JPH0397641A - 窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラス及びその製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラス及びその製造方法Info
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- JPH0397641A JPH0397641A JP23143289A JP23143289A JPH0397641A JP H0397641 A JPH0397641 A JP H0397641A JP 23143289 A JP23143289 A JP 23143289A JP 23143289 A JP23143289 A JP 23143289A JP H0397641 A JPH0397641 A JP H0397641A
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- fluoride glass
- aluminum nitride
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Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラス及び
その製造方法に関する． ［従来の技術］ 従来、赤外透過材料として、ＺｒＦ４−ＢａＦｘ系ガラ
ス等のフッ化物ガラスが知られている。
その製造方法に関する． ［従来の技術］ 従来、赤外透過材料として、ＺｒＦ４−ＢａＦｘ系ガラ
ス等のフッ化物ガラスが知られている。
（特公昭５８−２１７３号公報、特公昭６２−５９０６
６号公報）．シかし、ＺｒＦ＜ − ＢａＦ２系ガラス
などは耐候性が悪く、ガラス表面から水が拡散し、ＯＨ
結合をつくり、ガラスが失透してしまうという欠点を有
していた。
６号公報）．シかし、ＺｒＦ＜ − ＢａＦ２系ガラス
などは耐候性が悪く、ガラス表面から水が拡散し、ＯＨ
結合をつくり、ガラスが失透してしまうという欠点を有
していた。
［発明の解決しようとする問題点］
本発明の目的は，従来技術が有していた前述の欠点を解
決しようとするものであり、本発明は、従来知られてい
なかった耐候性の優れた窒化アルミニウム膜付きフッ化
物ガラスを新規に提供することを目的とするものである
。
決しようとするものであり、本発明は、従来知られてい
なかった耐候性の優れた窒化アルミニウム膜付きフッ化
物ガラスを新規に提供することを目的とするものである
。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、フッ化物ガラスの表面にＮ１を照射し、同時にアル
ミニウム（Ａ１）をスパッタリングして、フッ化物ガラ
ス表面に窒化アルミニウム膜を形成することを特徴とす
る窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラスの製造方法、
フツ化物ガラスの表面に窒素イオンを照射すると同時に
、アルミニウムをスパッタリングし、上記窒素イオンと
反応させて、フッ化物ガラスの表面に窒化アルミニウム
膜を形成することを特徴とする窒化アルミニウム膜付き
フッ化物ガラスの製造方法、及びフッ化物ガラスの表面
に窒素イオンを照射すると同時に、アルミニウムをスパ
ッタリングし、上記窒素イオンと反応させて形成した窒
化アルミニウム膜を有することを特徴とする窒化アルミ
ニウム膜付きフツ化物ガラスを提供するものである。
り、フッ化物ガラスの表面にＮ１を照射し、同時にアル
ミニウム（Ａ１）をスパッタリングして、フッ化物ガラ
ス表面に窒化アルミニウム膜を形成することを特徴とす
る窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラスの製造方法、
フツ化物ガラスの表面に窒素イオンを照射すると同時に
、アルミニウムをスパッタリングし、上記窒素イオンと
反応させて、フッ化物ガラスの表面に窒化アルミニウム
膜を形成することを特徴とする窒化アルミニウム膜付き
フッ化物ガラスの製造方法、及びフッ化物ガラスの表面
に窒素イオンを照射すると同時に、アルミニウムをスパ
ッタリングし、上記窒素イオンと反応させて形成した窒
化アルミニウム膜を有することを特徴とする窒化アルミ
ニウム膜付きフツ化物ガラスを提供するものである。
本発明は、ＺｒＦ＜系のフッ化物ガラス（代表的組成の
例としては、５０ ＺｒＦ． − ２５ ８ａＦ．２５
ＮａＦ等）や、ＡＩＦｓ系のフッ化物ガラス（代表的組
成例としては、ＡＩＦｓ − ＢａＦｔ −ＣａＦｉ−
ＹＦｓ等）に適用できる。
例としては、５０ ＺｒＦ． − ２５ ８ａＦ．２５
ＮａＦ等）や、ＡＩＦｓ系のフッ化物ガラス（代表的組
成例としては、ＡＩＦｓ − ＢａＦｔ −ＣａＦｉ−
ＹＦｓ等）に適用できる。
［イ乍用コ
本発明において、フッ化物ガラスの表面に窒化アルミニ
ウム膜を形成する際、ガラスの表面に窒素イオン（Ｎ．
”，Ｎ”）を照射し、同時に、アルミニウム（Ａ１）を
スパッタリングして反応させるため，フッ化物ガラスと
窒化アルミニウム膜の間に、フッ化物ガラスと窒化アル
ミニウムの混合層ができ、膜の密着性がよ《、フツ化物
ガラスの耐候性が大幅に向上する。
ウム膜を形成する際、ガラスの表面に窒素イオン（Ｎ．
”，Ｎ”）を照射し、同時に、アルミニウム（Ａ１）を
スパッタリングして反応させるため，フッ化物ガラスと
窒化アルミニウム膜の間に、フッ化物ガラスと窒化アル
ミニウムの混合層ができ、膜の密着性がよ《、フツ化物
ガラスの耐候性が大幅に向上する。
また窒化アルミニウムは赤外域に吸収がなく、赤外透過
光学材料としてのフツ化物ガラスの赤外透過性をそこな
うことがない。
光学材料としてのフツ化物ガラスの赤外透過性をそこな
うことがない。
［実施例］
ＺｒＦ． ５３モル％、ＢａＦａ ２０モル％、 Ｌ．
ａＦｘ ４モル％、ＡＩＦ． ３モル％、ＮａＦ ２０
モル％からなるフッ化物ガラスとアルミニウムを第ｌ図
