JP2002187071A

JP2002187071A - 電鋳薄刃砥石

Info

Publication number: JP2002187071A
Application number: JP2000383498A
Authority: JP
Inventors: Junji Hoshi; 純二星; Yoshitaka Ikeda; 吉隆池田; Masanori Torisaka; 昌徳鳥坂
Original assignee: Mitsubishi Materials Corp
Current assignee: Mitsubishi Materials Corp
Priority date: 2000-12-18
Filing date: 2000-12-18
Publication date: 2002-07-02

Abstract

(57)【要約】【課題】研削性能と加工精度を向上させた電鋳薄刃砥
石を提供する。【解決手段】砥石本体２を、ＮｉやＣｏ或いはそれら
の合金等からなる金属結合相３内に、ダイヤモンドやｃ
ＢＮ等の超砥粒４と、ＳｉＣやｈ−ＢＮ等のセラミック
スのフィラー、その他超砥粒よりも粒径の小さいフィラ
ー５とを分散配置して形成する。砥石本体２に占める金
属結合相３の割合を従来の電鋳薄刃砥石よりも大きくし
て、砥石本体２の密度を、６．８〜８．５ｇ／ｃｍ³の
範囲内とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子材料や
半導体製品等の被削材を高精度に切断加工するのに用い
られる電鋳薄刃砥石に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の電鋳薄刃砥石（ブレー
ド）の一例として、略薄板リング状の砥石本体を有する
電鋳薄刃砥石がある。この電鋳薄刃砥石において、砥石
本体は、ＮｉやＣｏ或いはそれらの合金等からなる金属
めっき相（金属結合相）内にダイヤモンドやｃＢＮ等の
超砥粒を分散して形成された厚さ数十μｍ〜数百μｍの
輪環薄板状をなしている。ここで、このような従来の砥
石本体の密度は、６．０〜６．５ｇ／ｃｍ³の範囲内に
ある。なお、金属めっき相を構成するＮｉの比重は８．
９ｇ／ｃｍ³、Ｃｏの比重は８．７ｇ／ｃｍ³である。こ
の電鋳薄刃砥石は、砥石本体の内周側領域（または外周
側領域）を保持されて軸線回りに回転駆動されること
で、外周側領域（または内周側領域）で被削材の切断加
工を行うものである。このような電鋳薄刃砥石は強度と
剛性に優れているために、極薄の砥石の製造が可能であ
り、超精密加工が要求される電子部品材料の切断や溝入
れ加工等に用いられる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、このような電
鋳薄刃砥石は、極薄に形成できる反面、砥石本体が軽い
ために、回転駆動された際の慣性力が小さかった。この
ため、砥石本体が被削材に対して切り込みにくく、切断
性能が低かった。また、このように慣性力が小さいため
に、切断抵抗を受けると砥石本体にぶれやビビリが生じ
やすく、加工精度を向上させることが困難であった。こ
れは特に、電子材料や半導体製品など、きわめて高い加
工精度が要求される被削材を加工する場合に大きな問題
となる。

【０００４】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、切断性能と加工精度を向上させた電鋳薄刃砥
石を提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる電鋳薄刃
砥石は、超砥粒を金属結合相中に分散配置してなる砥石
本体を有し、砥石本体の密度が、６．８〜８．５ｇ／ｃ
ｍ³の範囲内とされていることを特徴としている。この
ように構成される電鋳薄刃砥石においては、砥石本体の
密度が従来の電鋳薄刃砥石よりも高く設定されており、
回転駆動された際の慣性力が大きいので、砥石本体が被
削材に対して切り込みやすくなる。また、切断抵抗を受
けても砥石本体にぶれやビビリが生じにくくなる。ここ
で、砥石本体の密度が６．８ｇ／ｃｍ³よりも低いと、
砥石本体が軽すぎて回転駆動された際の慣性力が小さく
なってしまう。また、砥石本体において金属結合相を構
成する金属の比重、例えばＮｉの比重は８．９ｇ／ｃｍ
³、Ｃｏの比重は８．７ｇ／ｃｍ³であり、超砥粒の比重
はこれら金属結合相を構成する金属の密度よりも低いの
で、砥石本体の密度を８．５ｇ／ｃｍ³以上にするため
には、砥石本体に含まれる超砥粒の量を極端に少なくし
なければならず、電鋳薄刃砥石の切断性能が低下してし
まう。このため、砥石本体の密度は、６．８〜８．５ｇ
／ｃｍ³の範囲内とされる。

