JPH0415303A - 空気圧制御回路 - Google Patents
空気圧制御回路Info
- Publication number
- JPH0415303A JPH0415303A JP2116823A JP11682390A JPH0415303A JP H0415303 A JPH0415303 A JP H0415303A JP 2116823 A JP2116823 A JP 2116823A JP 11682390 A JP11682390 A JP 11682390A JP H0415303 A JPH0415303 A JP H0415303A
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- JP
- Japan
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- valve
- actuator
- passage
- chamber
- pilot
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- Pending
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- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Fluid-Pressure Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
代産業上の利用分野、〉
本発明は、空気圧により作動するアクチュエータの作動
を制御しアクチュエータの飛出しを防止する機能を備え
た空気圧制御回路に関する。
を制御しアクチュエータの飛出しを防止する機能を備え
た空気圧制御回路に関する。
・〈従来の技術)
空気圧により所要の動作を行なう空気圧シリンダ等のア
クチュエータにおいては、特に初期動作時等にシリンダ
の片側たけに圧力か供給されると、ピストンロッドか暴
走していわゆる飛出し事故を起こすことかある。このよ
うなアクチュエータの飛出しを防止するため、空気圧回
路にパイロット付きチエ・・lクバルブのような飛出し
防止バルブが装備される。従来のこのような飛出し防止
バルブは、アクチュエータの初期動作の時期においてメ
ータイン空気量調整でアクチュエータのスロースタート
を実施し、その後メータアウトの制御に切り換えること
により、アクチュエータの飛出しを防止するものである
。
クチュエータにおいては、特に初期動作時等にシリンダ
の片側たけに圧力か供給されると、ピストンロッドか暴
走していわゆる飛出し事故を起こすことかある。このよ
うなアクチュエータの飛出しを防止するため、空気圧回
路にパイロット付きチエ・・lクバルブのような飛出し
防止バルブが装備される。従来のこのような飛出し防止
バルブは、アクチュエータの初期動作の時期においてメ
ータイン空気量調整でアクチュエータのスロースタート
を実施し、その後メータアウトの制御に切り換えること
により、アクチュエータの飛出しを防止するものである
。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、このような従来の飛出し防止バルブでは
、7クチユエータの排気ボートとメータアウト絞り弁と
の間に圧力のない場合は、初期動作時に空気圧を徐々に
送り込んでスロースタート−ても基本的にメータアウト
側の絞り効果がなく、アクチュエータが飛出してしまう
現象が発生する。
、7クチユエータの排気ボートとメータアウト絞り弁と
の間に圧力のない場合は、初期動作時に空気圧を徐々に
送り込んでスロースタート−ても基本的にメータアウト
側の絞り効果がなく、アクチュエータが飛出してしまう
現象が発生する。
本発明は、このような従来の飛出し防止バルブの欠点を
解消することを意図し、如何なる条件の時でもアクチュ
エータの飛出しを防止することができる空気圧制御回路
を提供することを目的とする。
解消することを意図し、如何なる条件の時でもアクチュ
エータの飛出しを防止することができる空気圧制御回路
を提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段)
上記の目的を達成するために、本発明は、アクチュエー
タ後退時のメータアウト絞り弁を備えると共に、アクチ
