JPH0395443A - はんだ付検査装置 - Google Patents
はんだ付検査装置Info
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- JPH0395443A JPH0395443A JP23158489A JP23158489A JPH0395443A JP H0395443 A JPH0395443 A JP H0395443A JP 23158489 A JP23158489 A JP 23158489A JP 23158489 A JP23158489 A JP 23158489A JP H0395443 A JPH0395443 A JP H0395443A
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Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プリン1一基板等におけるはんだ付部検査装
置に関する。
置に関する。
ブリンI・基板等に電子部品を実装する際、はんだ付に
より実装されるが、はんだ付状態が電子回路の信頼性を
大きく左右するため、はんた付部の検査が必要である。
より実装されるが、はんだ付状態が電子回路の信頼性を
大きく左右するため、はんた付部の検査が必要である。
従来のはんだ付検査は、第2図に示す方式の装置によっ
て行っていた。図中1は、電子部品のリード、2ははん
だ付部、3はプリント基板、4はランド部、5は、はん
だ付部フィレット、6は光源、7は、TVカメラ、8は
欠陥判定部である。はんだ付部2において斜面となって
いる部分をフィレソトと呼ぶ。従来装置では、1つまた
は複数の光源6で斜方向からフイレツ1一部5を照明し
、プリント基板3の上方に配置したTVカメラ7でフイ
レット部5からの反射光を検出する。フィレット部の法
線方向をnとすると、光源6とnのなす角と、TVカメ
ラとnのなす角度が等しくなる時、光源6からの光がT
Vカメラ7に正反射し、最も明るく検出される。正常な
はんだ付部フィレッ1〜中央部の法線方向は、ある範囲
内におさまっているので、正常なはんだ付部フィレット
部の法線方向をはさんで等しい角度位置に光源とTVカ
メラを配置しておけば、TVカメラには、フィレット部
のある決まった位置に光源の正反射像が明るく検出され
る。第3図に正常はんだ付部の理想的な検出像の一例を
示す。図中9はリード、10ははんだ付フィレット部、
l1は光源の反射光の検出像である。光源正反射光部が
最も明るく、次にリード,プリント基板の順に明るく検
出されフィレット部分は光源の正反射光部分を除いて暗
く検出される。
て行っていた。図中1は、電子部品のリード、2ははん
だ付部、3はプリント基板、4はランド部、5は、はん
だ付部フィレット、6は光源、7は、TVカメラ、8は
欠陥判定部である。はんだ付部2において斜面となって
いる部分をフィレソトと呼ぶ。従来装置では、1つまた
は複数の光源6で斜方向からフイレツ1一部5を照明し
、プリント基板3の上方に配置したTVカメラ7でフイ
レット部5からの反射光を検出する。フィレット部の法
線方向をnとすると、光源6とnのなす角と、TVカメ
ラとnのなす角度が等しくなる時、光源6からの光がT
Vカメラ7に正反射し、最も明るく検出される。正常な
はんだ付部フィレッ1〜中央部の法線方向は、ある範囲
内におさまっているので、正常なはんだ付部フィレット
部の法線方向をはさんで等しい角度位置に光源とTVカ
メラを配置しておけば、TVカメラには、フィレット部
のある決まった位置に光源の正反射像が明るく検出され
る。第3図に正常はんだ付部の理想的な検出像の一例を
示す。図中9はリード、10ははんだ付フィレット部、
l1は光源の反射光の検出像である。光源正反射光部が
最も明るく、次にリード,プリント基板の順に明るく検
出されフィレット部分は光源の正反射光部分を除いて暗
く検出される。
はんだ付量に過不足があるとフィレッ1一部形状が変化
し傾斜角も変わる。その結果、反射光はTVカメラ側に
