JP4419652B2 - 研削砥石およびその製造方法 - Google Patents
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ワーク:純度96%のアルミナ焼結板(厚さ0.5mm、幅20mm、長さ50mm)、
加工機:東京精密製 A−WD−100A、
ダイシングテープ:デンカ製 UHP−1525M3、
クーラント:市水
であり、回転数20000rpm、送り速度5mm/sec、切込み深さはワーク厚さ+0.05mmで、ワークをその長手方向に切断した。従って1ラインの切断長さは50mmである。
ワーク:BGAタイプの樹脂パッケージ(厚さ1.2mm)、
加工機:東京精密製 A−WD−100A、
ダイシングテープ:デンカ製 UHP−1525M3、
クーラント:市水
であり、回転数20000rpm、送り速度100mm/sec、切込み深さはワーク厚さ+0.05mmで、1ラインの切断長さは70mmであった。
ワーク:石英ガラス円板(厚さ1.0mm、直径3インチ)、
加工機:東京精密製 A−WD−10A、
ダイシングテープ:デンカ製 UHP−1525M3、
クーラント:市水
であり、砥石回転数18000rpm、送り速度10mm/sec、切込み深さ(溝深さ)0.5mmであった。また、1ラインの溝長さは平均60mmであった。
2 砥粒層
3 金属めっき相
4 砥粒
5 フィラー(造粒物)
6 粒子
7 結合剤
Claims (4)
- 金属めっき相中に砥粒とフィラーとが分散された砥粒層を有する研削砥石であって、上記フィラーが、上記砥粒よりも微細なセラミックス粒子を結合剤によって結合させて造粒した造粒物であり、この造粒物は、1種類の上記セラミックス粒子を用いた造粒物、または互いに異なる上記セラミックス粒子1種ごとにそれぞれ造粒した複数種の造粒物であることを特徴とする研削砥石。
- 上記結合剤が、有機バインダーであることを特徴とする請求項1に記載の研削砥石。
- 上記造粒物の平均粒径が、上記砥粒の平均粒径以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の研削砥石。
- 砥粒よりも微細なセラミックス粒子を結合剤によって結合させて造粒物を造粒し、1種類の上記セラミックス粒子を用いた上記造粒物、または互いに異なる上記セラミックス粒子1種ごとにそれぞれ造粒した複数種の上記造粒物をフィラーとして上記砥粒とともにめっき液中に分散して金属めっき相を析出させることにより砥粒層を形成することを特徴とする研削砥石の製造方法。
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