JPH0398769A

JPH0398769A - 電着研磨シート

Info

Publication number: JPH0398769A
Application number: JP23662089A
Authority: JP
Inventors: Kazuo Toda; 戸田　一夫; Junya Oe; 大江　潤也
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 1989-09-12
Filing date: 1989-09-12
Publication date: 1991-04-24

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】「産業上の利用分野」本発明は、＃６０００〜１５０００の超砥粒を用いた研
磨砥石と同等の仕上精度が得られ、しかも遥かに長寿命
を有する電着研磨シートに関する。

「従来の技術」仕上げ研磨の中でも特に高精度が要求される用途には、
従来より＃６０００〜１５０００程度の微細な超砥粒を
用いた研磨砥石が使用されている。

”一，：７：が砥粒がこソ′１１工ど細かいと、研磨に
伴う砥粒の破砕や磨耗が著しく、使用寿命が短いため、
この種の研磨砥石では、砥粒を固定する結合材として、
コストのかかる電着相よりもレジノイドボンドが一般に
使用されている。

「発明が解決しようとする課題」しかし最近では、この種の研磨砥石においても、研磨効
率を向上して生血性を高めることが強く望まれており、
従来品と同等の研磨精度が得られて、しかも長寿命を有
する研磨砥石の出現が待たれていた。

また、上記のような研磨砥石では、レジノイドボンドの
砥粒保持力が小さいため、研磨中に砥粒の脱落が多く、
これら脱落砥粒が被削面と研磨面の間に挟まり、被削面
に条痕を形成する欠点も有していた。

「課題を解決するための手段」本発明は上記課題を解決するためになされたもので、以
下、図面を用いて具体的に説明する。

第１図は本発明に係わる電着研磨シートの一例を示す縦
断面図である。図中符号１は金属薄板で、この金属薄板
ｌの片面には、ダイヤモンドやＣＢＮ等の超砥粒２が、
ＮｉやＣｕ等からなる金属めっき相３によって固着され
ている。

前記金属薄板１はＳＫ鋼、真ちゅう、リン青銅、ステン
レス等の耐食性に優れた金属からなり、厚さは０．０５
〜０　．　Ｉ　Ｉｍであることが望ましい。厚さが０．
０５１１未満では強度が不足し、Ｏ　．　ｌ　ｘｍより
厚いと剛性が高すぎて使用に支障を来す。必要であれば
電着を行なわない面にＣｒめっき等を施し、耐食性を高
めてもよい。

前記超砥粒２の粒度は＃８００〜２０００とされる。＃
８００未満の砥粒が混入すると、突出量が不揃いになり
仕上げ面粗さを悪化させる。また＃２０００より細かい
砥粒が混入すると、その砥拉が脱落しやすく条痕形成の
原因となる。

各超砥粒２は十分な固着強度が得られる範囲で、配置密
度が最大になるように薄板ｌ上に固着されている。また
、超砥粒２の金属めっき相３から突出した部分は、薄板
１とほぼ平行に破砕され、多数の微小切刃２Ａを有する
平坦面となっている。

なお、金属めっき相３からの超砥粒２の平均突出量Ｔは
、これらの平均粒径の２０〜４０％であることが望まし
い。２０％未満では切刃２Ａの切り込み量が不足して十
分な切れ味が得られない。また４０％より大では、切刃
２Ａの切り込み量が大きくなって＃６０００〜１　５０
００の砥粒に相当する研磨精度が得られない。

次に、上記電着研磨シートの製造方法を説明する。まず
十分に清浄化した金属薄板ｌをめっき液中に水平に配置
し、めっき液中に均一に超砥粒２を分散しつつ、薄板の
上方に平行配置したＮｉ陽極との間で通電する。

次いで、薄板ｌを取り出して洗浄・乾燥し、第２図に示
すように、各超砥粒２の突出部をダイヤモンドシ一トを
用いて平坦状に破砕する。ここで使用するダイヤモンド
シ一トは、粒度が＃８００〜６０００程度であることが
望ましく、＃８００未満では破砕度が大きすぎて超砥粒
２の微小切刃２Ａが不揃いになり、＃６０００より細か
いものでは超砥粒２が平坦になり過ぎて微小切刃２Ａが
不足する問題を生じる。

ダイヤモンドシ一トによる共磨りが終了したら、さらに
通常のドレッサを用いて研磨面のドレッシングを行ない
、金属めっき相３の厚さを前記の範囲に整える。前記共
磨りおよびドレッシングを合わせた平均破砕量Ｓは、破
砕前の超砥粒２の平均粒径の１０〜３０％程度であるこ
とが望ましい。