反射せず、検出されない。
し傾斜角も変わる。その結果、反射光はTVカメラ側に
反射せず、検出されない。
従って、フィレット相当部からの反射光の有無により、
はんだ付の良否を判定していた。
はんだ付の良否を判定していた。
はんだ付部の信頼性を正碓に把握するには、はんだ量と
、り−1くおよびランド部とはんだとの濡れ状態を知る
必要がある。従来方式では、フイレットに、ある傾斜角
を持った部分があるか否かのみで良否を判定しており、
定量的なはんだ量の測定や、濡れ状態が測定できず、検
査の信頼性か低かった。
、り−1くおよびランド部とはんだとの濡れ状態を知る
必要がある。従来方式では、フイレットに、ある傾斜角
を持った部分があるか否かのみで良否を判定しており、
定量的なはんだ量の測定や、濡れ状態が測定できず、検
査の信頼性か低かった。
また、実際のプリン1へ基板には多くの電子部品が高い
密度で実装されるため、注目するはんだ付部のすぐ近く
に別のはんだ付部や金属部分などの反射率の高い鏡面が
存在する。従来技術では、光源の方向と検出器であるT
Vカメラとの角度か一定であるので,フィレッl・部か
らの反射光かあれは、フィレッI・部がある良品範囲山
の傾きを右しているとみなして、良否を判定していた。
密度で実装されるため、注目するはんだ付部のすぐ近く
に別のはんだ付部や金属部分などの反射率の高い鏡面が
存在する。従来技術では、光源の方向と検出器であるT
Vカメラとの角度か一定であるので,フィレッl・部か
らの反射光かあれは、フィレッI・部がある良品範囲山
の傾きを右しているとみなして、良否を判定していた。
これに対し、近くに鏡面が存在すると、その鏡面からの
反射光がはんだフィレット部に再び反射することになり
、TVカメラ検出イ象の中に複数の反射光輝点が検出さ
れたり,本来、欠陥があるため、何の反射光も得られな
いはずのフィレットから反射光が検出されることかあり
、正しい欠陥判定ができないという欠点があった。
反射光がはんだフィレット部に再び反射することになり
、TVカメラ検出イ象の中に複数の反射光輝点が検出さ
れたり,本来、欠陥があるため、何の反射光も得られな
いはずのフィレットから反射光が検出されることかあり
、正しい欠陥判定ができないという欠点があった。
本発明の目的は、これらはんだ付部フィレッh部におけ
る光源の直接反射光以外の別の部品からの反射光(以降
、2次反射光と呼ぶ)を除去し、高密度に実装されたプ
リン1へ基板においても、はんだ付フィレット部の形状
が定量的な測定を可能にしたものである。
る光源の直接反射光以外の別の部品からの反射光(以降
、2次反射光と呼ぶ)を除去し、高密度に実装されたプ
リン1へ基板においても、はんだ付フィレット部の形状
が定量的な測定を可能にしたものである。
上記目的を達或するために、第7図に示す構或をとる。
第7図中lは光源群、2はライトガイド群、3は偏光板
、4はハーフミラー、5は偏光板、6はミラー、7,8
はカメラ、9は二値化回路、10はマスキング回路、2
1ははんだ付された部品のリード、22ははんだ付部フ
ィレット、20は検査部品が搭載されているプリント基
板である。
、4はハーフミラー、5は偏光板、6はミラー、7,8
はカメラ、9は二値化回路、10はマスキング回路、2
1ははんだ付された部品のリード、22ははんだ付部フ
ィレット、20は検査部品が搭載されているプリント基
板である。
偏光板3は、検査対象であるはんだ付部を有するプリン
ト基板20に対して平行、または、垂直いずれか一方の
方向に光源1の光を偏光させる。
ト基板20に対して平行、または、垂直いずれか一方の
方向に光源1の光を偏光させる。
偏光板5は、偏光面が、偏光板3の偏光面と直交するよ
うにする。
うにする。
光源およびライトガイドを複数個用い、それぞれの先端
を検査しようとするフィレッ1・部を中心に、基板に苅
して異なる角度で、基板20と直角、リードと平行面内
に縦一列に配置する。ライトカイ1・先端は、フィレッ
1へと等距離になるようにそろえる。光源はそれぞれ独
立に点灯可能とする。
を検査しようとするフィレッ1・部を中心に、基板に苅
