JPH04157412A

JPH04157412A - 投影レンズ系

Info

Publication number: JPH04157412A
Application number: JP2283827A
Authority: JP
Inventors: Kokichi Kenno; 孝吉研野; Yoshiko Tezuka; 手塚　佳子
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1990-10-22
Filing date: 1990-10-22
Publication date: 1992-05-29
Anticipated expiration: 2015-05-15
Also published as: US5448408A; US5260832A; JP3041939B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は投影露光法によって回路パターン等を描いたマ
スク等から半導体ウェハ上に回路パターン等を転写する
際に用いられる投影レンズ系に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、ＩＣ，ＬＳＩ等の集積回路や液晶等のフラットデ
イスプレィなどに所望のパターンを転写する際には、プ
ロキシミティ法と呼ばれる非接触露光法やアライナ−法
と呼ばれる反射投影法などが用いられている。

このうち、プロキシミティ法は特開昭５０−１１５７７
４号等に記載されているように、半導体ウェハの直近に
マスクを配置してマスクに描かれた回路パターンをウェ
ハ上に転写するものである。この方法ではマスク等と転
写しようとする基板との間のわずかな間隔が転写の際の
解像力を決めることになるため、高い解像力で転写しよ
うとする場合にはこの間隔を非常に狭くしなければなら
ない。しかし、あまり近づけ過ぎてマスク等と基板が接
触してしまうと基板上に転写した回路パターンを破損し
てしまうという問題があった。

一方、アライナ−法は特開昭６３−１８４３２８号等に
記載されているように、反射光学系によりマスクをウェ
ハ上に投影する構成となっているため、像側の開口数が
パターンの解像力を決めることになる。しかし、この方
法では反射光学系が通常等倍系であるため像側開口数を
大きくすることが出来ず、やはり高い解像力が得られな
いという問題がある。また露光領域、すなわち像面の面
積が大きくなると投影光の熱による半導体基板の膨脹が
大きくなるため、投影倍率を微調整して回路パターンの
大きさを合わせてから転写する必要がある。しかし、ア
ライナ−法では原理的に基板の膨脹に合わせて投影倍率
を変化させることが難しいため、大きなパターンを一度
に投影できないという問題があった。

これらに対し、近年は縮小露光法が主に使用されるよう
になって来ている。この方法は特開昭６０−１９５５０
９号等に記載されているように、マスクを適当な倍率（
数分の一程度）でウェハ上に縮小投影することによりパ
ターンを転写するものである。この方法では回路パター
ンが描かれたマスク等と投影された像（基板）との距離
を微調整することによって、投影倍率を任意に変化させ
ることができ、また投影レンズの像側開口数を大きな値
とすることによって解像力を高めることも容易であるた
め、今後益々多く利用されるものと考えられる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、従来この方法に用いる投影レンズ系には高い解
像力（すなわち大きな開口数）と広い露光領域（像高）
の両方を満足するものはなかった。

本発明の目的は、数μｍオーダーの高い解像力と広い露
光領域とを両立させることのできる投影レンズ系を提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係わる投影レンズ系は、互いに凹面を向かい合
わせたレンズより構成されたレンズ群を少なくとも２組
持ち、この２組のレンズ群の間に正の屈折力を持つレン
ズ面を少なくとも１つ備えたことを特徴とするものであ
る。

以下、本発明について説明する。

高い解像力と広い露光領域とを同時に確保するためには
、像面湾曲をほぼ完全に補正しなければならない。像面
湾曲とペッツバール和は良く知られているように深い関
係があり、ペッツバール和を小さくすると像面湾曲も小
さくなり、広い露光領域を確保することができる。ペッ
ツバール和を補正する手段として凹面を向かい合わせた
レンズ構成を用いることは知られているが、この構成を
１つだけ用いたのではペッツバール和を補正することは
難しい。その理由は、向き合った凹面の負の屈折力を強
くすることでペッツバール和は小さくなるが、あまりに
凹面が強くなり過ぎるとこの凹面で発生するコマ収差が
大きくなり、他の面で補正できなくなってしまうからで
ある。

そこで、この向かい合った凹面を持つレンズ群を２組用
いることが考えられるが、単にこの構成を並べただけで
は凹面による光線の発散作用を持ったレンズ群のみがレ
ンズ系の一部に集まってしまうため、全系の屈折力を所
定の値にするためにこの凹面の負の屈折力を弱くせざる
を得なくなる。つまり、ペッツバール和を小さくする作
用を持った向かい合った凹面は増えるが各凹面での補正
作用が弱くなってしまうため、結局ペッツバール和が小
さ（ならない。

そこで、本発明では向かい合った凹面で構成された２組
のレンズ群を有効にペッツバール和の補正に寄与させる
ために、この２組のレンズ群の間に少なくとも１つの正
の屈折力を持ったレンズ面を配置するようにした。この
正の屈折力のレンズ面を設けることによりその前後に配
置される２組の向かい合った凹面を持ったレンズ群の各
凹面がペッツバール和とコマ収差に対して適切な屈折力
を持つことができるのである。

ここでいう適切な負の屈折力とは、以下の条件を満足す
るものである。

（１）１／Ｌ＜　ｌφ１１＜２０／Ｌ（２）１／Ｌ＜ｌφ２　ｌ＜２０／Ｌ但し、φ１、φ２は向かい合った凹面の各々の負の屈折
力、Ｌは物像間距離である。

これらの条件の上限を越えると凹面の負の屈折力が弱く
なり過ぎてペッツバール和が補正不足となり、像面湾曲
が残ってしまい、広い露光領域を得ることが難しくなる
。また、下限を越えると負の屈折力が強くなり過ぎてペ
ッツバール和は補正できるが、コマ収差の発生が過大と
なり他の面による補正が難しくなる。

さらに、基板の平面度によって部分的な像歪が発生しな
いように、射出瞳を無限遠に近くなるようにして、いわ
ゆるテレセントリックな光学系とすることが望ましい。

本発明では像側の射出瞳を無限遠に近くするため、向か
い合った凹面により構成された２組のレンズ群の像側に
正レンズ群を配置している。これはレンズ系中にある射
出瞳をこの正レンズ群により無限遠に結像するための構
成である。

〔実施例〕

第１図は第１実施例のレンズ配置を示す断面図である。

この実施例では第２面Ｒ２と第５面Ｒ５、および第１６
面ＲＩＢと第１７面Ｒ１７（図中φ０、φ２と記載）が
互いに向かい合った凹面を構成している。第２面Ｒ２と
第５面Ｒ５の間にはパワーの緩いレンズが含まれている
が、本発明における「凹面を同かい合わせたレンズ群」
は間に蘭単な構成のレンズ成分を含むこともある。この
レンズ系は１／２倍の縮小投影レンズである。

第２図は第２実施例のレンズ配置を示す断面図である。

この実施例では第５面Ｒ５と第８面Ｒ８、および第１７
面Ｒ１７と第１８面Ｒ１８が互いに向かい合った凹面を
構成している。このレンズ系も１／２倍の縮小投影レン
ズである。

