JPH0411417Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、真空室内でワークやワーク搬送手段
の作動状態等を監視するモニタカメラ装置に関す
る。

（従来の技術） 従来、真空室内でワーク等の作動状態と監視す
る場合、真空室に設けた覗窓を介して直視するか
或は真空室内に設けた鏡を覗窓を通して見るを一
般とする。

（考案が解決しようとする問題点） 前記のような覗窓による監視では、視野が制限
され、広範囲を監視したり細部をクローズアツプ
して詳細に監視することが出来ず、例えば全体的
なワークの動きと部分的なワークの表面を任意に
監視することが難しく、ワークの品質管理を充分
に行なえない不便があつた。

本考案はこうした不便を解消し真空室内で任意
範囲の視野が得られる装置を提供することを目的
とする。

（問題点を解決するための手段） 本考案では、真空室内に、一端にガラス窓を備
えた気密のシリンダを設けてその内部に電子式カ
メラのヘツド部を収め、該シリンダの筐体と該真
空室の室壁とに夫々開口部を形成し、両開口部間
を金属ベローにより気密に接続して該シリンダの
内部から該真空室の外部に連なる配線用の気密通
路を形成することにより、前記問題点を解決する
ようにした。

（作用） 真空室の内部は真空室内に設けたシリンダ内の
電子式カメラのヘツド部によりガラス窓を通して
撮影され、該ヘツド部と金属ベロー内の気密通路
に設けた配線を介して外部のモニタにより監視さ
れるが、該ヘツド部は真空室内に導入されている
ので明瞭に真空室内を見ることが出来、該ヘツド
部の焦点を調節することにより視野を自由に変更
することが出来る。

またシリンダの内部を真空室の外部に接続する
通路は金属ベローにより形成されるので真空室内
への放出ガスも少なく、高真室を維持出来、該シ
リンダを金属ベローを屈曲させて真空室内の任意
の個所に設置出来る。

（実施例） 本考案の実施例を別紙図面につき説明すると、
第１図に於いて符号１は真空室、は該真空室１内
にウエハ等のワーク３を搬出入する搬送手段、４
は該真空室１内に設けた気密のシリンダ、５は金
属ベローを示す。該シリンダ４は、第２図示のよ
うに、その一端にガラス窓６を備え、内部に例え
ば固体撮像素子を使用した電子式カメラのヘツド
部７が収容され、該シリンダ４の筐体８に形成し
た開口９と真空室１の室壁１０に形成した開口１
１との間を金属ベロー５により気密に接続して該
シリンダ４の内部から真空室１の外部に連なる配
線用の気密通路１３を形成するようにした。

該ガラス窓６シリンダ４の筐体８の端部に形成
した段部１４に、該シリンダ４と該ガラス窓６間
の応力を吸収して該ガラス窓６の破損を防ぐよう
に、ガスケツト１５を介して嵌め込まれ、該筐体
８の外周に螺着したスクリユーキヤツプ１６によ
り該ガラス窓６の外側から段部４に押圧して固定
されるが、この場合、該ガラス窓６の外側面に面
取１７を施し、該面取１７と筐体８とで形成され
る溝１８内に１本のＯリング１９を収め、これと
スクリユーキヤツプ１６との間にスライドリング
２０を介在させ、該スクリユーキヤツプ１６の回
転によるＯリング１９のねじれや破損を防止する
と共に該Ｏリング１９から発生するガスをスライ
ドリング２０により外部に漏れぬようにした。

２１は該シリンダ４のガラス窓６と反対側の端
部に溶接２２により気密に取付けした端板で、こ
れに開口９を形成し、金属ベロー５は該開口９に
溶接２３により取付けた金属チユーブ２４のフラ
ンジ２４ａに取付けされる。２５は溶接２２，２
３に伴う溶接割れを防止する開先加工部、２６は
金属ベロー５の端部に取付けられた室壁１０への
取付フランジである。

シリンダ４内から気密通路１３を介して外部へ
導出される配線類２７は、例えばヘツド部７外部
のカメラコントロールユニツト２８に接続される
配線２７ａ、該ヘツド部のピント合せ用の金属レ
リーズ２７ｂであるが、該気密通路１３を利用し
てN₂ガス、Airガス等をシリンダ４内に流通させ
るチユーブ２９を設けるようにすれば、シリンダ
４を高温部に設置してモニタすることが可能にな
る。１２はモニタテレビを示す。

該シリンダ４はバンドやマグネツトにより真空
室１内の室壁に取付け或は第３図示のような回転
及び揺動自在のテーブル３０により室内に設けら
れ、該シリンダ４の内部に収められたカメラのヘ
ツドブ７がワーク３の表面や搬送手段２の動きを
監視するが、該ヘツド部７及び配線はシリンダ４
と金属ベロー５により覆われているので、真空室
１内へガスが放出されることがなく真空室１内の
真空状態を良好に維持することが出来、ヘツド部
７の焦点を変更してその視野を簡単に変更出来る
ので詳細な監視と広範囲の監視を行なえる。

（考案の効果） 以上のように本考案によるときは、真空室内に
気密のシリンダを設けてその内部に電子式カメラ
のヘツド部を収め、該シリンダから室外へ金属ベ
ローにより配線挿通用の気密の通路を設けるよう
にしたので、真空室内の真空を低下させずに真空
室内にカメラのヘツド部を導入出来、該ヘツド部
の焦点を調整して視野を任意に変え得るので広範
囲の監視と詳細な監視とを行なえ、監視性能が向
上しビデオ記録が残せる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の截断側面図、第２図
は要部の拡大断面図、第３図はシリンダの取付状
態の１例の斜視図である。 １……真空室、４……シリンダ、５……金属ベ
ロー、６……ガラス窓、７……ヘツド部、８……
筐体、９，１１……開口、１０……室壁、１３…
…気密通路。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空室内に、一端にガラス窓を備えた気密のシ
   リンダを設けてその内部に電子式カメラのヘツド
   部を収め、該シリンダの筐体と該真空室の室壁と
   に夫々開口部を形成し、両開口部間を金属ベロー
   により気密に接続して該シリンダの内部から該真
   空室の外部に連なる配線用の気密通路を形成した
   ことを特徴とする真空室内用モニタカメラ装置。