して異なる角度で、基板20と直角、リードと平行面内
に縦一列に配置する。ライトカイ1・先端は、フィレッ
1へと等距離になるようにそろえる。光源はそれぞれ独
立に点灯可能とする。
はんだのような電磁波を吸収する表面に、P偏光または
、S偏光成分のどちらか一方の成分をもか った光が入射した場合には、反射光の偏光面は回転せず
、その結果、反射光の入射光の偏光面と直交する偏光面
方向の成分がゼロとなるが、P偏光でもS偏光でもない
光が入射すると、偏光面が回転するため、種々の偏光方
向成分をもつだ円偏光となることを利用し、フィレッ1
へ反射光から2次反射光を除去するようにしたものであ
る。
、S偏光成分のどちらか一方の成分をもか った光が入射した場合には、反射光の偏光面は回転せず
、その結果、反射光の入射光の偏光面と直交する偏光面
方向の成分がゼロとなるが、P偏光でもS偏光でもない
光が入射すると、偏光面が回転するため、種々の偏光方
向成分をもつだ円偏光となることを利用し、フィレッ1
へ反射光から2次反射光を除去するようにしたものであ
る。
また、複数の光源を用いて複数の角度でフイレットを照
明し、それぞれの反射光輝点位置を求める。各々の輝点
位置とそれに対応する光源の方向から、複数の位置での
フィレッ1一面傾きを求めることにより、フィレット形
状、ならびに、はんだ量を測定することにより、定量的
に、はんだ付状態の良否を判定しようとするものである
。
明し、それぞれの反射光輝点位置を求める。各々の輝点
位置とそれに対応する光源の方向から、複数の位置での
フィレッ1一面傾きを求めることにより、フィレット形
状、ならびに、はんだ量を測定することにより、定量的
に、はんだ付状態の良否を判定しようとするものである
。
第8図により金属面での偏光の反射光強度について説明
する。第8図に示すように、入射光の偏光方向と入射面
とのなす角をψ1,反射光側の偏光板の偏光透過軸方向
と入射面とのなす角をφ2、P偏光の振幅反射率をr.
.S偏光の振幅反射率をr5、P偏光のエネルギー反射
率をR,,偏光板を通過した光の強度を■。.P偏光成
分とS偏光成分との反剖先の位相差を△φとすると、偏
光板を通過した反則光の強度■は次式で与えられる。
する。第8図に示すように、入射光の偏光方向と入射面
とのなす角をψ1,反射光側の偏光板の偏光透過軸方向
と入射面とのなす角をφ2、P偏光の振幅反射率をr.
.S偏光の振幅反射率をr5、P偏光のエネルギー反射
率をR,,偏光板を通過した光の強度を■。.P偏光成
分とS偏光成分との反剖先の位相差を△φとすると、偏
光板を通過した反則光の強度■は次式で与えられる。
■(ψ1,ψ2)=ToRp (ρ2S1n”ψ1゜s
in2ψ,+cos2ψ1’cos2ψ21 , 十一ρslr1・2ψ1・sin2φ2・Cot!Δφ
)(1)2 ここでρ=− である。
in2ψ,+cos2ψ1’cos2ψ21 , 十一ρslr1・2ψ1・sin2φ2・Cot!Δφ
)(1)2 ここでρ=− である。
rp
ψ,=90’即ち光源にP偏光をかけるとI (90’
,ψ2) = IワR,ρ”sin2ψ2(2)とな
る。従って、反射側の偏光板をψ2=O゜のとき、反射
強度がO、ψ2=90゜のとき反射強度が最大の工(9
0゜,90゜)=I。R,ρ2となる。すなわち、光源
からの直接反射(1次反射)?は、光源をフィレットに
対してP変更した場合、検出側偏光板をψ2=0にすれ
ば、反射光が全く検出されず、ψ2=90゜にすれば最
も明るく検出される。
,ψ2) = IワR,ρ”sin2ψ2(2)とな
る。従って、反射側の偏光板をψ2=O゜のとき、反射
強度がO、ψ2=90゜のとき反射強度が最大の工(9
0゜,90゜)=I。R,ρ2となる。すなわち、光源
からの直接反射(1次反射)?は、光源をフィレットに
対してP変更した場合、検出側偏光板をψ2=0にすれ
ば、反射光が全く検出されず、ψ2=90゜にすれば最
も明るく検出される。
一方、光源の光が一旦、別の部品に反射したあとフィレ
ットに反射する場合、光源の偏光方向とフィレットに対
