JPH04145218A - 静圧軸受 - Google Patents
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- JPH04145218A JPH04145218A JP2268447A JP26844790A JPH04145218A JP H04145218 A JPH04145218 A JP H04145218A JP 2268447 A JP2268447 A JP 2268447A JP 26844790 A JP26844790 A JP 26844790A JP H04145218 A JPH04145218 A JP H04145218A
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-
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- F16C2208/90—Phenolic resin
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体焼付露光装置、精密加工装置、精密測
定装置等においてスライダ等を案内するために用いられ
る静圧軸受に関するものである。
定装置等においてスライダ等を案内するために用いられ
る静圧軸受に関するものである。
［従来技術］
従来の静圧案内機構の軸受として、例えば特開昭５４−
５９５４５号および特開昭５６−６９１９号公報に提案
されたものがある。これら公報には、流体を軸受の入口
で絞りかつ軸受の出口で絞った流体軸受が開示されてい
る。
５９５４５号および特開昭５６−６９１９号公報に提案
されたものがある。これら公報には、流体を軸受の入口
で絞りかつ軸受の出口で絞った流体軸受が開示されてい
る。
このような軸受では、使用されている装置に誤操作もし
くは誤動作があったとき、または装置の外部から予期せ
ぬ衝撃が加わったとき、静圧案内機構の軸受の軸受面と
案内部材とが接触し、そのために軸受の軸受面および案
内部材にカジリを発生し、遂には案内機構の走行不能や
案内精度の劣化という事態を発生する欠点があった。
くは誤動作があったとき、または装置の外部から予期せ
ぬ衝撃が加わったとき、静圧案内機構の軸受の軸受面と
案内部材とが接触し、そのために軸受の軸受面および案
内部材にカジリを発生し、遂には案内機構の走行不能や
案内精度の劣化という事態を発生する欠点があった。
上記欠点を解決することを目的に、特開昭６１−１０１
１４号および特開昭６１−２７４１２０号公報に静圧軸
受が提案されている。また、同様の効果を得るために、
特開昭５０−１２１６４７公報にも静圧軸受が提案され
ている。これらの軸受は、 １）軸受面と案内部材とのすき間よりも狭小なるすき間
を確保する手段を設ける（特開昭６１−１０１１４号、
特開昭６１−２７４１２０号）２）軸受面と案内部材と
のすき間と同等もしくは狭小なるすき間を確保するよう
に、軸受面の局部に硬化面を形成する（特開昭５０−１
２１６４７号） ことにより、装置の誤操作もしくは誤動作かあるときま
たは装置の外部から予期せぬ衝撃が加わったときに、軸
受面が案内部材に接触することを防ぎ、軸受面のカシ９
発生を防止するとしている。
１４号および特開昭６１−２７４１２０号公報に静圧軸
受が提案されている。また、同様の効果を得るために、
特開昭５０−１２１６４７公報にも静圧軸受が提案され
ている。これらの軸受は、 １）軸受面と案内部材とのすき間よりも狭小なるすき間
を確保する手段を設ける（特開昭６１−１０１１４号、
特開昭６１−２７４１２０号）２）軸受面と案内部材と
のすき間と同等もしくは狭小なるすき間を確保するよう
に、軸受面の局部に硬化面を形成する（特開昭５０−１
２１６４７号） ことにより、装置の誤操作もしくは誤動作かあるときま
たは装置の外部から予期せぬ衝撃が加わったときに、軸
受面が案内部材に接触することを防ぎ、軸受面のカシ９
発生を防止するとしている。
［発明か解決しようとする課ＩＱ］
しかしながら、上記の特開昭６１−１０１１４号または
特開昭６１−２７４１２０号の従来例では、軸受面と案
内部材とのすき間よりも狭小なるすき間を確保する手段
か案内部材と接触することかある。また、特開昭５０−
１２１６４７号の従来例では、軸受面の局部に形成した
硬化面が案内部材と接触することがある。これらの接触
により、案内部材の損傷は防止できないという欠点があ
った。
特開昭６１−２７４１２０号の従来例では、軸受面と案
内部材とのすき間よりも狭小なるすき間を確保する手段
か案内部材と接触することかある。また、特開昭５０−
１２１６４７号の従来例では、軸受面の局部に形成した
硬化面が案内部材と接触することがある。これらの接触
により、案内部材の損傷は防止できないという欠点があ
った。
本発明は、上述の従来例における問題点に鑑み、装置の
