JPH0413629B2 - - Google Patents
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- JPH0413629B2 JPH0413629B2 JP61082042A JP8204286A JPH0413629B2 JP H0413629 B2 JPH0413629 B2 JP H0413629B2 JP 61082042 A JP61082042 A JP 61082042A JP 8204286 A JP8204286 A JP 8204286A JP H0413629 B2 JPH0413629 B2 JP H0413629B2
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- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、空気分離装置の制御方法に関するも
のである。
のである。
空気分離装置の制御方法としては、特公昭55−
9627号に記載された方法がある。この方法の要旨
は、プラント各部の運転条件を入力として原料空
気量を演算し、原料空気流量調節器の設定値とし
て出力しようとするものである。しかしながら、
この方法においては、制御結果によるフイードバ
ツクについては何ら考慮されていない。
9627号に記載された方法がある。この方法の要旨
は、プラント各部の運転条件を入力として原料空
気量を演算し、原料空気流量調節器の設定値とし
て出力しようとするものである。しかしながら、
この方法においては、制御結果によるフイードバ
ツクについては何ら考慮されていない。
上記従来の方法においては、あらかじめ想定し
た以外の外乱により製品純度に影響がでた場合に
おいても、何等処理できないという欠点があつ
た。
た以外の外乱により製品純度に影響がでた場合に
おいても、何等処理できないという欠点があつ
た。
本発明の目的は、上記欠点を除き製品純度に影
響がでた場合、もしくは影響が出そうな場合に
は、自動的に具体的処置を施すことにより、製品
純度を回復させることができる空気分離装置の制
御方法を提供することにある。
響がでた場合、もしくは影響が出そうな場合に
は、自動的に具体的処置を施すことにより、製品
純度を回復させることができる空気分離装置の制
御方法を提供することにある。
上記問題点は、製品純度、精留塔内温度又は温
度差等の制御結果が目標値を外れた場合、精留塔
の運転条件を変更することにより解決される。
度差等の制御結果が目標値を外れた場合、精留塔
の運転条件を変更することにより解決される。
製品純度が規定値か否かを判断し、規定値以上
であれば、原料空気量の演算式における液体空気
中の酸素濃度は規定値として原料空気量を計算
し、それぞれのマイナー制御系に設定値を出力
し、製品純度が規定値以下の場合は、原料空気量
の演算式における液体空気中の酸素濃度を異常時
の値に変更して原料空気量を計算し、それぞれの
マイナー制御系に設定値を出力して、製品純度を
規定値以上に回復させる。
であれば、原料空気量の演算式における液体空気
中の酸素濃度は規定値として原料空気量を計算
し、それぞれのマイナー制御系に設定値を出力
し、製品純度が規定値以下の場合は、原料空気量
の演算式における液体空気中の酸素濃度を異常時
の値に変更して原料空気量を計算し、それぞれの
マイナー制御系に設定値を出力して、製品純度を
規定値以上に回復させる。
以下本発明の一実施例を空気分離装置の一種で
ある窒素発生装置を例にとり詳細に説明する。
ある窒素発生装置を例にとり詳細に説明する。
第１図は空気分離プロセスと制御装置の結合を
示す図である。本図によりプロセスを説明する。
まず、管１より導入された原料空気は原料空気圧
縮機２により深冷液化精留分離に必要な所定圧力
約７Kg／cm2Ｇまで圧縮される。圧縮された空気は
前処理装置３により水分、炭酸ガス等の不純物が
吸着除去される。
示す図である。本図によりプロセスを説明する。
まず、管１より導入された原料空気は原料空気圧
縮機２により深冷液化精留分離に必要な所定圧力
約７Kg／cm2Ｇまで圧縮される。圧縮された空気は
前処理装置３により水分、炭酸ガス等の不純物が
吸着除去される。
不純物が除去された清浄な空気は一部が計装用
空気、シール用空気等として管６より抜出され残
りが深冷液化精留分離装置４に導かれ冷却液化精