してP偏光にしているので、別の部品の反射面に対して
は、P偏光にはならない。
ットに反射する場合、光源の偏光方向とフィレットに対
してP偏光にしているので、別の部品の反射面に対して
は、P偏光にはならない。
従って、(1)式においてψ■≠O゜となり、反射光は
偏光方向が回転し、かつ、P偏光方向以外の偏光成分を
もつ。さらに、この反射光かフィレッ1一部に入射する
ので、ディレット部にとっても、P偏光にはならず、も
はや、フィレット部反射光にψ2=○゜となる方向の偏
光板を通しても、透過光強度はOとならない。従って、
他部品からの2次反射光のみが検出される。
偏光方向が回転し、かつ、P偏光方向以外の偏光成分を
もつ。さらに、この反射光かフィレッ1一部に入射する
ので、ディレット部にとっても、P偏光にはならず、も
はや、フィレット部反射光にψ2=○゜となる方向の偏
光板を通しても、透過光強度はOとならない。従って、
他部品からの2次反射光のみが検出される。
以上から第7図中偏光板3をフィレットに対してPまた
はS偏光になるように設置し、偏光板5の偏光面を偏光
板3と直交するように設置するとTVカメラ7には他部
品からの2次反射光のみが検出される。一方TVカメラ
8には偏光板をつけていないので、フィレットからの直
接反射光も2次反射夕Cも検出される。従って、TVカ
メラ8の出力から、TVカメラ7で明るく検出されてい
る部分をマスキングすれば、直接反射光のみが検出され
る。例えは、第9図に示すような直接反射光3工と2次
反射光32がTVカメラ8で検出されたどき、i’ V
カメラ7では、第lol1に示すように2次反射光成分
32のみが検出される。これを第7図中9に示した2値
化回路で明るい部分を検出し、TVカメラ8の出力(第
6図)に対してマスクをかけれは、その出力には、第1
1図レこ示すように、直接反射光のみが残り、2次反射
光を除去することができる。
はS偏光になるように設置し、偏光板5の偏光面を偏光
板3と直交するように設置するとTVカメラ7には他部
品からの2次反射光のみが検出される。一方TVカメラ
8には偏光板をつけていないので、フィレットからの直
接反射光も2次反射夕Cも検出される。従って、TVカ
メラ8の出力から、TVカメラ7で明るく検出されてい
る部分をマスキングすれば、直接反射光のみが検出され
る。例えは、第9図に示すような直接反射光3工と2次
反射光32がTVカメラ8で検出されたどき、i’ V
カメラ7では、第lol1に示すように2次反射光成分
32のみが検出される。これを第7図中9に示した2値
化回路で明るい部分を検出し、TVカメラ8の出力(第
6図)に対してマスクをかけれは、その出力には、第1
1図レこ示すように、直接反射光のみが残り、2次反射
光を除去することができる。
次に、第12図にて、複数光源によるはんだ量、フィレ
ット形状測定方法について述人る。光源は第4図に示し
たように、それぞれ異なった角度で入射する。フィレッ
ト部の傾斜は場所によって異なるので、それぞれ異なっ
た位置で正反射による輝点が観測される。それぞれの光
源の入射角を第?2図に示すようにO。,01,θ2・
・・,それに対応する輝点の位置を(Xo+ yo)
r (X■,yエ),( X21 y2) ”’とす
ると、(Xo+ yo)+ (X++V.)+ (X
2+ :Y2)でのフイレツ1〜傾斜角はそれぞれO。
ット形状測定方法について述人る。光源は第4図に示し
たように、それぞれ異なった角度で入射する。フィレッ
ト部の傾斜は場所によって異なるので、それぞれ異なっ
た位置で正反射による輝点が観測される。それぞれの光
源の入射角を第?2図に示すようにO。,01,θ2・
・・,それに対応する輝点の位置を(Xo+ yo)
r (X■,yエ),( X21 y2) ”’とす
ると、(Xo+ yo)+ (X++V.)+ (X
2+ :Y2)でのフイレツ1〜傾斜角はそれぞれO。
,01,θ2 ・・となる。基板からはんだ表面までの
高さを2とすると、 である。輝点の間隔を△Xとすると、△Xが十分小さく