【０００６】砥石本体の密度が上記範囲内とされる電鋳
薄刃砥石は、例えば砥石本体中に占める金属結合相の割
合を高めるか、または金属結合相自体の密度を高めるこ
とで製造される。そして、砥石本体中に占める金属結合
相の割合を高めた場合には、切断加工時に砥石本体が摩
耗しやすくなって超砥粒の脱落が促進されるので、電鋳
薄刃砥石の自生発刃作用を高めて切れ味を持続させるこ
とができる。また、砥石本体の表面に露出する砥粒が少
なくなって超砥粒と被削材との接触面積が小さくなるの
で、超砥粒と被削材との接触圧を高めて、電鋳薄刃砥石
の切れ味を向上させることができる。一方、金属結合相
自体の密度を高めた場合には、砥石本体の剛性が向上す
るので、切断抵抗を受けても砥石本体にぶれやビビリが
より生じにくくなる。

【０００７】また、この電鋳薄刃砥石において、砥石本
体の金属結合相のめっき硬度がビッカース硬さで５５０
よりも小さいと、被削材の切断時に発生する切屑に対し
ての耐磨耗性がなく、砥石寿命が極端に短くなる。一
方、金属結合相のめっき硬度がビッカース硬さで７００
よりも大きいと、金属結合相の伸びがなく、砥石本体が
割れやすくなる。このため、砥石本体の金属結合相のめ
っき硬度は、ビッカース硬さで５５０〜７００の範囲内
とすることが好ましい。

【０００８】そして、この電鋳薄刃砥石は、例えば砥石
本体を、超砥粒と、超砥粒よりも細かなフィラーを金属
結合相中に分散配置した構成とし、金属結合相中に超砥
粒とフィラーとを１：２〜２：１の体積割合で分散配置
した構成としてもよい。このように、金属結合相中に、
超砥粒に加え、さらに超砥粒よりも細かなフィラーが分
散配置されていることで、砥石本体のじん性が高められ
ることとなる。ここで、金属結合相中において、超砥粒
に対するフィラーの体積割合が１：２よりも大きいと、
超砥粒の量が少なすぎて電鋳薄刃砥石の切断性能が低下
してしまう。一方、超砥粒に対するフィラーの体積割合
が２：１よりも小さいと、フィラーの量が少なすぎてフ
ィラーのもたらす効果が小さくなってしまう。このた
め、砥石本体の金属結合相中には、超砥粒とフィラーと
を１：２〜２：１の体積割合で分散配置することが好ま
しい。また、フィラーとしては、電鋳薄刃砥石の寿命を
確保する観点から、フィラー自体の耐磨耗性が高いセラ
ミックスのフィラーを用いることが好ましい。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下より、本発明の一実施の形態
にかかる電鋳薄刃砥石について、図１を用いて説明す
る。図１は本実施形態にかかる電鋳薄刃砥石を示す部分
縦断面図、図２は本実施形態にかかる電鋳薄刃砥石の製
造装置を概略的に示す正断面図である。本実施の形態の
電鋳薄刃砥石１は、略薄板リング状の砥石本体２を有し
ている。この砥石本体２は、ＮｉやＣｏ或いはそれらの
合金等からなる金属結合相３内に、ダイヤモンドやｃＢ
Ｎ等の超砥粒４と、ＳｉＣやｈ−ＢＮ等のセラミックス
のフィラー、その他超砥粒よりも粒径の小さいフィラー
５とを分散配置して形成された厚さ数十μｍ〜数百μｍ
の輪環薄板状をなしており、全体が砥粒層とされてい
る。そして、砥石本体２の密度は、６．８〜８．５ｇ／
ｃｍ³の範囲内とされている。本実施の形態では、フィ
ラー５としては、電鋳薄刃砥石１の寿命を確保する観点
から、フィラー自体の耐磨耗性が高いセラミックスのフ
ィラーを用いている。また、図１では、フィラー５をブ
ロック状のものとして図示しているが、フィラー５の形
状や大きさは一例であって、例えば球型、もしくは繊維
状であってもよい。