留分離されて製品ガス窒素が管５より製品液体窒
素が管６より得られる。
空気、シール用空気等として管６より抜出され残
りが深冷液化精留分離装置４に導かれ冷却液化精
留分離されて製品ガス窒素が管５より製品液体窒
素が管６より得られる。
本構成中深冷液化精留分離部の要部について第
２図により詳細に説明する。
２図により詳細に説明する。
原料空気は管２１より一部液の状態で精留塔２
０１に吹込まれ、ガスは精留塔内の上昇ガスとな
る。上昇ガスは後述する。環流液と気液接触しな
がら塔頂で高純度の窒素ガスとなる。高純度の窒
素ガスの一部は管２２より製品ガスとして取出さ
れる。残りは、窒素凝縮器２０２で液化され前述
の環流液となる。環流液の一部は製品液体窒素と
して管２３より取出される。
０１に吹込まれ、ガスは精留塔内の上昇ガスとな
る。上昇ガスは後述する。環流液と気液接触しな
がら塔頂で高純度の窒素ガスとなる。高純度の窒
素ガスの一部は管２２より製品ガスとして取出さ
れる。残りは、窒素凝縮器２０２で液化され前述
の環流液となる。環流液の一部は製品液体窒素と
して管２３より取出される。
残りの環流液は前述の上昇ガスと気液接触しな
がら精留塔内を下降し塔底部で液体空気となる。
がら精留塔内を下降し塔底部で液体空気となる。
液体空気は管２４を通り弁２５で断熱膨張し温
度低下し前述の窒素の液化用冷媒として窒素凝縮
塔２０２に供給される。窒素凝縮器に供給された
液体空気は前述の窒素ガスを液化することにより
自身は蒸発して廃ガスとなり管２６より排出され
る。
度低下し前述の窒素の液化用冷媒として窒素凝縮
塔２０２に供給される。窒素凝縮器に供給された
液体空気は前述の窒素ガスを液化することにより
自身は蒸発して廃ガスとなり管２６より排出され
る。
上記構成において、物質収支を考える。管２１
より供給する空気量をQA、管２２より取出すガ
ス窒素量をQGN、管２３より取出す液体窒素量
をQLN、塔底より出ていく液体空気量をQLA、
液体空気中の酸素濃度をＸとすると、下記の関係
式が成立する。
より供給する空気量をQA、管２２より取出すガ
ス窒素量をQGN、管２３より取出す液体窒素量
をQLN、塔底より出ていく液体空気量をQLA、
液体空気中の酸素濃度をＸとすると、下記の関係
式が成立する。
QA＝QLA＋QGN＋QLN …… (1)
また原料空気中（大気中）の酸素濃度は21％で
あり、製品窒素中の酸素濃度は０％であることか
ら酸素について物質収支を考えると、原料空気中
の酸素分はすべて精留塔下部よりの液体空気の中
に含まれて送出されることになり下記の関係式が
成立する。
あり、製品窒素中の酸素濃度は０％であることか
ら酸素について物質収支を考えると、原料空気中
の酸素分はすべて精留塔下部よりの液体空気の中
に含まれて送出されることになり下記の関係式が
成立する。
Ｘ×QLA＝0.21×QA …… (2)
ただし、Ｘ：液体空気中の酸素濃度
∴QLA＝0.21／Ｘ×QA …… (3)
(3)式を(1)式に代入すると
QA＝0.21／Ｘ×QA＋QGN＋QLN …… (4)
∴QA＝Ｘ（QGN＋QLN）／Ｘ−0.21 …… (5)
∴QGN＋QLN＝（Ｘ−0.21）QA／Ｘ …… (6)
すなわち(5)式は必要な製品窒素量と液体空気中
の酸素濃度を設定すれば必要な原料空気量が求ま
ることを示し、(6)式は供給可能な原料空気量と液
体空気中の酸素濃度を設定すれば採取可能な製品
窒素量が求まることを示している。
の酸素濃度を設定すれば必要な原料空気量が求ま
ることを示し、(6)式は供給可能な原料空気量と液
体空気中の酸素濃度を設定すれば採取可能な製品
窒素量が求まることを示している。
上記において液体空気中の酸素濃度Ｘは、装置
の安全上の理由から空気中の微量アセチレン等が
窒素凝縮器２０２中の液体空気中で濃縮蓄積析出
しないようアセチレンの液体空気中における溶解
度と気液平衡の関係より決定されるが詳細につい
ては省略する。
の安全上の理由から空気中の微量アセチレン等が
窒素凝縮器２０２中の液体空気中で濃縮蓄積析出
しないようアセチレンの液体空気中における溶解
度と気液平衡の関係より決定されるが詳細につい
ては省略する。
なお上記は単に物質収支についてのみ説明した
が精留塔の安定運転条件のためには精留塔内の下
降液（環流液）と上昇ガスの比（以下Ｌ／Ｖと表
す）を一定にする必要がある。
が精留塔の安定運転条件のためには精留塔内の下
降液（環流液）と上昇ガスの比（以下Ｌ／Ｖと表
