JPH04146678A - レーザ装置 - Google Patents
レーザ装置Info
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- JPH04146678A JPH04146678A JP27105990A JP27105990A JPH04146678A JP H04146678 A JPH04146678 A JP H04146678A JP 27105990 A JP27105990 A JP 27105990A JP 27105990 A JP27105990 A JP 27105990A JP H04146678 A JPH04146678 A JP H04146678A
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 9
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 abstract description 8
- 239000012212 insulator Substances 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 abstract 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ装置に関し、特に高繰返し放電励起によ
って自動予備電離放電励起による気体レーザを発生する
レーザ装置に関する。
って自動予備電離放電励起による気体レーザを発生する
レーザ装置に関する。
主放電に先立って、放電電極間に充満しているレーザ媒
質気体に予備電離電子を供給しておいて主放電の励起に
導く、自動予備電離放電励起気体レーザを発生するレー
ザ装置は、気体レーザ装置の一種としてよく知られてい
る。第２図は従来の自動予備電離放電励起気体レーザを
発生するレーザ装置の一例を示す構成図である。第２図
に示すレーザ装置は、レーザヘッド１１に内包され。
質気体に予備電離電子を供給しておいて主放電の励起に
導く、自動予備電離放電励起気体レーザを発生するレー
ザ装置は、気体レーザ装置の一種としてよく知られてい
る。第２図は従来の自動予備電離放電励起気体レーザを
発生するレーザ装置の一例を示す構成図である。第２図
に示すレーザ装置は、レーザヘッド１１に内包され。
極間にレーザ媒質気体が充満されている放電電極（陰極
）１ａ、放電電極（陽極）１ｂ、高圧電源部２．外部か
ら高繰返しトリガを受けて導通するサイラトロン３．予
備電離放電としてのアーク放電を発生してレーザ媒質気
体を予備電離させる予備ｔｉビン７、インダクタンスＬ
、インダクタンスＬを通して高圧電源部２によって充電
されるコンデンサＣ５，速い立上りで充電され予備電離
ビン４にアーク放電を発生させるコンデンサＣＰとを備
えて成り、第２図にはなお、ブローワによって供給され
２次の予備電離までに放電電極間のレーザ媒質気体と交
換されるガス流６を併記して示す。
）１ａ、放電電極（陽極）１ｂ、高圧電源部２．外部か
ら高繰返しトリガを受けて導通するサイラトロン３．予
備電離放電としてのアーク放電を発生してレーザ媒質気
体を予備電離させる予備ｔｉビン７、インダクタンスＬ
、インダクタンスＬを通して高圧電源部２によって充電
されるコンデンサＣ５，速い立上りで充電され予備電離
ビン４にアーク放電を発生させるコンデンサＣＰとを備
えて成り、第２図にはなお、ブローワによって供給され
２次の予備電離までに放電電極間のレーザ媒質気体と交
換されるガス流６を併記して示す。
サイラトロン３にトリガを印加することにより、コンデ
ンサＣｐが速い立上り時間で充電され、予備電離ビン４
に予備電離放電としてのアーク放電が発生し、アーク放
電プラズマからの紫外光によって放電電極間のレーザ媒
質気体が予備電離されると同時に、放電電極（陰極）ｌ
ａにパルス負電圧が印加される。そして、放電電極（陽
極）ｌｂとの間で主放電としてのパルス放電が開始する
。なお、放電電極間のレーザ媒質気体は。
ンサＣｐが速い立上り時間で充電され、予備電離ビン４
に予備電離放電としてのアーク放電が発生し、アーク放
電プラズマからの紫外光によって放電電極間のレーザ媒
質気体が予備電離されると同時に、放電電極（陰極）ｌ
ａにパルス負電圧が印加される。そして、放電電極（陽
極）ｌｂとの間で主放電としてのパルス放電が開始する
。なお、放電電極間のレーザ媒質気体は。
予備電離放電及び主放電により劣化するほか主放電によ
り気体が膨張し、電極間の気体密度が不均一となるため
、高繰返し動作の場合には２次の予備電離放電までにブ
ロワ等によりガス流６を発生されて交換している。
り気体が膨張し、電極間の気体密度が不均一となるため
、高繰返し動作の場合には２次の予備電離放電までにブ
ロワ等によりガス流６を発生されて交換している。
上述した従来の気体レーザ装置では、予備電離ビン７が
放電電極に沿って点在するため予備電離がレーザ光軸５