【００１０】この電鋳薄刃砥石１は、砥石本体２におい
て、めっき液中の超砥粒とフィラーの量とこれらの比を
制御することで、その密度が６．８〜８．５ｇ／ｃｍ³
の範囲内に設定されている。さらに、砥石本体２には、
超砥粒４と、超砥粒４よりも粒径の小さいフィラー５と
が、１：２〜２：１の体積割合で金属結合相３中に分散
配置されている。また、砥石本体２の金属結合相３のめ
っき硬度は、ビッカース硬さで５５０〜７００の範囲内
とされている。

【００１１】この電鋳薄刃砥石１は、砥石本体２を図示
しない砥石軸に固定される。この状態で、電鋳薄刃砥石
１を砥石軸の軸線まわりに回転させつつ砥石本体２の外
周面で被削材を切断（研削）加工する。

【００１２】このように構成される電鋳薄刃砥石１は、
図２に概略的に示す砥石製造装置１０を用いて製造され
る。砥石製造装置１０は、攪拌機が配設されためっき槽
１１を有している。めっき槽１１内には、非導電性の台
座１２が略水平に配置され、台座１２上にはステンレス
製の平面基板１３が載置され、めっき槽１１内の平面基
板１３の上方には、平面基板１３と平行にして陽極板１
４が配置されている。平面基板１３の上面には、製造す
べき電鋳薄刃砥石１の砥石本体２の原型形状をなす部分
を残してマスキングが施されている。この砥石製造装置
１０により、電解めっきによって電鋳薄刃砥石１の製造
を行う場合には、平面基板１３を電源の陰極に、陽極板
１４を電源の陽極に接続し、めっき液として、超砥粒４
とフィラー５が、これらの総量でめっき液に対して４ｇ
／Ｌの割合で、しかも超砥粒４とフィラー５とが１：２
〜２：１の割合で投入されためっき液Ｍ（めっき液硬度
Ｈｖ５５０〜７００）を攪拌機によって攪拌しながら通
電する。そして、平面基板１３のマスキングを施さなか
った部分に、超砥粒４とフィラー５とを含む所定の厚さ
の砥粒層１５を析出させた後、これを平面基板１３から
剥離させ、洗浄及び整形を経て、砥石本体２に占める金
属結合相３の割合が６５〜８５ｖｏｌ％とされ、超砥粒
４とフィラー５とが１：２〜２：１の体積割合で金属結
合相３中に分散配置された円環状の電鋳薄刃砥石１を得
る。ここで、経験的に、めっき液中に大きさの異なる２
種類以上の粒子を投入すると、めっき液中に大きさの揃
った粒子を投入した場合に比べて、各粒子の析出量が小
さくなることが出願人によって確かめられている。

【００１３】このような電鋳薄刃砥石１では、砥石本体
２の密度が６．８〜８．５ｇ／ｃｍ ³の範囲内とされて
おり、従来の電鋳薄刃砥石に比べて、回転駆動された際
の慣性力が大きくなっている。ここで、砥石本体２の密
度が６．８ｇ／ｃｍ³よりも低いと、砥石本体２が軽す
ぎて回転駆動された際の慣性力が小さくなってしまう。
また、超砥粒４及びフィラー５の比重は金属結合相３を
構成する金属の密度よりも低いので、砥石本体２の密度
を８．５ｇ／ｃｍ³以上にするためには、砥石本体２に
含まれる超砥粒４及びフィラー５の量を極端に少なくし
なければならず、電鋳薄刃砥石１の切断性能及び後述す
るフィラー５の効果が低下してしまう。このため、砥石
本体の密度は、６．８〜８．５ｇ／ｃｍ³の範囲内とさ
れる。

