KR0179449B1 - 공기 베어링 - Google Patents

Abstract

본 발명은 종방향으로 길게 뻗어 있는 봉형상 가이드 레일과, 가이드 레일의 둘레부분에 베어링 틈새만큼 일정 간격 유지된 상태로 끼워져 있으며 내주면에 복수의 오리피스가 형성된 슬라이더로 구성되어 있는 공기 베어링에 있어서, 가이드 레일의 4모서리가 모따기되어 있으며, 슬라이더의 내부에는 종방향으로 뻗어 있는 적어도 2개 이상의 공기유로를 따라 복수의 오리피스가 형성됨과 동시에, 종방향으로 배열된 오리피스를 지나도록 2개 이상의 횡방향 공기유로가 종방향 공기유로와 교차하여 뻗어있으며, 이들 횡방향 공기유로 중 최상단과 최하단의 공기유로에는 종방향 오리피스 사이에 적어도 하나 이상의 오리피스가 더 형성되어 오리피스가 전체적으로 하나의 폐곡선을 이루도록 되어있는 공기 베어링에 관한 것이다.

Description

공기 베어링

제1도는 종래의 공기베어링을 도시하는 사시도.

제2도는 제1도의 공기 베어링을 중간에서 절단한 단면도.

제3도는 종래의 공기 베어링의 오리피스 배열상태를 설명하는 도면으로,

제3a도는 오리피스가 1열인 경우,

제3b는 오리피스가 2열인 경우를 도시한다.

제4도는 본 발명에 따른 공기베어링을 도시하는 사시도.

제5도는 제4도의 공기 베어링을 중간에서 절단한 단면도.

제6도는 본 발명에 따른 공기 베어링의 오리피스 배열상태를 설명하는 도면으로,

제6a도는 횡방향으로 배열된 오리피스가 1개인 경우,

제6b도는 횡방향으로 배열된 오리피스가 2개인 경우를 도시한다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 공기 베어링 3 : 가이드 레일

5 : 베어링 틈새 9,9' : 오리피스

11 : 슬라이더 13 : 모서리

15,17 : 공기유로

본 발명은 공기 베어링에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공기 베어링의 가이드 레일과 슬라이더 사이의 베어링 틈새에서 유동하는 공기의 흐름을 원활하게 하도록 가이드 레일의 종방향 모서리를 모따기함과 동시에, 슬라이더운동시 발생하는 요동(tilting) 저항을 최소화하도록 슬라이더 내측면에 관통 설치되는 오리피스의 배열을 폐곡선 형태가 되도록 한 직동식 정압 공기 베어링에 관한 것이다.

일반적으로, 베어링이란 회전운동 또는 직선 운동하는 축을 지지하기 위해 설계 제작된 축계 기계요소로서, 베어링의 운동방식이나 형상에 따라 크게 구름 베어링(rolling bearing)과 미끄럼 베어링(plain bearing)으로 대별할 수 있다.

이들 중 미끄럼 베어링은 베어링 면과 저널이 유막 등을 사이에 두고 미끄럼운동을 하도록 되어있는 것으로, 몇 가지 기준에 따라 다음과 같이 분류될 수 있다.

먼저, 베어링 면과 운동면 사이의 베어링 틈새에 형성되는 미끄럼 막의 소재에 따라 유막 베어링, 공기 베어링, 수윤활 베어링, 오일레스 베어링 및 무윤활 베어링으로 구분될 수 있고, 베어링 틈새에서의 미끄럼 막 분포양상에 따라 동압 베어링, 정압 베어링 및 스퀴즈 필름 베어링으로, 또한 베어링에 작용하는 하중방향과 운동방향의 상관관계에 따라 레이디얼 베어링, 스러스트 베어링 및 직동식 베어링으로 구분될 수 있다.

이러한 베어링들 중 특히 최근 들어 정밀가공 또는 정밀측정 부문에서 그 효용성이 점차 증대되고'있는 고정도 직선 운동 장치나 기구에서 직선 운동을 하는 축을 지지하는데 주로 사용되는 직동식 베어링은 다시 유압식과 공압식으로 구분된다.

