JPH04152343A - プリント配線板の製造方法 - Google Patents
プリント配線板の製造方法Info
- Publication number
- JPH04152343A JPH04152343A JP2278013A JP27801390A JPH04152343A JP H04152343 A JPH04152343 A JP H04152343A JP 2278013 A JP2278013 A JP 2278013A JP 27801390 A JP27801390 A JP 27801390A JP H04152343 A JPH04152343 A JP H04152343A
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- Japan
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- photosensitive resist
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- Pending
Links
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプリント配線板の製造方法に間する。
従来、配線板の現像後のレジストパターン検査はドライ
フィルムレジストが用いられ、青色などに着色されてお
り、目視にて欠陥を発見することが出来た。しかし、電
着法感光性レジストは析出すると無色透明に近く、目視
にてパターン欠陥を発見するのが非常に困難で、これに
対し現像後にレジストパターン部を染色するという特開
平０１２０６９４号公報に示されている方法がある。
フィルムレジストが用いられ、青色などに着色されてお
り、目視にて欠陥を発見することが出来た。しかし、電
着法感光性レジストは析出すると無色透明に近く、目視
にてパターン欠陥を発見するのが非常に困難で、これに
対し現像後にレジストパターン部を染色するという特開
平０１２０６９４号公報に示されている方法がある。
電着感光性レジストに染料を混入分散させて、レジスト
パターン形成後のパターンを色別しようとすると、露光
の際に染料が光を吸収してしまい、充分なパターン形成
が出来ない、この為、電着感光性レジストは染料の入ら
ない無色透明の状態でレジスト膜が電着され、レジスト
パターン形成後の検査が困難であった。特開平０１−２
０６９４号公報に示されている方法は、無色透明のレジ
ストパターン形成後、染料に基板を浸漬し、レジストパ
ターンのみに着色を行い色別しようとするもノテあるが
、パターン密度が緻密になると染色にじみ、むらが発生
して検査が困難になるという問題点がある９本発明は、
電着感光レジストパターンのパターン検査を精度良く、
作業効率を向上させる電着感光性レジストとその検査方
法を提供する。
パターン形成後のパターンを色別しようとすると、露光
の際に染料が光を吸収してしまい、充分なパターン形成
が出来ない、この為、電着感光性レジストは染料の入ら
ない無色透明の状態でレジスト膜が電着され、レジスト
パターン形成後の検査が困難であった。特開平０１−２
０６９４号公報に示されている方法は、無色透明のレジ
ストパターン形成後、染料に基板を浸漬し、レジストパ
ターンのみに着色を行い色別しようとするもノテあるが
、パターン密度が緻密になると染色にじみ、むらが発生
して検査が困難になるという問題点がある９本発明は、
電着感光レジストパターンのパターン検査を精度良く、
作業効率を向上させる電着感光性レジストとその検査方
法を提供する。
〔課題を解決するための手段ｊ
電着感光性レジストのパターン形成後の検査に目視、光
反射式パターン検査機（ハロゲン光などの可視光源をパ
ターンに照射しＣＣＤカメラにて画像認識、判断する方
式）に代る螢光反射式パターン検査機（特定の波長をも
つレーザ光をパターン部に照射し、照射された材料内の
螢光を励起することで、パターン部の色別判断を行う方
式で、検査精度が光反射式に比べて優れている）を用い
る。この時電着感光レジストポリマー内に検査機レーザ
波長にて励起発光する螢光発光材を入れる必要がある。
反射式パターン検査機（ハロゲン光などの可視光源をパ
ターンに照射しＣＣＤカメラにて画像認識、判断する方
式）に代る螢光反射式パターン検査機（特定の波長をも
つレーザ光をパターン部に照射し、照射された材料内の
螢光を励起することで、パターン部の色別判断を行う方
式で、検査精度が光反射式に比べて優れている）を用い
る。この時電着感光レジストポリマー内に検査機レーザ
波長にて励起発光する螢光発光材を入れる必要がある。
ただし、この螢光発光材はパターン形成グする際、使用
する露光機の紫外光波長域で紫外＆ｌ吸収しない材料を
選択しなければならない、任意の螢光発光材を電着感光
レジストポリマー内に分散さ廿た電着液を用い、パター
ン形成した後、螢光反射式パターン検査機を用いて検査
を行えば、従来の問題点を解決できる。
する露光機の紫外光波長域で紫外＆ｌ吸収しない材料を
選択しなければならない、任意の螢光発光材を電着感光
レジストポリマー内に分散さ廿た電着液を用い、パター
ン形成した後、螢光反射式パターン検査機を用いて検査
を行えば、従来の問題点を解決できる。
〔作用〕
電着感光レジストパターン形成後の検査精度向上と検査
効率の向上がはかれる。
効率の向上がはかれる。