ュエータ前進時に空圧源ル)ら電磁切換弁を介して7タ
チユエータの前進室に空気圧を供給する前進通路と、ア
クチュエータ前進時のメータアウト絞り弁を備えると共
に、アクチュエータ後退時に空圧源から電磁切換弁を介
してアクチュエータの後退室に空気圧を供給する後退通
路とからなる空気圧制御回路において、前記後退通路の
メータアウト絞り弁と後退室との間に、空圧源から後退
室への空気の流れのみを許容する第1逆止弁を設ける一
方、アクチュエータの後退室と前記前進通路とを連通ず
るカウンター通路を設けて、このカウンター通路内に後
退室への流れのみ許容する第2逆止弁を設け、前記カウ
ンター通路からメータイン絞り弁を備えたパイロ・ソト
通路を分岐して、このパイロット通路を介して導入され
る空気圧によって駆動されてカウンター通路を閉塞する
と共に、第1逆止弁を押動して後退通路を開成させるパ
イロット弁を設けた構成にしである。
タ後退時のメータアウト絞り弁を備えると共に、アクチ
ュエータ前進時に空圧源ル)ら電磁切換弁を介して7タ
チユエータの前進室に空気圧を供給する前進通路と、ア
クチュエータ前進時のメータアウト絞り弁を備えると共
に、アクチュエータ後退時に空圧源から電磁切換弁を介
してアクチュエータの後退室に空気圧を供給する後退通
路とからなる空気圧制御回路において、前記後退通路の
メータアウト絞り弁と後退室との間に、空圧源から後退
室への空気の流れのみを許容する第1逆止弁を設ける一
方、アクチュエータの後退室と前記前進通路とを連通ず
るカウンター通路を設けて、このカウンター通路内に後
退室への流れのみ許容する第2逆止弁を設け、前記カウ
ンター通路からメータイン絞り弁を備えたパイロ・ソト
通路を分岐して、このパイロット通路を介して導入され
る空気圧によって駆動されてカウンター通路を閉塞する
と共に、第1逆止弁を押動して後退通路を開成させるパ
イロット弁を設けた構成にしである。
東作用、〉
かかる構成にすることによって、前進室に圧力が導入さ
れると、同時に後退室にもカウンター圧が導入されてピ
ストンの突出を確実に防止すると共にパイロット圧でパ
イロ・・Iト弁か作動して第1逆止弁を開放することに
よって後退通路を連通状態にし、この第1逆止弁とメー
タアウト絞り弁によって排気を絞り、アクチュエータ排
気側から排気を徐々に排出させてスロースタートを行な
わせるようになり、アクチュエータのスロースタートを
実施する。
れると、同時に後退室にもカウンター圧が導入されてピ
ストンの突出を確実に防止すると共にパイロット圧でパ
イロ・・Iト弁か作動して第1逆止弁を開放することに
よって後退通路を連通状態にし、この第1逆止弁とメー
タアウト絞り弁によって排気を絞り、アクチュエータ排
気側から排気を徐々に排出させてスロースタートを行な
わせるようになり、アクチュエータのスロースタートを
実施する。
また、バイロント圧の除去によるパイロット弁の作動で
第1逆止弁を復帰させることによって後退通路を遮断し
てカウンター通路の第2逆止弁と共に、アクチュエータ
排気側からの排気を遮断し、アクチュエータを所要位置
に停止させ、アクチュエータ・ピストンの落下を防止す
る。
第1逆止弁を復帰させることによって後退通路を遮断し
てカウンター通路の第2逆止弁と共に、アクチュエータ
排気側からの排気を遮断し、アクチュエータを所要位置
に停止させ、アクチュエータ・ピストンの落下を防止す
る。
・(実施例〉
以下、図面に示した実施例により、本発明の構成をさら
に詳細に説明する。第1図は、本発明による空気圧制御
回路の構成を示した図である。この空気圧制御回路は制
御弁1を備えている。この制御弁1は、第1逆止弁30
とパイロ・γト弁31を備えている。すなわち、円筒状
のバルブボティ2の内孔3は、軸方向上方からチエツク
バルブ室3a、パイロット室3b、パイロット受圧室3
cか連続して形成されており、チエツクバルブ室3 a
’c Rイロソト室3bとの間にはチェンクバルプシ
ート3dか形成され、パイロ−、ト室3bとパイロ・r
ト受圧室3cとの間はパイロットスプール4の摺動孔部
3eになっている。前記バルブボティ2にはチエ・lク
バルブ室3aに連通し且つチエ′Iクハルプシート3d
とは反対側に位置するボー)−20と、パイロット室3
bに連通するボート21と、パイロ・ソト受圧室3cに
連通するボート22ヒ、前記摺動孔部3eに連通するボ
ート2324とか形成しである。