여기에서, 유압식 직동 미끄럼 베어링의 경우에는 베어링 면과 운동면이 윤활유로 형성된 미끄럼 막을 사이에 두고 접촉하고 있으므로 윤활유의 종류에 따라 다소 차이가 있기는 하지만 마찰, 소음, 열 발생 등 두 면이 마찰함으로써 야기되는 어느 정도의 기계적 손실은 피할 수 없게 된다.

따라서, 이러한 기계적 손실을 배제하여 베어링의 성능을 향상시키기 위해 개발된 것이 공압식 베어링이며, 이 베어링의 대표적인 예로서는 공기 베어링을 들 수 있다.

종래 주지된 바와 같이, 공기 베어링은 가이드 레일과 슬라이더 사이의 베어링 틈새에 압축공기를 분사시켜 형성되는 공기압에 의해 슬라이더를 부상시켜 하중을 지지하도록 되어있으며, 슬라이더와 가이드 레일의 형상에 따라 장방형 또는 T자형으로 나눌 수 있다.

공기 베어링도 또한 압력을 발생시키는 방식에 따라 다시 정압 베어링, 동압 베어링 및 스퀴즈 필름형 베어링으로 분류할 수 있으며, 여기에서 먼저 정압 베어링은 두 면의 상대속도가 그다지 크지 않은 대신 지지해야할 하중이 크고 요구되는 강성이 클 때 사용된다. 이 베어링은 가압된 공기를 급기시켜 리스트릭터를 통해서 베어링 틈새로 지나가게 함으로써 발생시킨 압력에 의해 부상력을 얻도록 되어있는 베어링이다.

또한, 동압 베어링은 지지해야할 하중이 비교적 작으며 상대속도가 클 때 사용된다. 서로 대향하고 있는 2개의 면이 상대적으로 움직이고 그 사이의 틈새가 쐐기모양으로 되어 이동방향으로 점점 좁아지는 테이퍼 형상으로 되어 있으므로 공기의 점성에 의해 좁은 쪽으로 끌려 들어가면서 압력을 발생시키도록 되어있는 베어링이다.

끝으로, 스튀즈 필름 베어링은 서로 가까이 접하고 있는 2개의 면이 수직방향으로 진동하게 되면 이에 의해 틈새내 공기의 압력 평균치가 주위의 압력 보다 높아지는 스퀴즈효과를 이용하여 압력을 발생시켜 부상력을 얻도록 되어있는 베어링으로서 좁은 공간에서 공기를 공급하기 어려운 상황에서 주로 이용된다.

이러한 공기 베어링으로는 제1도에 도시된 바와 같은 장방형 공기 베어링(101)이 있으며, 이 베어링(101)은 상하좌우측 4개의 측판으로 이루어진 중공의 사각통 모양 슬라이더(103)와, 이 슬라이더(103)가 부상한 상태에서 종방향으로 운동할 수 있도록 해주는 봉형상 가이드 레일(105)로 구성되어 있다.

슬라이더(103)의 내부에는 제3도에 도시된 바와 같이, 적어도 1열 이상의 공기유로(109)가 가로 및 세로 방향으로 형성되어 있으며, 종방향 공기유로(109)를 따라 복수개의 오리피스(111)가 천설되어 있으므로 공기 베어링(101)작동시 슬라이더(103)는 오리피스(111)를 통해 공급되는 압축공기에 의해 가이드 레일(105)로부터 부상하게 된다.

이와 같은 구성 및 작동 메카니즘을 갖는 공기 베어링은 여타의 베어링에 비해 다음과 같은 장점을 가지고 있다.

첫째, 윤활제로 사용하는 공기의 점성이 기름에 비하여 거의 1000분의 1수준밖에 되지 않으므로 마찰이나 열이 발생하는 등 큰 점성으로 인한 악영향을 거의 받지 않게 된다.