第３図は第３実施例のレンズ配置を示す断面図である。

この実施例では第５面Ｒ５と第８面Ｒ８、および第１７
面Ｒ１７と第２０面Ｒ２０が互いに向かい合った凹面を
構成している。このレンズ系は等倍の投影レンズである
。

これらの実施例の特徴は、向き合った凹面で構成された
２組のレンズ群の間に、少なくとも２枚の正の屈折力の
レンズを有する正の屈折力のレンズ群を有し、この合成
焦点距離をｆ、全系の物像間距離をＬとするとき、（３）　　ｆ＜Ｌ／４なる条件を満足するようにしたことである。この条件は
、正の屈折力のレンズ群が、ある程度以上の屈折力を持
たないと良好な収差補正が難しいことを示している。向
かい合った凹面で構成された各レンズ群は、強い負の屈
折力を持っているので、この負レンズ群に挾まれた正の
屈折力のレンズ群は、マージナル光線高が高くなる位置
に置かれることになる。マージナル光線高が高い所のレ
ンズはどレンズ全系の焦点距離に影響を与えるので、全
系の屈折力はこの正の屈折力のレンズ群が受は持つこと
になる。そこで、この正の屈折力を持ったレンズ群の正
の屈折力が条件を外れて弱くなると、向かい合った凹面
で構成された２組のレンズ群の凹面の屈折力を強（でき
ないので、ペッツバール和を小さくすることができなく
なる。

また、これらの例では、像側をテレセントリックな構成
にするために向き合った凹面で構成されたレンズ群の像
側に設けたレンズ群が、少なくとも３枚の正の屈折力を
持ったレンズと少なくとも１枚の負の屈折力を持ったレ
ンズを含んでいる。

この正レンズと負レンズはレンズ系中にある瞳を無限遠
に結像するときの球面収差を良好に補正するために必要
である。この群が例えば、１枚の単レンズなどの場合は
、瞳の球面収差が良好に補正出来ずに、像高によって射
出主光線の傾角が太き（なり、焦点深度内で像面が前後
した場合に像歪が太き（変化してしまう。

第４図は第４実施例のレンズ配置を示す断面図である。

この実施例では第７面Ｒ７と第８面Ｒ８、および第１３
面Ｒ１３と第１４面Ｒ１４が互いに同かい合った凹面を
構成している。

第５図は第５実施例のレンズ配置を示す断面図である。

この実施例では第１１面Ｒ１１と第１１面Ｒ１１、およ
び第１６面ＲＩＢと第１７面Ｒ１７が互いに向かい合っ
た凹面を構成している。

第６図は第６実施例のレンズ配置を示す断面図である。

この実施例では第１３面Ｒ１８と第１６面Ｒ１４、およ
び第１９面Ｒ１９と第２０面Ｒ２０が互いに向かい合っ
た凹面を構成している。

第７図は第７実施例のレンズ配置を示す断面図である。

この実施例では第１４面Ｒ１４と第１５面Ｒ１５、およ
び第２４面Ｒ２４と第２５面Ｒ２５が互いに向かい合っ
た凹面を構成している。

第８図は第８実施例のレンズ配置を示す断面図である。

第９図は第９実施例のレンズ配置を示す断面図である。

この実施例では第１１面Ｒ１１と第１１面Ｒ１１、第１
６面Ｒ１６と第１７面Ｒ１７、および第２６面Ｒ２６と
第２７面Ｒ２７が互いに向かい合った凹面を構成してい
る。

第４実施例ないし第９実施例はいずれも１１５倍の縮小
投影レンズである。１１５倍の縮小系では、レンズの像
側主点は第１実施例ないし第３実施例に比べて像側に近
づいてくる。このため、向かい合った凹面で構成された
２組のレンズ群の間に全レンズ系の主力となる正の屈折
力を持った正レンズ群を持って来ると、像側をテレセン
トリックな構成にするための正レンズ群を配置する空間
がなくなってしまう。そこで、これらの実施例において
は、前記のレンズ系の主力となる正レンズ群の物体側に
同かい合った凹面で構成された２組のレンズ群を配置し
た。

また、像側の開口数（ＮＡ）を０．４以上にするために
、上記主力となる正レンズ群を少なくとも４枚の正の屈
折力を持つレンズで構成した。

これにより、主力となる正レンズ群により発生する球面
収差を他のレンズで補正可能な量としている。

さらに、ペッツバール和をより一層良好に補正するため
、向かい合った凹面で構成された２組のレンズ群の像側
に、像側に凹面を向けた負の屈折力を持った面を設けた
。この負の屈折力をφ５、物像間距離をＬとすると（４）１／Ｌ＜　ｌφ３１＜２０／Ｌなる条件を満足することによって十分なペッツバール和
となり、広い露光領域が確保出来る。上限と下限の意味
は、条件（１）と同様である。更に、向かい合った凹面
で構成された２組のレンズ群の凹面の屈折力を適切な値
とし、かつコマ収差の発生を他のレンズ群で補正可能な
量とするために、前記２組のレンズ群の物体側に少なく
とも２枚の正の屈折力を有するレンズ群を配置している
。この正の屈折力を持ったレンズ群により、物体側の向
かい合った凹面に入射するときの軸外光線の光線高を低
（することが可能となる。光線高が低いと、向かい合っ
た凹面の曲率半径を小さくして屈折力を大きくしても、
軸外従属光線の上側光線と下側光線の凹面に入射する角
度の差が少なくなり、コマ収差の発生が少なくなる。

なお、第１０実施例では、同かい合った凹面により構成
されたレンズ群を３組配置することによってペッツバー
ル和をさらに小さくしている。

また、第７実施例から第９実施例はレーザー等の非常に
波長幅のせまい単色の光源用のもので、単一硝材によっ
て構成されている。

これらの実施例では、像側開口数（ＮＡ）を０．４５以
上の大きな値にするために、向かい合った凹面により構
成された２組のレンズ群の物体側に配置した少なくとも
２枚の正の屈折力を有するレンズ群のさらに物体側に、
少なくとも１枚の負の屈折力を有するレンズ群を配置し
た。これは前記物体側の少なくとも２枚の正の屈折力を
有するレンズ群で発生するコマフレアーを補正するため
のものである。更に、向かい合った凹面により構成され
た２組のレンズ群の間のレンズ群の正の屈折力を強くし
て向かい合った凹面の屈折力を適切なものとしている。