に詳細に説明する。第1図は、本発明による空気圧制御
回路の構成を示した図である。この空気圧制御回路は制
御弁1を備えている。この制御弁1は、第1逆止弁30
とパイロ・γト弁31を備えている。すなわち、円筒状
のバルブボティ2の内孔3は、軸方向上方からチエツク
バルブ室3a、パイロット室3b、パイロット受圧室3
cか連続して形成されており、チエツクバルブ室3 a
’c Rイロソト室3bとの間にはチェンクバルプシ
ート3dか形成され、パイロ−、ト室3bとパイロ・r
ト受圧室3cとの間はパイロットスプール4の摺動孔部
3eになっている。前記バルブボティ2にはチエ・lク
バルブ室3aに連通し且つチエ′Iクハルプシート3d
とは反対側に位置するボー)−20と、パイロット室3
bに連通するボート21と、パイロ・ソト受圧室3cに
連通するボート22ヒ、前記摺動孔部3eに連通するボ
ート2324とか形成しである。
チエ・・Iクバルブスブール5は、下端に円錐形状の着
座部うbを備えており、この着座部5bに通孔5aが設
けである。そして、チエツクバルブスプール5はチエ・
ツクバルブスプリング6によって常時その着座部5bを
チエツクバルブシート3dに押し付けられていて、これ
らで第1逆止弁30を構成している。
座部うbを備えており、この着座部5bに通孔5aが設
けである。そして、チエツクバルブスプール5はチエ・
ツクバルブスプリング6によって常時その着座部5bを
チエツクバルブシート3dに押し付けられていて、これ
らで第1逆止弁30を構成している。
また、パイロットスプール4は、その小径部4dを摺動
孔部3eに、大径部4aをパイロット受圧室3cにそれ
ぞれ摺動可能に嵌合してバルブボディ2に設けてあり、
大径部4aの端面には受圧部4bが形成してあって、パ
イロットスプール4は常時リターンスプリング7によっ
てボート22側に付勢されていて、これらでパイロット
弁31を構成している。また、パイロットスプール4の
くびれ部4cと摺動孔部3eの壁面とで室25を形成し
、この室25にボート23.24か開口している。
孔部3eに、大径部4aをパイロット受圧室3cにそれ
ぞれ摺動可能に嵌合してバルブボディ2に設けてあり、
大径部4aの端面には受圧部4bが形成してあって、パ
イロットスプール4は常時リターンスプリング7によっ
てボート22側に付勢されていて、これらでパイロット
弁31を構成している。また、パイロットスプール4の
くびれ部4cと摺動孔部3eの壁面とで室25を形成し
、この室25にボート23.24か開口している。
図面中8はアクチュエータであり、10は電磁切換弁で
ある。この電磁切換弁10のボート10aは空圧源Pに
接続しである。電磁切換弁10のボート10bは前進通
路Aである配管19を介してアクチエータ8の前進室8
bに接続してあり、この配管19にメータアウト絞り弁
17とチエツク付き減圧弁18とが設けである。
ある。この電磁切換弁10のボート10aは空圧源Pに
接続しである。電磁切換弁10のボート10bは前進通
路Aである配管19を介してアクチエータ8の前進室8
bに接続してあり、この配管19にメータアウト絞り弁
17とチエツク付き減圧弁18とが設けである。
また、電磁切換弁10のボート10cは配管11を介し
て制御弁1のボート21に接続してあ「〕、この配管1
1にメータアウト絞り弁12が設けてあり、また、制御
弁1のボート20は配管9を介してアクチエータ8の後
退室8aに接続してあって、配管11、ボート21、第
1逆止弁30、ボート20.配管9で後退通路Bを構成
している。
て制御弁1のボート21に接続してあ「〕、この配管1
1にメータアウト絞り弁12が設けてあり、また、制御
弁1のボート20は配管9を介してアクチエータ8の後
退室8aに接続してあって、配管11、ボート21、第
1逆止弁30、ボート20.配管9で後退通路Bを構成
している。
また、電磁切換弁10のボート10bは配管14を介し
て制御弁1のボート23に接続してあり、制御弁1のボ
ート24は華2逆止弁13、配管26を介してアクチュ
エータ8の後退室8aに接続してあり、この電磁切換弁
10のボート1゜bから後退室8aに至る通路がカウン
ター通#rcに成されている。
て制御弁1のボート23に接続してあり、制御弁1のボ
ート24は華2逆止弁13、配管26を介してアクチュ
エータ8の後退室8aに接続してあり、この電磁切換弁
10のボート1゜bから後退室8aに至る通路がカウン