に示すように、２元スパッタリング装置内に、設置した
。続いて、装置内を２ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの真空度
まで排気した後、１０ ｍＡ ， １３００Ｖを印加し
て、窒素イオンをフッ化物ガラス表面に照射し、同時に
８．２ｍＡ ， ｌＯｋＶを印加して、イオンビームス
バッタによってアルミニウム（Ａ１）を１５分間スバッ
タリングした。その結果、窒化アルミニウムの膜厚が８
００入の窒化アルミニウ，ム膜付きフッ化物ガラスがで
きた（実施例１）。そのガラスについて耐候性のテスト
（６０℃、９５８Ｈ％、２時間）を行ったところ第２図
に示すように、未処理のフッ化物ガラスのように透過率
が低下することがなく、耐候性が大輻に向上しているこ
とが分かった。又、同様に表１に示したような条件で実
施例２〜５を行って製造した本発明の窒化アルミニウム
膜付フッ化物ガラスはいずれも、実施例１と同様に良好
な耐候性を示した。
ａＦｘ ４モル％、ＡＩＦ． ３モル％、ＮａＦ ２０
モル％からなるフッ化物ガラスとアルミニウムを第ｌ図
に示すように、２元スパッタリング装置内に、設置した
。続いて、装置内を２ Ｘ １０−’Ｔｏｒｒの真空度
まで排気した後、１０ ｍＡ ， １３００Ｖを印加し
て、窒素イオンをフッ化物ガラス表面に照射し、同時に
８．２ｍＡ ， ｌＯｋＶを印加して、イオンビームス
バッタによってアルミニウム（Ａ１）を１５分間スバッ
タリングした。その結果、窒化アルミニウムの膜厚が８
００入の窒化アルミニウ，ム膜付きフッ化物ガラスがで
きた（実施例１）。そのガラスについて耐候性のテスト
（６０℃、９５８Ｈ％、２時間）を行ったところ第２図
に示すように、未処理のフッ化物ガラスのように透過率
が低下することがなく、耐候性が大輻に向上しているこ
とが分かった。又、同様に表１に示したような条件で実
施例２〜５を行って製造した本発明の窒化アルミニウム
膜付フッ化物ガラスはいずれも、実施例１と同様に良好
な耐候性を示した。
表１
【発明の効果］
本発明は、フッ化物ガラスの耐候性を大幅に向上させ、
窒化アルミニウム膜を形成することにより、フッ化物ガ
ラスの赤外域の透過性もそこなうことがない。
窒化アルミニウム膜を形成することにより、フッ化物ガ
ラスの赤外域の透過性もそこなうことがない。
第１図は本発明の製造方法を示す概略図、第２図は本発
明の窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラスと、窒化ア
ルミニウム膜が形成されていない未処理のフッ化物ガラ
スについての耐候性テスト後の透過率を示すグラフであ
る。 手糸売ネ南正書（方式） 平成２年１月１１日
明の窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラスと、窒化ア
ルミニウム膜が形成されていない未処理のフッ化物ガラ
スについての耐候性テスト後の透過率を示すグラフであ
る。 手糸売ネ南正書（方式） 平成２年１月１１日
Claims (2)
- （１） フッ化物ガラスの表面に窒素イオンを照射する
と同時に、アルミニウムをスパッタリングし、上記窒素
イオンと反応させて、フッ化物ガラスの表面に窒化アル
ミニウム膜を形成することを特徴とする窒化アルミニウ
ム膜付きフッ化物ガラスの製造方法。 - （２） フッ化物ガラスの表面に窒素イオンを照射する
と同時に、アルミニウムをスパッタリングし、上記窒素
イオンと反応させて形成した窒化アルミニウム膜を有す
ることを特徴と する窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラ ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23143289A JPH0397641A (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラス及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23143289A JPH0397641A (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラス及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0397641A true JPH0397641A (ja) | 1991-04-23 |
Family
ID=16923468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23143289A Pending JPH0397641A (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | 窒化アルミニウム膜付きフッ化物ガラス及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0397641A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007127513A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 変動風発生装置 |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP23143289A patent/JPH0397641A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007127513A (ja) * | 2005-11-04 | 2007-05-24 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 変動風発生装置 |
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