第９実施例は、入射瞳を無限遠にした両側テレセントリ
ックな投影レンズとなっている。

以下、各実施例のデータを示す。

！よ塞施ヨｆ−２１１，４８ＮＡ−０，２ＩＨ−８７，５Ｌ−１０
０００Ｂ−３６８，０１５３に−１８，１８５λ−４３
６ｎｍＲ１−２９０，０７９Ｄ　１−１７．５００　　　Ｎ　１−ＩＪ９２９９Ｒ２
−１３８，４９８Ｄ２−　８．８４６Ｒ３−５０７，３１７ＤＢ−１７，５００Ｎ２−１．７１７５６Ｒ４−ω Ｄ４−２１．２１５Ｒ５−−１２９，０５８Ｄ　５−４１．３０１　　　Ｎ　３−１．５９９５３Ｒ
６−２３９，８０１Ｄ６−８９．４６４　　　Ｎ４−１．５２８１３Ｒ７−
−２０１，４８５Ｄ７−１２．８９６Ｒ８−ｏＯＤ８−２２．５００　　　Ｎ５−１．５２６１ＳＲ９−
−３９４，８４０Ｄ９−　１．２５０ＲＩＯ−２９２，４８１ＤＩＯ−２５，０００Ｎ６−１．５２６１３Ｒ１１−−
６１０，１９２Ｄｌｌ−１，２５０Ｒ１２−２５０，０６１ＤＩ２−２７．５００　　　　Ｎ７−１．５２８１３Ｒ
１３−−７４６，６３１Ｄ１３−　３５．９１３Ｒ１４−１６５，３３７Ｄ１４−３９．１７８　　　Ｎ８−１．５２６１３Ｒ１
５−−１７８，４３０Ｄ１５−１３．７５０　　　　Ｎ９−１．５９９５３Ｒ
１６−１０３Ｊ７１Ｄ１６−９９．９１１Ｒ１７−−９７，７５２Ｄ１７−１０．０００　　　　Ｎ１０−１．５４５２９
Ｒ１８−３４３，１３７Ｄ１８−１３．６９１Ｒ１９−−３４１４２７Ｄ１９−１８．７５０　　　Ｎ１１−１．７１２２１Ｒ
２０−−１５５，９５８Ｄ２０−　３５．８６３Ｒ２１−１３２，６２５Ｄ２１−２７．５００　　　　Ｎ１２−１．５２６１３
Ｒ２２−ω Ｄ２２−　１．２５０Ｒ２８−２３９，４０２Ｄ２！３−２０．０００　　　　Ｎ１８−１．８１５２
９Ｒ２４−ｏ。

Ｄ２４−　１．２５０Ｒ２５−２１９，０４７Ｄ２５−４８．５１９　　　　Ｎ１４−１．６１５２９
Ｒ２６−（Ｘ）Ｄ２６−　７．０１４Ｒ２７−−２３４，９２３Ｄ２７−　１０．０００　　　　Ｎ１５−１．７１７５
６Ｒ２８−２５９，５１８ φｌ　　（Ｒ２）　−−０，００５、φ２　　（Ｒ５）
　−−０，００４Ｂφ１　　（Ｒ１Ｂ　）　−−０，０
０５８，φ２　　（Ｒ１７）　＝−０，００５６第２実
施例ｆ−２１５，０！３　　　ＮＡ−０，１８ＩＨ−５０Ｌ
−１００００Ｂｌ１３６．０９４　５Ｋ−１５，０００
λ−４３６ｎｍＲ１−４２７，１９７Ｄ　Ｉ　−１５，０００Ｎ　１−１．５７０８２Ｒ２−
１４７，５７８Ｄ２−１９．８８８　　　　Ｎ２−１．６２８８４Ｒ３
−ω ＤＢ−３，７５０Ｒ４−１５６，４００Ｄ４−１５．０００　　　Ｎ３−１．６２３６４Ｒ５−
９５，６７９Ｄ５−　２３．１１８Ｒ６−−１０８，８４６Ｄ６−１５．０００　　　Ｎ４−１．６１５２９Ｒ７−
−９０，４１３Ｄ　７−　９．６４３Ｒ８−−８３，２７４Ｄ８−２７．２１９　　　　Ｎ５−１．５９９５３Ｒ９
−４２Ｂ、４８９Ｄ　９−４３．１５７　　　　Ｎ　６−１．５２６１３
ＲＩＯ−−１５９，１９９ＤＩＯ−４４４４７Ｒ１１−８２５，６４６Ｄｌｌ−２２，４４２Ｎ７−１．６３６１９Ｒ１２−−
２８２，３６０Ｄ１２−　１．２５０Ｒ１８−２２７，０４５Ｄ１３−３１．２１８　　　　Ｎ８−１．８１５２９Ｒ
１４−−７４９，００８Ｄ１４−４３．１６６Ｒ１５−１８４，７１８Ｄ１５−８０．１４０　　　　Ｎ９−１゜５２６１３Ｒ
１６−−２２７，７１８ＤＩＯ−１５，０００Ｎ１０−１．６６３６２Ｒ１７−
１３３，５６８Ｄ１７−１２１．１４６Ｒ１８−−１０１，１５７Ｄ１８−１５．０００　　　　Ｎ１１−１．５８４０６
Ｒ１９−８７５，０００Ｄ１９−　８．５９２Ｒ２０−−４７５，２９１Ｄ２０−２０．［１００Ｎ１２−１．７１２２１Ｒ２１
−−２１４，９５８Ｄ２１−　１．２５０Ｒ２２−ＩＢ７．７５４Ｄ２２−　３！３．３８３　　　　Ｎ１３−１．５４５
２９Ｒ２８−−４４９，１４４Ｄ２３−　１．２５０Ｒ２４−４９０，４４８Ｄ２４−　２１．２５０　　　　Ｎ１４−１．７１２２
１Ｒ２５−−８４７，５６８Ｄ２５−　１．２５０Ｒ２６−２８９，４４３Ｄ２６−２０．０００　　　　Ｎ１５−１．７１２２１
Ｒ２７−ω Ｄ２７−　７．３３８Ｒ２８−−３８６，５９０Ｄ２８−　１５．０００　　　　Ｎ１６−１．５２６１
３Ｒ２９−８７５，０００Ｄ２９−　１１．６１０Ｒ３０−−２０８，６８４Ｄ８０−　１２．５００　　　　Ｎ１７−１．５２６１
３Ｒ３１−■ φ１　　（Ｒ５）　−−０，００８５，φ２　　（Ｒ８
）　−−０，００７２φ１（Ｒ１７）　＝−０，００５
、φ２　　（Ｒｌｇ　）　−−０，００５８！旦叉豊泗ｆ−３１０，ＨＮＡ−０，１１ＥＩ−８８Ｌ−１０００
０Ｂ−２８０，８１３６に−１５，００λ−４３６ｎｍ
Ｒ１−２９２，６２０Ｄ　１−１８．８１１　　　　Ｎ　１−１．５７０８２
Ｒ２−−１５９，１６６Ｄ２−　１５．０００　　　　Ｎ２−１．６２３６４Ｒ
３−１８６９，７１３Ｄ３−　１．２５０Ｒ４−１１４，７３４Ｄ　４−１５．０００　　　　Ｎ　３−１．６２８６４
Ｒ５−８１，５３１Ｄ５〜１９．３１９Ｒ６−−８９，３７９Ｄ６−２８．９１ｆ３　　Ｎ４−１．６１５２９Ｒ７−
−８７，７７９Ｄ７−１４．２１４Ｒ８−−７９，１７６Ｄ８−１５．０００　　　Ｎ５−１．５９９５８Ｒ９−
−８７，３０４Ｄ９−２１．３７９　　　　Ｎ６−１．５２６１３ＲＩ
Ｏ−−１５０，０１４ＤＩＯ−３３，４３８Ｒ１１−７１２，０８２Ｄｌｌ−２４，９５０Ｎ７−１．６３６１９Ｒ１２−−
２８９，５２９Ｄ１２−　１．９４６Ｒ１３−３２１，４０９Ｄ１３−８１．２６８　　　　Ｎ８−１．６１５２９Ｒ
１４−−１１８，０６４Ｄ１４−　２６．０９７Ｒ１５−１９４，５００Ｄ１５−８９．４０８　　　　Ｎ９−１．５２６１ＳＲ
１６〜−１８１，６７０ＤＩＯ−１５，２５１Ｎ１０−１．６６８６２Ｒ１７−
１３３，９０８Ｄ１７−１３１．３１０Ｒ１８−−１１Ｌ５６１Ｄ１８−　１５．０００　　　　Ｎ１１−１．５８４０
６Ｒ１９−−１７５，９１２Ｄ１９−　　！３５．７１ＢＲ２０−−１２２，１７１Ｄ２０−１５．０００　　　Ｎ１２−１．７１２２１Ｒ
２１−−２３２，８２３Ｄ２１−４２．０８６Ｒ２２−７７８，４７０Ｄ２２−　３１．４４９　　　　Ｎ１３−１．５４５２
９Ｒ２３−−３５６，７４９Ｄ２３−　１．２５０Ｒ２４−１０８６，８６４Ｄ２４−２７．３０２　　　　Ｎ１４−１．７１２２１
Ｒ２５−−４５０，１３３Ｄ２５−　１．２５０Ｒ２８−４８９，０Ｂ５Ｄ２６−３０．７５１　　　　Ｎ１５−１．７１２２１
Ｒ２７−−４８８，２２４Ｄ２７−　４．４１５Ｒ２８−−４０２，４５８Ｄ２８−１５．０００　　　　Ｎ１６−１．５２６１３
Ｒ２９−４８６，５４４Ｄ２９−　１９．９６５Ｒ３０−−４６１，６５２Ｄ３０−１２．５００　　　　Ｎ１７−１．５２８１８
Ｒ３１−Ｃ０ φ１（Ｒ５）−０，００７８，φ２　　（Ｒ８）−０，
００７６φ１（Ｒ１７）−−０，００４９５，φ２　　
（Ｒ２０）−０，００５８！丘叉施贋ｆ−１３１，３５ＮＡ−０，４２Ｉｎ−１７，８Ｌ−１
００００Ｂ−２３３，４９４３に−１９，７Ｂ２　　　
　λ−８６５ｎｍＲ１−ｏ。