なるように光源角度θのステップを小さくとれば で表わせる。またOははんだ表面に沿ってなめらかに変
化するから、△Xの区間の平均傾き0を△Xの両端での
θの平均値と近似てきるから、Zはの漸化式により、次
々に求めることができる。
高さを2とすると、 である。輝点の間隔を△Xとすると、△Xが十分小さく
なるように光源角度θのステップを小さくとれば で表わせる。またOははんだ表面に沿ってなめらかに変
化するから、△Xの区間の平均傾き0を△Xの両端での
θの平均値と近似てきるから、Zはの漸化式により、次
々に求めることができる。
これによって、フィレット部の断面形状を求めることが
できる。
できる。
また、光源はリードの延長方向、基板に垂直な面内に並
んでいるから、y方向の断面を第13図に示すと、常に
峰部で正反射状態となり、最高の反射光強度を示すはず
である。正常なはんだ付部はリードおよびランド中央か
らまっすぐ峰がのびているはずであり、もし、輝点がX
軸方向に直線上に並らんでいなかったり、リードとラン
ドの中央からずれた位置にある場合は、リードずれ、ま
たは、ボイド等の欠陥があることが判定できる。
んでいるから、y方向の断面を第13図に示すと、常に
峰部で正反射状態となり、最高の反射光強度を示すはず
である。正常なはんだ付部はリードおよびランド中央か
らまっすぐ峰がのびているはずであり、もし、輝点がX
軸方向に直線上に並らんでいなかったり、リードとラン
ドの中央からずれた位置にある場合は、リードずれ、ま
たは、ボイド等の欠陥があることが判定できる。
リードおよびランド表面は基板に対してほぼ平行である
ので第7図で示した基板上方から、基板に対して垂直に
照明することにより、容易に求めることができる。
ので第7図で示した基板上方から、基板に対して垂直に
照明することにより、容易に求めることができる。
以下、本発明の一実施例を第1図により説明する。図中
、1aはLED (発光ダイオード)による光源群、1
bはリング照明装置、2は光ファイバ群、3は偏光板、
4はハーフミラー、5は偏光板6はミラー、7,8はT
Vカメラ、9は二値化回路、10はマスキング回路、1
工はウィンIくウ発生回路、12はゲート回路、工3は
A/Dコンバータ、14はフレームメモリ、王5は同期
信号発生回路、16はステージ位置決め回路、コ−7は
XYステージ、工8はマイクロコンピュータシステム、
19ははんだ付部位置情報、20は検査対象が搭載され
たプリン1〜基板、21は、20上に実装された部品,
22は検査対象であるはんだ付部フィレッ1〜である。
、1aはLED (発光ダイオード)による光源群、1
bはリング照明装置、2は光ファイバ群、3は偏光板、
4はハーフミラー、5は偏光板6はミラー、7,8はT
Vカメラ、9は二値化回路、10はマスキング回路、1
工はウィンIくウ発生回路、12はゲート回路、工3は
A/Dコンバータ、14はフレームメモリ、王5は同期
信号発生回路、16はステージ位置決め回路、コ−7は
XYステージ、工8はマイクロコンピュータシステム、
19ははんだ付部位置情報、20は検査対象が搭載され
たプリン1〜基板、21は、20上に実装された部品,
22は検査対象であるはんだ付部フィレッ1〜である。
光il7Xlaの光は、ライトガイド2により、偏光板
3を通してはんだ付部フィレッ1−に入射する。
3を通してはんだ付部フィレッ1−に入射する。
ライトガイドの角度は、プリント裁板垂直方向から、5
°毎に15゜〜800とする。光′#XlaのLEDは
マイクロコンピュータシステムの指示により、1つ1つ
独立に点灯される。
°毎に15゜〜800とする。光′#XlaのLEDは
マイクロコンピュータシステムの指示により、1つ1つ
独立に点灯される。
フィレッ1・22からの反射光は、ハーフミラー4で分
岐され、プリント基板20に垂直方向の光路に偏光板5
、その後方にTVカメラ7を配置する。ハーフミラー4
のもう一方の分岐光はミラー6でハーフミラーによって
鏡像になった画像を元にもどし、TVカメラ8て検出す
る。偏光板3の偏光方向はプリント基板に垂直、偏光板
5の偏光方向は、入射面と平行とする。TVカメラ7と
