個のユ
ニツトセルを直列に重ねる必要があつた。
コンデンサ製造技術においてはコンデンサを積
み重ねる必要性のための工数がかかり、相互に積
み重ねるべき適当なユニツトセルを選択かつ試験
する必要があるなど経済上非効率的であることが
知られている。
現状の通常の静電容量を有するコンデンサにて
所望の動作電圧を得るためにはコンデンサを積み
重ねて用いなければならず、これに伴う明らかな
欠点、すなわち小型でかつ所定の耐電圧と静電容
量を有するコンデンサが達成できないということ
について、未だに充分な対応ができるものが得ら
れていないのが現状である。
従来からもフイリツプの米国特許第4438481号
公報に開示されたように、小容積にて高静電容量
を達成すべく、極めて大きい表面積／容積の比を
有する各種のコンデンサ材料が提供されている。
容積上の効率性はフイリツプ等の上記米国特許
第4438481号公報に記載されたコンデンサでかな
り改善されるが、各ユニツトセルは約1.25Vとい
う最高印加電圧しか持たないのでDC5Vという動
作電圧を要する典型的な半導体記憶素子用のバツ
クアツプ電源として供給するには４個のユニツト
セルを直列に積み重ねなければならない。
比較的厚い酸化物被覆を有する酸化物によつて
被覆された金属からなる陽極材料が高い耐電圧を
得られることも知られているが、この種の材料の
静電容量は酸化物皮膜の厚さのため大きくできな
い。すなわちアルミニウムおよびタンタルの電解
コンデンサは、酸化物皮膜の厚さを増加させるこ
とで高電圧用の電極が得られる。しかしこの高圧
用電極は、酸化物皮膜が厚くなるだけ、単位面積
あたりの静電容量は低下する。
これら電極における陽極酸化物被覆の厚さを減
少させると、静電容量は増大するものの必要な使
用電圧を得るためには２個以上のコンデンサを積
み重ねなければならなくなる。
次に本発明で用いる非水系電解液に関連した日
本国内の出願としては主に電池を対象としたもの
であるが、例えば（特公昭52−16204号公報、特
開昭54−76929号公報、特開昭56−159067号公報、
特開昭58−206058号公報）などがある。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明の目的は、陽極のみの耐電圧よりも著し
く高い耐電圧を有する新規かつ改良されたコンデ
ンサを提供することである。
本発明の他の目的は、一方の電極における酸化
物皮膜層を比較的薄い厚さとして静電容量を増大
させると共に、他方の電極が複数のコンデンサを
直列に接続することなく所定の電圧を保持しうる
ように、充分な開放回路電位が得られる材料から
作成した電極を備える新規かつ改良されたコンデ
ンサを提供することである。
さらに本発明の他の目的は、熱酸化により充分
な薄膜厚さまで酸化され得る酸化物皮膜で被覆し
た陽極を備えると共に、ユニツトセルを積層する
ことなく典型的な半導体記憶素子におけるバツク
アツプ出力源として使用するのに充分な電圧を保
持しうる新規かつ改良されたコンデンサを提供す
ることである。
さらに本発明の他の目的は、充放電サイクルに
際し化学的に（電解的に）電荷を貯えてコンデン
サのエネルギ密度を顕著に増加させ得る、酸化物
被覆した陽極とリチウム陰極とを備える新規かつ
改良された容量上効率的なコンデンサを提供する
ことである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明により、市販の電解コンデンサにおける
陰極箔の代わりにリチウムもしくはリチウム合金
陰極を使用すれば、弁金属／金属酸化物コンデン
サの容量エネルギ密度を著しく増大させ得ること
が判明した。
本発明のコンデンサは、陽極のみにより保持さ
れる電圧よりもはるかに高い電圧を示す。この利
点は、(1)リチウムもしくはリチウム合金からなる
陰極と、(2)比較的大面積の弁金属からなり比較的
