JPH04120791A - 多層プリント配線板の製造方法 - Google Patents

多層プリント配線板の製造方法

Info

Publication number
JPH04120791A
JPH04120791A JP24223090A JP24223090A JPH04120791A JP H04120791 A JPH04120791 A JP H04120791A JP 24223090 A JP24223090 A JP 24223090A JP 24223090 A JP24223090 A JP 24223090A JP H04120791 A JPH04120791 A JP H04120791A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
gold plating
copper
plating
plated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24223090A
Other languages
English (en)
Inventor
Yutaka Kawashima
川島 豊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP24223090A priority Critical patent/JPH04120791A/ja
Publication of JPH04120791A publication Critical patent/JPH04120791A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、パターン金めっきによって回路ラインおよび
スルーホールを形成する多層プリント配線板の製造方法
に関する。
(従来の技術) 従来よりプリント配線板の回路形成においては、一般に
銅を化学的エツチングにより選択的に除去するサブトラ
クト法(エツチドフォイル法)が用いられている。現在
、このサブトラクト法で最も多く用いられている2つの
方法としては、はんだめっき法と、テンティング法があ
るが、このうち高密度小径バイアホールプリント配線板
の製造において適している方法は、次のような理由によ
りはんだめっき法である。
すなわち、ランド径をφ0.5mmとした場合、ドリル
径がφ0.3mmであると、設計上では片側0.1mm
幅ずつしかランド量が残らないことになる。ところが、
本設計仕様の製品をテンティング法で形成したときは、
第3図に示すように、エツチングレジストのテントズレ
に起因して感光性ドライフィルム12とガラスエポキシ
基材11との隙間Cからエツチング液15がドリル加工
穴13の内部に侵入し、スルーホール内壁の銅めつき1
4までがエツチングされてしまう。そこで、これを避け
るため現行においては、一般にサブトラクト法によるは
んだめっきにより回路の形成が行なわれている。
このはんだめっき法は、パターン金めっき法の代替方法
として用いられたものであるが、製品仕上がりおよび製
造工程上の観点から、パターン金めっき法を使用せざる
を得ない場合がある。例えば、ICテスターなどの特殊
な製品の配線板では、ピン接触が頻繁に起こるため、接
触抵抗を小さくしなければならず、外層では金めつきの
厚付は仕上げが要求される。一方、当然のことながら、
上記製品では配線密度も非常に高くなるため、めっきリ
ード線がとれない配線構造になっている。めっきリード
線がとれない場合には、回路形成後に無電解金めっきを
行なうことが考えられるが、この方法では厚付は仕上げ
が困難であるため、金めつき厚さ要求が1μm以上であ
る製品では無電解金めっきを採用することかできない。
したがって、ICテスターのような特殊な製品では、一
般にパターン金めっき法を使用しなければならない。パ
ターン金めっき法による先願としては、特開昭60−1
83789号、62−868925号および62−12
0098号などがある。これらのうち前者2つの先願で
は、パターン金めっきの領域を減少させるためテンティ
ンク法を採用しているが、金めつきがオーバーハングす
るという問題がある。また、後者の特訓においては、第
4図に示すように、銅めっき18上にパターンニッケル
17.金めっき16を行なったのち、再び銅めっきでパ
ターンニッケル17.金めつき16を覆ってエツチング
するものであるが、この方法によれば、オーバーハング
対策としては非常に多くの工数と製造コストを要し、か
つ結果的にはオーバーハングを解決する効果が低いもの
となっている。
(発明が解決しようとする課題) 上述の金めつき法が、現在はんだめっき法に取って代イ
っられている最も大きな理由としては、金めつきのコス
トが高いことのほかに、第4図のようなエツチング部に
おけるオーバーハング問題が解決されていないことが挙
げられる。一般に、化学的エツチング法によると、金め
つき16のエツチングレジスト幅と銅パターンの仕上が
りパターンとは同一とはならない。オーバーハング部分
の金めつき厚は1〜2μm程度と極めて薄いため、後工
程で金めつきが剥がれ落ちることが多く、剥がれ落ちた
金は高導電性物質であるため、極端な場合には回路のシ
ョート不良要因となる。
なお、これに対してはんだ法では、オーバーハング部の
はんだめっきを熱溶融してしまうか、場合によってはエ
ツチング後にはんだめっきを剥離することができる。し
たがって、現在では金めつき法よりも、はんだめっき法
による回路形成法が主流となっているのが実情である。
本発明は、上記の実情に鑑みなされたもので、製造工程
上パターン金めっき法を採用せざるを得ないICテスタ
ーなどの製品に適用して有効な手段、すなわち金めつき
のオーバーハングを解消できる多層プリント配線板の製
造方法を提供しようとするものである。
(課題を解決するための手段) 上記のような目的を達成するため、請求項1記載の発明
は、銅めっき上にパターン金めっきを行なったのち、再
びパターン金めっきを覆って銅めっきを行なう多層プリ
ント配線板の製造方法において、 上記再び銅めっきを行なう際に、金めつきのパターンよ