螢光反射式パターン検査機のレーザ波長は、オプトロニ
ス社ＶＩＳＳＩＯＮ２０６の場合、波長λ”４２０ｎｍ
であり、一方しシストのパターン形成に用いられる露光
機の紫外光波長域はオーク社０Ｂ５０５０の場合、波長
ピークが３６５ｎｍである。パターン形成性を阻害する
電着感光性レジストの紫外光透過性の低下なしに、レー
ザ波長４２０ｎｒｒ１での螢光発光を励起させる螢光発
光材として日本化薬の螢光発色材Ｋａｙａｓｅｔ Ｆｌ
ａｖｉｎ Ｆ Ｇが適している。この螢光発色材をジオ
ギ酸などの親水性有機溶剤にて溶解させ、電着感光レジ
ストノホリマー中に分散させる。そしてこのレジスト液
をアミンで中和し、高速ディスバで脱イオン水と混和す
ることによりエマルジッン化する。こうして出来た電着
感光レジスト水溶液で基板に電着膜を形成し、パターン
形成した状態で螢光反射式検査機の検査にかけることで
、高精度でかつ高速なパターン検査が可能になる。
ス社ＶＩＳＳＩＯＮ２０６の場合、波長λ”４２０ｎｍ
であり、一方しシストのパターン形成に用いられる露光
機の紫外光波長域はオーク社０Ｂ５０５０の場合、波長
ピークが３６５ｎｍである。パターン形成性を阻害する
電着感光性レジストの紫外光透過性の低下なしに、レー
ザ波長４２０ｎｒｒ１での螢光発光を励起させる螢光発
光材として日本化薬の螢光発色材Ｋａｙａｓｅｔ Ｆｌ
ａｖｉｎ Ｆ Ｇが適している。この螢光発色材をジオ
ギ酸などの親水性有機溶剤にて溶解させ、電着感光レジ
ストノホリマー中に分散させる。そしてこのレジスト液
をアミンで中和し、高速ディスバで脱イオン水と混和す
ることによりエマルジッン化する。こうして出来た電着
感光レジスト水溶液で基板に電着膜を形成し、パターン
形成した状態で螢光反射式検査機の検査にかけることで
、高精度でかつ高速なパターン検査が可能になる。
電着感光レジストのパターン検査を高速かつ高精度に実
行できる。従来の電着液に螢光発色材を混和させること
で容易に電着レジストが螢光反射式パターン検査機にか
けられる。
行できる。従来の電着液に螢光発色材を混和させること
で容易に電着レジストが螢光反射式パターン検査機にか
けられる。
Claims (1)
- １．プリント配線板に電着により感光性レジスト膜を析
出させて現像した後、レジストパターンの検査を螢光反
射式パターン検査機にて行うために、電着感光レジスト
に螢光発色材を混和することを特徴とし、螢光反射式パ
ターン検査機にて、電着感光レジストの作画パターンを
検査することを特徴とする。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2278013A JPH04152343A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | プリント配線板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2278013A JPH04152343A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | プリント配線板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04152343A true JPH04152343A (ja) | 1992-05-26 |
Family
ID=17591423
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2278013A Pending JPH04152343A (ja) | 1990-10-17 | 1990-10-17 | プリント配線板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04152343A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022157895A1 (ja) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | レジストパターンの検査方法、レジストパターンの製造方法、基板選別方法、及びプリント配線板の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59232344A (ja) * | 1983-06-16 | 1984-12-27 | Hitachi Ltd | 配線パタ−ン検出装置 |
-
1990
- 1990-10-17 JP JP2278013A patent/JPH04152343A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59232344A (ja) * | 1983-06-16 | 1984-12-27 | Hitachi Ltd | 配線パタ−ン検出装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022157895A1 (ja) * | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | レジストパターンの検査方法、レジストパターンの製造方法、基板選別方法、及びプリント配線板の製造方法 |
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