薄い酸化物表面皮膜を有する陽極と、(3)陽極と陰
極との間に配置されてこれら電極を物理的に分離
すると共に、電極間の材料中にイオンを通過させ
うる分離材と、(4)リチウムイオンを含有しかつ前
記両電極に対し適合性である有機非水性電解液と
を含むコンデンサを作成することにより達成され
る。
本発明の利点を得るため、陽極は箔としてまた
は焼結された（圧縮）ペレツトとして形成された
ものを用いることが望ましい。
〔作用〕
本発明のコンデンサは、金属酸化物バリア皮膜
で被覆された陽極としての金属と、リチウムもし
くはリチウム合金の陰極とを備える。
陽極の金属は弁金属（valve metal）、すなわ
ち陽極金属表面を酸化させた絶縁性の酸化物バリ
ア層が被覆され、かつ溶液中に浸漬された際マイ
ナスになると電流を伝達し得るがプラスになると
電流を伝達し得ないような金属から選択される。
このような要求に適する弁金属にはアルミニウ
ム、タンタル、ニオブ、ジルコニウム及びチタン
が該当する。陽極に対する酸化物バリア皮膜は一
般に１ボルトにつき10〜30Åの厚さで施される。
この値は用いる弁金属により異なる。
弁金属／弁金属酸化物の陽極は装置の容量素子
として機能し、電荷は慣用のアルミニウムおよび
タンタルよりなる市販の電解コンデンサにおける
と同様に酸化物バリア皮膜を介して貯えられる。
陰極においてリチウムもしくはリチウム合金電極
は、リチウム電極については Li+＋e-Li また例えばリチウム−アルミニウムのようなリチ
ウム合金電極については Al＋Li+＋e-Li＋Al の適当な反応式に対応する電位を維持する。
陰極における過度の分極を避けるためリチウム
電解質例えば電解液中0.5〜1.5Mのような比較的
高い濃度に維持することが望ましい。電解液は、
弁金属酸化物に対し腐食、溶解等が生じないもの
であると共に、充分なイオン伝導性を得るものを
選択すべきである。
本発明の重要な特徴によれば、低い使用電圧に
おいて、市販の電解コンデンサにおいて通常用い
られている陰極箔の代わりに使用するリチウムも
しくはリチウム−アルミニウム陰極は容積あたり
のエネルギ密度を著しく増大させ得る。本発明の
充分な利点を達成するため、リチウムもしくはリ
チウム−合金電極は、例えば図示したように帯状
の箔を端部から同心状に巻回して得られる。
陰極に化学的（電解的）蓄電を与えれば、特に
低電圧用コンデンサにつき新規かつ予想外の結果
が得られる。何故なら、通常の低電圧用電解コン
デンサにおける単位面積あたりの陰極の静電容量
は、陽極の静電容量と大差のない大きさとなり、
この静電容量が直列に接続されることによつてコ
ンデンサ全体として合成された静電容量は大幅に
低下することになるからである。本発明のコンデ
ンサはこの陰極直列分の静電容量分による影響を
排除することができる。
本発明のコンデンサを設計する場合、例えば半
導体メモリーとして知られるCMOSのSRAMの
記憶維持のような用途においては、半導体メモリ
ーの内部インピーダンスが高く、消費電流も僅か
であることから、コンデンサが高い等価直列抵抗
（ESR）値を有してもこれが問題となることは殆
どない。そして0.1FV（Farad−Volt）／c.c.の容
量エネルギ密度を得るようユニツトセルを設計す
ればよい。
本発明の充分な利点を達成するため、本発明に
よるコンデンサの容量エネルギ密度は、マイクロ
コンピユータの記憶保護装置として有用となる範
囲は約0.02〜0.4FV／c.c.である。しかしながら許
容し得るエネルギ密度は、作成材料の価格にも依
存しており、使用目的に応じて価格の考慮を含め
て選択すればよい。
〔実施例〕
以下、添付図面を参照して本発明を実施例につ
き詳細に説明する。
先ず、第１Ａ図を参照して説明する。一般的な
構造として参照符号１０で示した本発明のコンデ
ンサは、箔状のアルミニウム表面に酸化アルミニ