ター通#rcに成されている。
さらに−電磁切換弁10のボート10bはパイロット通
路りである配管16を介して制御弁1のボート22に接
続してあQ 、この配管22にメータイン絞り弁15が
設けである。
路りである配管16を介して制御弁1のボート22に接
続してあQ 、この配管22にメータイン絞り弁15が
設けである。
上記のように構成された空気圧制御回路は、電磁切換弁
10の空圧切換操作に従って、下記のように作動する。
10の空圧切換操作に従って、下記のように作動する。
第2図乃至第5図は、アクチュエータ8の作勤め各工程
を示した乙ので、各図に大実線ならびに矢印で示した経
路が空圧の送給経路を示すものである。
を示した乙ので、各図に大実線ならびに矢印で示した経
路が空圧の送給経路を示すものである。
第2図はアクチュエータ8の前進準備時を示しており、
この時、電磁切換弁10からの空気圧は、配管19を通
じてアクチュエータ8の前進室8bに入り、ピストン8
cを前進方向に付勢すると同時に、カウンター通路C1
すなわち、配管14、ボート23、バイロントスブール
4側の室25゜ボート24.配管26を経てアクチュエ
ータ8の後退室8aにカウンター圧となって入る。パイ
ロ・ソトスプール4の受圧部4bにはパイロット通路D
、すなわち、配管16からの空気圧(バイロフト弁)が
作用している。
この時、電磁切換弁10からの空気圧は、配管19を通
じてアクチュエータ8の前進室8bに入り、ピストン8
cを前進方向に付勢すると同時に、カウンター通路C1
すなわち、配管14、ボート23、バイロントスブール
4側の室25゜ボート24.配管26を経てアクチュエ
ータ8の後退室8aにカウンター圧となって入る。パイ
ロ・ソトスプール4の受圧部4bにはパイロット通路D
、すなわち、配管16からの空気圧(バイロフト弁)が
作用している。
第3図はアクチュエータ8の前進作動時を示しており、
この時、パイロット弁31のパイロットスプール4は前
記配管16からのパイロ7 ト圧によって押し上げられ
て配管14と配管26との連通を遮断するとともに、第
1逆止弁3oのチエツクバルブスプール5を押し上げて
、この第1逆止弁30を開口させ、アクチュエータ8の
後退室8aからボート20、第1逆止弁30.パイロン
ド室3b、ボート21を経て配管11により電磁切換弁
10の排気ボートに至る後退通#IBが開通し、アクチ
ュエータ8の後退室8aがちの排気はメータアウト絞つ
弁12を経て電磁切換弁1oがら排出される。この排気
は細い通孔5a及びメータアウト絞り弁12で絞られる
ので、前進通路Aの配管19から前進室8bへ導入され
た空気圧がアクチュエータ8のピストン8cに徐々に作
用し、ピストン8cは作動体Wを前進させる。このよう
に−でアクチュエータ8のスロースタートが実施される
ので、アクチュエータ8の排気側の圧力如何にかかわら
ず、アクチュエータ8のピストン8cが暴走、飛出しを
起こすことがない。
この時、パイロット弁31のパイロットスプール4は前
記配管16からのパイロ7 ト圧によって押し上げられ
て配管14と配管26との連通を遮断するとともに、第
1逆止弁3oのチエツクバルブスプール5を押し上げて
、この第1逆止弁30を開口させ、アクチュエータ8の
後退室8aからボート20、第1逆止弁30.パイロン
ド室3b、ボート21を経て配管11により電磁切換弁
10の排気ボートに至る後退通#IBが開通し、アクチ
ュエータ8の後退室8aがちの排気はメータアウト絞つ
弁12を経て電磁切換弁1oがら排出される。この排気
は細い通孔5a及びメータアウト絞り弁12で絞られる
ので、前進通路Aの配管19から前進室8bへ導入され
た空気圧がアクチュエータ8のピストン8cに徐々に作
用し、ピストン8cは作動体Wを前進させる。このよう
に−でアクチュエータ8のスロースタートが実施される
ので、アクチュエータ8の排気側の圧力如何にかかわら
ず、アクチュエータ8のピストン8cが暴走、飛出しを
起こすことがない。
第4図はアクチュエータ8の後退作動時を示しており、
この時は、バイロフト弁31のパイロットスプール4が
リターンスプリング7によって原位置に移動させられる
と同時に、第1逆止弁3゜のチエツクバルブスプール5
は、!磁切換弁1゜から後退通路Bのメータアウト絞り
弁12を経た空気圧で押し上げられた状態で、この空気
圧か第1逆止弁30の通孔5a、ポート20、配管9を