に沿って不均一となり易く、このため主放電もレーザ光
軸に沿って不均一となる。
放電電極に沿って点在するため予備電離がレーザ光軸５
に沿って不均一となり易く、このため主放電もレーザ光
軸に沿って不均一となる。
また、ガス流６中に予備電離ビンが存在するため、ガス
流６の乱れが発生し易く、放電電極間の気体密度が不均
一となり、レーザ媒質気体の絶縁破壊電圧に影響し、こ
のため主放電も不均一となる。
流６の乱れが発生し易く、放電電極間の気体密度が不均
一となり、レーザ媒質気体の絶縁破壊電圧に影響し、こ
のため主放電も不均一となる。
これらの要因による主放電の不均一性は、レーザ媒質気
体への放電エネルギーが均一に行われていないことと同
等の結果をもたらし、レーザ出力、効率の低下を招くと
いう欠点がある。
体への放電エネルギーが均一に行われていないことと同
等の結果をもたらし、レーザ出力、効率の低下を招くと
いう欠点がある。
本発明のレーザ装置は、主放電を行なう放電電極間に充
満させたレーザ媒質気体に、主放電に先立って自動的に
予備電離放電を起したのち主放電の励起を行なう自動予
備電離放電励起による気体レーザを発生するレーザ装置
において、前記放電電極間に充満させなレーザ媒質気体
の均一な流速分布ならびに主放電に先立って必要な予備
電離電子の均一な発生を確保する予備電離拡散板を備え
て構成される。
満させたレーザ媒質気体に、主放電に先立って自動的に
予備電離放電を起したのち主放電の励起を行なう自動予
備電離放電励起による気体レーザを発生するレーザ装置
において、前記放電電極間に充満させなレーザ媒質気体
の均一な流速分布ならびに主放電に先立って必要な予備
電離電子の均一な発生を確保する予備電離拡散板を備え
て構成される。
また本発明のレーザ装置は、前記気体レーザは前記放電
電極による高繰返しの放電励起によって発生させ、かつ
前記レーザ媒質気体は次回の予備電離放電までに新規の
ものと交換しつつ主放電を繰り返させるものとした構成
を有する。
電極による高繰返しの放電励起によって発生させ、かつ
前記レーザ媒質気体は次回の予備電離放電までに新規の
ものと交換しつつ主放電を繰り返させるものとした構成
を有する。
次に９本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）は本発明の一実施例の構成図である。第１
図（ａ）に示す実施例は、レーザヘッド１１ａに配設さ
れた放電電極（陰極）ｌａと放電電極（陽極）１ｂ、及
び本発明に直接かかわる予備電離拡散板４．′ｌＥ圧電
圧電二部２．サイラトロン３ンデンサＣｓ、Ｃｐｘ及び
インダクタンスしを備え、第１図（ａ）にはなお、レー
ザ光軸５とガス流６を併記して示す。
図（ａ）に示す実施例は、レーザヘッド１１ａに配設さ
れた放電電極（陰極）ｌａと放電電極（陽極）１ｂ、及
び本発明に直接かかわる予備電離拡散板４．′ｌＥ圧電
圧電二部２．サイラトロン３ンデンサＣｓ、Ｃｐｘ及び
インダクタンスしを備え、第１図（ａ）にはなお、レー
ザ光軸５とガス流６を併記して示す。
次に、第１図（ａ）の実施例の動作について説明する。
高圧電源２によりコンデンサＣ８がインダクタンスＬを
通して充電される。外部からトリガを与えることにより
サイラトロン３が導通し、コンデンサＣＰＸが速い立上
り時間で充電され、予備電離拡散板４に予備電離放電と
してのコロナ放電が発生し、放電電極間の気体に予備電
離電子が予備電離拡散板４の表面から均一に供給される
と同時に、放電電極（陰極）ｌａにパルス負電圧が印加
されて放電電極（陽極）ｌｂとの間で主放電たるパルス
放電が開始する。なお、放電電極間のレーザ媒質気体は
、予備電離放電及び主放電により劣化する他、主放電に
より気体が膨張し電極間の気体密度が不均一となるため
、高繰返し動作の場合１次の予備電離放電までに放電電
極間の気体をブロワ等によりガス流６を発生させて交換
している。ガス流６は、多くの孔を有する予備電離拡散
板４により拡散され、放電電極間の気体密度は均一とな
る。
通して充電される。外部からトリガを与えることにより
サイラトロン３が導通し、コンデンサＣＰＸが速い立上
り時間で充電され、予備電離拡散板４に予備電離放電と
してのコロナ放電が発生し、放電電極間の気体に予備電
離電子が予備電離拡散板４の表面から均一に供給される
と同時に、放電電極（陰極）ｌａにパルス負電圧が印加
されて放電電極（陽極）ｌｂとの間で主放電たるパルス
放電が開始する。なお、放電電極間のレーザ媒質気体は
、予備電離放電及び主放電により劣化する他、主放電に
より気体が膨張し電極間の気体密度が不均一となるため
、高繰返し動作の場合１次の予備電離放電までに放電電
極間の気体をブロワ等によりガス流６を発生させて交換
している。ガス流６は、多くの孔を有する予備電離拡散
板４により拡散され、放電電極間の気体密度は均一とな
る。
第１図（ｂ）は、第１図＜ａ＞の予備電離拡散板のＡ部