ウム皮膜を形成したものを巻回し筒状としたアル
ミニウム陽極１４と、このアルミニウム陽極１４
の外周面を同心的に包囲したリチウム−アルミニ
ウム箔電極１２を備えているる。そして２個の電
極１２および１４は、これら１２と１４との間の
空間を埋める電解液の内部でイオン移動を可能に
する適当な微孔質材料１６により物理的に分離さ
れる。この微孔質材料１６に適するもののとして
は、例えばポリプロピレンのような微孔質ポリオ
レフインである。
次に異なる実施例を第１Ｂ図に示す。これは２
個のリチウム合金端板１８および２０を両端部に
備えおり、筒状の巻回弁金属／金属酸化物陽極２
６の開放端部２２および２４を円盤状の微孔質分
離材２８および３０で封ずる。
リチウムおよび例えばリチウム−アルミニウム
のようなリチウム合金の電極により示される低い
電位は、陽極バリア皮膜のみにより保持される電
圧よりも高い耐電圧を本発明のコンデンサが示す
ことを可能にする。
これを説明するために、数種類の陽極酸化（化
成）処理により酸化皮膜を形成した箔（面積20
cm2）の静電容量の逆数とこれら箔を25μAの定電
流で陽極分極させた電位との関係をプロツトした
グラフを第２図および第３図に示す。
第２図および第３図のアルミニウム箔をアジピ
ン酸アンモニウム水溶液（PH７）においてアルミ
ニウムを４、５、７および9Vの電圧で陽極酸化
し、続いてこの陽極酸化の水溶液（第２図）と
1MのLiPF6を含有するプロピレンカーボネート
溶液（第３図）との両者で分極化させた。それぞ
れの場合、プロツトの縦軸座標における交点は、
電圧保持用の皮膜がない場合のAl／Al2O3電極の
電位を示している。
第２図から明らかなように、水溶液中で4Vで
陽極酸化したAlに形成された皮膜は、裸アルミ
ニウム表面での電位よりも5.7V高く保持しうる
厚さを備えた皮膜に相当している。２つの電極か
らなるコンデンサにおいて、得られる端子間電圧
の比率は陰極で形成され得る電圧に依存する。こ
れがアルミニウム（慣用の電解におけるように）
であれば、僅か70％しか得られない。何故なら、
アルミニウム陰極はAl／Al2O3熱力学電位の＋
1.7Vの電位で作動するからである。
しかしながら、リチウム／アルミニウム電極は
Al／Al2O電位の−1.37Vで作動するので、4V対
Alにて形成した箔は約7.1Vを保持することがで
きる（第３図：皮膜を介する全電圧の合計および
Al／Al2O3電位とLi／Al／Li+電位との間の差）。
より一般的な意味で、負荷がある状態でのコン
デンサにより保持される最大電圧（Vnax）は次
式により示される。
Vnax＝Efｄ＋En/p−（EA＋φ）＋IR 式中、Efは酸化物の電界強さ（Ｖ／cm）であ
り、式中の符号は以下のとおりである。
ｄは、酸化物の厚さ（cm）。
En/pは、弁金属／金属酸化物の酸化還元電位
（Ｖ）。
EAは、陰極の酸化還元電位（Ｖ）。
φは、陰極の分極度（Ｖ）。
Ｉは、電流（Ａ）。
Ｒは、電解液の抵抗（Ω）である。
したがつて、コンデンサの良好な蓄電容量は、
酸化物における電界強さと弁金属／弁金属酸化物
電極の酸化還元電位とにより促進される。
これらの因子は、アルミニウム（Al／Al2O3、
E0＝−1.49、誘電率＝8.5）よりもタンタル
（Ta／Ta2O5、E0＝−0.75、誘電率＝27）および
ニオブ（Nb／Nb2O5、E0＝−0.64、誘電率＝41）
の使用が好適であるが、アルミニウムはその低価
格のためより好適である。しかしながら、酸化ア
ルミニウムに対しこれに適合する電解液を選択す
るのは、アルミニウムの不安定性のため他の弁金
属に比べて若干困難である。
本発明のコンデンサに対する電解液の選択は、
電気性能を決定する重要な要素となる。一般に、
コンデンサの電解液は損傷した誘電体層すなわち
酸化皮膜の修復を容易にするために少量の水を含
有するが、これはリチウムもしくはリチウム−ア
