JPH04109176A - 光磁界センサ及びその製造方法 - Google Patents
光磁界センサ及びその製造方法Info
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- JPH04109176A JPH04109176A JP2226551A JP22655190A JPH04109176A JP H04109176 A JPH04109176 A JP H04109176A JP 2226551 A JP2226551 A JP 2226551A JP 22655190 A JP22655190 A JP 22655190A JP H04109176 A JPH04109176 A JP H04109176A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R23/00—Arrangements for measuring frequencies; Arrangements for analysing frequency spectra
-
- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
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- G01R33/0322—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect using the Faraday or Voigt effect
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、主として送電線網、配電線網及び変電所等に
おける故障点検出システムを形成する場合に用いられる
、光磁界センサ及びその製造方法に関するものである。
おける故障点検出システムを形成する場合に用いられる
、光磁界センサ及びその製造方法に関するものである。
(従来の技術)
電力系統における故障点を自動検出するため、光学単結
晶(例えばBSO等)を使用した光磁界センサが最近実
用化された。この装置では、送信器から送った光が磁気
光学素子を透過し、受信器で検出される。そして、短絡
や地絡によって電流値が急激に変化すると、送電線の回
りに発生する磁界の大きさが変化するので、光学素子を
透過する光の偏波面が変化する。この変化を検出して故
障を判別する仕組となっている。
晶(例えばBSO等)を使用した光磁界センサが最近実
用化された。この装置では、送信器から送った光が磁気
光学素子を透過し、受信器で検出される。そして、短絡
や地絡によって電流値が急激に変化すると、送電線の回
りに発生する磁界の大きさが変化するので、光学素子を
透過する光の偏波面が変化する。この変化を検出して故
障を判別する仕組となっている。
こうした光磁界センサにおいては、センサ内部に磁気光
学素子、偏光子、検光子を内蔵させ、光ファイバを内部
へと挿入し、例えばフェルールによって光フアイバ末端
部を固定し、光フアイバ末端部からの光のコリメーショ
ン(光の平行束形成及び集光)をロッドレンズを用いて
行っている。
学素子、偏光子、検光子を内蔵させ、光ファイバを内部
へと挿入し、例えばフェルールによって光フアイバ末端
部を固定し、光フアイバ末端部からの光のコリメーショ
ン(光の平行束形成及び集光)をロッドレンズを用いて
行っている。
具体的には、フェルール末端面に対して円柱状ロッドレ
ンズを接合固定し、このロッドレンズの他方の面を偏光
子又は検光子と対向させた構造としている。光フアイバ
中を伝送されて来た光は口・ンドレンズを通して偏光子
へと入射し、また検光子から射出した光はロッドレンズ
を通して光フアイバ末端部へと入射する。
ンズを接合固定し、このロッドレンズの他方の面を偏光
子又は検光子と対向させた構造としている。光フアイバ
中を伝送されて来た光は口・ンドレンズを通して偏光子
へと入射し、また検光子から射出した光はロッドレンズ
を通して光フアイバ末端部へと入射する。
(発明が解決しようとする課B)
しかし、上記のような光磁界センサにおいては、光フア
イバ末端部とロッドレンズとを光軸調整する必要があり
、ロッドレンズは金属原子の半径方向の分布を調整する
ことによって半径方向に屈折率分布を形成したレンズで
あり、屈折率分布の中心に光ファイバの中心が合致しな