Ｄ　１−２５．０１４　　　　Ｎ１−１．６６８５０Ｒ
２−−５４０，１７２Ｄ２−０．５０２Ｒ３−３１４，０１３Ｄ　３−２！３．５６１　　　　Ｎ　２−１．５３６０
７Ｒ４−１０５２，５３６Ｄ４−　０．５００Ｒ５−１４１，６９６Ｄ５−２８．８９４　　　　Ｎ３−１．６６６５０Ｒ６
−２５０，７２５Ｄ６−１６．２００　　　Ｎ４−１．６２７４７Ｒ７−
８２，０５５Ｄ７−２３．２８７Ｒ８−−２４８，４９２Ｄ８−　９．７４３　　　Ｎ５−１．５３８０７Ｒ９−
１５５，０７８Ｄ９−４２．１６５Ｒ１０−１４１１，３１１ＤＩＯ−４３，２６５Ｎ６−１．５３６０７Ｒ１１−−
１９７，０１６Ｄｌｌ−０，７２０Ｒ１２−１８８７，２２３ＤＩ２−　９．９９２　　　　Ｎ７−１．５３６０７Ｒ
１３−１２８，９２３Ｄ１３−２６．２９５Ｒ１４−−８３，８５４Ｄ１４−２９．９８５　　　Ｎ８−１．６！１１５９５
Ｒ１５−１７９，１２７Ｄ１５−５２．３２９　　　　Ｎ９−１．５３６０７Ｒ
１８−−１５３，９３８Ｄ１６−１２．０６７Ｒ１７−〜４０５．３９２Ｄ１７−２１．２２３　　　Ｎ１０−１．５！３６０７
Ｒ１８−−２３６，１９１Ｄ１８−　０．１６６Ｒ１９−４８７，３２３Ｄ１９−２６．０９９　　　Ｎ１１−１．５３６０７Ｒ
２０−−４６８，３１３Ｄ２０−８９．６５２Ｒ２１−３０４，３１１Ｄ２１−３３．３８２　　　Ｎ１２−１．５３６０７Ｒ
２２−−７１６，６９２Ｄ２２−　０．６２７Ｒ２３−２３０，３９！３Ｄ２３−３０．３５０　　　Ｎ１３−１．５３６０７Ｒ
２４−１０１３，５６６Ｄ２４−　２．４９１Ｒ２５−１２９，１７１Ｄ２５−４５．４２１　　　Ｎ１４−１．５３６０７Ｒ
２６−−２８５，！３０２Ｄ２６−　１０．０８７　　　　Ｎ１５−１．６１９３
６Ｒ２７−８０，３５０Ｄ２７−４６．０３８Ｒ２８−−１２７，９４１Ｄ２８−　９．７８８　　　　Ｎ１Ｂ−１，６２７５７
Ｒ２９−１５１，５２３Ｄ２９−　５．８５３Ｒ３０−４０９，６７９Ｄ３０−３２．３２２　　　　Ｎ１７−１．５３６０７
Ｒ３１−−１９６，９６８Ｄ３１−　３．７０３Ｒ３２−８７，９３６Ｄ３２−４９．１１８　　　　Ｎ１８−１．５８６０７
Ｒ３３−−５５２，４３３Ｄ３８−　０．６４２Ｒ３４−８８，９０９Ｄ！３４−３１．１９５　　　Ｎ１９−１．５８６０７
Ｒ３５−ω Ｄ８５−　８．９８２Ｒ３６−−１７１，３８３Ｄ３Ｂ−１０，１１７Ｎ２０−１．６６６５１Ｒ３７−
ｃ。