ルミニウム合金の存在下では許容し得ない。何故
なら、陰極の自己放電が水素の発生と同時に生ず
るからである。リチウムもしくはリチウム合金を
選択した場合には電解質／溶剤の組み合わせの安
定性を重視すべきであり、さらにバリア酸化物皮
膜に対し適合性を持たせなければならない。すな
わち皮膜を可溶化させてもこれと反応してもなら
ない。
本発明者は、多数の非水性溶剤を試験して、次
のものが適することを見出した。すなわちこれら
のものはプロピレンカーボネート、ブチロラクト
ン、テトラヒドロフラン（以下THFという）お
よびその誘導体（たとえばジメチルTHF）、ジオ
キソランおよびスルホランなどである。
この溶剤に溶解させる電解質は、リチウムイオ
ンおよび有機、無機もしくは有機金属陰イオンを
含むべきであり陰イオンの特定の選択は対象とす
る酸化物皮膜に依存する。例えばプロピレンカー
ボネートにおけるフエノキシドおよびClO4 -陰イ
オンは酸化アルミニウムに対し不適当であるが、
酸化タンタルに対し極めて不活性で適合する。
第４図は、酸化アルミニウム皮膜に対する
ClO4 -およびOph-陰イオンの不適合性および酸
化タンタル皮膜に対するこれら陰イオンの適合性
を示しており、これら両皮膜はアジピン酸アンモ
ニウム溶液中で4Vの電圧でアルミニウムを陽極
酸化して形成されている。
バリア酸化物皮膜に対し適合性であると判明し
た陰イオンは、定電流による分極化試験を行つて
確認した。Liに対し6.5Vの安定した電圧を達成
した箔（アジピン酸水溶液中で4VでAlを陽極酸
化して形成）は、電解液に対し適合性を有すると
思われた。リチウムもしくはリチウム合金陰極お
よびアルミニウム／酸化アルミニウム陽極に対し
適合する陰イオンはAsF6 -、PF6 -、Ｂ（ph）4 -、
CN-、Ｎ（SiMe3）2 -、BF4 -および安息香酸イオ
ンである。
本発明のコンデンサの電気性能を、電気化学的
および熱的に形成した双方の酸化によるアルミニ
ウムを用いて、1MのLiPF6を含有するプロピレ
ンカーボネート溶液において試験した。
陽極箔については、厚さ80μｍの交流電解エツ
チングした箔の薄片（1.8cm×28cm）をアルミニ
ウム板に付着させ、かつ圧延して陽極を形成し
た。陽極酸化はアジピン酸アンモニウム溶液（PH
７）中で行い、酸化アルミニウム皮膜を形成後箔
を洗浄し90℃で乾燥させた。
陰極は、面積４cm2の焼鈍させた厚さ90μｍのア
ルミニウム箔表面ヘリチウムを0.63ｍＡ／cm2の電
流密度で１時間付着させて作成した。次いで、こ
のLi−Al箔を、微孔質ポリプロピレンを用いた
分離材を陽極をなすアルミニウム薄片を巻回した
筒状体の周囲に巻回した。このコンデンサのエネ
ルギ密度を測定したところ0.11FV／c.c.であつた。
充放電サイクル試験の前にこの箔を１ｍＡにて
陽極分極させたところ、Li／Alに対し5.75Vの端
子間電圧が認められた。次に１ｍＡにて0.3〜
5.0Vの範囲で1000サイクルの充放電を繰り返し
た後調べたところ、この箔はまだ5.75Vを保持す
ることができ、陽極上の酸化皮膜の劣化が生じな
かつたことが示された。
第５図は本発明のコンデンサの初期および最終
性能を示している。測定した静電容量は試験期間
にわたり20％変化した。これは、陰極における分
極の増大から生じたと思われる。5Vの定電位の
下で、電流−時間特性はこのコンデンサの安定性
を示している（第６図）。
本発明の他の重要な特徴は、陽極の酸化物皮膜
を形成する他の方法として熱酸化用いることであ
る。熱酸化は容易に実施しうるという利点を有す
るが、数ボルト以上を保持しうる均一な皮膜を成
長させるには推奨できない。
次に第７図を参照して、熱酸化による皮膜を用
いた場合を示す。圧延アルミニウム箔を400℃に
て13時間熱酸化させアルミニウム陽極表面に熱酸
化皮膜を形成し、かつ分極化をアジピン酸アンモ