１０％未満では十分に切刃２Ａが揃わず、３０％より大
では超砥粒２が平坦化しすぎて切れ味が低下する。

こうして得られた電着研磨シートは、適当なサイズに裁
断された後、ブロック状、ドラム状、ホイール状等の砥
石基体の表面に接着剤等で貼付され、研磨に供される。

上記構戊からなる電着研磨シートでは、＃８００〜２０
００程度の比較的大きな超砥粒２を単層状に電着したう
え、これら超砥粒２の突出部を破砕して、平坦化すると
ともに微細な切刃２Ａを多数形成しているので、＃６０
００〜１　５０００の微細砥粒を用いた砥石と同様の研
磨精度が得られる。そして砥粒径か大きい分、超砥粒２
と金属めっき相３との接着面積が大きいうえ、結合材と
して金属めっき相３を使用しているので、砥粒保持力が
大きく、超砥粒２が脱落しにくく、脱落砥粒による条痕
発生を防ぐことができる。

また、各超砥粒２の露出面は比較的広く平坦で、ここに
多数の微視的な切刃２Ａが形成されているため、研磨面
における切刃２Ａの分布密度がレジノイドボンド砥石な
どに比して格段に高く、研磨効率の向上が図れるうえ、
各切刃２Ａにかかる荷重が平均化するため切刃２Ａの破
砕が少なく、良好な研磨性能が長時間維持できる。

さらに、超砥粒２において発生する熱が金属めっき相３
を通じて金属薄板ｌに分散するため、冷却性に優れて過
熱のおそれが少ないうえ、シート状であるから任意の砥
石基体に貼付して広い用途に使用でき、磨耗したら交換
することら可能で、製造コストが安いという利点も有す
る。

「実施例」次に実施例として、厚さ０．１ｘＩＩの真ちゅう製の薄
板上に、Ｎｉめっきにより＃２０００のダイヤモンド砥
粒を単層状に固着した。次いで、＃８００〜６０００の
ダイヤモンドシ一トにより研磨面を共磨りし、研磨面か
ら突出した砥粒先端を約３μｌ（平均粒径の約３０％）
破砕した。さらに、研磨面にドレッシングを施し、超砥
粒の平均突出量を３μ次程度とした。

こうして得られた砥石シートを、金属ブロックの平面に
接着剤で加圧貼付し、ブロック砥石とした。

さらに、このブロック砥石を用いて、石英ガラス板の研
磨を行なった結果、＃６０００〜１５０００のダイヤモ
ンド砥粒を用いたコーティング研磨合威紙とほぼ同等の
緻密な研磨面が得られた。

「発明の効果」本発明に係わる電着研磨シートによれば、次のような優
れた効果か得られる。

■　＃８００〜２０００程度の比較的大きな超砥粒を単
層状に電着したうえ、これら超砥粒の突出部を破砕して
、平坦化するとともに微細な切刃を多数形威しているの
で、＃６０００〜１５０００の微細砥粒を用いた砥石と
同等の研磨精度が得られる。

■　砥粒径が大きい分、超砥粒と金属めっき相との接着
面積が大きいうえ、結合相として金属めっき相を使用し
ているので砥粒保持力が大きく、砥粒の脱落が少なく、
脱落砥粒による条痕発生が少ない。

■　砥粒の露出面がほぼ平坦で、この平坦面に多数の微
視的な切刃が形成されているため、研磨面における切刃
の分布密度がレジノイドボンド砥石などに比して格段に
高く、研磨効率の向上が図れるうえ、各切刃にかかる荷
重が平均化するため切刃が破砕されに＜＜、良好な研磨
性能が長時間維持でき、極めて長寿命である。

■　砥粒で発生する熱が金属めっき相を通じて金属薄板
に逃げるから、冷却性に優れ過熱のおそれが少ないうえ
、任意の砥石基体に貼付して使用できるため用途が広く
、磨耗したら交換することも可能で、製造コストも安い
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係わる電着研磨シートの一例を示す縦
断面図、第２図は同研磨ンートの製造方法を説明するた
めの縦断面図である。第１図ｌ・金属薄板、２・・・超砥粒、２Ａ・・・微小切刃、
３・・金属めっき相、Ｔ・・超砥粒の平均突出量、Ｓ・
・・平均破砕量。

Claims

【特許請求の範囲】

金属薄板の表面に＃８００〜２０００の超砥粒を金属め
っき相により単層状に固着したうえ、これら超砥粒の突
出部を超砥粒の平均粒径の１０〜３０％破砕して平坦化
し、多数の微小切刃を形成したことを特徴とする電着研
磨シート。