を拡大して示す図である。予備電離拡散板４は、絶縁物
４２を介して対向配設された金属板４１から成り、複数
の孔４３が等間隔で設けられる。このような構造を備え
ることにより。
を拡大して示す図である。予備電離拡散板４は、絶縁物
４２を介して対向配設された金属板４１から成り、複数
の孔４３が等間隔で設けられる。このような構造を備え
ることにより。
予備電離拡散板４の表面から相対する放電電極（陰極）
ｌａと放電電極（陽極）ｌｂ間に均一な予備ｔａ電子を
供給し、かつ、ガス流を孔４３を通過させて拡散して放
電電極間の気体密度を均一として主放電の均一化が確保
される。
ｌａと放電電極（陽極）ｌｂ間に均一な予備ｔａ電子を
供給し、かつ、ガス流を孔４３を通過させて拡散して放
電電極間の気体密度を均一として主放電の均一化が確保
される。
以上説明したように本発明は、自動予備電離放電励起を
利用する気体レーザ装置において、複数の孔を配設して
レーザ媒質気体交換用のガス流を通過させ、かつ表面コ
ロナ放電を発生する予備電離拡散板をレーザヘッドに組
み込んで予備放電を行なうことにより、予備電離拡散板
の表面がら放電電極間に均一に予備電離電子を供給し、
かつガス流を予備電離拡散板の孔を通過させて拡散させ
放電電極間の気体密度を均一にすることができ主放電が
安定し、気体レーザ出力、効率の向上及び高繰返し動作
性能を著しく向上させることができるという効果がある
。
利用する気体レーザ装置において、複数の孔を配設して
レーザ媒質気体交換用のガス流を通過させ、かつ表面コ
ロナ放電を発生する予備電離拡散板をレーザヘッドに組
み込んで予備放電を行なうことにより、予備電離拡散板
の表面がら放電電極間に均一に予備電離電子を供給し、
かつガス流を予備電離拡散板の孔を通過させて拡散させ
放電電極間の気体密度を均一にすることができ主放電が
安定し、気体レーザ出力、効率の向上及び高繰返し動作
性能を著しく向上させることができるという効果がある
。
第１図（ａ＞は本発明の一実施例の構成図、第１図（ｂ
）は第１図＜ａ＞の予備電離拡散板４のＡ部を拡大して
示す図、第２図は従来の気体レーザ装置の構成図である
。 １ａ・・・放電電極（陰極）、１ｂ・・・放電電極（陽
極）、２・・・高圧電源部、３・・・サイラトロン、４
・・・予備電離拡散板、５・・・レーザ光軸、６・・・
ガス流。 ７・・・予備電離ビン、１１．ｌｌａ・・・レーザヘッ
ド、４１・・・金属板、４２・・・絶縁物、４３・・・
孔。
）は第１図＜ａ＞の予備電離拡散板４のＡ部を拡大して
示す図、第２図は従来の気体レーザ装置の構成図である
。 １ａ・・・放電電極（陰極）、１ｂ・・・放電電極（陽
極）、２・・・高圧電源部、３・・・サイラトロン、４
・・・予備電離拡散板、５・・・レーザ光軸、６・・・
ガス流。 ７・・・予備電離ビン、１１．ｌｌａ・・・レーザヘッ
ド、４１・・・金属板、４２・・・絶縁物、４３・・・
孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、主放電を行なう放電電極間に充満させたレーザ媒質
気体に、主放電に先立って自動的に予備電離放電を起し
たのち主放電の励起を行なう自動予備電離放電励起によ
る気体レーザを発生するレーザ装置において、前記放電
電極間に充満させたレーザ媒質気体の均一な流速分布な
らびに主放電に先立って必要な予備電離電子の均一な発
生を確保する予備電離拡散板を備えて成ることを特徴と
するレーザ装置。 ２、前記気体レーザは前記放電電極による高繰返しの放
電励起によつて発生させ、かつ前記レーザ媒質気体は次
回の予備電離放電までに新規のものと交換しつつ主放電
を繰り返させることを特徴とする請求項１記載の記載の
レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2271059A JP2734191B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2271059A JP2734191B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04146678A true JPH04146678A (ja) | 1992-05-20 |
| JP2734191B2 JP2734191B2 (ja) | 1998-03-30 |
Family
ID=17494831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2271059A Expired - Lifetime JP2734191B2 (ja) | 1990-10-09 | 1990-10-09 | レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2734191B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010010552A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Gigaphoton Inc | 高繰返し高出力パルスガスレーザ装置 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5850786A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-25 | Agency Of Ind Science & Technol | 横方向励起型ガスレ−ザ装置 |