いと、光を効率良くコリメートできず、また屈折率中心
は外形からは判別できないため、光軸調整は上下左右に
わたっての二次元的な調整作業となり、長時間を要し、
かつ困難である。
イバ末端部とロッドレンズとを光軸調整する必要があり
、ロッドレンズは金属原子の半径方向の分布を調整する
ことによって半径方向に屈折率分布を形成したレンズで
あり、屈折率分布の中心に光ファイバの中心が合致しな
いと、光を効率良くコリメートできず、また屈折率中心
は外形からは判別できないため、光軸調整は上下左右に
わたっての二次元的な調整作業となり、長時間を要し、
かつ困難である。
更に、ロッドレンズを使用した場合、上述の原因で光軸
のズレが多発し、光のコリメートが不完全となり、光量
損失が増大し、このため、送信器と故障点検出箇所との
距離、受信器とこの検出箇所との距離をある程度以上大
きくすることができなかった。
のズレが多発し、光のコリメートが不完全となり、光量
損失が増大し、このため、送信器と故障点検出箇所との
距離、受信器とこの検出箇所との距離をある程度以上大
きくすることができなかった。
本発明の課題は、コリメータ部における光軸合わせを短
時間に、容易にでき、光軸合わせの精度も向上させるこ
とができるような光磁界センサ及びその製造方法を提供
することである。
時間に、容易にでき、光軸合わせの精度も向上させるこ
とができるような光磁界センサ及びその製造方法を提供
することである。
(課題を解決するための手段)
本発明は、センサ内部へと挿入された光ファイバの末端
部に対して相対的に位置固定された基盤と; 前記末端部との間及び光学素子との間で光信号の伝送を
行うための光学部品とを有し;この光学部品と前記末端
部との間で前記光信号のコリメーションを行う光磁界セ
ンサにおいて、前記末端部に対して光軸合わせされたコ
リメーション用の球状レンズと; 前記末端部と前記球状レンズとの間隙に充填された合成
樹脂部とを有することを特徴とする光磁界センサに係る
ものである。
部に対して相対的に位置固定された基盤と; 前記末端部との間及び光学素子との間で光信号の伝送を
行うための光学部品とを有し;この光学部品と前記末端
部との間で前記光信号のコリメーションを行う光磁界セ
ンサにおいて、前記末端部に対して光軸合わせされたコ
リメーション用の球状レンズと; 前記末端部と前記球状レンズとの間隙に充填された合成
樹脂部とを有することを特徴とする光磁界センサに係る
ものである。
また、本発明は、センサ内部へと挿入された光ファイバ
の末端部に対して相対的に位置固定された基盤と; 前記末端部との間及び光学素子との間で光信号の伝送を
行うための光学部品とを有し;この光学部品と前記末端
部との間で前記光信号のコリメーションを行う光磁界セ
ンサを製、造する方法において、 前記末端部と球状レンズとの間に合成樹脂を充填し、こ
の合成樹脂が固化する前に前記末端部と前記球状レンズ
との距離を調節することにより光軸合わせを行い、次い
で前記合成樹脂を固化さセ・ることを特徴とする光磁界
センサの製造方法に係るものである。
の末端部に対して相対的に位置固定された基盤と; 前記末端部との間及び光学素子との間で光信号の伝送を
行うための光学部品とを有し;この光学部品と前記末端
部との間で前記光信号のコリメーションを行う光磁界セ
ンサを製、造する方法において、 前記末端部と球状レンズとの間に合成樹脂を充填し、こ
の合成樹脂が固化する前に前記末端部と前記球状レンズ
との距離を調節することにより光軸合わせを行い、次い
で前記合成樹脂を固化さセ・ることを特徴とする光磁界
センサの製造方法に係るものである。
更に、本発明は、センサ内部へと挿入された光ファイバ
の末端部に対して相対的に位置固定された基盤と; 前記末端部との間及び光学素子との間で光信号の伝送を
行うための光学部品とを有し;この光学部品と前記末端
部との間で前記光信号のコリメーションを行う光磁界セ
ンサを製造する方法において、 前記末端部と球状レンズとの間に弾性を有する合成樹脂
を充填し、この合成樹脂が固化した後に、前記末端部と
前記球状レンズとの距離を調節することにより光軸合わ
せを行う光磁界センサの製造方法に係るものである。
の末端部に対して相対的に位置固定された基盤と; 前記末端部との間及び光学素子との間で光信号の伝送を
行うための光学部品とを有し;この光学部品と前記末端
