JPH04148537A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JPH04148537A JPH04148537A JP27386190A JP27386190A JPH04148537A JP H04148537 A JPH04148537 A JP H04148537A JP 27386190 A JP27386190 A JP 27386190A JP 27386190 A JP27386190 A JP 27386190A JP H04148537 A JPH04148537 A JP H04148537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pads
- grid points
- semiconductor chip
- semiconductor chips
- standardized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/02—Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L24/06—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05554—Shape in top view being square
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01015—Phosphorus [P]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置に関し、特にボンディング用パッド
の配置に関する。
の配置に関する。
従来の半導体装置は、半導体チップの周縁部の内側近傍
に設けたパッドの配置が、半導体チップの一辺の中に設
けたパッドについては等間隔で配置されることもあった
が、隣接する辺に設けたパッドの位置の相互関係につい
ては、全く考慮されなかった。
に設けたパッドの配置が、半導体チップの一辺の中に設
けたパッドについては等間隔で配置されることもあった
が、隣接する辺に設けたパッドの位置の相互関係につい
ては、全く考慮されなかった。
上述した従来の半導体装置は、パッドの配置がとなり合
せの辺の座標の相対位置を考慮しない為、LSI全体の
マスク設計が完了するまでパッドの座標が決定されず、
これによりプローブカードの設計作製開始が遅れて、プ
ローブカード設計作製の期間が長くかかる場合、LSI
の評価試験が遅れてLSI全体の開発期間がプローブカ
ード作製期間の影響を受けて長くなるという欠点がある
。
せの辺の座標の相対位置を考慮しない為、LSI全体の
マスク設計が完了するまでパッドの座標が決定されず、
これによりプローブカードの設計作製開始が遅れて、プ
ローブカード設計作製の期間が長くかかる場合、LSI
の評価試験が遅れてLSI全体の開発期間がプローブカ
ード作製期間の影響を受けて長くなるという欠点がある
。
また、チップサイズが少しでも異なる場合は共用化でき
ないという欠点がある。
ないという欠点がある。
本発明の半導体装置は、半導体チップ上に配列した設け
たボンディング用パッドを有する半導体装置において、
前記パッドが縦軸上及び横軸上に同一ピッチで規格化し
た格子点上に配置されて構成される。
たボンディング用パッドを有する半導体装置において、
前記パッドが縦軸上及び横軸上に同一ピッチで規格化し
た格子点上に配置されて構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図(a)、(b)は本発明の第1の実施例を示す第
1及び第2の半導体チップのレイアウト図である。
1及び第2の半導体チップのレイアウト図である。
第1図(a)、(b)に示すように、異なるチップサイ
ズの半導体チップ1,2の夫々に同一のピッチPで規格
化された格子点を仮想的に設け、半導体チップ1,2の
周縁部の近傍に半導体チップの外周に沿って格子点上に
パッド3を配列して設ける。
ズの半導体チップ1,2の夫々に同一のピッチPで規格
化された格子点を仮想的に設け、半導体チップ1,2の
周縁部の近傍に半導体チップの外周に沿って格子点上に
パッド3を配列して設ける。
第2図は本発明の第2の実施例を示す半導体チップのレ
イアウト図である。
イアウト図である。
第2図に示すように半導体チップ4の周縁部近傍の格子
点にパッド3を設け、半導体チップ4の内側領域にCP
U (central processing un
it)やメモリ等の機能ブロック5と、機能ブロック5
の周囲の格子点上にパッド6を設けている。
点にパッド3を設け、半導体チップ4の内側領域にCP
U (central processing un
it)やメモリ等の機能ブロック5と、機能ブロック5
の周囲の格子点上にパッド6を設けている。
以上説明したように本発明は、パッド配置を同一ピッチ
で規格化した格子点に設けることにより以下の効果を有
する。
で規格化した格子点に設けることにより以下の効果を有
する。
(A)パッド配置がLSIに搭載する機能の概要が決ま
った時点で予想できる為、早期にプローブカードを設計
、作製可能である。
った時点で予想できる為、早期にプローブカードを設計
、作製可能である。
(B)パッド配置が、チップサイズによらず決定される
為、あらかじめ有限個のプローブカードを準備すること
により、あらゆるチップサイズのLSIに対し、配線の
変更のみで対応可能である。
為、あらかじめ有限個のプローブカードを準備すること
により、あらゆるチップサイズのLSIに対し、配線の
変更のみで対応可能である。
(C)各パッドの座標が規格化された格子点上にある為
、パッド座標のデータの作製・確認が容易である。