둘째, 공기는 기름에 비하여 온도의 영향을 비교적 덜 받는다. 즉, 기름은 저온에서는 응고하고 고온이 되면 발화되어 타버릴 위험이 있으며 윤활제로서의 기능을 상실하게 된다. 하지만, 공기는 고온이나 저온이라도 비교적 안정하기 때문에 베어링 재료 자체가 견딜 수 있는 온도범위 내에서는 윤활제로서의 역할을 확실하게 수행할 수 있게 된다.

셋째, 공기 베어링은 베어링 면의 제작 시 가공오차로 인해 발생하는 표면의 거칠기, 치수오차 또는 요철 등의 불균일성이 존재하더라도 공기에 의해서 두 면이 완전히 분리되어 운동하므로 서로 고체접촉이 일어나지 않을 뿐만 아니라 공기가 갖는 압축성에 의해 베어링면 상의 요철 등이 얇은 공기 막에 의해 고르게 되는 평균화 효과에 의해서 아주 매끄러운 운동을 하게 된다.

넷째, 기름에 의한 오염과 같은 환경파괴를 염려할 필요가 없게 되며, 일정 주기마다 작동유체를 교환해주는 등의 번거로움을 덜어준다.

다섯째, 두 면이 서로 접촉하는 일이 없이 운전되므로 수명이 길어지고 소음이나 마모도 발생하측 않는다.

여섯째, 방사능에 노출되는 것과 같은 열악한 환경에서도 사용이 가능하다 기름은 방사능에 노출되면 마치 피치처럼 굳어버려서 윤활제로서의 기능을 잃게 되는 반면에 공기 베어링은 작동유체가 공기이므로 방사능 환경에서도 사용이 가능하게 된다.

일곱째, 다른 베어링에 비해 베어링 틈새가 작아 하드디스크와 같은 자기기억매체의 헤드를 부상시키는데 사용될 수 있다.

이와 같이, 종래의 공기 베어링(101)은 여러 가지 장점을 가지고 있으며, 특히 제1도와 제2도에 도시된 바와 같이 운동부인 슬라이더(103)와 안내부인 가이드 레일(105)이 전혀 접촉하지 않는 비접촉식 베어링이므로, 유압식 베어링에서와 같은 마찰의 문제가 거의 야기되지 않으므로 정밀을 요하는 작업에 사용되는 공구 이송용으로 매우 유용하게 사용되어져 왔던 것이다.

그러나, 이러한 종래의 공기 베어링(101)은 다음과 같은 몇 가지 문제점을 가지고 있었다.

일반적으로, 종래의 공기 베어링(101)은 베어링 틈새(107)에서의 공기압분포가 공기 분사구인 오리피스(111)에서 가장 높고 오리피스(111)에서 멀어질수록 급속히 낮아지므로 대기압과 만나는 경계에서의 공기압이 대기압으로 된다. 또한 그 형태가 장방형인 경우 대기압과 만나는 곳에서의 압력은 대기압이 형성되지만 오리피스(111)에서 먼곳에 위치하면서 대기압과 만나지 않는 부분(a)에서의 압력은 대기압보다 큰 압력으로 형성 분포된다. 그리고 이 압력 분포는 상하 베어링 틈새(107-1,107-2)에 위치한 오리피스(111)에 의해서 발생되는 압력과 좌우 베어링 틈새(107-3,107-4)에 위치한 오리피스(111)에서 급기되느 공기압에 의해 발생되는 압력게 의해 결정된다.

따라서, 만약 제1도에 도시된 바와 같은 하중(L) 또는 외란이 위쪽에 가해지지 않는 경우에는 위쪽의 틈새(107-1)에서 발생되는 압력과 아래 틈새(107-2)에서 발생되는 압력은 거의 비슷하여 틈새(107) 내부에서의 압력차가 없기 때문에 공기의 흐름이 발생되지 않게 된다. 그러나, 제1도에서와 같이 위쪽에 하중(L) 등이 가해지면 위쪽 틈새(107-1)의 압력은 아래쪽 틈새(107-2)의 압력보다 상대적으로 높아지므로 압력차에 의해 순간적으로 공기가 틈새(107-3,107-4)를 따라 아래쪽으로 흐르게 된다.