部との間で前記光信号のコリメーションを行う光磁界セ
ンサを製造する方法において、 前記末端部と球状レンズとの間に弾性を有する合成樹脂
を充填し、この合成樹脂が固化した後に、前記末端部と
前記球状レンズとの距離を調節することにより光軸合わ
せを行う光磁界センサの製造方法に係るものである。
ここで、光学部品は、偏光子、検光子を含み、また、光
フアイバ末端部はフェルールを用いて固定してもよい。
フアイバ末端部はフェルールを用いて固定してもよい。
(実施例)
最初に光磁界センサ全体の構成について述べる。
第3図は、故障点自動検出用の光磁界センサの一例を示
す概略平面図である。
す概略平面図である。
この光磁界センサは、入力側、デバイス部分、出力側が
略コの字形に配置されたレイアウトのものである。入力
側、デバイス部分、出力側を直線状に配置することも可
能である。
略コの字形に配置されたレイアウトのものである。入力
側、デバイス部分、出力側を直線状に配置することも可
能である。
具体的には、ケース1中に基盤8が固定され、基盤8上
に、入力側、出力側のフェルール3がそれぞれ配置され
、更にデバイス部分として偏光子5、磁気光学素子6、
検光子7が順に配列されている。磁気光学素子6及び各
光学部品の位置決めは、予め基盤8に所定のデザイン(
例えば溝又は突起パターン)を施すことで行う。
に、入力側、出力側のフェルール3がそれぞれ配置され
、更にデバイス部分として偏光子5、磁気光学素子6、
検光子7が順に配列されている。磁気光学素子6及び各
光学部品の位置決めは、予め基盤8に所定のデザイン(
例えば溝又は突起パターン)を施すことで行う。
次いで、コリメータ部分の詳細について述へる。
第1図はフェルール3末端付近を示す拡大断面図である
。基盤8上には一定幅の例えばV字型の溝11が形成さ
れており、この溝11に球状レンズ12が図示されてい
ない治具によって固定支持されている。
。基盤8上には一定幅の例えばV字型の溝11が形成さ
れており、この溝11に球状レンズ12が図示されてい
ない治具によって固定支持されている。
フェルール3は光ファイバ2を固定し、かつ基盤8上に
形成された溝11に図示されていない治具によって配置
され、フェルール3の位置調整によって光ファイバ2の
末端部2aが球状レンズ12に対しておおむね光軸合わ
せされ、フェルール端面3aと球状レンズ12との間隙
には第1図の如く好ましくはエポキシ樹脂系の合成樹脂
13を充填する。
形成された溝11に図示されていない治具によって配置
され、フェルール3の位置調整によって光ファイバ2の
末端部2aが球状レンズ12に対しておおむね光軸合わ
せされ、フェルール端面3aと球状レンズ12との間隙
には第1図の如く好ましくはエポキシ樹脂系の合成樹脂
13を充填する。
合成樹脂13が固化するまえに光ファイバ2に光を伝送
し、図示されていない治具によってフェルール端面3a
の位置を図面において左右方向に微調整し、末端部2a
と球状レンズ12との距離を微調整し、光ファイバ2の
末端部2aが光をコリメートするのに最適な位置決めを
する。該位置決めの完了後は、そのまま固定した状態で
合成樹脂13を固化させる。合成樹脂13の固化によっ
て、球状レンズ12と合成樹脂13とフェルール端面3
aと基盤8とはコリメーション部に於いて、光軸が最適
状態に調整され、一体的にされた状態にされている。
し、図示されていない治具によってフェルール端面3a
の位置を図面において左右方向に微調整し、末端部2a
と球状レンズ12との距離を微調整し、光ファイバ2の
末端部2aが光をコリメートするのに最適な位置決めを
する。該位置決めの完了後は、そのまま固定した状態で
合成樹脂13を固化させる。合成樹脂13の固化によっ
て、球状レンズ12と合成樹脂13とフェルール端面3
aと基盤8とはコリメーション部に於いて、光軸が最適
状態に調整され、一体的にされた状態にされている。
本発明の別の実施例とし7て、フェルール3を固定し、
球状レンズ12の位置に左右力向の微調整によって上述
の如く光軸合わせすることもできる。
球状レンズ12の位置に左右力向の微調整によって上述
の如く光軸合わせすることもできる。
また、球状レンズ12と合成樹脂13とフェルール端面
3aが一体的に接合された状態にあって、合成樹脂13
と基盤8とを接合させず、フェルール3の基盤8に対す
る位置決め及び固定を別の方法例えば機械的な固定又は
接着剤による固定等によって行ってもよい。
3aが一体的に接合された状態にあって、合成樹脂13
と基盤8とを接合させず、フェルール3の基盤8に対す
る位置決め及び固定を別の方法例えば機械的な固定又は
接着剤による固定等によって行ってもよい。
また、合成樹脂13として、固化後も弾性を有する合成
樹脂を使用して、球状レンズ12とフェルール端面3a
との間隙に該合成樹脂13を充填し、固化した後にフェ
ルール3又は/および球状レンズ12の位置決めを左右
方向に微調整し、両者の距離を調節して光軸合わせし、
次いでフェルール3および球状レンズ12を基盤8に固
定することもできる。
樹脂を使用して、球状レンズ12とフェルール端面3a
との間隙に該合成樹脂13を充填し、固化した後にフェ
ルール3又は/および球状レンズ12の位置決めを左右
方向に微調整し、両者の距離を調節して光軸合わせし、
次いでフェルール3および球状レンズ12を基盤8に固
定することもできる。
この光磁界センサにおいては、光フアイバ末端部2aか
ら射出した光は、合成樹脂部13、球状レンズ12でコ
リメートされ、偏光子5を通過して直線傷光となり、磁
気光学素子6を通過してファラデー回転を受ける。この
光は検光子7を通過し、この際、ファラデー回転に応じ
て光量が変わる。
ら射出した光は、合成樹脂部13、球状レンズ12でコ
リメートされ、偏光子5を通過して直線傷光となり、磁
気光学素子6を通過してファラデー回転を受ける。この
光は検光子7を通過し、この際、ファラデー回転に応じ
て光量が変わる。
この光量は、磁気光学素子6にかかる磁界に対応する。
そして、検光子から射出した光は、球状レンズ12、合
成樹脂部13で集光され、光フアイバ末端部2aへと入
射する。
成樹脂部13で集光され、光フアイバ末端部2aへと入
射する。
本実施例に係る光磁界センサにおいては、球状レンズ1
2を用いてコリメーシヨンを行う。そして、球状レンズ
12は、ロッドレンズのように化学組成の制御を利用し
て屈折率勾配を形成したものとは異なり、球面の曲率を
利用したものであり、従って、球状レンズ12の光学的
中心はその幾何学的中心に一致する。このため、溝11
の深さを調節して球状レンズ12の幾何学的中心の高さ
と光ファイバ2の高さとを設計上予め一致させておいて
、上述の如くフェルール3を左右に基盤8上でスライド
させるのみで光軸合わせができ、ロッドレンズの場合の
ような二次元にわたっての煩雑な光軸調整を必要としな
い。従って、従来と比較して光軸合わせが遥かに容易で
あり、かつ精度も良好とでき、光量損失を少なくできる
。しかも、本実施例では、球状レンズ12とフェルール
末端面3aとの間隙に合成樹脂を充填しであるので、球
状レンズ12に対応して、コリメートに適当な屈折率と
厚みを有する、例えば面精度が要求されるスペーサは不
要である。
2を用いてコリメーシヨンを行う。そして、球状レンズ
12は、ロッドレンズのように化学組成の制御を利用し
て屈折率勾配を形成したものとは異なり、球面の曲率を
利用したものであり、従って、球状レンズ12の光学的
中心はその幾何学的中心に一致する。このため、溝11
の深さを調節して球状レンズ12の幾何学的中心の高さ
と光ファイバ2の高さとを設計上予め一致させておいて
、上述の如くフェルール3を左右に基盤8上でスライド
させるのみで光軸合わせができ、ロッドレンズの場合の
ような二次元にわたっての煩雑な光軸調整を必要としな
い。従って、従来と比較して光軸合わせが遥かに容易で
あり、かつ精度も良好とでき、光量損失を少なくできる
。しかも、本実施例では、球状レンズ12とフェルール
末端面3aとの間隙に合成樹脂を充填しであるので、球
状レンズ12に対応して、コリメートに適当な屈折率と
厚みを有する、例えば面精度が要求されるスペーサは不
要である。
基盤8は例えば金属、セラミックス、プラスチック等で
製造でき、フェルール3は例えばアルミナ、ジルコニア
等のセラミックスで製造できる。
製造でき、フェルール3は例えばアルミナ、ジルコニア
等のセラミックスで製造できる。
合成樹脂部13に用いる合成樹脂としては、エポキシ系
接着剤、アクリレート系接着剤等を例示できる。また弾
力性のある合成樹脂としてはシリコーン樹脂等が例示で
きる。
接着剤、アクリレート系接着剤等を例示できる。また弾
力性のある合成樹脂としてはシリコーン樹脂等が例示で
きる。
第2図に示すように、フェルール3の先端側に球状レン
ズ12を固定する方法もある。
ズ12を固定する方法もある。
即ち、フェルール3内のファイバ2は左右に移動可能な
状態とし、更にフェルール3の末端部分に断面■字形又
は円錐状の切り欠き部14を設け、この切り欠き部14
の表面へと球状レンズ12を外接させた状態で固定する
。そして、切り欠き部14と球状レンズ12との間隙に
上記のような合成樹脂を充填し、ファイバ2の位置を左
右に微調整し、光軸合わせをして位置決めをする。次い
で、合成樹脂部23を固化させる。この状態で、合成樹
脂部23の末端面23aを偏光子5又は検光子7へと対
向させることでコリメーシヨンを行う。球状レンズ12
を、合成樹脂部23、フェルール3を付して基盤8へと
固定することもできるし、又フェルール3内の切り欠き
部14間に収容した状態にして、球状レンズ12は合成
樹脂23によってフェルール3に固定し、フェルール3
を合成樹脂23又は他の有機接着剤によって基盤8に固
定することもできる。
状態とし、更にフェルール3の末端部分に断面■字形又
は円錐状の切り欠き部14を設け、この切り欠き部14
の表面へと球状レンズ12を外接させた状態で固定する
。そして、切り欠き部14と球状レンズ12との間隙に
上記のような合成樹脂を充填し、ファイバ2の位置を左
右に微調整し、光軸合わせをして位置決めをする。次い
で、合成樹脂部23を固化させる。この状態で、合成樹
脂部23の末端面23aを偏光子5又は検光子7へと対
向させることでコリメーシヨンを行う。球状レンズ12
を、合成樹脂部23、フェルール3を付して基盤8へと
固定することもできるし、又フェルール3内の切り欠き
部14間に収容した状態にして、球状レンズ12は合成
樹脂23によってフェルール3に固定し、フェルール3
を合成樹脂23又は他の有機接着剤によって基盤8に固
定することもできる。
基盤8とフェルール3とは合成樹脂接着剤によって接着
することが好ましいが、この際、基盤8とフェルール3
との間の接着層を合成樹脂部23と別体とすることがで
き、この場合は両者を異なる材質とすることができる。
することが好ましいが、この際、基盤8とフェルール3
との間の接着層を合成樹脂部23と別体とすることがで
き、この場合は両者を異なる材質とすることができる。
また、上記接着層と合成樹脂部23とをつなげることが
でき、この場合は両者を同時に流し込み成形するので、
両者の材質は同一となる。
でき、この場合は両者を同時に流し込み成形するので、
両者の材質は同一となる。
第2図の例では、球状レンズ12の外周面が末端面23
aに接する形状としたが、球状レンズ12がこの末端面
23aから一部鱈出してもよく、切り欠き部14内へと
完全に収容されるように構成してもよい。
aに接する形状としたが、球状レンズ12がこの末端面
23aから一部鱈出してもよく、切り欠き部14内へと
完全に収容されるように構成してもよい。
上記の各別では光ファイバ2をフェルール3内へと固定
したが、フェルールは必ずしも必要とせず、光ファイバ
2をフェルールなしで基盤8上へと固定することができ
る。この場合にも、一般にマイクロオブテイクス(微小
光学)分野で採用されるような技術を適用できるが、例
えば基盤80表面上に光ファイバ2の設置方向に沿った
断面V字形の溝を設け、この溝の中へと光ファイバ2を
設置し、その後に合成樹脂接着剤によって光ファイバ2
を固定することができる。
したが、フェルールは必ずしも必要とせず、光ファイバ
2をフェルールなしで基盤8上へと固定することができ
る。この場合にも、一般にマイクロオブテイクス(微小
光学)分野で採用されるような技術を適用できるが、例
えば基盤80表面上に光ファイバ2の設置方向に沿った
断面V字形の溝を設け、この溝の中へと光ファイバ2を
設置し、その後に合成樹脂接着剤によって光ファイバ2
を固定することができる。
(発明の効果)
本発明に係る光磁界センサおよびその製造方法によれば
、球状レンズと光フアイバ末端部との間隙に合成樹脂を
充填して互いに位置決めし、両者の距離をコリメーショ
ンに最適な位置に固定できるため、コリメーション特性
に優れ、光量損失を少なくできる。従って、故障点検出
箇所と送信器又は/および受信器との距離を大きくでき
る。
、球状レンズと光フアイバ末端部との間隙に合成樹脂を
充填して互いに位置決めし、両者の距離をコリメーショ
ンに最適な位置に固定できるため、コリメーション特性
に優れ、光量損失を少なくできる。従って、故障点検出
箇所と送信器又は/および受信器との距離を大きくでき
る。
しかも、光フアイバ末端部と球状レンズとの間に合成樹
脂を充填し、末端部と球状レンズとの距離を一次元的に
調節するだけで両者の光軸合わせができるので、従来に
比較して光軸合わせが漏かに容易にかつ精度よくでき、
高精度の光磁界センサの生産性が著しく向上し、かつ製
造コストも低減できる。
脂を充填し、末端部と球状レンズとの距離を一次元的に
調節するだけで両者の光軸合わせができるので、従来に
比較して光軸合わせが漏かに容易にかつ精度よくでき、
高精度の光磁界センサの生産性が著しく向上し、かつ製
造コストも低減できる。
第1図、第2図はそれぞれ光フアイバ末端の周辺を示す
拡大部分断面図、 第3図は光磁界センサの一例を示す概略図である。 2・・・光ファイバ 2a・・・光ファイバの末端部 3・・・フェルール 3a・・・フェルールの末端面 5・・・偏光子 7・・・検光子 11・・・v字溝 13、23・・・合成樹脂部 14・・・切り欠き部 6・・・磁気光学素子 8・・・基盤 12・・・球状レンズ 特 許 出 願 人 日本碍子株式会社
拡大部分断面図、 第3図は光磁界センサの一例を示す概略図である。 2・・・光ファイバ 2a・・・光ファイバの末端部 3・・・フェルール 3a・・・フェルールの末端面 5・・・偏光子 7・・・検光子 11・・・v字溝 13、23・・・合成樹脂部 14・・・切り欠き部 6・・・磁気光学素子 8・・・基盤 12・・・球状レンズ 特 許 出 願 人 日本碍子株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、センサ内部へと挿入された光ファイバの末端部に対
して相対的に位置固定された基盤と;前記末端部との間
及び光学素子との間で光 信号の伝送を行うための光学部品とを有し;この光学部
品と前記末端部との間で前記光 信号のコリメーションを行う光磁界センサにおいて、 前記末端部に対して光軸合わせされたコリ メーション用の球状レンズと; 前記末端部と前記球状レンズとの間隙に充 填された合成樹脂部とを有することを特徴とする光磁界
センサ。 2、センサ内部へと挿入された光ファイバの末端部に対
して相対的に位置固定された基盤と;前記末端部との間
及び光学素子との間で光 信号の伝送を行うための光学部品とを有し;この光学部
品と前記末端部との間で前記光 信号のコリメーションを行う光磁界センサを製造する方
法において、 前記末端部と球状レンズとの間に合成樹脂 を充填し、この合成樹脂が固化する前に前記末端部と前
記球状レンズとの距離を調節することにより光軸合わせ
を行い、次いで前記合成樹脂を固化させることを特徴と
する光磁界センサの製造方法。 3、前記球状レンズをフェルールの切り欠き部に外接さ
せた状態でこの切り欠き部内に前記合成樹脂を充填し、
この合成樹脂が固化する前に前記末端部と前記球状レン
ズとの距離を調節することにより光軸合わせを行う、請
求項2記載の光磁界センサの製造方法。 4、センサ内部へと挿入された光ファイバの末端部に対
して相対的に位置固定された基盤と;前記末端部との間
及び光学素子との間で光 信号の伝送を行うための光学部品とを有し;この光学部
品と前記末端部との間で前記光 信号のコリメーションを行う光磁界センサを製造する方
法において、 前記末端部と球状レンズとの間に弾性を有 する合成樹脂を充填し、この合成樹脂が固化した後に、
前記末端部と前記球状レンズとの距離を調節することに
より光軸合わせを行う光磁界センサの製造方法。
Priority Applications (7)
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---|---|---|---|
JP2226551A JPH087255B2 (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 光磁界センサ及びその製造方法 |
US07/745,191 US5355084A (en) | 1990-08-30 | 1991-08-15 | Optical magnetic-field sensor having spherical lenses for light collimation |