経てアクチュエータ8の後退室8aに導入されて、ピス
トン8Cに作用し前進室8bの高圧の空気はメータアウ
ト絞り弁17で絞られながら排出されて作動体Wを徐々
に後退させる。
この時は、バイロフト弁31のパイロットスプール4が
リターンスプリング7によって原位置に移動させられる
と同時に、第1逆止弁3゜のチエツクバルブスプール5
は、!磁切換弁1゜から後退通路Bのメータアウト絞り
弁12を経た空気圧で押し上げられた状態で、この空気
圧か第1逆止弁30の通孔5a、ポート20、配管9を
経てアクチュエータ8の後退室8aに導入されて、ピス
トン8Cに作用し前進室8bの高圧の空気はメータアウ
ト絞り弁17で絞られながら排出されて作動体Wを徐々
に後退させる。
第5図はアクチュエータ8の中間停止状態を示し、この
時はパイロット弁31のパイロットスプール4はリター
ンスプリング7により、第1逆止弁30のチエツクバル
ブスプールヲはチエツクバルブスプリング6によりそれ
ぞれ付勢されて、いずれも原位置(第2図の位置)に戻
っており、アクチュエータ8の後退室8aからの排気は
第1逆止弁6、第2逆止弁13により塞止され、アクチ
ュエータ8のピストン8cはそのストローク中の任意の
位置に停止され、その落下が防止される。
時はパイロット弁31のパイロットスプール4はリター
ンスプリング7により、第1逆止弁30のチエツクバル
ブスプールヲはチエツクバルブスプリング6によりそれ
ぞれ付勢されて、いずれも原位置(第2図の位置)に戻
っており、アクチュエータ8の後退室8aからの排気は
第1逆止弁6、第2逆止弁13により塞止され、アクチ
ュエータ8のピストン8cはそのストローク中の任意の
位置に停止され、その落下が防止される。
(発明の効果7>
以上の説明から明らかなように、本発明の空気圧制御回
路では、前進室に空気圧が供給されると同時にカウンタ
ー圧か後退室に導入されるので、飛び出しを確実に防止
することができ、次に、パイロ・ソト圧でパイロット弁
か動作して第1逆止弁を開放することによって後退通路
を連通状態にし、この第1逆止弁とメータアウト絞り弁
によって排気を絞り、アクチュエータ排気側がら排気を
徐々に排出させてスロースタートを行なわせるようにな
り、アクチュエータのスロースタートを実施することが
できる。
路では、前進室に空気圧が供給されると同時にカウンタ
ー圧か後退室に導入されるので、飛び出しを確実に防止
することができ、次に、パイロ・ソト圧でパイロット弁
か動作して第1逆止弁を開放することによって後退通路
を連通状態にし、この第1逆止弁とメータアウト絞り弁
によって排気を絞り、アクチュエータ排気側がら排気を
徐々に排出させてスロースタートを行なわせるようにな
り、アクチュエータのスロースタートを実施することが
できる。
また、パイロット圧の除去によるパイロット弁の作動で
第1逆止弁を復帰させることによって後退通路を遮断し
てカウンター通路の第2逆止弁のと共に、アクチュエー
タ排気側からの排気を遮断し、アクチュエータを所要位
置に停止させることができて、アクチュエータ・ピスト
ンの落下を防止することも可能であり、特に上下方向に
作動するアクチュエータにより大きな作動体を動かす場
合に多大な効果を発揮し得る。
第1逆止弁を復帰させることによって後退通路を遮断し
てカウンター通路の第2逆止弁のと共に、アクチュエー
タ排気側からの排気を遮断し、アクチュエータを所要位
置に停止させることができて、アクチュエータ・ピスト
ンの落下を防止することも可能であり、特に上下方向に
作動するアクチュエータにより大きな作動体を動かす場
合に多大な効果を発揮し得る。
第1図は本発明による空気圧制御回路の構成を示す図、
第2図乃至第5図は同空気圧制御回路の作動によるアク
チュエータ作動の各工程を示す図である。 2・・・バルブボディ、 4・・・バイロントスプール 5・・・チエツクバルブスプール b・・・チエ・・lクバルブスプリング、7・・・リタ
ーンスプリング、 8・・・アクチュエータ、 12.17・・・メータアウト絞り弁、13・・・第2
逆止弁、 15・・・メータイン絞り弁、 30・・・第1逆止弁、 31・・・パイロット弁、 A・・・前進通路、 B・・・後退通路、 C・・・カウンター通路、 D・・・パイロット通路。 特許出願人 株式会社アッキュニシア第2図 すr玉甘 第 因 第 図
第2図乃至第5図は同空気圧制御回路の作動によるアク