ニウムおよびLiPF6／プロピレンカーボネートの
両者において１ｍＡで試験した。アジピン酸アン
モニウム溶液において電圧は0.95V対SCEであつ
たのに対し、LiPF6／プロピレンカーボネート溶
液においては電圧はLiに対し5.35Vであつた。
次にこの熱酸化皮膜を持つ箔を第１Ａ図に示し
た構造のコンデンサを組み立て、かつ充放電サイ
クル試験を0.1〜3.45Vの電圧範囲にわたり１ｍＡ
にて行つた。第８図は、1000サイクルにわたりコ
ンデンサの静電容量が29％低下したことを示して
いる。これが、熱酸化皮膜よりも陽極酸化皮膜の
優秀性を反映するかどうかは不明である。
上記実施例は全てアルミニウム箔上に電気化学
的に形成したリチウム−アルミニウム電極につい
て行つている。これは、この種の電極を上記した
方式にしたがつて連続的にサイクルを使用し得る
という原理を例示するには充分であるが、例えば
圧縮ペレツトのような他の形態の電極も使用する
ことができる。さらに、たとえばリチウム−珪素
またはリチウム−硼素のような他のリチウム合金
も同等に使用することができる。
〔発明の効果〕
以上、本発明によれば、陽極のみの耐電圧より
も著しく高い耐電圧を有し、エネルギ密度を顕著
に増大させ得る新規かつ改良されたコンデンサが
得られる。
【図面の簡単な説明】
第１Ａ図および第１Ｂ図は本発明によるコンデ
ンサの構造の拡大分解斜視図である。第２図は
種々の電圧にて形成された酸化アルミニウムのバ
リア皮膜を備えたアルミニウム箔に対するアジピ
ン酸アンモニウム水溶液中での静電容量の逆数と
陽極分極させた電位との関係を示す特性曲線図で
ある。第３図は電解液がLiPF6−プロピレンカー
ボネートである以外は第２図と同じ特性曲線図で
ある。第４図は２種の異なる電解質、すなわち
LiClO4およびLiOphを含有するプロピレンカー
ボネートの電解液におけるアルミニウム箔とタン
タル箔との陽極分極曲線図である。第５図は本発
明にしたがつて作成されたコンデンサ（Li／Al
合金／Al2O3／Al）の充放電サイクルの性能を示
す特性曲線図である。第６図はアジピン酸アンモ
ニウム水溶液中で4Vにて陽極酸化皮膜が形成さ
れたAl2O3／Al箔対アルミニウム電極を1Mの
LiPF6電解質を含有するプロピレンカーボネート
電解液において5Vの電圧で測定した電流／時間
特性を示す特性曲線図である。第７図は1Mの
LiPF6電解質を含有するプロピレンカーボネート
電解液における熱酸化された圧延アルミニウム箔
の分極曲線図である。第８図はAl2O3熱酸化によ
るバリア皮膜が形成された本発明によるLi／Al
合金／Al2O3／Alコンデンサの充放電サイクルの
性能を示す第５図と同様な特性曲線図である。 １０……コンデンサ、１２，１４……電極、１
６……微孔質材料、１８，２０……端板、２２，
２４……開放端部、２６……電極、２８，３０…
…微孔質分離材。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 表面に弁金属酸化物が形成された弁金属陽極
    と、リチウムもしくはリチウム合金からなる陰極
    と、前記陽極および陰極を物理的に分離しかつ一
    方の電極から他方の電極へイオン移動させ得る分
    離材と、前記両電極と接触するリチウムイオンを
    含有する非水性電解液とからなるコンデンサ。 ２ 弁金属陽極がアルミニウムであり、弁金属酸
    化物が酸化アルミニウムである特許請求の範囲第
    １項記載のコンデンサ。 ３ 弁金属陽極がタンタルであり、弁金属酸化物
    が酸化タンタルである特許請求の範囲第１項記載
    のコンデンサ。 ４ 弁金属陽極がアルミニウム箔であり、弁金属
    酸化物がこの箔上に形成された酸化アルミニウム
    である特許請求の範囲第２項記載のコンデンサ。 ５ 弁金属陽極がタンタル箔であり、弁金属酸化