8は同一視野を同一倍率で検出するように位置決めする
。さらに、同期信号発生回路15により、同一同期で暉
動する。従って、TVカメラ7と8は同一時刻には、同
一場所の検出信吐を出力する。
岐され、プリント基板20に垂直方向の光路に偏光板5
、その後方にTVカメラ7を配置する。ハーフミラー4
のもう一方の分岐光はミラー6でハーフミラーによって
鏡像になった画像を元にもどし、TVカメラ8て検出す
る。偏光板3の偏光方向はプリント基板に垂直、偏光板
5の偏光方向は、入射面と平行とする。TVカメラ7と
8は同一視野を同一倍率で検出するように位置決めする
。さらに、同期信号発生回路15により、同一同期で暉
動する。従って、TVカメラ7と8は同一時刻には、同
一場所の検出信吐を出力する。
マイクロコンピュータシステム18は、あらかじめ教示
されたはんだ付位置情報l9すなわち、ブリン1・基板
20内でのX+ y座標を読み込み、ステージ位置決め
回路に、指令を出して、ステージ17を肚動し、検査す
べきフイレット22が、ライトガイド2の光軸延長線」
二に来るように位置決めする。
されたはんだ付位置情報l9すなわち、ブリン1・基板
20内でのX+ y座標を読み込み、ステージ位置決め
回路に、指令を出して、ステージ17を肚動し、検査す
べきフイレット22が、ライトガイド2の光軸延長線」
二に来るように位置決めする。
TVカメラ7は、偏光板5を通すため直接反射光以外の
光、すなわち、2次反射光が検出される。
光、すなわち、2次反射光が検出される。
TVカメラ7の出力信号を二値化回路9で二値化し、光
っている部分を1、そうでない部分をOとする。TVカ
メラ8は、全偏光成分、すなわち、直接反射光および2
次反射光か検出されている。
っている部分を1、そうでない部分をOとする。TVカ
メラ8は、全偏光成分、すなわち、直接反射光および2
次反射光か検出されている。
TVカメラ8の出力をマスキング回路上0に入力する。
マスキング回路10は、二値化回路9の出力が工のとき
○、二値化回路7の出力がOのとき、TVカメラ8の出
力をそのまま出力する。ウインドウ発生回路工1は、マ
イクロコンピュータシステム18から検査すべきフィレ
ットのTVカメラ視野内における位置を入力し、検査対
象フィレッ1−に対して、第2図中23で示したような
1つのフィレッ1−のみを含むようなウィンドウを設定
し、同期発生回路15のタイミングにより、」二記ウィ
ンドウ部を検出中1を、その他の部分を検出中0をゲー
1・回路12に対して出力する。ゲー1・回路12の出
力は、A/D変換され、フレームメモリ14に2次元画
像として入力される。
○、二値化回路7の出力がOのとき、TVカメラ8の出
力をそのまま出力する。ウインドウ発生回路工1は、マ
イクロコンピュータシステム18から検査すべきフィレ
ットのTVカメラ視野内における位置を入力し、検査対
象フィレッ1−に対して、第2図中23で示したような
1つのフィレッ1−のみを含むようなウィンドウを設定
し、同期発生回路15のタイミングにより、」二記ウィ
ンドウ部を検出中1を、その他の部分を検出中0をゲー
1・回路12に対して出力する。ゲー1・回路12の出
力は、A/D変換され、フレームメモリ14に2次元画
像として入力される。
マイクロコンピュータエ8により、光源1aを1つずつ
点灯させては、フレームメモリ14に輝点を入力し、マ
イクロコンピュータ18により、フレームメモリ14内
の最大値のX+ y座標をもとめる。以上により、各光
源毎の輝点座標列をもとめる。次に光源1aをすべて消
しリングライ1〜?bを点灯させる。このとき、二値化
回路9の出力が常にOになるようにしきい値を上げ、マ
スキング回路10は、TVカメラの出力を隼1こそのま
ま、ウィンドウ回路l2に出力するようにする。
点灯させては、フレームメモリ14に輝点を入力し、マ
イクロコンピュータ18により、フレームメモリ14内
の最大値のX+ y座標をもとめる。以上により、各光
源毎の輝点座標列をもとめる。次に光源1aをすべて消
しリングライ1〜?bを点灯させる。このとき、二値化