【００１４】また、砥石本体２の金属結合相３のめっき
硬度がビッカース硬さで５５０よりも小さいと、被削材
の切断時に発生する切屑に対しての耐磨耗性がなく、砥
石寿命が極端に短くなる。一方、金属結合相３のめっき
硬度がビッカース硬さで７００よりも大きいと、金属結
合相３の伸びがなく、砥石本体２が割れやすくなる。こ
のため、砥石本体２の金属結合相３のめっき硬度は、ビ
ッカース硬さで５５０〜７００の範囲内とすることが好
ましい。

【００１５】そして、砥石本体２が、超砥粒４と、超砥
粒４よりも細かなフィラー５を金属結合相３中に分散配
置した構成とされているので、砥石本体２のじん性が高
められることとなる。ここで、金属結合相３中におい
て、超砥粒４に対するフィラー５の体積割合が１：２よ
りも大きいと、超砥粒４の量が少なすぎて電鋳薄刃砥石
１の切断性能が低下してしまう。一方、超砥粒４に対す
るフィラー５の体積割合が２：１よりも小さいと、フィ
ラー５の量が少なすぎてフィラー５のもたらす効果が小
さくなって、砥石本体２のじん性が低下してしまう。こ
のため、砥石本体２の金属結合相３中には、超砥粒４と
フィラー５とを１：２〜２：１の体積割合で分散配置す
ることが好ましい。また、フィラー５としては、電鋳薄
刃砥石１の寿命を確保する観点から、フィラー自体の耐
磨耗性が高いセラミックスのフィラーを用いることが好
ましい。

【００１６】このように構成される電鋳薄刃砥石１によ
れば、砥石本体２の密度が従来の電鋳薄刃砥石よりも高
く設定されており、回転駆動された際の慣性力が大きい
ので、被削材に対して砥石本体２が切り込みやすくなっ
て切断性能が向上する。また、このように砥石本体２の
慣性力が大きいので、切断抵抗を受けても砥石本体２に
ぶれやビビリが生じにくくなり、被削材の加工精度を向
上させることができる。

【００１７】そして、本実施の形態では、電鋳薄刃砥石
１は、砥石本体２中に占める金属結合相３の割合を、従
来の電鋳薄刃砥石よりも高めることで製造されており、
切断加工時に砥石本体２が摩耗しやすくなっている。こ
れにより、超砥粒４の脱落が促進されるので、電鋳薄刃
砥石１の自生発刃作用を高めて切れ味を持続させること
ができる。また、砥石本体２の表面に露出する超砥粒４
が少なくなって超砥粒４と被削材との接触面積が小さく
なるので、超砥粒４と被削材との接触圧を高めて、電鋳
薄刃砥石１の切れ味を向上させることができる。さら
に、砥石本体２の金属結合相３のめっき硬度はビッカー
ス硬さで５５０〜７００の範囲内とされているので、砥
石本体２の耐磨耗性が向上して寿命が延び、また金属結
合相３に適度な伸びが残されて、砥石本体２に割れが生
じにくくなる。そして、砥石本体２が、超砥粒４と、超
砥粒４よりも細かなフィラー５を金属結合相３中に分散
配置した構成とされているので、砥石本体２のじん性が
高められることとなる。また、フィラー５として、フィ
ラー自体の耐磨耗性が高いセラミックスのフィラーを用
いているので、砥石本体２の過度の摩耗が抑えられて、
電鋳薄刃砥石１の寿命が確保される。