φ１　　（Ｒ７）　−−０，００７７、φ２　　（Ｒ８
）　−−０，００２２φ１　　（Ｒ１８）　＝−０，０
０４２，φ２　　（Ｒ１４）　−−０，００８０φｓ　
　（Ｒ２７）　−−０，００７７゜！旦人達名ｆ−１２５，５１ＮＡ−０，５５１Ｈ−１７，８Ｌ−１
００００Ｂ−２０９，７９１６に−１５，ＱＯＯλ−３
６５ｎｍＲ１−−１６０，８７１Ｄ　１−１２．５００　　　　Ｎ　１−１．５８５７７
Ｒ２−３０４２，２３７Ｄ２−８７．５４８　　　　Ｎ２−１．６８１１６Ｒ３
−−２７６，９７２Ｄ３−　１．２５０Ｒ４−９２４，２４９０４−２６，１０８Ｎ３−１．７０８２８Ｒ５−−５１
７，８３６Ｄ５−　１．２５０Ｒ６−３８０，９０８Ｄ６−２７．２４７　　　　Ｎ４−１．７０８２６Ｒ７
−１２８４，９８１Ｄ７−１．２５０Ｒ８−２９１，７３６Ｄ８−５１．１７５　　　　Ｎ５−１．６４１７７Ｒ９
−−１２！１１．６８０Ｄ　９−２２．９３５　　　　Ｎ　６−１．６４０３５
ＲＩＯ−７５，０１５ＤＩＯ−３１，１０２Ｒ１１−−Ｌ３６．１４１Ｄｌｌ−１２，５００Ｎ７−１．５３５７７Ｒ１２−１
９８，９３２ＤＩ２−　１．２５０Ｒ１３−１５８，７１３Ｄ１３−７５．８９６　　　　Ｎ８−１．６９３７７Ｒ
１４−−１３５，１９９Ｄ１４−　４．３９６Ｒ１５−−１０８，３５６Ｄ１５−１２．５００　　　　Ｎ９−１．５５８８１Ｒ
１Ｂ−１７４，６８５ＤｌＢ−３３，８８５Ｒ１７−−８０，５４２Ｄ１７−１２．５００　　　　Ｎ１０−１．６６６４０
Ｒ１８−１０５７，５９９ＤｌＢ−４３，８７６Ｎ１１−１．５３５７７Ｒ１９−
−１３６，８３６Ｄ１９−　１．２５０Ｒ２０−−８５０，８７５Ｄ２０−２６．０６９　　　　Ｎ１２−１．６５５９９
Ｒ２１−−１９５，２８６Ｄ２１−　１．２５０Ｒ２２−１９８４，４２２Ｄ２２−　３８．９９９　　　　Ｎ１３−１．６０１８
９Ｒ２８−−２５８，１５４Ｄ２Ｂ−１，２５０Ｒ２４−３６１，２４４Ｄ２４−　３４．４６９　　　　Ｎ１４−１．６７７１
７Ｒ２５−１０５７，８９３Ｄ２５−　１．２５０Ｒ２Ｂ−１９６，４９１Ｄ２６−　８５．２１８　　　　Ｎ１５−１．６０７６
３Ｒ２７−１２０６，６４０Ｄ２７−　１．２５０Ｒ２８−１３７，４７１Ｄ２８−５４．１９４　　　　ＮＩＢ−１，５３５７７
Ｒ２９−−６０９，６！３５Ｄ２９−１２．５００　　　　Ｎ１７−１．６７５０８
Ｒ８０−９０，４２４Ｄ８０−　１８．５７１Ｒ３１−１１０４４，５７５Ｄ３１−１２．５００　　　Ｎ１１！−１，８８６４０
Ｒ３２−９８，３２８Ｄ３２−１２．２４１Ｒ８Ｂ−５９２，７５５Ｄ３３−１７．！１１３５　　　Ｎ１９−１．７０８２
６Ｒ３４−−４８５，８２４Ｄ８４−　１．２５０Ｒ３５−９５，９３２Ｄ３５−７！３．２１３　　　　Ｎ２０−１．６２９３
０Ｒ３６−１２４，１９０Ｄ３６−　１．２５０Ｒ３７−５８，２９７Ｄ３７−２１．９９１　　　　Ｎ２１−１．５７０６６
Ｒ３８−■ φ、（Ｒ１０）−０，００８５，φ２　　（Ｒ１１）−
０，００３９φ１（Ｒ１６）−０，００３２，φ２　　
（Ｒ１７）　−０，００８１φ３（Ｒ３０）　＝−０，
００７５゜！旦叉施見ｆ−１２５，４９ＮＡ−０，４５１Ｈ−２０，８Ｌ−１
００００Ｂ−４９，８３４３に−６，６４４λ−３６５
ｎｍＲ１−１８８，１１２Ｄ　１−６５．６０５　　　　Ｎ　１−１．６２７４３
Ｒ２−８８７，９３６Ｄ２−　３．３８４Ｒ３−１４６１，６２０Ｄ　Ｂ　−１３，２８９Ｎ　２−１．６４８６８Ｒ４−
１３７，２０２Ｄ４−　３２．２２８Ｒ５−−４６７，７０２Ｄ　５−　１８．２８９　　　　Ｎ３−１．５８６７５
Ｒ６−３１４，３３９Ｄ６−３８．６５５Ｒ７−５６４，４２０Ｄ７−２９．０８８　　　Ｎ４−１．６６８４０Ｒ８−
−８３８，９１３Ｄ８−０．１６６Ｒ９−２９０，８２４Ｄ　９−２５．７５１　　　Ｎ　５−１．６６６４０Ｒ
１Ｏ−１７１０Ｊ９４ＤＩＯ−０，１６８Ｒ１１−１４４，３３７Ｄｌｌ−２６，９９９Ｎ６−１．６８６４０Ｒ１２−４
２４，８８９ＤＩ２−　ＩＬ２８９　　　Ｎ７−１．６２７４３Ｂ１
ｇ−８０，６９６Ｄ１８−２５．９８５Ｒ１４−１７２２，４４１Ｄ１４−１８．２８９　　　Ｎ８−１．５３５７７Ｒ１
５−２７８，６３５Ｄ１５−２７．９６８ＲｌＢ−−２０２，４７６Ｄ１６−３０．０５０　　　　Ｎ９−１．５３５７７Ｒ
１７−−１４０，８２９Ｄ１７−　０．５！３２Ｒ１８−−１６Ｌ２７７Ｄ１８−１３．２ＨＮ１０−１．６２７４３Ｒ１９−２
１８，９０３Ｄ１９−２９．５０４Ｒ２０−−８３，２４８Ｄ２０−１３．２８９　　　Ｎ１１−１．６６６４ＯＲ
２１−２８３，７７５Ｄ２１−５４．７４８　　　Ｎ１２−１．５３５７７Ｒ
２２−−１４８，０１４Ｄ２２−　０．２！３８Ｒ２３−１１２４，８７６Ｄ２３−２２．６５８　　　Ｎ１３−１．５３５７７Ｒ
２４−−３１８，９１８Ｄ２４−　０．１６６Ｒ２５−１４５８，４９５Ｄ２５−２４．２２２　　　Ｎ１４−１．５３５７７Ｒ
２６−−３３０，４７１Ｄ２６−　０．１６［）Ｒ２７−７５５，８２９Ｄ２７−３６．６１１　　　　Ｎ１５−１．６２７４３
Ｒ２８−−２７８，９１４Ｄ２８−　０．１６６Ｒ２９−２５５，０７０Ｄ２９−　２９．６６６　　　　　ＮＩＢ−１，６２７
４８Ｒ３０−５５５９，５４４Ｄ３０−　０．２５２Ｒ３１−１４２，６４３Ｄ３１−７３．１２７　　　Ｎ１７−１．５３５７７Ｒ
３２−−３３８，７６６Ｄ３２−　１３．２８９　　　　Ｎ１８−１．６３８０
９Ｒ３８−８３，１７４Ｄ３８−　１９．３２８Ｒ３４−−２８０，６７５Ｄ８４−　１３．２８９　　　　Ｎ１９−１．６３６０
９Ｒ３５−１６５，０９５Ｄ３５−　６．２１２Ｒ３６−９８６，３４３Ｄ３６−４６．４６７　　　Ｎ２０吋、６６６４５Ｒ３
７−−３０６４５２Ｄ３７−　０．１６６Ｒ８Ｂ−１５３，９０７Ｄ３８−９０．９１６　　　　Ｎ２１−１．６２７４３
Ｒ３９−３８４，７１８Ｄ３９−　０．１６６Ｒ４０−９５，７９２Ｄ４０−２６．８５９　　　　Ｎ２２−１．５８５７７
Ｒ４１−Ｃ０Ｄ４１−　０．１６６Ｒ４２−９８，９５４Ｄ４２−　５１．６５８　　　　Ｎ２３−１．６１９３
５Ｒ４３−９２６，３３３Ｄ４３−　８．８７７Ｒ４４−−２７２，３５０Ｄ４４−１８．２８９　　　　Ｎ２４−１．６６６４０
Ｒ４５−ｃ。