    物がこの箔上に形成された酸化タンタルである特
    許請求の範囲第３項記載のコンデンサ。 ６ 弁金属陽極が微粉末を圧縮焼結したペレツト
    である特許請求の範囲第２項記載のコンデンサ。 ７ 弁金属陽極が微粉末を圧縮焼結したペレツト
    である特許請求の範囲第３項記載のコンデンサ。 ８ 陰極がリチウム−アルミニウム合金電極であ
    る特許請求の範囲第１項記載のコンデンサ。 ９ 陰極がリチウム−珪素合金電極である特許請
    求の範囲第１項記載のコンデンサ。 １０ 陰極がリチウム−硼素合金電極である特許
    請求の範囲第１項記載のコンデンサ。 １１ 電解液がプロピレンカーボネート、ブチロ
    ラクトン、テトラヒドロフランもしくはその低級
    アルキル置換誘導体、ジオキソランおよびスルホ
    ランよりなる群から選択される溶剤を含む特許請
    求の範囲第１項記載のコンデンサ。 １２ 電解液がリチウムイオンおよび有機、無機
    もしくは有機金属の陰イオンからなる電解質を含
    む特許請求の範囲第１１項記載のコンデンサ。 １３ 弁金属陽極がタンタル表面に酸化タンタル
    が形成された電極からなり、かつ電解液の電解質
    がC6H5O-陰イオン、ClO4 -陰イオンまたはその
    混合物を含む特許請求の範囲第１２項記載のコン
    デンサ。 １４ 電解液の溶剤がプロピレンカーボネートで
    ある特許請求の範囲第１３項記載のコンデンサ。 １５ 弁金属陽極がアルミニウム表面に酸化アル
    ミニウムが形成された電極からなり、かつ電解液
    の電解質がAsF6 -、PF6 -、Ｂ（Ph）4 -、CN-、Ｎ
    （SiMe3）2 -、C6H5O-、およびBF4 -よりなる群か
    ら選択される１種もしくはそれ以上の陰イオンを
    含む特許請求の範囲１２項記載のコンデンサ。 １６ 電解液の溶剤がプロピレンカーボネートで
    ある特許請求の範囲第１５項記載のコンデンサ。 １７ 電解液の電解質がLiAsF6、LiPF6、LiB
    （Ph）4、LiCN、LiN（SiMe3）2、LiC7H5O2および
    LiBF4よりなる群から選択される特許請求の範囲
    第１５項記載のコンデンサ。 １８ 弁金属陽極上の金属酸化物が熱酸化による
    バリア皮膜である特許請求の範囲第１項記載のコ
    ンデンサ。 １９ コンデンサユニツト１個あたり少なくとも
    DC4Vの電圧を保持し得る特許請求の範囲第１８
    項記載のコンデンサ。 ２０ 電解液中の電解質の濃度が1.5Mである特
    許請求の範囲第１７項記載のコンデンサ。 ２１ 電解液中の電解質の濃度が0.5〜1.5Mであ
    る特許請求の範囲第１８項記載のコンデンサ。 ２２ リチウムもしくはリチウム合金の陰極と、
    バリア金属酸化物で被覆された金属から形成され
    かつこの金属がアルミニウム、タンタル、ニオ
    ブ、ジルコニウムおよびチタンよりなる群から選
    択される弁金属からなる陽極と、陽極および陰極
    を分離しかつ一方の電極から他方の電極へイオン
    移動させ得る物理的分離材と、前記両電極と接触
    するリチウムイオン含有の非水性電解液とからな
    るコンデンサ。 ２３ 弁金属陽極がニオブであり、弁金属酸化物
    が酸化ニオブである特許請求の範囲第２２項記載
    のコンデンサ。 ２４ 弁金属陽極がジルコニウムであり、弁金属
    酸化物が酸化ジルコニウムである特許請求の範囲
    第２２項記載のコンデンサ。 ２５ 弁金属陽極がチタンであり、弁金属酸化物
    が酸化チタンである特許請求の範囲第２２項記載
    のコンデンサ。
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