、パッド座標のデータの作製・確認が容易である。
第1図(a)、(b)は本発明の第1の実施例を示す第
1及び第2の半導体チップのレイアウト図、第2図は本
発明の第2の実施例を示す半導体チップのレイアウト図
である。 1.2・・・半導体チップ、3・・・パッド、4・・・
半導体チップ、5・・・機能ブロック、6・・・パッド
、P・・・ピッチ。
1及び第2の半導体チップのレイアウト図、第2図は本
発明の第2の実施例を示す半導体チップのレイアウト図
である。 1.2・・・半導体チップ、3・・・パッド、4・・・
半導体チップ、5・・・機能ブロック、6・・・パッド
、P・・・ピッチ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、半導体チップ上に配列して設けたボンディング用パ
ッドを有する半導体装置において、前記パッドが縦軸上
及び横軸上に同一ピッチで規格化した格子点上に配置さ
れていることを特徴とする半導体装置。 2、パッドが半導体チップの周縁部の内側近傍及び内部
領域に設けた機能ブロックの周囲の格子点上に配置され
ている請求項1記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27386190A JPH04148537A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27386190A JPH04148537A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04148537A true JPH04148537A (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=17533580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27386190A Pending JPH04148537A (ja) | 1990-10-12 | 1990-10-12 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04148537A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6927491B1 (en) * | 1998-12-04 | 2005-08-09 | Nec Corporation | Back electrode type electronic part and electronic assembly with the same mounted on printed circuit board |
-
1990
- 1990-10-12 JP JP27386190A patent/JPH04148537A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6927491B1 (en) * | 1998-12-04 | 2005-08-09 | Nec Corporation | Back electrode type electronic part and electronic assembly with the same mounted on printed circuit board |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH04148537A (ja) | 半導体装置 | |
JPH04256338A (ja) | 集積回路の自動レイアウト方式 | |
JPH07117744B2 (ja) | ダイシングラインの形成方法 | |
JP3556767B2 (ja) | 半導体集積回路装置の設計装置 | |
JPH01289155A (ja) | 半導体集積回路 | |
JP2000068488A (ja) | 半導体集積回路のレイアウト方法 | |
JPS62199026A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20220115315A1 (en) | Reticle stitching to achieve high-capacity integrated circuit | |
JPH0332044A (ja) | 半導体集積回路 | |
JPH0260148A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
JPH0715142Y2 (ja) | 集積回路装置 | |
JPH0461359A (ja) | 1/0パッドセルの配置方法 | |
JPH02138758A (ja) | 半導体装置 | |
JPS59167036A (ja) | 半導体集積回路 | |
JPS63280439A (ja) | 半導体集積回路 | |
JPH02101758A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPS62159446A (ja) | マスタスライスlsi | |
JPH06120346A (ja) | 半導体集積回路チップの自動設計方法 | |
JPH0536832A (ja) | 論理セルの並列配置処理方法 | |
JPH04368175A (ja) | マスタスライスlsi | |
JP2001044146A (ja) | 半導体ウェハのダイシング位置認識方法 | |
JPS6278848A (ja) | 大規模半導体集積回路 | |
JPH05335417A (ja) | 半導体集積回路装置の自動設計方法 | |
JPH0225054A (ja) | マスタースライスlsi | |
JPS61263237A (ja) | 半導体装置の製造方法 |