φ１（ＲＩＳ）　−−０，００７８，φ２　　（Ｒ１６
）　−−０，００２７φ、（Ｒ１９）　−−０，０ｆ）
２９．　　φ２　　（Ｒ２０）−−０，００８０φき　
（Ｒ３３）−０，００７７゜！ヱ去晟ヨｆ−９２，５６ＮＡ、−０，４８Ｉｎ−１８，Ｌ　　Ｌ
−１００００Ｂ−１５０，０００８に−１５，０４６λ
−２４８ｎｍＲ１−１４３９，０９２Ｄ　１−１３．８７６　　　　Ｎ　１−１．５０８３８
Ｒ２−−９８０，３６０Ｄ２−　０．１２５Ｒ３−６６６，０ＨＤ３−１２．５００　　　　Ｎ２−１．５０８！１１８
Ｒ４−１８２，０８４Ｄ４−　１４．１１２Ｒ５−１８９６，２００Ｄ５−１２．５００　　　Ｎ３−１．５０８３８Ｒ６−
２１２，１７８Ｄ６−６６．６９６Ｒ７−８８３，２１３Ｄ７−２６．２２５　　　　Ｎ４−１．５０８３８Ｒ８
−−４０５，６０３Ｄ８−　０．１２５Ｒ９−２７８，８９６Ｄ　９−２５．７５９　　　　Ｎ　５−１．５０８３８
ＲＩＯ−−６７１，９５４ＤＩＯ−０，１２５Ｒ１１−２１２，１８６Ｄｌｌ−３３，９７６Ｎ６−１．５０８３８Ｒ１２−−
５４！１．３８５Ｄ１２−　０．１２５Ｒ１８−２０１０，７３０ＤｌＢ−１２，５００Ｎ７−１．５０８３８Ｒ１４−８
４，５４９Ｄ１４−　３３．０３９Ｒ１５−−１２４，２５５Ｄ１５−　１２．５００　　　　Ｎ８−１．５０８３８
ＲＩＢ−１５２，１１３ＤｌＢ−１９，７４５Ｒ１７−１２７５，４５０Ｄ１７−１３．０５０　　　　Ｎ９−１．５０８３８Ｒ
１８−−６２７，００３ＤｌＢ−１５，８２３Ｒ１９−７３２，６７７Ｄ１９−１７．２６２　　　　Ｎ１０−１．５０８３８
Ｒ１８−−６２７，００３Ｄ１８−１５．８２８Ｒ１９−７３２，８７７Ｄ１９−１７．２６２　　　　Ｎ１０−１．５０８３８
Ｒ２０−−３９３，７６５Ｄ２０−　０．１２５Ｒ２１−４４９，２２０Ｄ２１−２６．８１９　　　Ｎ１１−１．５０８３８Ｒ
２２−−１７８，７７９Ｄ２２−５３．４９９Ｒ２８−３８５，０３３Ｄ２８−１２．５００　　　　Ｎ１２−１．５０８３８
Ｒ２４−１１８，６３５Ｄ２４−２５．３００Ｒ２５−−９９，９８８Ｄ２５−３８．７８２　　　Ｎ１３−１．５０８３８Ｒ
２Ｂ−１３５９，５０８Ｄ２６−　８７．５２８Ｒ２７−−９２２，８７８Ｄ２７−４０．１１０　　　　Ｎ１４−１．５０８３８
Ｒ２８−−２０１，８３６Ｄ２８−　０．１２５Ｒ２９−１２７５，４９９Ｄ２９−２９．６８８　　　　Ｎ１５−１．５０８３８
Ｒ３０−−２５７，０２４Ｄ３０−　０．１２５Ｒ３１−８２６，９８９Ｄ３１−３０．４８２　　　　Ｎ１６−１．６０８３８
Ｒ３２−−８８１，９３８Ｄ３２−　０．１２５Ｒ３８−１７７，２８５Ｄ３３−　２６．４８０　　　　Ｎ１７−１．５０８３
８Ｒ３４−５００，９０７Ｄ３４−　０．１２５Ｒ３５−１２１，９９１Ｄ３５−　６１．１５２　　　　Ｎ１８−１．５０８８
８Ｒ８６−７０，６２８Ｄ３Ｂ−２６，８９４Ｒ３７−１２９９，５０８Ｄ８７−１２．５００　　　Ｎ１９−１．５０８３８Ｒ
３ｇ−２０８４，３２２Ｄ３８−　　０．１２５Ｒ３９−６０，８５４Ｄ３９−１４．１５２　　　　Ｎ２０−１．５０８３８
Ｒ４０−６２，ｔ３７Ｄ４０−１１．０２２Ｒ４１−１３４，！１７３Ｄ４１−２７．！３９７　　　Ｎ２１−１．５０８３８
Ｒ４２−１８３，０４８Ｄ４２−　０．１２５Ｒ４３−６８，０７３Ｄ４３−１６．３３７　　　Ｎ２２−１．５０８３８Ｒ
４４−！１１５６．０６９Ｄ４４−　３．４２７Ｒ４５−−２８６，６７０Ｄ４５−１０．０００　　　Ｎ２！３−１．５０８．９
８Ｒ４６−７５０１，４４４ φ１（Ｒ１４）−０，００６０，ｌ；６２　　（Ｒ１５
）−−０，００４１φｌ　　（Ｒ２４）−−０，００４
３，φ２　　（Ｒ２５）−０，００５１φ３（Ｒ３６）
　＝−０，００７２゜夏旦大豊画ｆ−９１，０９ＮＡ〜　０．４８　　　１Ｈ−１８，Ｉ
　　　Ｌ−１００００Ｂ−１３６，３４１３に−１４，
８１２λ−２４８ｎｍＲ１−１３３２，７１５Ｄ　１−１９．８１８　　　　Ｎ　１−１．５０８３８
Ｒ２−−５８５，０３８Ｄ２−　０．１２５Ｒ，３−１２１３，５５６Ｄ３−１２．５００　　　　Ｎ２−１．５０８３８Ｒ４
−１７８，０９４Ｄ４−　１７．６１４Ｒ５−１７３７，４０７Ｄ　５−１２．５００　　　Ｎ　３−１．５０８３８Ｒ
６−２１７，５７７Ｄ６−８８．８７５Ｒ７−３９８，８６８Ｄ７−２７．７００　　　Ｎ４−１．５０Ｈ８Ｒ８−−
４１４，４１１Ｄ８−０．１２５Ｒ９−２７３，３６５Ｄ　９−２４．０６０　　　　Ｎ　５−１．５０８３８
ＲＩＯ−−６９４，６５７ＤＩＯ−０，１２５Ｒ１１−２１４，７００Ｄｌｌ−３２，８８２Ｎ６−１．５０８３８Ｒ１２−−
５２１，８９８Ｄ１２−　１．０６０Ｒ１３−３６３６，６５２Ｄ１３−　１２．５００　　　　Ｎ７−１．５０８３８
Ｒ１４−８５，８２３Ｄ１４−　３１．８２５Ｒ１５−−１２４，７８７Ｄ１５−１２．５００　　　Ｎ８−１．５０８３８Ｒ１
Ｂ−１５１，４０１Ｄ１６−　１９．８０５Ｒ１７−１２３３，９６８Ｄ１７−１３．０９２　　　Ｎ９−１．５０８３８Ｒ１
８−−６３１，５６７Ｄ１８−　１５．８４３Ｒ１９−７０３，４２８Ｄ１９−１７．０３０　　　　Ｎ１０−１．５０８３８
Ｒ２０−−４０２，５３０Ｄ２０−　０．１２５Ｒ２１−４４２，２７６Ｄ２１−２９．０２８　　　　Ｎ１１−１．５０１１３
８Ｒ２２−−１８０，３１９Ｄ２２−　５２．６９３Ｒ２３−！１１Ｂ２．７１１Ｄ２３−１２．５００　　　　Ｎ１２−１．５０８３８
Ｒ２４−１１８，１６８Ｄ２４−　２５．７４９Ｒ２５−−１００，２８７Ｄ２５−３８．２２７　　　　Ｎ１８−１．５０８３８
