JPH04124219U - 顕微鏡観察用治具 - Google Patents
顕微鏡観察用治具Info
- Publication number
- JPH04124219U JPH04124219U JP3655091U JP3655091U JPH04124219U JP H04124219 U JPH04124219 U JP H04124219U JP 3655091 U JP3655091 U JP 3655091U JP 3655091 U JP3655091 U JP 3655091U JP H04124219 U JPH04124219 U JP H04124219U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- cross
- section
- shaft
- rotated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クロスセションを簡単に水平にすることがで
きる装置を提供する。 【構成】 軸11aが回動されることによってそれと一
体に外側のリング11が回動し、軸14aが回動される
ことによってそれと一体に内側にリング14が回動す
る。このため内側のリング14に取り付けられているク
ロスセション10の角度が無段階に調整され、水平状態
に調整することが可能になる。
きる装置を提供する。 【構成】 軸11aが回動されることによってそれと一
体に外側のリング11が回動し、軸14aが回動される
ことによってそれと一体に内側にリング14が回動す
る。このため内側のリング14に取り付けられているク
ロスセション10の角度が無段階に調整され、水平状態
に調整することが可能になる。
Description
【0001】
本考案は、断面を露出した試料(以下クロスセクションと称する)の顕微鏡に
よる観察を行う場合、クロスセクションの角度を変えることで、顕微鏡の焦点が
合う範囲を広げるための治具に関するものである。
【0002】
従来から顕微鏡観察を行う際に試料を固定するために用いるステージは、板状
の試料の表面を観察することを前提としているため、図5のようにステージ1に
乗せられたクロスセクション10をX、Y、Z、θ(Z軸を中心とする回転)の
4自由度の調整を行うようになっている。
【0003】
クロスセクションの作成を行う場合、次の理由により観察面に角度が付く場合
がある。
1)被観察物が図6(a)に示すように樹脂中に斜めに封止したため観察面に
角度が付く場合。
2)観察面を露出させる研磨の際、図6(b)に示すように誤って斜めに研磨
した場合。
顕微鏡では焦点の合うZ軸方向の範囲(焦点深度)が限定され、高倍率である
ほど、焦点深度は浅くなる。そのため、従来のステージではクロスセクションの
観察面が図7(b)に示すように水平であれば、ハッチングで示す焦点深度内に
面全体が納まるので、面全体の観察が可能である。しかしながら、図7(a)に
示すように観察面に角度が付いている場合、従来の4方向の調整を行うステージ
では観察面全体を自由に傾斜させることができず、観察面の一部のみにしか焦点
を合わせることができないため、面としての観察が困難となる。そのため、クロ
スセクションの観察面が水平となる様に被観察物を樹脂封止し、かつ水平に研磨
することが要求されるが、観察面が水平なクロスセクションの作成には熟練を必
要とするという課題を有していた。
【0004】
本考案はこのような状況に鑑みてなされたもので、クロスセクションを簡単に
水平にすることができる装置を提供することにある。
【0005】
このような課題を解決するために本考案は、ステージに設けられた支持部材に
回動自在な状態で設けられた第1の軸と、その第1の軸と一体に回動する第1の
リングと、前記第1の軸と直交する状態で第1のリングに回動自在な状態で設け
られた第2の軸と、前記第2の軸と一体に回動し前記第1のリングより小径でか
つ第1のリングと同心状に設けられた第2のリングと、前記第2のリングに取り
付けられたクロスセクションとを備えたものである。
【0006】
軸11aが回動されることによってそれと一体に外側のリング11が回動し、
軸14aが回動されることによってそれと一体に内側にリング14が回動する。
このため内側のリング14に取り付けられているクロスセクション10の角度が
無段階に調整され、水平状態に調整することが可能になる。
【0007】
図1は本考案の実施例を示す外観図であり、治具本体13の両側端から支持部
材13a,13bが立ち上げられており、その支持部材13a,13bに軸11
a、11bが取り付けられている。その軸11a,11bはリング11の側面に
当接する状態でリング11にそれぞれ取り付けられている。すなわち軸11a,
11bは同一軸線上でリング11の側面から外方に延在するように取り付けられ
ており、リング11は軸11a、11bと一体に回動するようになっている。
【0008】
リング11を貫通し、軸11a,11bと直交する状態で軸14a、14bが
設けられており、その軸14a、14bはリング11より小径のリング14に対
して側面から当接する状態でそれぞれ設けられている。すなわち軸14a、14
bは同一軸線上でリング11を貫通しリング14まで達している。また、リング
14は軸14a、14bと一体に回動するように取り付けられ、かつリング11
に対しては回動自在に取り付けられている。
【0009】
クロスセクション10は後述するように内側のリング14に4方向からネジあ
るいはバネで固定される。また内径の小さいリング14は内径の大きなリング1
1と同心状に取り付けられている。
【0010】
クロスセクション10はリング14に図2および図3の方法によって取り付け
られる。図2は軸14a、14bに取り付けられたリング14にクロスセッショ
ン10をネジ16によって取り付けるものであり、図3は板バネ18によって取
り付けるものである。
【0011】
図4はその板バネ18であり、(a)は側面図、(b)は正面図であり、押圧部20
によってクロスセクション10を押圧して支え、押圧部20の上部をリング14
の板厚に合わせて屈曲させたリング挟持部20aと支持部21a,21bとの間
隙をリング14に差し込むことによってリング14に固定されている。
【0012】
このように構成された装置において、つまみ9を回転させるとリング14が回
転し、つまみ12を回転させるとリング11が回転するので、その両者の回転量
をクロスセクション10の平面角度に対応した所定の値に調整することによって
その面を水平にすることができる。
【0013】
本考案により観察の際にクロスセクションの角度が調整可能となり、観察面に