回路9の出力が常にOになるようにしきい値を上げ、マ
スキング回路10は、TVカメラの出力を隼1こそのま
ま、ウィンドウ回路l2に出力するようにする。
この状態でフレームメモリ14に画像を入力すると、第
3図に示すような画像が得られる。マイクロコンピュー
タl8により、X軸への投影を求める。第4図にX軸へ
の投影波形例を示す。リード根元力向から先端方向に向
かって波形イ直をしらべ、あるしきい値以下になった点
X,により、リード先端を求め、x < y Lの範囲
でy軸への投影波形を求める。第5図にy軸への投影波
形例を示す。
3図に示すような画像が得られる。マイクロコンピュー
タl8により、X軸への投影を求める。第4図にX軸へ
の投影波形例を示す。リード根元力向から先端方向に向
かって波形イ直をしらべ、あるしきい値以下になった点
X,により、リード先端を求め、x < y Lの範囲
でy軸への投影波形を求める。第5図にy軸への投影波
形例を示す。
波形の立上りy,■および立下り点y,■がリートの両
わきである。yL2とytzの中点と、前述の光源1a
を次々に点灯して得られる輝点のy座標を比較し、ある
しきい値と上の差があれば、リードすれ、があると判断
する。また、輝点y座標のばらつきがある一定値以上の
場合、ボイドがあると判断する。また、輝点X座標列を
使って、(3)式からフィレッ1〜形状Z (x)を求
め、あらかじめ教示してあるフィレッ1〜形状ZT(X
)との距離DD三Σ (Z (x) 一(x) )
(4)がある正のしきい値以上である場合をはん
た過剰、ある負のしきい値以下である場合をはんだ不足
と判定する。
わきである。yL2とytzの中点と、前述の光源1a
を次々に点灯して得られる輝点のy座標を比較し、ある
しきい値と上の差があれば、リードすれ、があると判断
する。また、輝点y座標のばらつきがある一定値以上の
場合、ボイドがあると判断する。また、輝点X座標列を
使って、(3)式からフィレッ1〜形状Z (x)を求
め、あらかじめ教示してあるフィレッ1〜形状ZT(X
)との距離DD三Σ (Z (x) 一(x) )
(4)がある正のしきい値以上である場合をはん
た過剰、ある負のしきい値以下である場合をはんだ不足
と判定する。
マイクロコンピュータ18は、」二記判定処理が終了す
ると次のフィレット24を検査すべく、ウィン1・ウ回
路11に次のウィンドウ25の座{票をセットする。以
下、TVカメラ視野内の全フィレッlヘの検査が終了す
るまで、ウィンl<ウを移動させては検査を行う。TV
カメラ視野内の全フィレットの検査が終了したら、ステ
ージ暉動回路上6に新ため指令を出し、ステージl7を
移動させ、TVカメラに新しいフィレッ1〜が検出でき
るようにする。
ると次のフィレット24を検査すべく、ウィン1・ウ回
路11に次のウィンドウ25の座{票をセットする。以
下、TVカメラ視野内の全フィレッlヘの検査が終了す
るまで、ウィンl<ウを移動させては検査を行う。TV
カメラ視野内の全フィレットの検査が終了したら、ステ
ージ暉動回路上6に新ため指令を出し、ステージl7を
移動させ、TVカメラに新しいフィレッ1〜が検出でき
るようにする。
以上の動作を繰返し、同一方向の全リードのフィレット
部について検査する。他方向のリード・フィレッ1へ部
については、第6図に示すように、偏光板5を光源1a
とライトガイド2を90゜ず15 つ回して検査を行う。
部について検査する。他方向のリード・フィレッ1へ部
については、第6図に示すように、偏光板5を光源1a
とライトガイド2を90゜ず15 つ回して検査を行う。
本実施例では光源としてLEDを用い、順次点灯させた
が、それぞれ波長の異なる光原を用いカラーカメラを用
いて独立に検出してもよい。
が、それぞれ波長の異なる光原を用いカラーカメラを用
いて独立に検出してもよい。
本発明によれば、他部品からの2次反射光が除去され、
かつ、フィレット形状が定量的に検出できるので、従来
のような欠陥の見落が低減され、検査信頼性が向上する
。
かつ、フィレット形状が定量的に検出できるので、従来