す）を一定にする必要がある。
第２図の精留部全体の熱収支を考えると製品と
してガス窒素のみ採取している場合は、液体窒素
は零のため、精留部から外部に出ていくものは管
２６よりの廃ガスと管２２よりのガス窒素ですべ
てガス状であり、精留部に入る原料空気もガス状
であればほぼバランスすると考えてよい。ところ
が、一部、製品として液体窒素を採取する場合は
液として抜出すために、熱収支的にこの液量に相
当する液化のための寒冷量が必要となつてくる。
本精留部における外部より入つてくる部分は管２
１の原料空気だけであり、すなわち採取すべき液
体窒素量に相当する分量だけ、液として入つてく
る必要があり、その量はほぼ製品液体窒素と同量
と考えてよい。
してガス窒素のみ採取している場合は、液体窒素
は零のため、精留部から外部に出ていくものは管
２６よりの廃ガスと管２２よりのガス窒素ですべ
てガス状であり、精留部に入る原料空気もガス状
であればほぼバランスすると考えてよい。ところ
が、一部、製品として液体窒素を採取する場合は
液として抜出すために、熱収支的にこの液量に相
当する液化のための寒冷量が必要となつてくる。
本精留部における外部より入つてくる部分は管２
１の原料空気だけであり、すなわち採取すべき液
体窒素量に相当する分量だけ、液として入つてく
る必要があり、その量はほぼ製品液体窒素と同量
と考えてよい。
以上のことより精留塔内の上昇ガス量Ｖは、原
料空気量から液として入つてくるものを差引いた
値であり、下記の如く表わされる。
料空気量から液として入つてくるものを差引いた
値であり、下記の如く表わされる。
Ｖ＝QA−QLN …… (7)
一方精留塔内の下降液量Ｌは、上昇ガスから製
品ガス窒素と製品液体窒素を差引いたものであり
次の如く表わされる。
品ガス窒素と製品液体窒素を差引いたものであり
次の如く表わされる。
Ｌ＝Ｖ−QGN−QLA …… (8)
(8)に(7)を代入すると
Ｌ＝QA−QLN−QGN−QLN …… (9)
∴Ｌ＝QA−QGN−2QLN …… (10)
(7)および(10)よりＬ／Ｖを求めると、
Ｌ／Ｖ＝QA−QGN−2QLN／QA−QLN…… (11)
∴QA＝QGN＋QLN／（１−Ｌ／Ｖ）＋QLN …… (12)
又は
QA＝QGN＋（２−Ｌ／Ｖ）QLN／１−Ｌ／Ｖ
…… （13）
(12)式は全製品ガスの場合に比較して、液製品量
だけ原料空気が多く必要であることを示してい
る。
だけ原料空気が多く必要であることを示してい
る。
また、（13）式において同一空気量の時に液製
品を△QLNだけ増やした場合のガス製品を減じ
る量△QGNは分子を定数として得られる下記関
係式より求まる。
品を△QLNだけ増やした場合のガス製品を減じ
る量△QGNは分子を定数として得られる下記関
係式より求まる。
QGN＋（２−Ｌ／Ｖ）QLN＝QGN−△
QGN ＋（２−Ｌ／Ｖ）（QLN＋△QLN）
…… （14） ∴△QGN−（２−Ｌ／Ｖ）△QLN
…… （15） すなわち同一原料空気量で、液製品を増減する
場合ガス製品は（２−Ｌ／Ｖ）倍の割合で操作し
なければ同一条件とならないことを示している。
QGN ＋（２−Ｌ／Ｖ）（QLN＋△QLN）
…… （14） ∴△QGN−（２−Ｌ／Ｖ）△QLN
…… （15） すなわち同一原料空気量で、液製品を増減する
場合ガス製品は（２−Ｌ／Ｖ）倍の割合で操作し
なければ同一条件とならないことを示している。
また、（12）式又は（13）式において液製品零
の時の必要原料空気量は下記となる。
の時の必要原料空気量は下記となる。
QA＝QGN／１−Ｌ／Ｖ …… （16）
一方同じく(5)式から液製品零の時の必要原料空
気量は下記となる。
気量は下記となる。
QA＝Ｘ・QGN／Ｘ−0.21 …… （17）
（16），（17）より左辺は等しいため下記の関係
式が得られる。
式が得られる。
QGN／１−Ｌ／Ｖ＝Ｘ・QGN／Ｘ−0.21…… （18）
∴Ｌ／Ｖ＝0.21／Ｘ …… （19）
（19）を(12)又は（13）に代入すると
QA＝QGN＋QLN／１−0.21／Ｘ＋QLN …… （20）
QA＝QGN＋（２−0.21／Ｘ）QLN／１−0.21／Ｘ
…… （21） すなわち、式（20），（21）を用いればガス製品
採取時の液体空気中の酸素濃度Ｘを設定すること
により、液製品を併用採取する場合もガス製品の
み採取の時と同じ精留条件での運転が可能とな
る。