| JPS6191983A (ja) * | 1984-10-11 | 1986-05-10 | Mitsubishi Electric Corp | 放電励起短パルスレ−ザ装置 |
| JPS6371562U (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-13 | ||
| JPS63129681A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エキシマレ−ザ装置 |
| JPS63227073A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-21 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
| JPH01151277A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-14 | Toshiba Corp | パルスレーザ電極 |
| JPH0247883A (ja) * | 1988-08-10 | 1990-02-16 | Toshiba Corp | パルスレーザ発振器 |
| JPH0254796A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | Sanyo Electric Co Ltd | ステンレス鋼の耐食性を改善する方法 |
| JPH02248092A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | 放電励起型短パルスレーザ装置 |
-
1990
- 1990-10-09 JP JP2271059A patent/JP2734191B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5850786A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-25 | Agency Of Ind Science & Technol | 横方向励起型ガスレ−ザ装置 |
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| JPS6371562U (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-13 | ||
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| JPS63227073A (ja) * | 1987-03-17 | 1988-09-21 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ電極 |
| JPH01151277A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-14 | Toshiba Corp | パルスレーザ電極 |
| JPH0247883A (ja) * | 1988-08-10 | 1990-02-16 | Toshiba Corp | パルスレーザ発振器 |
| JPH0254796A (ja) * | 1988-08-17 | 1990-02-23 | Sanyo Electric Co Ltd | ステンレス鋼の耐食性を改善する方法 |
| JPH02248092A (ja) * | 1989-03-22 | 1990-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | 放電励起型短パルスレーザ装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010010552A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Gigaphoton Inc | 高繰返し高出力パルスガスレーザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2734191B2 (ja) | 1998-03-30 |
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