【００１８】ここで、上記実施の形態では、電鋳薄刃砥
石１として、砥石本体２中に占める金属結合相３の割合
を、従来の電鋳薄刃砥石よりも高めることで、砥石本体
２の密度を従来の電鋳薄刃砥石よりも高く設定した例を
示したが、これに限られることなく、例えば金属結合相
３自体の密度を高めることによって砥石本体２の密度を
高めてもよい。この場合には、砥石本体２の剛性が向上
するので、切断抵抗を受けてもぶれやビビリがより生じ
にくくなる。

【００１９】

【実施例】次に、本発明の電鋳薄刃砥石と従来の電鋳薄
刃砥石、及び比較例として本発明の電鋳薄刃砥石とは砥
石本体の金属結合相のめっき硬度のみを変えた電鋳薄刃
砥石のそれぞれについて、被削材を変えて切断試験を二
度行った。これら各電鋳薄刃砥石は、超砥粒として東名
ダイヤモンド工業製のダイヤモンド粒（ＩＭＭ２０／３
０μｍ）を用いたものであり、砥石製造装置１０におい
て、めっき液Ｍとしてスルファミン酸ニッケル溶液を用
い、電解めっき条件として液温５０°Ｃ、陰極電流密度
５Ａ／ｄｍ²として形成した。

【００２０】従来例の電鋳薄刃砥石は、めっき液Ｍ中に
ダイヤモンド粒のみを２ｇ／Ｌの割合で投入して製造し
たものであって、砥石本体の密度は６．４ｇ／ｃｍ³で
あった。これに対し、実施例による電鋳薄刃砥石は、め
っき液Ｍ中に、ダイヤモンド粒に加えて、ダイヤモンド
粒よりも粒径の小さいセラミックスフィラーを、これら
の総量でめっき液Ｍに対して４ｇ／Ｌの割合で投入し、
２種類の電鋳薄刃砥石を製造した。本試験では、本発明
にかかる電鋳薄刃砥石として、めっき液Ｍ中にダイヤモ
ンド粒とＳｉＣフィラーとを体積比で１：１の割合で投
入して製造した実施例１と、めっき液Ｍ中にダイヤモン
ド粒とｈＢＮフィラーとを体積比で１：２の割合で投入
して製造した実施例２の二種類を用意した。これら従来
例及び実施例１、２は、めっき液硬度Ｈｖ６００のめっ
き液を使用して形成した。そして、比較例の電鋳薄刃砥
石は、めっき液Ｍ中のめっき金属の濃度、めっき液Ｍへ
のダイヤモンド粒及びフィラーの投入量等の条件は実施
例１と同一の条件とし、めっき液として、めっき液硬度
Ｈｖ４５０のめっき液を用いて形成した。ここで、前記
のように、めっき液中に大きさの異なる２種類以上の粒
子を投入すると、めっき液中に大きさの揃った粒子を投
入した場合に比べて、各粒子の析出量が小さくなるの
で、実施例１、２及び比較例は、従来例よりも砥石本体
中に占める金属結合相の割合が高くなっている。

【００２１】これら実施例１、２、従来例、及び比較例
の電鋳薄刃砥石の砥石本体の密度を測定した。従来例で
は、密度は６．４ｇ／ｃｍ³であるのに対し、実施例１
では６．９ｇ／ｃｍ³、実施例２では８．３ｇ／ｃｍ
³と、ともに従来例よりも密度が高かった。また、比較
例の密度は、実施例１と同じく６．９ｇ／ｃｍ³であっ
た。

【００２２】第１の切断試験では、実施例１、２、従来
例、及び比較例を、それぞれ外径５８ｍｍ、内径４０．
０ｍｍ、厚み０．３ｍｍとし、被削材として、長さ１０
０ｍｍ、厚さ３ｍｍのセラミックス（チタン酸バリウ
ム）のグリーンシート（生材）を用い、各電鋳薄刃砥石
を保持する主軸（砥石軸）の回転数は３００００／ｍｉ
ｎ、送り速度２００ｍｍ／ｓｅｃ、切り込みは３．０５
ｍｍとし、クーラントとして水を用いて、１００回の切
断を行った。この切断試験の結果を以下の表１に示す。