…… （21） すなわち、式（20），（21）を用いればガス製品
採取時の液体空気中の酸素濃度Ｘを設定すること
により、液製品を併用採取する場合もガス製品の
み採取の時と同じ精留条件での運転が可能とな
る。
また、前記説明は、精留塔を中心として必要な
原料空気量を求めたものであり、装置全体として
の原料空気量QAは（20），（21）式に計装用空気
装置シール用空気等の雑ガス量QBGを加えれば
よい。
原料空気量を求めたものであり、装置全体として
の原料空気量QAは（20），（21）式に計装用空気
装置シール用空気等の雑ガス量QBGを加えれば
よい。
すなわち下記の如くとなる。
QA＝QGN＋QLN／１−0.21／Ｘ＋QLN＋QBG
…… （22） 又は QA＝QGN＋（２−0.21／Ｘ）QLN／１−0.21／Ｘ＋QB
G
…… （23） 次に第１図ないし第２図により制御装置の構成
および制御内容について説明する。
…… （22） 又は QA＝QGN＋（２−0.21／Ｘ）QLN／１−0.21／Ｘ＋QB
G
…… （23） 次に第１図ないし第２図により制御装置の構成
および制御内容について説明する。
第１図において計算機１００は入力インターフ
エイス１０６を経由してデイジスイツチ１０１に
より必要なガス製品窒素量、デイジスイツチ１０
２により必要な液製品窒素量、押ボタンスイツチ
１０３により必要なガス製品窒素量および液製品
窒素量の読込指令、デイジスイツチ１０４により
その他制御定数等のパラメーター、押ボタンスイ
ツチ１０５により制御定数等のパラメーター読込
み指令が、それぞれ取込めるようになつている。
一方、計算機１００からは、入出力インターフエ
イス１０７を経由して原料空気流量制御用マイナ
ーループFC１、ガス製品窒素流量制御用マイナ
ーループFC２および液製品窒素流量制御用マイ
ナーループFC３への流量設定値がそれぞれ出力
されるようになつている。
エイス１０６を経由してデイジスイツチ１０１に
より必要なガス製品窒素量、デイジスイツチ１０
２により必要な液製品窒素量、押ボタンスイツチ
１０３により必要なガス製品窒素量および液製品
窒素量の読込指令、デイジスイツチ１０４により
その他制御定数等のパラメーター、押ボタンスイ
ツチ１０５により制御定数等のパラメーター読込
み指令が、それぞれ取込めるようになつている。
一方、計算機１００からは、入出力インターフエ
イス１０７を経由して原料空気流量制御用マイナ
ーループFC１、ガス製品窒素流量制御用マイナ
ーループFC２および液製品窒素流量制御用マイ
ナーループFC３への流量設定値がそれぞれ出力
されるようになつている。
上記構成において、計算機１００は必要な製品
量の読込指令押ボタンスイツチ１０３が押された
ことを検出すると必要な製品発生量をデイジスイ
ツチ１０１および１０２から読取り、この必要製
品発生量をもとに、最適なる原料空気流量、ガス
製品窒素量および液製品窒素量を演算してそれぞ
れのマイナー調節ループFC１，FC２，FC３へ
の設定値として出力する。
量の読込指令押ボタンスイツチ１０３が押された
ことを検出すると必要な製品発生量をデイジスイ
ツチ１０１および１０２から読取り、この必要製
品発生量をもとに、最適なる原料空気流量、ガス
製品窒素量および液製品窒素量を演算してそれぞ
れのマイナー調節ループFC１，FC２，FC３へ
の設定値として出力する。
マイナー調節ループは計算機からの設定値に基
いて、それぞれのループにおいて実際の流量が設
定値に合致するように制御する。
いて、それぞれのループにおいて実際の流量が設
定値に合致するように制御する。
本制御時の計算機１００の演算は前述した如く
式（22）又は式（23）を使用することにより最適
なる設定値を得ることができる。しかして、本式
における原料空気量QAは第１図における原料空
気圧縮機２により確保できるものである。
式（22）又は式（23）を使用することにより最適
なる設定値を得ることができる。しかして、本式
における原料空気量QAは第１図における原料空
気圧縮機２により確保できるものである。
しかしながら、本制御方法の場合、すべてが計
画通りに作動するという前提条件のもとでの制御
であり、何らかの外乱、例えば製品量調節部FC
２の制御が不調で、一時的に製品抜出量が増加し
た場合等においては、マテリアルバランスが成り
立たなくなり、製品の純度（第１図のAE−１）
に影響をおよぼす。また、最終的に製品の純度が