誤操作もしくは誤動作、または装置の外部からの予期せ
ぬ衝撃などにより、軸受面および案内部材か損傷するこ
とを防止し、案内機構の走行不能や案内精度の劣化を防
ぐことのできる静圧軸受を提供することを目的とする。
誤操作もしくは誤動作、または装置の外部からの予期せ
ぬ衝撃などにより、軸受面および案内部材か損傷するこ
とを防止し、案内機構の走行不能や案内精度の劣化を防
ぐことのできる静圧軸受を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段および作用］上記の目的
を達成するため、本発明は、軸受の軸受面と案内部材と
のすき間が最小となる部分（例えは後述する実施例の凸
部９）、または軸受と別体に設けられ軸受と案内部材と
のすき間よりも小となるすき間となる部分（凸部１７）
を構成する部材を潤滑性および耐衝撃性を有する材質、
例えばカーボン系材料や、フェノール樹脂、ポリアミド
樹脂、ポリアセタール樹脂、もしくはふっ素糸樹脂等の
エンジニアリング・プラスチックで形成することとして
いる。これにより、軸受面および案内部材の接触による
双方の損傷を防止するようにしたものである。
を達成するため、本発明は、軸受の軸受面と案内部材と
のすき間が最小となる部分（例えは後述する実施例の凸
部９）、または軸受と別体に設けられ軸受と案内部材と
のすき間よりも小となるすき間となる部分（凸部１７）
を構成する部材を潤滑性および耐衝撃性を有する材質、
例えばカーボン系材料や、フェノール樹脂、ポリアミド
樹脂、ポリアセタール樹脂、もしくはふっ素糸樹脂等の
エンジニアリング・プラスチックで形成することとして
いる。これにより、軸受面および案内部材の接触による
双方の損傷を防止するようにしたものである。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る静圧軸受の断面を示
す。同図において、１は案内部材、２は移動部材、３は
軸受バット本体である。軸受バッド本体３は移動部材２
に固定される。４は移動部材２に設けられた空気供給孔
、５は軸受パット本体３に設けられた吸入口、６はオリ
フィス、７は凹部である。また、８は凸部部材、９は凸
部部材８により構成される凸部である。凸部９は、凸部
部材８を凹部７の端部に接着などで固定することにより
構成される。１０は軸受と案内部材の間のすき間である
。
す。同図において、１は案内部材、２は移動部材、３は
軸受バット本体である。軸受バッド本体３は移動部材２
に固定される。４は移動部材２に設けられた空気供給孔
、５は軸受パット本体３に設けられた吸入口、６はオリ
フィス、７は凹部である。また、８は凸部部材、９は凸
部部材８により構成される凸部である。凸部９は、凸部
部材８を凹部７の端部に接着などで固定することにより
構成される。１０は軸受と案内部材の間のすき間である
。
上記構成において、図示しないコンプレッサから任意の
圧力に加圧された空気は、空気供給孔４を通フて吸入口
５へ送られる。次いて、この空気はオリフィス６によっ
て人口で絞られ、凹部７に達する。さらに、空気は凹部
７の端部に構成されている凸部９て絞られ、出口絞りの
効果を生み出す。以上の作用により、移動部材２は案内
軸１に対して空気膜を介して非接触支持される。
圧力に加圧された空気は、空気供給孔４を通フて吸入口
５へ送られる。次いて、この空気はオリフィス６によっ
て人口で絞られ、凹部７に達する。さらに、空気は凹部
７の端部に構成されている凸部９て絞られ、出口絞りの
効果を生み出す。以上の作用により、移動部材２は案内
軸１に対して空気膜を介して非接触支持される。
ここで、装置に誤操作もしくは誤動作があると、または
装置の外部から予期せぬ衝撃が加わると、凸部９が案内
部材１に接触する。しかしながら、第１図の本実施例の
軸受において、凸部９を構成する凸部部材８は、潤滑性
および耐衝撃性を有する材質、例えばカーホン系材料や
フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂
、もしくはふつ素糸樹脂等のエンジニアリング・プラス
チックで形成されている。そのため、凸部９および案内
部材１にカジリなどの損傷が発生することを防止し、案
内機構の走行不能や案内精度の劣化を防止することかで
きる。
装置の外部から予期せぬ衝撃が加わると、凸部９が案内
部材１に接触する。しかしながら、第１図の本実施例の
軸受において、凸部９を構成する凸部部材８は、潤滑性
および耐衝撃性を有する材質、例えばカーホン系材料や
フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂
、もしくはふつ素糸樹脂等のエンジニアリング・プラス
チックで形成されている。そのため、凸部９および案内
部材１にカジリなどの損傷が発生することを防止し、案
内機構の走行不能や案内精度の劣化を防止することかで
きる。