りも幅広の同一パターン形状に形成した剥離可能なエツ
チングレジストにより上記パターン金めっきを覆うこと
を特徴とする。
また、請求項2記載の発明は、上記エツチングレジスト
のパターン幅が金めつきのパターン幅よりも20〜40
μm大きいことを特徴とする。
(作用) 請求項1記載の発明によれば、金めつき法による上記サ
ブトラクト手法において、パターン金めっき幅より幅広
に形成した感光性フィルムなどの耐薬品性エツチングレ
ジストを回路形成部分に張り付けてエツチングを行なう
ものである。したがって、これによりテンティングレジ
スト部分よりも所定量だけ張り出した箇所でオーバーエ
ッチ状態を停止させることができる。
ここで、請求項2記載の発明において、エツチングレジ
ストのパターン(テント)幅の大きさを好ましくは20
μm〜40μmに規定したのは、多層プリント配線板で
は外層めっき厚が、通常下地銅箔の厚さ18μm〜35
μmとスルーホールめっき銅の厚さ35μmとの合計の
厚さ50〜70μm程度になるからであり、この銅厚を
エツチングして生ずるオーバーハング値は、本発明者ら
によれば実験結果からも20〜40μmになることが判
っている。
以上のように、パターン金めっきを施した高密度の多層
プリント配線板において、本来エツチングレジストとし
てパターン金めっきによってエツチングすべき箇所を、
パターン金めっき幅よりも望ましくは20〜40μm幅
広いエツチングレジストで覆ってエツチングすることに
より、エツチング時におけるオーバーハングによるパタ
ーン金めっきの剥かれを防止することができる。
(実施例) 次に、本発明の詳細な説明する。
まず、本発明を適用した製品について述べておくと、本
製品は、板厚3. 2mm、最小ドリル径φ0.45m
m、ランド径φ0.6mm、ライン幅0. 2mm、 
 ビン間2本品の外層全面金めっき仕上げ仕様の4層プ
リント配線板である。より詳しくは、ピン接触を生ずる
ICテスターに使用されるもので、(1)接触抵抗が低
く、(2)1μm以上の金めつき厚が要求されるため無
電解金めっきが行なえず、(3)外層ビン間の配線密度
が高くめっきリード線がとれない、という制約条件を有
するものである。以上の制約条件のため、本製品の外層
回路形成は、パターン金めっき法で行なわざるを得ない
ものである。
以下に、より具体的な製造方法を第1図および第2図を
参照しながら説明する。
まず、1枚の回路用銅張り積層基板MCL−E67 (
2,0mm厚、35μm銅箔、日立化成工業株式会社製
)に感光性ドライフィルムをラミネートし、焼付け、現
像、エツチングを順次施し、これにより内層の回路形成
を行なう。なお、本工程はテンティングによるサブトラ
クト法に従って回路形成するものとする。
次に、所要の積層接着強度を確保するために、酸化銅に
より表面処理を行なう。そして、プリプレグGEA−6
7N (0,2mm厚、3枚、日立化成工業株式会社製
)を介して内層回路形成基板と外層用銅箔18μm(日
本電解株式会社製)を積層熱圧着により互いに張り合わ
せる。引き続き、この暴利1の所定位置に外層穴3あけ
を行ない、スミア処理、デバリング、ホーニング、無電
解銅めっきおよび電気銅めっきによりパネル銅めっき4
を行なう。
その後、感光性ドライフィルム(ラミナーGS■、ダイ
ナケム社製)を外層全面にラミネートしてポジパターン
を焼付け、現像する。このポジパターンは、金パターン
用のめっきエツチングレジストとして機能するものであ
る。ここで、外層回路に電解ニッケルめっき7と金めっ
き6を行ない、感光性エツチングレジストを剥離する。
このとき、通常ならばここでパターン金めっき6をエツ
チングレジストとしてエツチングを行なうが、本発明で
は、再び感光性エツチングレジスト2を外層にラミネー
トする。この実施例では、上記レジスト2としてPHT
−143F (50μm厚、日立化成工業株式会社製)
を用いてラミネートするものとするが、金めっき6との
密着性をさらに上げたい場合、液状レジストを用いる方
が望ましい。
その後、ネガパターンを焼付け、現像し、スルーホール
には第1図、銅ライン8には第2図にそれぞれ示すよう
に、金めっき6の上に、そのパターン幅よりも20〜4
0μm程度幅の広い同一パターン形状のエツチングレジ
スト2をテンティングする。
次に、アルカリ性エツチング液にて外層回路のエツチン
グを行なう。この際、テンティングパターン幅は金めつ
きパターンよりも20〜40μm幅広に形成されている
ため、金めつきのオーバーハング状態を確実に避けるこ
とができる。
なお、この後はソルダーレジスト印刷、外形加工、製品
検査工程を順次経て、最終的なプリント配線板の製品完
成に至る。
(発明の効果) 以上説明したように、請求項1の本発明によれば、パタ
ーン金めっき法により多層プリント配線板を製造する方
法において、銅めっきを行なう際に、パターン金めっき
よりも幅広のエツチングレジストで覆ってエツチングす
るため、パターン金めっき法の最大の欠点である金めつ
きのオーバーハング状態を防止できる。
特に請求項2の発明ではテント幅を20〜40μmに設
定したことにより、製品歩留りを大幅に向上させること
ができる。万一、金めつき上のエツチングレジストがパ
ターン金に対して位置ずれを起こしても、該レジストの
下側の金めつきが銅めっきに対してレジストとして機能
するので、めっき銅がエツチングされてしまうことがな
く、スルーホール部および小径ランド部付きプリン)・
配線板の製造工程において広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図はそれぞれ本発明によるスルーホー
ルおよびラインにおけるエツチング状態を説明する断面
図、第3図は従来のテンティング法によるスルーホール
エツチング状態を説明する断面図、第4図は従来の金め
つき法によるオーバーハング状態を説明する断面図であ
る。 1・・・基材 2・・・感光性エツチングレジスト 3・・・穴 4・・・銅めっき 5・・・エツチング液 6・・・金めつき 7・・・ニッケルめっき 代理人 弁理士 廣瀬 章7−7 ′−゛瞥、