이때, 틈새(107-3,107-4)의 간격이 약간이라도 다르면 고압측(107-1)에서 저압측(107-2)으로 공기가 흐를 때 베어링(101) 좌우측의 압력차가 다르게 분포될 것이며, 이에 따라 틈새(107-3)와 틈새(107-4)에 작용하는 힘에 차이가 생기게 되며, 결과적으로 이 힘의 차이와 아래쪽 틈새(107-2)로부터 이격된 거리의 곱으로 표현되는 토크가 발생하여 원하지 않는 베어링(101)의 구름(rolling) 운동이 발생된다.

마찬가지로, 만약 하중이나 외란이 오른쪽에서 발생하게 된다면 위쪽과 아래쪽의 틈새(107-1,107-2)에서의 압력 분포가 틈새(107-1,107-2) 오른쪽에서 커지고, 왼쪽에시 작아지므로 순간적인 구름운동이 발생하는 것을 예상할 수 있게 된다. 이와 같이, 종래의 공기 베어링(101)의 경우 상하틈새(107-1,107-2)에서의 압력분포 변화가 좌우틈새(107-3,107-4)에서의 압력 분포에 영향을 미쳐 결과적으로, 공기 베어링(101)따라서 슬라이더(103)에 바람직하지 못한 운동을 발생시키는 문제점을 가지고 있었다.

또한, 예를 들어 제3도에 도시된 바와 같이, 슬라이더(103) 내주면에 형성되어 있는 오리피스(111)는 필요로 하는 강성과 지지하중에 따라 1열 또는 2열로 배열되어 있으며, 따라서 이러한 오리피스(111)의 배열구조로 인해 하중이 앞쪽 부분(a)에 가해지면 요동(tilting) 현상이 일어나게 되는데 이러한 요동 현상은 정밀을 요하는 직선운동에서 상당히 큰 문제를 야기시킨다. 물론, 설계시 오리피스(111)의 수와 지름의 크기를 적절히 선정하면 요동을 극복하는데 필요한 요동저항강성을 얻을 수 있으나 이 경우에는 전체 시스템의 효율이 떨어질 수 밖에 없는 문제점이 있었다.

더욱이, 제3b도에 도시된 것처럼 오리피스(111)가 등간격으로 2열로 배열될 경우 상변과 하변을 이루는 각각 2개의 오리피스(111)가 등간격을 이루지 못하고 벌어져 있는 11자 모양의 개방형 배열구조를 갖는 경우에 있어서 위쪽 브븐(a)과 아래쪽 부분(b)에서의 공기 압력이 대기압 상태로 급격히 낮아지므로 이 부분(a,b)에서 지지하중이 크게 손실되는 문제점도 또한 가지고 있었다.

이와 같이, 종래의 공기 베어링(101)은 오리피스(111)를 통해 가압된 공기를 급기하고, 급기된 공기에 의해 고정된 가이드 레일(105)과 슬라이더(103) 사이의 베어링 틈새(107)에 공기 층을 형성하여 슬라이더(103)를 비접촉 상태로 운동시키도록 되어있으므로, 가압되는 공기의 압력과 베어링 틈새(107), 오리피스(111)의 직경 및 갯수에 따라 성능이 매우 민감하게 좌우된다. 또한, 베어링 틈새(107)에서의 공기 압력 분포에 따라 강성과 지지하중이 큰 차이를 갖게 된다. 특히 고정밀을 요하는 작업 제어시 공기 베어링(101)이 사용되는 경우 피칭(pitching), 요잉 (yawing) 및 구름운동량은 정밀도에 큰 영향을 끼치게 되는 것이다.

따라서, 이러한 문제점을 해결하기 위한 다양한 연구 및 개발등 다양한 시도가 당해 기술분야에서 활발하게 이루어져 왔으며, 본 발명도 마찬가지로 위와 같은 종래의 공기 베어링이 갖는 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것이다.