第２図は、本発明の第２の実施例に係る静圧軸受の断面
を示す。同図の軸受の基本構成は、第１図と同様である
ので、共通の部材は同一の付番を付して説明は省略する
。
を示す。同図の軸受の基本構成は、第１図と同様である
ので、共通の部材は同一の付番を付して説明は省略する
。
第２図の軸受では、凸部９を構成する凸部部材８の凸部
９の外端部に、テーパ一部１１を設けである。これによ
り、装置の誤操作もしくは誤動作や外部からの衝撃によ
り、凸部９が案内軸１に接触するとき、第１図における
凸部９の外端部の角部によるカケの発生を防止すること
ができる。ここで、テーパ一部１１は曲面により構成し
ても良い。
９の外端部に、テーパ一部１１を設けである。これによ
り、装置の誤操作もしくは誤動作や外部からの衝撃によ
り、凸部９が案内軸１に接触するとき、第１図における
凸部９の外端部の角部によるカケの発生を防止すること
ができる。ここで、テーパ一部１１は曲面により構成し
ても良い。
第３図は、本発明の第３の実施例に係る静圧軸受の断面
を示す。同図において、第１図と共通の部材は同一の付
番を付すものとする。
を示す。同図において、第１図と共通の部材は同一の付
番を付すものとする。
第３図の軸受において、凸部９は軸受パット本体３と一
体的に形成されている。凸部９の表面には潤滑性および
耐衝撃性を有する材質がコーティングされており、保護
膜１２を形成している。
体的に形成されている。凸部９の表面には潤滑性および
耐衝撃性を有する材質がコーティングされており、保護
膜１２を形成している。
第４図は、本発明の第４の実施例に係る静圧軸受の断面
を示す。同図において、第１図と共通の部材は同一の付
番を付すものとする。
を示す。同図において、第１図と共通の部材は同一の付
番を付すものとする。
第４図の軸受において、凸部２１と凹部２２とは軸受部
材２０として一体的に形成されている。
材２０として一体的に形成されている。
軸受部材２０は潤滑性および耐衝撃性を有する材質によ
り構成されている。軸受部材２０は、例えば接着等の手
段により軸受バット本体３に固定される。
り構成されている。軸受部材２０は、例えば接着等の手
段により軸受バット本体３に固定される。
第５図は、本発明の第５の実施例に係る静圧軸受の断面
を示す。同図において、１３は案内部材、１４は移動部
材、１５は軸受パッドである。
を示す。同図において、１３は案内部材、１４は移動部
材、１５は軸受パッドである。
軸受パット１５は移動部材１４に固定されている。１６
は凸部部材、１７は凸部部材１６により形成された凸部
である。凸部部材１６は、支持部材１８に接着またはボ
ルト校紀等の手段で固定されている。支持部材１８は、
移動部材１４に固定される。ここで軸受パット１５と案
内部材１３とのすき間Ｃ１と、凸部１７と案内部材１３
とのすき間Ｃ２との関係は、Ｃ，＞Ｃ，となるように調
整されている。
は凸部部材、１７は凸部部材１６により形成された凸部
である。凸部部材１６は、支持部材１８に接着またはボ
ルト校紀等の手段で固定されている。支持部材１８は、
移動部材１４に固定される。ここで軸受パット１５と案
内部材１３とのすき間Ｃ１と、凸部１７と案内部材１３
とのすき間Ｃ２との関係は、Ｃ，＞Ｃ，となるように調
整されている。
上記の構成において、図示しないコンプレッサから加圧
された空気を軸受パッド１５へ供給すると、移動部材１
４は案内部材１３に対して非接触支持される。ここで、
装置に誤操作または誤動作があると、または外部から衝
撃が加わると、凸部１７が先に案内部材１３に接触する
ため、軸受パッド１５の損傷は防止される。また、凸部
１７を構成する凸部部材１６は、潤滑性および耐衝撃性
を有する材質で形成されているため、案内部材１３の損
傷も防止される。
された空気を軸受パッド１５へ供給すると、移動部材１
４は案内部材１３に対して非接触支持される。ここで、
装置に誤操作または誤動作があると、または外部から衝
撃が加わると、凸部１７が先に案内部材１３に接触する
ため、軸受パッド１５の損傷は防止される。また、凸部
１７を構成する凸部部材１６は、潤滑性および耐衝撃性
を有する材質で形成されているため、案内部材１３の損
傷も防止される。
′８５図の軸受において、凸部部材１６は支持部材１８
を介して移動部材１４に固定されているか、支持部材１
８を移動部材１４と一体的に形成してもよい。また、凸
部１７は、第３図の軸受と同様に潤滑性および耐衝撃性
を有する材質をコーティングした保護膜としてもよい。
を介して移動部材１４に固定されているか、支持部材１
８を移動部材１４と一体的に形成してもよい。また、凸
部１７は、第３図の軸受と同様に潤滑性および耐衝撃性
を有する材質をコーティングした保護膜としてもよい。
さらに、凸部１７には第２図と同様にテーパ一部または
Ｒ部を形成してもよい。
Ｒ部を形成してもよい。
第１図〜第４図において、軸受パットは潤滑性および耐