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.銅めっき上にパターン金めっきを行なったのち、再
    びパターン金めっきを覆って銅めっきを行なう多層プリ
    ント配線板の製造方法において、上記再び銅めっきを行
    なう際に、金めっきのパターンよりも幅広の同一パター
    ン形状に形成した剥離可能なエッチングレジストにより
    上記パターン金めっきを覆うことを特徴とする多層プリ
    ント配線板の製造方法。
  2. 2.上記エッチングレジストのパターン幅が金めっきの
    パターン幅よりも20〜40μm大きいことを特徴とす
    る請求項1記載の多層プリント配線板の製造方法。
JP24223090A 1990-09-12 1990-09-12 多層プリント配線板の製造方法 Pending JPH04120791A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24223090A JPH04120791A (ja) 1990-09-12 1990-09-12 多層プリント配線板の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24223090A JPH04120791A (ja) 1990-09-12 1990-09-12 多層プリント配線板の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04120791A true JPH04120791A (ja) 1992-04-21

Family

ID=17086171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24223090A Pending JPH04120791A (ja) 1990-09-12 1990-09-12 多層プリント配線板の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04120791A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1302930C (zh) * 2003-09-10 2007-03-07 财团法人工业技术研究院 喷墨头组件及其制造方法
JP2009099622A (ja) * 2007-10-12 2009-05-07 Fujitsu Ltd 基板の製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1302930C (zh) * 2003-09-10 2007-03-07 财团法人工业技术研究院 喷墨头组件及其制造方法
JP2009099622A (ja) * 2007-10-12 2009-05-07 Fujitsu Ltd 基板の製造方法
US8151456B2 (en) 2007-10-12 2012-04-10 Fujitsu Limited Method of producing substrate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7681310B2 (en) Method for fabricating double-sided wiring board
TW200307494A (en) Flexible multi-layered wiring substrate and its manufacturing method
US5539181A (en) Circuit board
JPH1187931A (ja) プリント配線板の製造方法
JPH04120791A (ja) 多層プリント配線板の製造方法
JP3155565B2 (ja) プリント配線板の製造方法
JP4549807B2 (ja) 多層プリント配線板の製造方法、多層プリント配線板及び電子装置
JP2004214410A (ja) 多層配線基板の製造方法及び多層配線基板
JP2741238B2 (ja) フレキシブルプリント配線板及びその製造方法
JP3575783B2 (ja) プリント配線板およびその製造方法
JPH1187886A (ja) プリント配線板の製造方法
JPH07106769A (ja) 電子部品搭載用多層基板の製造方法
JPH0348494A (ja) 微細導体用の多層印刷回路基板及びそのめっき法
JPH02237142A (ja) 半導体搭載用基板の製造方法
JPS63137498A (ja) スル−ホ−ルプリント板の製法
JP3077255B2 (ja) 配線板とその製造方法
JP2004031828A (ja) 多層プリント配線板
KR20060003847A (ko) 내층 알씨씨에 범퍼가 구비된 범프 홀을 갖는 다층인쇄회로기판 및 이의 제조방법
JP2003188532A (ja) プリント配線板の製造方法およびそれを用いて製造されたプリント配線板
JPH03147394A (ja) 印刷配線板の製造方法
JPH1187401A (ja) 半導体装置
KR200412591Y1 (ko) 내층 알씨씨에 범퍼가 구비된 범프 홀을 갖는 다층인쇄회로기판
JP2003168868A (ja) プリント配線板の製造方法
JPH05299836A (ja) プリント配線板およびその製造方法
JP5312831B2 (ja) プリント配線板の製造方法