低下するまでの過程においては、第２図における
精留塔２０１の純度分布が変化してくるため飽和
温度が変化し、例えば温度計TE−１０１の温度
が低下してくる。なお、この温度については絶対
値ではなく、例えば温度計TE−１０２との温度
を検出することにしても、同様の現象を示すこと
はいうまでもない。
画通りに作動するという前提条件のもとでの制御
であり、何らかの外乱、例えば製品量調節部FC
２の制御が不調で、一時的に製品抜出量が増加し
た場合等においては、マテリアルバランスが成り
立たなくなり、製品の純度（第１図のAE−１）
に影響をおよぼす。また、最終的に製品の純度が
低下するまでの過程においては、第２図における
精留塔２０１の純度分布が変化してくるため飽和
温度が変化し、例えば温度計TE−１０１の温度
が低下してくる。なお、この温度については絶対
値ではなく、例えば温度計TE−１０２との温度
を検出することにしても、同様の現象を示すこと
はいうまでもない。
しかるに本発明においては、上記事態になつた
場合は、前述した式（22）又は（23）のＸの値を
自動的に変更して原料空気量を増加し、製品純度
の回復を図るようにしたものである。以下その方
法について第３図のフローチヤートにより説明す
る。
場合は、前述した式（22）又は（23）のＸの値を
自動的に変更して原料空気量を増加し、製品純度
の回復を図るようにしたものである。以下その方
法について第３図のフローチヤートにより説明す
る。
まず、ブロツク５００において製品の純度が規
定値か否かを判断し、規定値以上であればブロツ
ク５０１に移り、式（22）又は（23）におけるＸ
は規定値としてブロツク５０３で原料空気量を計
算し、それぞれマイナー制御系に設定値を出力し
て終了となる。つぎに、ブロツク５００において
製品純度が規定値以下の場合は、ブロツク５０２
に移り、式（22）又は式（23）のＸの値を異常時
の値に変更してブロツク５０３で原料空気量を計
算し、それぞれのマイナー制御系に設定値を出力
して終了となる。
定値か否かを判断し、規定値以上であればブロツ
ク５０１に移り、式（22）又は（23）におけるＸ
は規定値としてブロツク５０３で原料空気量を計
算し、それぞれマイナー制御系に設定値を出力し
て終了となる。つぎに、ブロツク５００において
製品純度が規定値以下の場合は、ブロツク５０２
に移り、式（22）又は式（23）のＸの値を異常時
の値に変更してブロツク５０３で原料空気量を計
算し、それぞれのマイナー制御系に設定値を出力
して終了となる。
なお、本説明中ブロツク５００は製品純度で説
明したが、前述した如く精留塔温度差において判
断することにより、更に早い時点で対応させるこ
とができる。
明したが、前述した如く精留塔温度差において判
断することにより、更に早い時点で対応させるこ
とができる。
また、上述の制御方法は窒素発生装置について
説明したが、他の酸素発生装置においては、式
（22）又は式（23）が異なる計算式となるが、本
発明の制御方法を適用できることはいうまでもな
い。
説明したが、他の酸素発生装置においては、式
（22）又は式（23）が異なる計算式となるが、本
発明の制御方法を適用できることはいうまでもな
い。
上述の実施例では、演算に液体空気中の酸素濃
度Ｘを用いたが、精留塔内の下降液と上昇ガスの
比Ｌ／Ｖを用いても同様であることは前述の説明
より明らかであろう。
度Ｘを用いたが、精留塔内の下降液と上昇ガスの
比Ｌ／Ｖを用いても同様であることは前述の説明
より明らかであろう。
以上述べた如く、本発明によれば、いかなる外
乱においても製品純度を乱すことなく、最適制御
を行なうことができる。
乱においても製品純度を乱すことなく、最適制御
を行なうことができる。
第１図はプロセスと制御の結合を示す系統図、
第２図は精留塔部分の系統図、第３図は制御の流
れを示すフローチヤートである。 １，５，６，２１〜２４，２６……管、２……
原料空気圧縮機、３……前処理装置、４……深冷
液化精留分離装置、２５……弁、１００……計算
機、１０１，１０２，１０４……デイジスイツ
チ、１０３，１０５……押ボタンスイツチ、１０
６……入力インターフエイス、１０７……入出力
インターフエイス、２０１……精留塔、２０２…
…窒素凝縮器。
第２図は精留塔部分の系統図、第３図は制御の流
れを示すフローチヤートである。 １，５，６，２１〜２４，２６……管、２……
原料空気圧縮機、３……前処理装置、４……深冷