角度のついたクロスセクションの観察をすることができ、またクロスセクション
の作成に熟練を要さないという効果を有している。
【図1】本考案の一実施例の構成を示す斜視図
【図2】クロスセクション固定方法の一実施例を示す平
面図
面図
【図3】クロスセクションの固定方法の他の実施例を示
す平面図
す平面図
【図4】図3に用いる板バネの側面図および正面図
【図5】従来装置における調整状態を示す図
【図6】試料の取付状態を示す図
【図7】クロスセクションの状態を示す図
1 ステージ
2 観察面
9 X軸中心の回転つまみ
10 クロスセクション
11、14 リング
11a,11b,14a、14b 軸
13a,13b 支持部材
16 ネジ
18 板バネ
Claims (1)
- 【請求項1】 ステージに設けられた支持部材に回動自
在な状態で設けられた第1の軸と、その第1の軸と一体
に回動する第1のリングと、前記第1の軸と直交する状
態で第1のリングに回動自在な状態で設けられた第2の
軸と、前記第2の軸と一体に回動し前記第1のリングよ
り小径でかつ第1のリングと同心状に設けられた第2の
リングと、前記第2のリングに取り付けられたクロスセ
クションとから構成される顕微鏡観察用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3655091U JPH04124219U (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 顕微鏡観察用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3655091U JPH04124219U (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 顕微鏡観察用治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04124219U true JPH04124219U (ja) | 1992-11-12 |
Family
ID=31918479
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3655091U Pending JPH04124219U (ja) | 1991-04-23 | 1991-04-23 | 顕微鏡観察用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04124219U (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5118455A (ja) * | 1974-08-07 | 1976-02-14 | Mitsubishi Electric Corp | Antenasochi |
JPS5146063A (ja) * | 1974-10-18 | 1976-04-20 | Hitachi Ltd | Denshikenbikyonoshiryokeishasochi |
JPS5818218B2 (ja) * | 1974-09-20 | 1983-04-12 | プロデユイ シミク ユ−ジヌ ク−ルマン | ポリフツカビニリデンブザイノ セツゴウホウホウ |
-
1991
- 1991-04-23 JP JP3655091U patent/JPH04124219U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5118455A (ja) * | 1974-08-07 | 1976-02-14 | Mitsubishi Electric Corp | Antenasochi |
JPS5818218B2 (ja) * | 1974-09-20 | 1983-04-12 | プロデユイ シミク ユ−ジヌ ク−ルマン | ポリフツカビニリデンブザイノ セツゴウホウホウ |
JPS5146063A (ja) * | 1974-10-18 | 1976-04-20 | Hitachi Ltd | Denshikenbikyonoshiryokeishasochi |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2413126B1 (en) | TEM-lamella and process for its manufacture | |
JP5592951B2 (ja) | 光学要素のための保持装置 | |
JP2013501249A (ja) | 光学要素のための保持装置 | |
JP2017146603A (ja) | 試料ホルダの調整装置、調整装置付き顕微鏡及び方法 | |
CN101231932A (zh) | 用于旋转和平移样品支架的操纵器 | |
JPWO2003006971A1 (ja) | 基板保持装置 | |
JPH0862446A (ja) | 微小駆動部材 | |
JPH08223858A (ja) | インナーロータモータ | |
KR940007963A (ko) | 판그물 및 투과형 전자현미경용 시료의 연마방법 | |
JPH04124219U (ja) | 顕微鏡観察用治具 | |
JP2015018645A (ja) | 試料ホールダおよび荷電粒子装置 | |
JP2010097844A (ja) | 走査型電子顕微鏡およびその使用方法 | |
JPS5926929B2 (ja) | 望遠鏡用の取付け台 | |
CN110993475B (zh) | 一种用于断口分析的扫描电镜万向转动样品台及扫描电镜 | |
JP5502292B2 (ja) | 収束イオンビーム照射装置内に用いる試料ステージ | |
JPH0234147B2 (ja) | ||
CN218298292U (zh) | 可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台 | |
CN113547468B (zh) | 预倾斜样品夹具及样品加工方法 | |
JP6742047B1 (ja) | マニピュレータ | |
CN115588602A (zh) | 样品固持器系统以及设定显微样品的倾斜角度的方法 | |
JPS63129524A (ja) | 光ピツクアツプ装置 | |
JPH06207891A (ja) | イオンミリング装置の試料台 | |
JPS5850610Y2 (ja) | 電子顕微鏡等における試料装置 | |
JP2003295037A (ja) | 精密機器の調整固定機構装置 | |
JP2009537860A (ja) | 走査装置 |