のような欠陥の見落が低減され、検査信頼性が向上する
。
第上図は本発明の一尖施例の錨成図、第2図はウィント
ウ発生回路の発生するウィンドウ位置の説明図、第3図
は、リングライ1へによる照明例を示す説明図、第4図
はX軸への投影波形例の説明図、第5図はy軸への投影
波形例の説明図、第6図は、他方向リードの検出例の説
明図、第7図は本発明の原理説明図、第8図は2次反射
防止の原理図、第9図は、フィレノト形状測定の原理図
、第10図はフィレット上面図、第t1図はy方向フィ
レッ1〜断面図、第12図は複数光源によるは■6 んだ量フィレッ1・形状測定方法の説明図、第l3図は
y方向断面の場合の説明図である。 1a・・・光源、lb リングライト、2 ライI〜
ガイド、3・・・偏光板、4・ハーフミラー、5 ・偏
光板、6・・・ミラー、7,8 ・TVカメラ、9値化
回路、10・・マスキンク回路。
ウ発生回路の発生するウィンドウ位置の説明図、第3図
は、リングライ1へによる照明例を示す説明図、第4図
はX軸への投影波形例の説明図、第5図はy軸への投影
波形例の説明図、第6図は、他方向リードの検出例の説
明図、第7図は本発明の原理説明図、第8図は2次反射
防止の原理図、第9図は、フィレノト形状測定の原理図
、第10図はフィレット上面図、第t1図はy方向フィ
レッ1〜断面図、第12図は複数光源によるは■6 んだ量フィレッ1・形状測定方法の説明図、第l3図は
y方向断面の場合の説明図である。 1a・・・光源、lb リングライト、2 ライI〜
ガイド、3・・・偏光板、4・ハーフミラー、5 ・偏
光板、6・・・ミラー、7,8 ・TVカメラ、9値化
回路、10・・マスキンク回路。
Claims (1)
- 1.金属から成る対象物を斜方から照明する手段と、対
象物からの正反射光を検出する手段を有する装置におい
て、照明光を対象物に対してPまたはS偏光となるよう
に偏光する手段と、対象物からの反射光のうち、照明光
の偏光面と直交する偏光成分のみを検出する手段と、反
射光のうち、すべての偏光成分を検出する手段と、すべ
ての偏光成分の検出信号から、前述の偏光方向のみの成
分の検出信号において、明るく検出された部分に対応す
る部分の信号を、除去する手段を有し、対象物以外の物
体からの2次反射光を除去し、光源の直接反射光のみを
検出することを特徴とするはんだ付検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23158489A JPH0395443A (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | はんだ付検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23158489A JPH0395443A (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | はんだ付検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0395443A true JPH0395443A (ja) | 1991-04-19 |
Family
ID=16925809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23158489A Pending JPH0395443A (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 | はんだ付検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0395443A (ja) |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP23158489A patent/JPH0395443A/ja active Pending
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