衝撃性を有する材質で一体的に形成してもよい。
衝撃性を有する材質で一体的に形成してもよい。
上記の各実施例において、凸部部材８、保護膜１２、軸
受部材２０あるいは凸部部材１６は、セラミック例えば
Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＣ、ＳｉＮ４ 等の高硬度な材質
としてもよい。このとき、案内部材１または案内部材１
３の表面にもセラミックを溶射またはＣＶＤ等の手段に
よりコーティングするとよい。
受部材２０あるいは凸部部材１６は、セラミック例えば
Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＣ、ＳｉＮ４ 等の高硬度な材質
としてもよい。このとき、案内部材１または案内部材１
３の表面にもセラミックを溶射またはＣＶＤ等の手段に
よりコーティングするとよい。
以上第１図〜第５図においては、案内部材の断面形状が
四角形の直進スライド機構を想定して説明したが、案内
部材の断面形状が円形の直進スライド機構や回転軸にも
同様の機構を用いることができる。
四角形の直進スライド機構を想定して説明したが、案内
部材の断面形状が円形の直進スライド機構や回転軸にも
同様の機構を用いることができる。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明にによれば、軸受バッドの
凸部や移動部材に設けられた凸部に潤滑性および耐衝撃
性を有する材質、例えばカーボン系材料やフェノール樹
脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂、またはふっ
素糸樹脂等のエンジニアリング・プラスチックを用いて
いるので、装置の誤操作や誤動作または外部からの衝撃
により、軸受面が案内部材に接触したとしても軸受面と
案内部材の損傷を防止することができる。また、軸受面
と案内部材との接触を防止して、案内部材の損傷を確実
に防止することができる。以上より、案内機構の走行不
能や案内精度の劣化を防ぐことができる。
凸部や移動部材に設けられた凸部に潤滑性および耐衝撃
性を有する材質、例えばカーボン系材料やフェノール樹
脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂、またはふっ
素糸樹脂等のエンジニアリング・プラスチックを用いて
いるので、装置の誤操作や誤動作または外部からの衝撃
により、軸受面が案内部材に接触したとしても軸受面と
案内部材の損傷を防止することができる。また、軸受面
と案内部材との接触を防止して、案内部材の損傷を確実
に防止することができる。以上より、案内機構の走行不
能や案内精度の劣化を防ぐことができる。
第１図は、本発明の第１実施例に係る静圧軸受の縦断面
図、 第２図は、本発明の第２実施例に係る静圧軸受の縦断面
図、 第３図は、本発明の第３実施例に係る静圧軸受の縦断面
図、 第４図は、本発明の第４実施例に係る静圧軸受の縦断面
図、 第５図は、本発明の第５実施例に係る案内機構の縦断面
図である。 １ ： ２ ： ８ ・ 案内部材、 移動部材、 凸部部材 凸部、 ・すき間、 ：保護膜、 ：案内部材、 ：移動部材、 ：凸部部材、 ：凸部。 特許
図、 第２図は、本発明の第２実施例に係る静圧軸受の縦断面
図、 第３図は、本発明の第３実施例に係る静圧軸受の縦断面
図、 第４図は、本発明の第４実施例に係る静圧軸受の縦断面
図、 第５図は、本発明の第５実施例に係る案内機構の縦断面
図である。 １ ： ２ ： ８ ・ 案内部材、 移動部材、 凸部部材 凸部、 ・すき間、 ：保護膜、 ：案内部材、 ：移動部材、 ：凸部部材、 ：凸部。 特許
Claims (6)
- （１）案内部材との間の間隙に流体を噴出させることに
より該案内部材と非接触で相対移動可能な静圧軸受にお
いて、 前記案内部材と軸受との間の距離が最小となる部分を潤
滑性および耐衝撃性を有する材質で形成することを特徴
とする静圧軸受。 - （２）前記潤滑性および耐衝撃性を有する材質で形成さ
れる部分が、軸受面内に構成されることを特徴とする請
求項１に記載の静圧軸受。 - （３）前記潤滑性および耐衝撃性を有する材質で形成さ
れる部分が軸受面外に構成され、移動部材側に設けられ
ていることを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受。 - （４）前記潤滑性および耐衝撃性を有する材質で形成さ
れる部分が軸受面外に構成され、案内部材側に設けられ
ていることを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受。 - （５）前記潤滑性および耐衝撃性を有する材質がカーボ
ン系材料であることを特徴とする請求項１ないし４に記
載の静圧軸受。 - （６）前記潤滑性および耐衝撃性を有する材質が、フェ