그러므로, 본 발명의 목적은 베어링 틈새에 급기된 공기가 오리피스에서 압력이 가장 높게 유지되면서도 오리피스로부터 멀어짐에 따라 압력이 급격히 떨어져 대기압과 같은 수준이 됨으로써, 공기 베어링에 하중이나 외란이 작용하더라도 상하 좌우 틈새에서의 압력 분포가 상호 영향을 받지 않고 고립될 수 있도록 하여 슬라이더가 순간적으로 구름운동을 하는 등 공기 베어링이 오작동하는 일없이 안전하게 사용될 수 있도록 하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 슬라이더 운동시 하중 또는 외란이 슬라이더의 앞쪽이나 뒤쪽 끝부분에 가해지더라도 요동 현상이 일어나지 않도독 함으로써 공기 베어링이 고도의 정밀을 요하는 직선운동장치에도 높은 신뢰성을 갖고 사용될 수 있도록 하는데 있다.

따라서, 본 발명은 이러한 목적을 달성하기 위하여, 종방향으로 길게 뻗어있는 봉형상 가이드 레일과, 가이드 레일의 둘레부분에 베어링 틈새만큼 일정 간격 유지된 상태로 끼워져 있으며 내주면에 복수의 오리피스가 형성된 슬라이더로 구성되어 있는 공기 베어링에 있어서, 가이드 레일의 4 모서리가 모따기되어 있는 공기 베어링을 제공하고자 하는 것이다.

또한, 본 발명은 종방향으로 길게 뻗어있는 봉형상 가이드 레일과, 가이드 레일의 둘레부분에 베어링 틈새만큼 일정 간격 유지된태로 끼워져 있으며 내주면에 복수의 오리피스가 형성된 슬라이더로 구성되어 있는 공기 베어링에 있어서, 슬라이더의 내부에는 종방향으로 뻗어있는 적어도 2개 이상의 공기 유로를 따라 복수의 오리피스가 형성됨과 동시에, 종방향으로 배열된 오리피스를 지나도록 2개 이상의 횡방향 공기유로가 종방향 공기유로와 교차하여 뻗어있으며, 이들 횡방향 공기유로 중 최상단과 최하단의 공기 유로에는 종방향 오리피스 사이에 적어도 하나 이상의 오리피스가 더 형성되어 오리피스가 전체적으로 하나의 폐곡선을 이루도록 되어있는 공기 베어링을 제공하고자 하는 것이다.

이하, 첨부도면을 참고로 본 발명에 따른 공기 베어링의 실시예를 설명하면 다음과 같다.

제4도 및 제5도에 도시된 바와 같이, 공기 베어링(1)은 크게 봉형상 가이드 레일(3)과 이 가이드 레일(3)의 외주부에 끼워져 있는 슬라이더(11)로 구성되어 있다.

이 가이드 레일(3)은 종방향으로 길게 뻗어있으며, 공작기계 등 소정의 사용 장치의 적정위치에 고정된다. 가이드 레일(3)의 네 곳의 모서리(13)는 예컨대 45° 정도로 모따기되어 있다.

가이드 레일(3)의 외주부에는 이 레일(3)을 따라 종방향으로 이동할 수 있도록 되어 있는 슬라이더(11)가 베어링 틈새(5)를 사이에 두고 끼워져있다.

이 슬라이더(11)는 상하좌우측 4개의 측판(11-1,-2,-3,-4)으로 형성된 중공의 장방형 통 모양으로 되어있다. 슬라이더(11)의 각각의 측판(11-1,-2,-3,-4) 내부에는 제6도에 도시된 것처럼 적어도 2이상의 공기 유로(15)가 종방향으로 뻗어 있으며, 이 공기 유로(15)를 따라 복수의 오리피스(9)가 슬라이더(11)의 내주변 즉 측판(11-1,-2,-3,-4) 내부면에 각각 천설되어 있다. 또한, 측판(11-11,-2,-3,-4) 내부에 는 공기유로(15)를 따라 종방향으로 배열된 오리피스(9)를 지나도록 2개 이상의 횡방향 공기 유로(17)가 공기 유로(15)와 교차하여 뻗어있다.

