JPH04137050U - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】電子装置用基板の必要な検査項目を迅速かつ容
易に行なうことができ、検査能率を向上させる。 【構成】電子装置用基板１をステージ１０に据え付け、
ステージ１０上の電子装置用基板１に各種方向から検査
光を照射して外観を観察する検査装置であり、各種の検
査項目に対応して検査光を照射する複数の発光部２〜６
を配設したものである。複数の発光部には、波長帯域が
狭く照射面積の広い検査光を有する発光部２と、高輝度
の発光部３〜６を設け、また発光部３〜６は照射方向を
可変にしてある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、電子装置用基板をステージに据え付け、ステージ上の電子装置用基 板に各種方向から検査光を照射して外観を観察する検査装置に関し、例えば、液 晶用大型ガラス基板の回路パターン、レジスト塗布むら、傷、塵等を目視検査す るのに適したものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、電子装置たる液晶用の大型のガラス基板を目視検査する場合、検査装置 は、ステージを、その載物面内で直角に交叉するＸ方向とＹ方向とに独立して傾 斜運動をさせるとともに、Ｘ方向とＹ方向との交点を中心とする回転運動をする ように支持し、検査光は単一の発光部を設けるものが一般的であった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このような従来の技術では、検査光の発光部が単一であるため 、光の種類や照射方向の自由度が低く、検査しにくい検査項目があったり、見落 としが発生しやすく、また、検査時間がかかって検査能率が悪いという問題点が あった。

【０００４】 本考案は、このような従来の技術が有する問題点に着目してなされたもので、 必要な検査項目を迅速かつ容易に行なうことができ、検査能率を向上させること ができるようにした検査装置を提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

かかる目的を達成するための本考案の要旨とするところは、 １ 電子装置用基板をステージに据え付け、ステージ上の電子装置用基板に各種 方向から検査光を照射して外観を観察する検査装置において、 各種の検査項目に対応して検査光を照射する複数の発光部を配設したことを特 徴とする検査装置。

【０００６】 ２ 電子装置用基板をステージに据え付け、ステージ上の電子装置用基板に各種 方向から検査光を照射して外観を観察する検査装置において、 各種の検査項目に対応して検査光を照射する複数の発光部を配設し、該複数の 発光部には、波長帯域が狭く照射面積の広い検査光を有するものと、高輝度のも のとを設けたことを特徴とする検査装置。

【０００７】 ３ 発光部のすくなくともいくつかは、照射方向を可変にしたことを特徴とする 項１または２記載の検査装置に存する。

【０００８】

【作用】

電子装置用基板はステージ上に載せて据え付け、発光部から検査光を照射し、 外観のパターン、レジスト塗布むら、傷、塵等を検査する。各種の検査項目に応 じた発光部からの検査光により複数の外観検査が迅速になされる。

【０００９】 発光部の中には波長帯域が狭く照射面積の広い検査光を発するものがあり、全 体観察による回路パターンの良否やレジストむらの観察に能力を発し、また高輝 度の検査光では、乱反射により傷や塵の観察がしやすい。

【００１０】 そのままでは対応し切れない検査項目があったり、調節を要する場合は、発光 部の照射方向を変えて適切な状態で観察ができるようにしてから検査を行なう。

【００１１】

【実施例】

以下、図面に基づき本考案の一実施例を説明する。 図１は本考案の一実施例を示している。

【００１２】 電子装置用基板１はステージ１０の上面に据え付けられ、ステージ１０上の電 子装置用基板１は観察方向Ａから外観を観察されるよう配設されている。電子装 置用基板１は図示省略した位置決め装置により姿勢を決めて保持されている（例 えば、実開昭６２−１４０７３３号公報参照）。

【００１３】 ステージ１０上の電子装置用基板１に各種の検査項目に対応して検査光を照射 する複数の発光部２および３〜６が配設されている。発光部２は観察方向Ａの前 方の斜め上から電子装置用基板１を照射する方向に設定され、例えば、短波長カ ットフィルタを通した水銀灯のような波長帯域が狭く照射面積の広い検査光を発 するものである。

【００１４】 発光部３〜６はいずれも高輝度で、観察方向Ａの図１において左斜め上から照 射する方向に設定され、例えばレジストの感光波長をカットするイエローフィル タを設けたハロゲンランプが用いられる。また、発光部３〜６は可撓性のあるフ ァイバーの先端に設けられ、ファイバーで伝達される検査光の照射方向が可変に なっている。

【００１５】 次に作用を説明する。

【００１６】 電子装置用基板１はステージ１０上に載せて据え付け、発光部２〜６から検査 光を照射し、外観のパターン、レジスト塗布むら、傷、塵等を検査する。発光部 ２〜６は各種の検査項目に応じていて、各検査光により複数の外観検査が迅速に なされる。

【００１７】 ステージ１０は図示省略した公知の姿勢可変装置により、傾斜，回転し、それ に従う電子装置用基板１の姿勢に応じた発光部２〜６の検査光が利用される。発 光部３〜６は照射方向が可変であるので、電子装置用基板１の大きさや種類に応 じて適宜方向を調節する。

【００１８】 発光部２は波長帯域が狭く照射面積の広い検査光を発して電子装置用基板１全 体を照射し、正反射を全体観察して回路パターンの良否やレジストむらを発見す るのに有効である。高輝度の検査光を発する発光部３〜６は、乱反射を利用して 傷や塵を発見する。

【００１９】 そのままでは対応し切れない検査項目があったり、調節を要する場合は、発光 部発光部３〜６の照射方向を変えて適切な状態で観察ができるようにしてから検 査を行なう。

【００２０】

【考案の効果】

本考案にかかる検査装置によれば、各種の検査項目に対応して検査光を照射す る複数の発光部を配設したので、各種検査項目に適した検査光をそれぞれ得るこ とができ、見落としのない正確な検査をすることができる。各検査光により基板 を同時に照明すれば各種検査項目を平行して行なうこともでき、検査時間を短縮 することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す検査装置の斜視図であ
る。

【符号の説明】

１…電子装置用基板 ２〜６…発光部 １０…ステージ

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】電子装置用基板をステージに据え付け、ス
   テージ上の電子装置用基板に各種方向から検査光を照射
   して外観を観察する検査装置において、各種の検査項目
   に対応して検査光を照射する複数の発光部を配設したこ
   とを特徴とする検査装置。
2. 【請求項２】電子装置用基板をステージに据え付け、ス
   テージ上の電子装置用基板に各種方向から検査光を照射
   して外観を観察する検査装置において、各種の検査項目
   に対応して検査光を照射する複数の発光部を配設し、該
   複数の発光部には、波長帯域が狭く照射面積の広い検査
   光を有するものと、高輝度のものとを設けたことを特徴
   とする検査装置。
3. 【請求項３】発光部のすくなくともいくつかは、照射方
   向を可変にしたことを特徴とする請求項１または２記載
   の検査装置。