ノール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアセタール樹脂、ま
たはふっ素樹脂系のエンジニアリング・プラスチックで
あることを特徴とする請求項１ないし４に記載の静圧軸
受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2268447A JP2750636B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | 静圧軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2268447A JP2750636B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | 静圧軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04145218A true JPH04145218A (ja) | 1992-05-19 |
| JP2750636B2 JP2750636B2 (ja) | 1998-05-13 |
Family
ID=17458637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2268447A Expired - Fee Related JP2750636B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | 静圧軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2750636B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6247845B1 (en) * | 1996-12-31 | 2001-06-19 | Inpeco S.R.L. | Support base for pneumostatically supported sliding mobile cars, in particular for measuring and/or automation equipment |
| US6368356B1 (en) | 1996-07-11 | 2002-04-09 | Scimed Life Systems, Inc. | Medical devices comprising hydrogel polymers having improved mechanical properties |
| JP2009052741A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-03-12 | Kyocera Corp | スライド装置およびそれを用いた処理システム |
| JP2009121337A (ja) * | 2007-11-14 | 2009-06-04 | Toyota Motor Corp | ピストン機関及びスターリングエンジン |
| CN102128206A (zh) * | 2011-03-15 | 2011-07-20 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种空气静压止推轴承 |
| JP2012125865A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Koyo Mach Ind Co Ltd | 回転テーブル |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53127953A (en) * | 1977-04-14 | 1978-11-08 | Canon Kk | Gas bearing of high quality |
| JPS5969523A (ja) * | 1982-10-08 | 1984-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体軸受 |
-
1990
- 1990-10-08 JP JP2268447A patent/JP2750636B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| CN102128206A (zh) * | 2011-03-15 | 2011-07-20 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种空气静压止推轴承 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2750636B2 (ja) | 1998-05-13 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |