JPH04101020U - 真空用転がり軸受 - Google Patents
真空用転がり軸受Info
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- JPH04101020U JPH04101020U JP318891U JP318891U JPH04101020U JP H04101020 U JPH04101020 U JP H04101020U JP 318891 U JP318891 U JP 318891U JP 318891 U JP318891 U JP 318891U JP H04101020 U JPH04101020 U JP H04101020U
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 内外輪１，２の軌道面にそれより硬いＴｉＮ
膜６，７をコーティングする。ボール３の表面にＡｇ−
Ｉｐ膜５をコーティングする。ＴｉＮ膜６，７の表面粗
さをＡｇ−Ｉｐ膜５の表面粗さよりも小さくする。 【効果】 ＴｉＮ膜６，７は内外輪１，２よりも硬いた
め、その表面を仕上げ加工したときの加工精度が上が
り、内外輪１，２自体の表面粗さよりもＴｉＮ膜６，７
の表面粗さが小さくなる。そのため、ＴｉＮ膜６，７に
よるボール３の表面のＡｇ−Ｉｐ膜５の削り方が小さく
なる。その結果、摩擦トルクが小さくなり、Ａｇ−Ｉｐ
膜５により潤滑される時間が長くなり、寿命が長くな
る。
膜６，７をコーティングする。ボール３の表面にＡｇ−
Ｉｐ膜５をコーティングする。ＴｉＮ膜６，７の表面粗
さをＡｇ−Ｉｐ膜５の表面粗さよりも小さくする。 【効果】 ＴｉＮ膜６，７は内外輪１，２よりも硬いた
め、その表面を仕上げ加工したときの加工精度が上が
り、内外輪１，２自体の表面粗さよりもＴｉＮ膜６，７
の表面粗さが小さくなる。そのため、ＴｉＮ膜６，７に
よるボール３の表面のＡｇ−Ｉｐ膜５の削り方が小さく
なる。その結果、摩擦トルクが小さくなり、Ａｇ−Ｉｐ
膜５により潤滑される時間が長くなり、寿命が長くな
る。
Description
【０００１】
この考案は、Ｘ線管用軸受等として用いられる真空用転がり軸受に関する。
【０００２】
従来、真空用転がり軸受としては、図２（ｂ）に示すように、ステンレス鋼か
らなる内外輪１、２の軌道面を超仕上げ加工し、ボール３の表面に銀イオンプレ
ーテイング（Ａｇ−Ｉｐ）膜５を施したものがある。
【０００３】
しかしながら、上記従来の真空用転がり軸受は、内外輪１，２の軌道面を単に
超仕上げ加工しているが、ステンレス鋼の硬さが比較的に低いことに起因して、
軌道面がどうしてもある程度の粗さを有することになる。そのため、高温、高速
という使用条件下では、内外輪１，２の軌道面の凹凸がボール３のＡｇ−Ｉｐ膜
５を削っていき、摩擦トルクが大きくなり、寿命が短くなるという欠点がある。
【０００４】
そこで、この考案の目的は、高温、高速という使用条件下でも、摩擦トルクが
小さく、寿命が長い真空用転がり軸受を提供することにある。
【０００５】
上記目的を達成するため、この考案の真空用転がり軸受は、内輪および外輪の
軌道面にその内輪および外輪よりも硬い硬質膜を設けると共に、転動体の転動面
に潤滑性を有する軟質金属膜を設け、上記硬質膜の表面粗さを上記軟質金属膜の
表面粗さよりも小さくしたことを特徴としている。
【０００６】
上記硬質膜は内外輪よりも硬いため、その表面の加工精度が上がり、内外輪自
体の表面粗さよりも硬質膜の表面粗さが小さくなる。そのため、硬質膜による転
動体の表面の軟質金属膜の削り方が小さくなる。その結果、摩擦トルクが小さく
なり、軟質金属膜により潤滑される時間が長くなり、寿命が長くなる。
【０００７】
以下、この考案を図示の実施例により詳細に説明する。
図１において、１および２は内輪および外輪で、高速度工具鋼（ＳＫＨ）ある
いはステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる。３はステンレス鋼からなるボールである
。 上記内外輪１，２の軌道面にはそれらよりも硬い硬質膜としての窒化チタン
（ＴｉＮ）膜６，７のコーティングを施し、さらに、このＴｉＮ膜６，７の表面
をラップ仕上げして、表面粗さを小さくすると共に、硬化させた。この結果、Ｔ
ｉＮ膜６，７の表面粗さＲｚは０．１μｍ以下で、平均は約０．０５μｍであり
、その硬さは２０００〜３０００Ｈｖであった。
【０００８】
一方、上記ボール３の表面には、潤滑性を有する軟質金属膜としてのＡｇ−Ｉ
ｐ膜５を施した。上記Ａｇ−Ｉｐ膜５の表面粗さは上記ＴｉＮ膜６，７の表面粗
さよりも大きい。但し、このＡｇ−Ｉｐ膜５の表面粗さは、運転中はＴｉＮ膜６
，７の表面粗さになるため、約０．０５μｍとなった。
【０００９】
上記構成によれば、ＴｉＮ膜６，７は内外輪１，２よりも硬いため、その表面
をラップ仕上げしたときの加工精度が上がり、図２（ａ）に示すように、内外輪
１，２自体の表面粗さよりもＴｉＮ膜６，７の表面粗さが小さくなる。そのため
、ＴｉＮ膜６，７によるボール３の表面のＡｇ−Ｉｐ膜５の削り方が小さくなる
。その結果、摩擦トルクが小さくなり、Ａｇ−Ｉｐ膜５により潤滑される時間が
長くなり、寿命が長くなる。