AU82579/91A AU630572B2 (en) | 1990-08-30 | 1991-08-20 | Optical magnetic-field sensor and method of producing the same |
CA002049832A CA2049832C (en) | 1990-08-30 | 1991-08-26 | Optical magnetic-field sensor and method of producing the same |
DE69124440T DE69124440T2 (de) | 1990-08-30 | 1991-08-29 | Optischer Magnetfeldfühler und Verfahren zu seiner Herstellung |
KR1019910015045A KR960013752B1 (ko) | 1990-08-30 | 1991-08-29 | 광 자계 센서 및 그의 제조방법 |
EP91307911A EP0473429B1 (en) | 1990-08-30 | 1991-08-29 | Optical magnetic-field sensor and method of producing the same |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04109176A true JPH04109176A (ja) | 1992-04-10 |
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Family
ID=16846930
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2226551A Expired - Lifetime JPH087255B2 (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 光磁界センサ及びその製造方法 |
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EP (1) | EP0473429B1 (ja) |
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CA (1) | CA2049832C (ja) |
DE (1) | DE69124440T2 (ja) |
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1990
- 1990-08-30 JP JP2226551A patent/JPH087255B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-08-15 US US07/745,191 patent/US5355084A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-08-20 AU AU82579/91A patent/AU630572B2/en not_active Ceased
- 1991-08-26 CA CA002049832A patent/CA2049832C/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-08-29 EP EP91307911A patent/EP0473429B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-29 KR KR1019910015045A patent/KR960013752B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1991-08-29 DE DE69124440T patent/DE69124440T2/de not_active Expired - Fee Related
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EP0473429A3 (en) | 1992-11-19 |
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