이들 횡방향 공기 유로(17) 중 최상단과 최하단의 공기유로(17)에는 슬라이더(11)에 요구되는 지지강도나 요동 저항성을 고려하여 오리피스(9)들 사이에 하나 이상의 오리피스(9')가 형성되어 있다. 예컨대, 제66a도에서 도시된 경우에는 1개의 오리피스(9')가, 제6b도에 도시된 경우에는 2개의 오리피스(9')가 천설되어 있다. 이와 같이, 오리피스(9,9')는 전체적으로 폐곡선 형태의 배열을 갖게 된다.

이와 같이 구성된 본 발명의 공기 베어링(1)은 작동시 먼저 슬라이더(11)에 외부로부터 압축 공기가 유입된다. 공급된 압축공기는 공기 유로(15,17)를 따라 슬라이더(11)의 측판(11-1,-2,-3,-4) 내주면에 각각 천설되어 있는 오리피스(9,9')를 통해 가이드 레일(3)로 분사된다. 압축공기의 분사에 의해서 슬라이더(11)는 가이드 레일(3)로부터 부상하여 비접촉 상태로 이동할 수 있게된다.

이때, 급기된 공기는 오리피스(9,9')에서 가장 압력이 크고 오리피스(9,9')에서 멀어지면서 압력이 급격히 작아진다. 또한 제6a도에 표시된 슬라이더 상하단 중간부분(a,b)에서의 압력은 가이드 레일(3)의 모서리(13)가 모따기되어 있으므로 대기압과 비슷한 압력을 가지게 된다. 이렇게 되면 좌우 베어링 틈새(5-3,5-4)의 압력 분포가 상하 베어링 틈새(5-1,5-2)의 압력 분포에 영향을 미치지 못한다.

다시 말해, 예를 들어 위쪽에서 하중이 가해지면 상부 베어링 틈새(5-1)는 좁아지고 하부 베어링 틈새(5-2)는 넓어지므로 틈새(5-1)에서 압력이 상승하는 현상은 종래의 공기 베어링에서와 동일하지만 상승한 압력이 모따기된 모서리(13) 부분에서 대기압 상태가 되므로 좌우 베어링 틈새(5-3,-4)에서의 압력 분포에 영향을 주지 못하게 된다. 따라서 슬라이더(11)에 구름운동과 같은 오동작이 발생하지 않으므로 고정도의 움짐임이 요구되는 장치에서 안전하게 사용할 수 있게된다.

또한, 슬라이더(11) 최상단 및 최하단 횡방향 공기 유로(17)를 따라 종방향 오리피스(9,9) 사이에 1개 이상의 오리피스(9')를 천설하여 형성함으로써 하중이나 외란이 제6도의 중간부분(a,b)에 가해지더라도 오리피스(9')를 통해 추가적으로 공기를 분사하게 되므로 오리피스(9') 수에 비례하여 전체 베어링(1)의 요동저항 강성을 높일 수 있게 된다. 아울러, 오리피스(9,9')가 닫힌 형태의 배열 구조가 되므로 오리피스(9,9')에 의해 둘러싸인 안쪽 면에서의 압력은 일정하면서도 상당히 높은 압력을 유지할 수 있게 되므로 큰 하중지지성능과 강성을 얻게된다. 더욱이 오리피스(9,9') 안쪽에 형성되는 압력 분포는 큰 차이가 없으므로 오리피스(9,9')의 배열을 약간 바깥쪽으로 위치시키면 높은 압력이 형성되는 면적을 보다 많이 확보하게 되어 더 큰 부하 지지성능과 강성을 얻을 수 있게 된다.