液化精留分離装置、２５……弁、１００……計算
機、１０１，１０２，１０４……デイジスイツ
チ、１０３，１０５……押ボタンスイツチ、１０
６……入力インターフエイス、１０７……入出力
インターフエイス、２０１……精留塔、２０２…
…窒素凝縮器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ あらかじめ設定されている製品採取量と精留
塔の運転条件とにより必要な原料空気量を演算
し、該必要原料空気量を原料空気量調節ループの
設定値として出力し、装置内の酸素のマスバラン
スを一定に維持する空気分離装置の制御方法にお
いて、 前記精留塔の運転条件による制御結果が規定値
か否かを判断し、制御結果が規定値以上であれば
液体空気中の酸素濃度を規定値として原料空気量
を演算して前記原料空気量調節ループの各マイナ
ー制御系に設定値を出力し、制御結果が規定値以
下の場合は、液体空気中の酸素濃度を異常時の値
として原料空気量を演算して前記原料空気量調節
ループの各マイナー制御系に設定値を出力するこ
とを特徴とする空気分離装置の制御方法。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記精留塔
の制御結果は製品純度であることを特徴とする空
気分離装置の制御方法。 ３ 特許請求の範囲第１項において、前記精留塔
の制御結果は精留塔内温度又は温度差であること
を特徴とする空気分離装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8204286A JPS62238977A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 空気分離装置の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8204286A JPS62238977A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 空気分離装置の制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62238977A JPS62238977A (ja) | 1987-10-19 |
| JPH0413629B2 true JPH0413629B2 (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=13763462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8204286A Granted JPS62238977A (ja) | 1986-04-11 | 1986-04-11 | 空気分離装置の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62238977A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2568284B2 (ja) * | 1989-12-27 | 1996-12-25 | 富士電機株式会社 | 空気液化分離装置の自動運転方法 |
| JP3739540B2 (ja) | 1997-08-04 | 2006-01-25 | アルプス電気株式会社 | 光送受信モジュール |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103280A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | 株式会社日立製作所 | 精留塔下塔液面制御装置 |
-
1986
- 1986-04-11 JP JP8204286A patent/JPS62238977A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60103280A (ja) * | 1983-11-11 | 1985-06-07 | 株式会社日立製作所 | 精留塔下塔液面制御装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62238977A (ja) | 1987-10-19 |
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