Ｒ２６−ｌ００３．８０１Ｄ２６−３７．６６９Ｒ２７−１２４０，５６６Ｄ２７−４０．８７９　　　　Ｎ１４−１．５０８３８
Ｒ２８−−２０３，２０９Ｄ２８−　０．４０４Ｒ２９−１２７６，４９９Ｄ２９−８０．３６４　　　　Ｎ１５−１．５０８３８
Ｒ３０−−２５７，８８４Ｄ８０−　０．１２５Ｒ３１−３２１，０５６Ｄ３１−２９．３６１　　　　Ｎ１Ｂ−１，５０８３８
Ｒ３２−−６９１４５５Ｄ３２−　０．１２５Ｒ３３−１７２，６６２Ｄ３３−　３０．０５８　　　　Ｎ１７−１．５０８３
８Ｒ３４−４６６，２８４Ｄ３４−　０．１２５Ｒ３５−１１９，０５４Ｄ３５−５５．５５６　　　Ｎ１８−１．５０８３８Ｒ
３Ｂ−７０，１５７Ｄ３６−　２６．６８０Ｒ３７−１４００，３９３Ｄ３７−　１２．５００　　　　Ｎ１９−１．５０８３
８Ｒ３８−１６６３，５２０Ｄ３８−　０．１２５Ｒ３９−６０，９５５Ｄ３９−１４．６２１　　　　Ｎ２０−１．５０８３８
Ｒ４０−６２，６５６Ｄ４０−　１１．８０１Ｒ４１−１３７，３１２Ｄ４１−２８．７５３　　　　Ｎ２１−１．５０８３８
Ｒ４２−１３１，４２５Ｄ４２−　０．１２５Ｒ４３−６８，４６５Ｄ４３−１８．４７９　　　　Ｎ２２−１．５０８３８
Ｒ４４−４３４，０２８Ｄ４４−　２．９９７Ｒ４５−−２４４，４５７Ｄ４５−１０．０００　　　Ｎ２８−１．５０８３８Ｒ
４６−４６７２，８４９Ｄ４６−　１４．８１２ φ□　（Ｒ１４）　−−０，００５９，φ２　　（Ｒ１
５）　−−０，００４１φ１　　（Ｒ２４）−−０，０
０４３，φ２　　（Ｒ２５）　−−０，００５１φ３（
Ｒ３Ｂ）　−−０，ＯＯ’７８゜！立大農画ｆ−１３０１，９８ＮＡ−０，４８Ｉｎ−１４，５Ｌ−
１００００Ｂ−１６３，３８４８１−１２，４２０λ−
２４８ｎｍＲ１−７８５，２８７Ｄ　１−１０．０００　　　Ｎ　１−１．５０８３８Ｒ
２−２２Ｂ、４９６Ｄ２−３５．２０７Ｒ３−３３８，１０ｉ１１Ｄ　Ｂ　−８Ｌ１１９　　　Ｎ　２−１．５０８！１１
８Ｒ４−−４２７，６９７Ｄ４−０．１００Ｒ５−２２０，６１ｉ２Ｄ　５−３２．８７８　　　　Ｎ　３−１．５０８３８
Ｒ６−１６８９，４４０Ｄ６−　〇。１００Ｒ７−５３８，５６５Ｄ７−１６．６３６　　　　Ｎ４−１．５０８３８Ｒ８
−２９９８，１１ＢＤ８−４２．３１０Ｒ９−１７９８，９４８Ｄ　９−４３．８６９　　　Ｎ　５−１．５０８３８Ｒ
ＩＯ−８６，５９４ＤＩＯ−２８，４３７Ｒ１１−−１９１，４５９Ｄｌｌ−１０，０００Ｎ６−１．５０８３８Ｒ１２−−
３６５，４２６Ｄ１２−　６．２０８Ｒ１３−２０５，４２８ＤｌＢ−２１，８４７Ｎ７−１．５０８！３８Ｒ１４−
−２３５，０７８Ｄ１４−　〇。１００Ｒ１５−１４０，２４９Ｄ１５−２９．０４２　　　Ｎ８−１．５０８３８Ｒ１
６−７１，９６２ＤｌＢ−２８，２２８Ｒ１７−−１０３，３５２Ｄ１７−１０．０００　　　Ｎ９−１．５０Ｈ８Ｒ１８
−２９１，８３８Ｄｌｇ−２１，５６８Ｒ１９−−１６９，６４０Ｄ１９−１！３．８５９　　　Ｎ１０−１．５０８３８
Ｒ２０−−１４６，８４５Ｄ２０−　１．２８０Ｒ２１−５４８，４８８Ｄ２１−１４．１８０　　　Ｎ１１−１．５０８８８Ｒ
２２−−２８６，７４１１Ｄ２２−　０．１００Ｒ２３−３７０，４１０Ｄ２８−１７．７９５　　　Ｎ１２−１．５０８３８Ｒ
２４−−１９２，７３３Ｄ２４−　０．１００Ｒ２５−２１１９，７１１Ｄ２５−４６．１９０　　　Ｎ１８−１．５０８３８Ｒ
２６−９８，１１８Ｄ２６−２８．２５１Ｒ２７−−９Ｌ１！３７Ｄ２７−２７．１６８　　　Ｎ１４−１．５０８３８Ｒ
２８−６９８，４１０Ｄ２８−３５．１００Ｒ２９〜−２１９８，５８５Ｄ２９−４１．２００　　　Ｎ１５−１．５０８３８Ｒ
３０−−１８３，５１２Ｄ３０−　５．４５５Ｒ１１１−９６０，８４０Ｄ３１−２８．０００　　　Ｎ１６−１．５０８３８Ｒ
３２−−２４８，０４２Ｄ３２−　０．１００Ｒ３３−２８Ｌ９３１Ｄ３３−２９．４７１　　　Ｎ１７−１．５０８３８Ｒ
３４−−５８２，３５６Ｄ３４−　０．１００Ｒ３５−１４９，９２８Ｄ３５−８７．０４２　　　Ｎ１８−１．５０８３８Ｒ
３６−４６７，４９０Ｄ８Ｂ−０，４８１Ｒ３７−９７，９５１Ｄ！１１７−５０．０００　　　Ｎ１９−１．５０８！
３８Ｒ３８−８２，０８６Ｄ３８−２０．６９７Ｒ３９−８８５７，６６８Ｄ３９−１０．０００　　　　Ｎ２０−１．５０８３８
Ｒ４０−２８９，２７５Ｄ４０−　０．１００Ｒ４１−８６，３４７Ｄ４１−１１．２４２　　　Ｎ２１−１．５０８８８Ｒ
４２−１１７，９８０Ｄ４２−　０．１００Ｒ４３−９６，９０４Ｄ４３−１９．７４１　　　Ｎ２２−１．５０８３８Ｒ
４４−７９，９２８Ｄ４４−　１．５８３Ｒ４５−６１，６６４Ｄ４５−１４．０２４　　　Ｎ２３−１．５０８３８Ｒ
４Ｂ−２７７８，１２７Ｄ４Ｂ−２，２９０Ｒ４７−−１９３，６８４Ｄ４７−　９．０００　　　Ｎ２４−１．５０Ｈ８Ｒ４
８−５４８，８３１ φ１（ＲＩＯ）−０，００５８，φ２（Ｒ１１）−−０
，００２７φ１　　（ＲＩＢ）−−０，００３６，φ２
　　（Ｒ１７）−−０，００７１φ１　　（Ｒ２Ｂ）　
−−０，００５２，φ２　　（Ｒ２７）−−０，００５
５φ３　　（Ｒ３ｇ　）　−−０，００８２゜各実施例
において、Ｒは各面の曲率平径、Ｄは面間隔、Ｎは屈折
率である。また、ｆはレンズ系全体の焦点距離、ＮＡは
像側開口数、ＩＨは像高、Ｌは物像間距離、ＯＢは物体
位置、ＳＫは像位置、λは規準波長、φ（Ｒ）はその面
の屈折力である。