【００１０】
なお、上記軸受をＸ線管用の支持軸受として用いた場合には、内輪１と外輪２
との間を図示しない導電ブラシで電気的に接続して、静電対策をしている。
【００１１】
上記実施例では、硬質膜としてＴｉＮ膜６，７を用いたが、炭化チタン（Ｔｉ
Ｃ）膜を用いてもよく、内外輪自体より硬いものであればどのようなものでもよ
い。また、転動体としてコロを用い、その転動面をＡｇ−Ｉｐ膜等の軟質金属膜
でコーティングしてもよい。
【００１２】
以上より明らかなように、この考案の真空用転がり軸受は、転動体の転動面を
潤滑性を有する軟質金属膜でコーティングし、内外輪の軌道面をそれらよりも硬
い硬質膜でコーティングし、この硬質膜の表面粗さを軟質金属膜の表面粗さより
も小さくしているので、硬質膜の仕上げ精度を高くでき、硬質膜の軟質金属膜に
たいする削りかたが小さくなって、摩擦トルクが小さくなり、かつ、潤滑される
時間が長くなって、寿命が長くなる。
【００１３】
【図面の簡単な説明】
【図１】 この考案の一実施例の真空用転がり軸受の断
面図である。
面図である。
【図２】 この考案と従来例を拡大して示す図である。
１・・・内輪、２・・・外輪、３・・・ボール、６，７・・・ＴｉＮ
膜、５・・・Ａｇ−Ｉｐ膜。
膜、５・・・Ａｇ−Ｉｐ膜。
Claims (1)
- 【請求項１】 内輪および外輪の軌道面にその内輪およ
び外輪よりも硬い硬質膜を設けると共に、転動体の転動
面に潤滑性を有する軟質金属膜を設け、上記硬質膜の表
面粗さを上記軟質金属膜の表面粗さよりも小さくしたこ
とを特徴とする真空用転がり軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991003188U JP2527053Y2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 真空用転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991003188U JP2527053Y2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 真空用転がり軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04101020U true JPH04101020U (ja) | 1992-09-01 |
| JP2527053Y2 JP2527053Y2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=31731909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991003188U Expired - Lifetime JP2527053Y2 (ja) | 1991-02-01 | 1991-02-01 | 真空用転がり軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2527053Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010249215A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Nsk Ltd | 水素雰囲気用転がり軸受 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124818A (ja) * | 1984-07-14 | 1986-02-03 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 軸受転動体 |
| JPS62258224A (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-10 | Hitachi Medical Corp | 軸受 |
-
1991
- 1991-02-01 JP JP1991003188U patent/JP2527053Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6124818A (ja) * | 1984-07-14 | 1986-02-03 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 軸受転動体 |
| JPS62258224A (ja) * | 1986-05-02 | 1987-11-10 | Hitachi Medical Corp | 軸受 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010249215A (ja) * | 2009-04-15 | 2010-11-04 | Nsk Ltd | 水素雰囲気用転がり軸受 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2527053Y2 (ja) | 1997-02-26 |
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