【００２３】

【表１】

【００２４】表１は、本試験において各電鋳薄刃砥石の
１回目の切断と１００回目の切断について、各電鋳薄刃
砥石を回転駆動する主軸に供給される電流値（Ａ）を示
したものである。主軸に供給される電流値の大きさは、
主軸にかかる負荷の大きさ、すなわち被削材を切断する
際に電鋳薄刃砥石に生じる抵抗の大きさを反映してい
る。

【００２５】従来例は、１回目の切断では、主軸に供給
される電流値は２．４Ａである。そして、３５回目の切
断では、主軸に供給される電流値は６．６Ａとなり、切
断を繰り返すにつれて切断抵抗が増加していることがわ
かる。また、３６回目の切断の際に砥石本体２が破損し
た。これに対し、実施例１は、１回目の切断では、主軸
に供給される電流値は２．２Ａであり、従来例よりも良
好な数値を得ることができた。そして、１００回目の切
断では、主軸に供給される電流値は５．１Ａとなり、従
来例よりも良好な数値を得ることができた。また、切断
を繰り返しても、切断抵抗の増加は従来例よりもはるか
に緩やかであった。同様に、実施例２は、１回目の切断
では、主軸に供給される電流値は２．２Ａであり、従来
例よりも良好な数値を得ることができた。そして、１０
０回目の切断では、主軸に供給される電流値は４．８Ａ
となり、従来例よりも良好な数値を得ることができた。
また、切断を繰り返しても、切断抵抗の増加は従来例よ
りもはるかに緩やかであった。比較例は、１回目の切断
では、主軸に供給される電流値は２．２Ａであり、切断
初期の電流値は低く、また１００回目の切断でも、主軸
に供給される電流値は４．８Ａと低いものの、切断を繰
り返した場合の切り幅の変化が大きく、また切断を繰り
返すにつれて砥石本体の先端形状がＶ字形状となり、ブ
レード摩耗が大きいことがわかった。

【００２６】第２の切断試験では、実施例１、２、従来
例、及び比較例を、それぞれ外径５６ｍｍ、内径４０．
０ｍｍ、厚み０．１５ｍｍとし、被削材として、長さ７
０ｍｍ、幅５０ｍｍ、厚さ１ｍｍのガラスエポキシ基板
を用い、各電鋳薄刃砥石を保持する主軸（砥石軸）の回
転数は３００００／ｍｉｎ、送り速度３００ｍｍ／ｓｅ
ｃ、切り込みは１．０５ｍｍとし、クーラントとして水
を用いて、２０回の切断を行った。この切断試験の結果
を表２に示す。

【００２７】

【表２】

【００２８】表２は、本試験において各電鋳薄刃砥石の
１回目の切断と２０回目の切断について、各電鋳薄刃砥
石を回転駆動する主軸に供給される電流値（Ａ）を示し
たものである。主軸に供給される電流値の大きさは、主
軸にかかる負荷の大きさ、すなわち被削材を切断する際
に電鋳薄刃砥石に生じる抵抗の大きさを反映している。

【００２９】従来例は、１回目の切断では、主軸に供給
される電流値は２．５Ａである。そして、２０回目の切
断では、主軸に供給される電流値は５．３Ａとなり、切
断を繰り返すにつれて切断抵抗が増加していることがわ
かる。これに対し、実施例１は、１回目の切断では、主
軸に供給される電流値は２．３Ａであり、従来例よりも
良好な数値を得ることができた。そして、２０回目の切
断では、主軸に供給される電流値は３．０Ａとなり、従
来例よりも良好な数値を得ることができた。また、切断
を繰り返しても、切断抵抗の増加は従来例よりもはるか
に緩やかであった。同様に、実施例２は、１回目の切断
では、主軸に供給される電流値は２．３Ａであり、従来
例よりも良好な数値を得ることができた。そして、２０
回目の切断では、主軸に供給される電流値は２．７Ａと
なり、従来例よりも良好な数値を得ることができた。ま
た、切断を繰り返しても、切断抵抗の増加は従来例より
もはるかに緩やかであった。比較例は、１回目の切断で
は、主軸に供給される電流値は２．３Ａであり、切断初
期の電流値が低く、そして、２０回目の切断では、主軸
に供給される電流値は２．９Ａと低いものの、切断を繰
り返した場合の切り幅の変化が大きく、また切断を繰り
返すにつれて砥石本体の先端形状もＶ字形状となり、ブ
レード摩耗が大きいことがわかった。