第１実施例ないし第９実施例の収差補正状態を第１０図
ないし第１８図に示す。

〔発明の効果〕

本発明によれば、広い露光領域とほぼ無収差に近（補正
された高い解像力を持った投影レンズ系を得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第９図はそれぞれ本発明の第１実施例ない
し第９実施例までのレンズ配置を示す断面図、第１０図
ないし第１８図はそれぞれ第１実施例ないし第９実施例
の収差曲線図である。特許出願人　　オリンパス光学工業株式会社第１図第２図第３図第４図第５図第６図第７図第８図Ｎ、Ａ、（＄−Ｉ、（１−１゜球面収笈　　　　　　　非索、隔艦　　　　　　　ｆ龜
ｉ　（Ｘ）コマ収差Ｎ、Ａ、　　　　　　　　　　　　　　　　　　　イ喝
１Ｊ、　　　　　　　　　　　　　　　　　　イ＆ｌＶ
１球！ｉ１収Ｊｌ　　　　　　　　　　　　非〆中、隔
遺

【　　　　　　　　　　　　イ龜りｉ　（％ζ）コマ
収差第１１図Ｎ、Ａ、　　　　　　　　　　像＆　　　　　　　　　
イ＆鳥球ｌｆｌ収逓　　　　　　　１層、隔蒐　　　　
　　　　像歪（’／、）第１２図Ｎ、Ａ　　　　　　　　　　　　　　　　　　イ硼に４
．　　　　　　　　　　　　　　　　　イ１，１−タ球
＾Ｅｌ１４ヌ屋　　　　　　　　　　　　　　　　牡、
＋、隔崖　　　　　　　　　　　　　　　　　イ象歪　
（Ｚ）コマ収幕Ｎ、Ａ、　　　　　　　　　　　　　　　　　イ＆ＡＩ
、　　　　　　　　　　　　　　　　　イ象−Ｌ球ＩＹ
ｕｌＢｉ　）ｉ　　　　　　　　　　　　林、＠、隔遵
　　　　　　　　　　　　　イ本歪（ゴー＝）コマＨ又
差Ｎ、Ａ、　　　　　　　　　　　　　　　　　イ暑−Ｘ
、　　　　　　　　　　　　　　　　　像ＡらＮ、Ａ、
　　　　　　　　　　　　Ｎ、Ａ、　　　　　　　　　
　　　Ｎ、Ａ。コマ＆ｌ′Ｌ）ｉ第１５図Ｎ、Ａ、　　　　　　　　　　　　　　　　　　　イ龜
−Ｉ】　　　　　　　　　　　　　　　　　　イ＆−１
１球ｆｆＧ）１　　　　　　　　　　　　　　　　　　
朴４、ｌ＆Ｘ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
像！　　（％ンコマｑ又基第１６図ＮＡ、イＩＩ−イＩＩ。 −０，００２００，００２−０，００５０００，００５
０−０，０１０００，０１０球面喉巣　　　　　　　４
糾に、隔λ　　　　　　　　ｆ電歪（％）Ｎ、Ａ、　　
　　　　　　　　　　　　Ｎ、Ａ、　　　　　　　　　
　　　　　Ｎ、ＡＮ、Ａ、イ１−一らイ拳１ｈ −０，００２００，００２−０，００２００，００２−
０，０１０００，０１０球面収Ｊｉ　　　　　　　　ｆ
島、轡、隔ル　　　　　　　像歪（％）Ｎ、Ａ、　　　
　　　　　　　　　　Ｎ、Ａ、　　　　　　　　　　　
　　Ｎ、Ａ。コマ収入

Claims

【特許請求の範囲】（１）互いに凹面を向かい合わせたレンズより構成され
たレンズ群を少なくとも２組持ち、この２組のレンズ群
の間に正の屈折力を持つレンズ面を少なくとも１つ備え
ていることを特徴とする投影レンズ系。（２）前記向かい合った凹面の各々の負の屈折力をφ＿
１、φ＿２、物像間距離をＬとするとき、前記２組のレ
ンズ群がいずれも（１）１／Ｌ＜｜φ＿１｜＜２０／Ｌ（２）１／Ｌ＜｜φ＿２｜＜２０／Ｌなる条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の
投影レンズ系。