그러므로, 본 발명의 공기 베어링에 의하면, 베어링 동작시 예기치 않은 하중이나 외란이 작용하여 베어링 틈새의 간격이 일시적으로 변화되더라도, 모따기된 가이드 레일의 모서리 부분에서 압축공기의 압력이 대기압과 거의 동일하게 유지되므로 베어링 틈새의 압력 분포가 서로 영향을 받지 않도록 하고, 또한 슬라이더의 앞쪽이나 뒤쪽 끝부분에 하중 등이 가해지더라도 추가된 오리피스에 의해 요동저항강성 및 지지하중을 극대화하여 요동 현상이 일어나지 않도록 함으로써 공기 베어링이 고도의 정밀을 요하는 직선운동장치 예컨대, 표면조도 측정작업 또는 반도체 웨이퍼의 경면 가공작업 등에 사용되는 공구 이송용으로 매우 유용하게 사용할 수 있게 되는 것이다.

상술한 바와 같은 본 발명은 첨부 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 발명의 상세한 설명 및 도면을 통하여 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 수정 및 변경이 가능하다 할 것이다.

Claims (5)

1. 종방향으로 길게 뻗어 있는 봉형상 가이드 레일(3)과, 상기 가이드 레일(3)의 둘레부분에 베어링 틈새(5)만큼 일정 간격 유지된 상태로 끼워져 있으며 내주면(7)에 복수의 오리피스(9)가 형성된 슬라이더(11)로 구성되어 있는 공기 베어링에 있어서, 상기 가이드 레 일(3)의 4 모서리(13)가 모따기되어 있는 것을 특징으로 하는 공기 베어링.
2. 제1항에 있어서, 상기 모서리(13)가 모따기되는 각도는 45°인 것을 특징으로 하는 공기 베어링.
3. 종방향으로 길게 뻗어 있는 봉형상 가이드 레일(3)과, 상기 가이드 레일(3)의 둘레부분에 베어링 틈새(5)만큼 일정 간격 유지된 상태로 끼워져 있으며 내주면(7)에 복수의 오리피스(9)가 형성된 슬라이더(11)로 구성되어있는 공기 베어링에 있어서, 상기 슬라이더(11)의 내부에는 종방향으로 뻗어있는 적어도 2개 이상의 공기유로(15)를 따라 복수의 오리피스(9)가 형성됨과 동시에, 종방향으로 배열된 상기 오리피스(9)를 지나도록 2개 이상의 횡방향 공기유로(17)가 상기 공기유로(15)와 교차하여 뻗어있으며, 상기 횡방향 공기유로(17) 중 최상단과 최하단의 공기유로(17)에는 상기 오리피스(9) 사이에 적어도 하나 이상의 오리피스(9')가 형성되어 상기 오리피스(9,9')가 전체적으로 하나의 폐곡선을 이루도록 되어있는 것을 특징으로 하는 공기 베어링.
4. 종방향으로 길게 뻗어 있는 봉형상 가이드 레일(3)과, 상기 가이드 레일(3)의 둘레부분에 베어링 틈새(5)만큼 일정 간격 유지된 상태로 끼워져 있으며 내주면(7)에 복수의 오리피스(9)가 형성된 슬라이더(11)로 구성되어 있는 공기 베어링에 있어서, 상기 가이드 레 일(3)의 4 모서리(13)가 모따기되어 있으며, 상기 슬라이더(11)의 내부에는 종방향으로 뻗어 있는 적어도 2개 이상의 공기유로(15)를 따라 복수의 오리피스(9)가 형성됨과 동시에 종방향으로 배열된 상기 오리피스(9)를 지나도록 2개 이상의 횡방향 공기유로(17)가 상기 공기유로(15)와 교차하여 뻗어있으며, 상기 횡방향 공기유로(17) 중 최상단과 최하단의 공기유로(17)에는 상기 오리피스(9) 사이에 적어도 하나 이상의 오리피스(9')가 형성되어 상기 오리피스(9,9')가 전체적으로 하나의 폐곡선을 이루도록 되어있는 것을 특징으로 하는 공기 베어링.
5. 제4항에 있어서, 상기 모서리(13)가 모따기되는 각도는 45°인 것을 특징으로 하는 공기 베어링.