【００３０】以上の試験結果から理解できるように、本
発明にかかる実施例１、２の電鋳薄刃砥石によれば、従
来例の電鋳薄刃砥石に比べて砥石本体の密度が高いの
で、被削材に対して砥石本体が切り込みやすくなって切
断抵抗を低減することができる。また、金属結合相３の
ビッカース硬さが６００である実施例１の電鋳薄刃砥石
は、金属結合相３のビッカース硬さが４５０である比較
例の電鋳薄刃砥石に比べて摩耗しにくく、長寿命である
ことがわかる。

【００３１】なお、上記実施形態において、本発明によ
る電鋳薄刃砥石は外周刃による切断を行う外周刃切断用
の砥石について説明したが、これに限られることなく、
内周刃切断用の砥石とすることもできる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる電
鋳薄刃砥石によれば、砥石本体の密度が従来の電鋳薄刃
砥石よりも高く設定されており、回転駆動された際の慣
性力が大きいので、被削材に対して砥石本体が切り込み
やすくなって切断性能が向上する。また、このように砥
石本体の慣性力が大きいので、切断抵抗を受けても砥石
本体にぶれやビビリが生じにくくなり、被削材の加工精
度を向上させることができる。

【００３３】そして、砥石本体の金属結合相のめっき硬
度をビッカース硬さで５５０〜７００の範囲内とするこ
とで、砥石本体の耐磨耗性が向上して寿命が延び、また
金属結合相に適度な伸びが残されるので、砥石本体に割
れが生じにくくなる。また、砥石本体を、金属結合相中
に、超砥粒と、超砥粒よりも細かなフィラーを分散配置
した構成とすることで、砥石本体のじん性が高められる
こととなる。さらに、フィラーとして、フィラー自体の
耐磨耗性が高いセラミックスのフィラーを用いること
で、電鋳薄刃砥石の寿命を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態にかかる電鋳薄刃砥石
を示す部分縦断面図である。

【図２】本発明の一実施の形態にかかる電鋳薄刃砥石
を製造する砥石製造装置の構成を概略的に示す正断面図
である。

【符号の説明】

１電鋳薄刃砥石２砥石本体３金属結合相４超砥粒５フィラー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鳥坂昌徳福島県いわき市泉町黒須野字江越246−１三菱マテリアル株式会社いわき製作所内Ｆターム(参考） 3C063 AA02 AB02 BB02 BB04 BB19 BC02 BG07 CC12 EE10 EE31 FF23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】超砥粒を金属結合相中に分散配置してな
る砥石本体を有し、該砥石本体の密度が、６．８〜８．５ｇ／ｃｍ³の範囲
内とされていることを特徴とする電鋳薄刃砥石。
【請求項２】前記砥石本体の金属結合相のめっき硬度
がビッカース硬さで５５０〜７００の範囲内とされてい
ることを特徴とする請求項１記載の電鋳薄刃砥石。
【請求項３】前記砥石本体には、前記超砥粒よりも細
かなフィラーが分散配置されており、前記超砥粒と前記
フィラーとを１：２〜２：１の体積割合で前記金属結合
相中に分散配置してなることを特徴とする請求項１また
は２に記載の電鋳薄刃砥石。
【請求項４】前記フィラーが、セラミックスのフィラ
ーであることを特徴とする請求項３記載の電鋳薄刃砥
石。