チュエータ作動の各工程を示す図である。 2・・・バルブボディ、 4・・・バイロントスプール 5・・・チエツクバルブスプール b・・・チエ・・lクバルブスプリング、7・・・リタ
ーンスプリング、 8・・・アクチュエータ、 12.17・・・メータアウト絞り弁、13・・・第2
逆止弁、 15・・・メータイン絞り弁、 30・・・第1逆止弁、 31・・・パイロット弁、 A・・・前進通路、 B・・・後退通路、 C・・・カウンター通路、 D・・・パイロット通路。 特許出願人 株式会社アッキュニシア第2図 すr玉甘 第 因 第 図
Claims (1)
- アクチュエータ後退時のメータアウト絞り弁を備えると
共に、アクチュエータ前進時に空圧源から電磁切換弁を
介してアクチュエータの前進室に空気圧を供給する前進
通路と、アクチュエータ前進時のメータアウト絞り弁を
備えると共に、アクチュエータ後退時に空圧源から電磁
切換弁を介してアクチュエータの後退室に空気圧を供給
する後退通路とからなる空気圧制御回路において、前記
後退通路のメータアウト絞り弁と後退室との間に、空圧
源から後退室への空気の流れのみを許容する第1逆止弁
を設ける一方、アクチュエータの後退室と前記前進通路
とを連通するカウンター通路を設けて、このカウンター
通路内に後退室への流れのみ許容する第2逆止弁を設け
、前記カウンター通路からメータイン絞り弁を備えたパ
イロット通路を分岐して、このパイロット通路を介して
導入される空気圧によって駆動されてカウンター通路を
閉塞すると共に、第1逆止弁を押動して後退通路を開成
させるパイロット弁を設けたことを特徴とする空気圧制
御回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2116823A JPH0415303A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 空気圧制御回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2116823A JPH0415303A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 空気圧制御回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0415303A true JPH0415303A (ja) | 1992-01-20 |
Family
ID=14696513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2116823A Pending JPH0415303A (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 | 空気圧制御回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0415303A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021044781A1 (ja) * | 2019-09-06 | 2021-03-11 | Smc株式会社 | 流量コントローラ及びそれを備えた駆動装置 |
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1990
- 1990-05-08 JP JP2116823A patent/JPH0415303A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021044781A1 (ja) * | 2019-09-06 | 2021-03-11 | Smc株式会社 | 流量コントローラ及びそれを備えた駆動装置 |
JP2021042768A (ja) * | 2019-09-06 | 2021-03-18 | Smc株式会社 | 流量コントローラ及びそれを備えた駆動装置 |
US11773879B2 (en) | 2019-09-06 | 2023-10-03 | Smc Corporation | Flow rate controller and drive device equipped with same |
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