JPH0391250A - Ccd遅延装置 - Google Patents

Ccd遅延装置

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JPH0391250A
JPH0391250A JP1226749A JP22674989A JPH0391250A JP H0391250 A JPH0391250 A JP H0391250A JP 1226749 A JP1226749 A JP 1226749A JP 22674989 A JP22674989 A JP 22674989A JP H0391250 A JPH0391250 A JP H0391250A
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忠邦 奈良部
Hisanori Miura
久典 三浦
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    • G11INFORMATION STORAGE
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    • G11C19/28Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using semiconductor elements
    • G11C19/282Digital stores in which the information is moved stepwise, e.g. shift registers using semiconductor elements with charge storage in a depletion layer, i.e. charge coupled devices [CCD]
    • G11C19/285Peripheral circuits, e.g. for writing into the first stage; for reading-out of the last stage
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C27/00Electric analogue stores, e.g. for storing instantaneous values
    • G11C27/04Shift registers

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はビデオ信号等のアナログ信号の遅延処理に使用
されるCCD遅延装置に関する。
〔発明の概要〕
本発明はビデオ信号等のアナログ信号の遅延処理に使用
されるCCD遅延装置に関し、CCD遅延線とこのCC
D遅延線の最大取扱電荷量と略々同一の最大取扱電荷量
を有する第1及び第2のレジスタを共通半導体基板に形
成し、このCCD遅延線とこの第1のレジスタとの入力
部を実質的に同一構造とすると共にこの第1及び第2の
レジスタの夫々の出力部を実質的に同一構造とし、この
第2のレジスタの出力信号が常にこの最大取扱電荷量に
相当する信号となる様にすると共にこの第1及び第2の
レジスタの夫々の出力信号を比較回路に供給して比較し
、この第1のレジスタの出力信号がこの第2のレジスタ
の出力信号と同一となる様にこの比較回路の出力信号を
この第1のレジスタの入力部のインプットソースにフィ
ードバックさせると共にこの第1のレジスタの入力ゲー
トにクロック信号の高しヘル時の電圧を供給する様にし
、この第1のレジスタのインプットソースの電圧をこの
CCD遅延線の入力部のインプットソースに供給する様
にすることにより、良好に電荷オーバーフローを防止で
きる様にしたものである。
〔従来の技術〕
近年、テレビジョン受像機等において、ビデオ信号等の
アナログ信号の遅延処理のためにCCD遅延線を使用し
たCCD遅延装置が使用されている。このゲート入力方
式のCCD遅延線に於いては大きな入力信号(このCC
D遅延線の最大取扱電荷量に対応するレヘルをこえる程
度)が供給されたときには、このCCD遅延線の転送部
で電荷オーバーフローを生じ、種々の不都合を生してい
た。そこで従来はこの電荷オーバーフローを防止する為
にこのCCD遅延装置とは別にり572回路を設け、入
力信号のレベルを制限する如くしていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
然しながらこのCCD遅延線とは別にり572回路を設
け、入力信号のレベルを制限する方法ではこのCCD遅
延線の特性によって夫々最大取扱電荷量が異なるために
このりくツタ回路の制限レベルを夫々のCCD遅延線に
対応して調整する必要があり手間がかかる不都合がある
と共にこのCCD遅延線は温度特性を有し、温度が変化
することによりこのリミッタ回路で制御したレベルK、
CCD遅延線に入力される最大取扱電荷量とのずれが生
じ温度によっては電荷のオーバーフローが生じる不都合
があった。
本発明は斯る点に鑑み、良好に電荷オーバーフローを防
止できる様にすることを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明CCD遅延装置は例えば第1図、第2図に示す如
(CCD遅延線(1)とこのCCD遅延線(1)の最大
取扱電荷量と略々同一の最大取扱電荷量を有する第1及
び第2のレジスタ(2)及び(3)を共通半導体基板(
4)に形成し、このCCD遅延1a(1)とこの第1の
レジスタ(2)との入力部を実質的に同一構造とすると
共にこの第1及び第2のレジスタ(2)及び(3)の夫
々の出力部を実質的に同一構造とし、この第2のレジス
タ(3)の出力信号が常にこの最大取扱電荷量に相当す
る信号となる様にすると共にこの第1及び第2のレジス
タ(2)及び(3)の夫々の出力信号を比較回路(5)
に供給して比較し、この第1のレジスタ(2)の出力信
号がこの第2のレジスタ(3)の出力信号と同一となる
様にこの比較回路(5)の出力信号をこの第1のレジス
タ(2)の入力部のインプットソースにフィードバック
させると共にこの第1のレジスタ(2)の入力ゲートに
クロック信号の高レベルの電圧V、。を供給する様にし
、この第1のレジスタ(2)のインプットソースの電圧
をこのCCD遅延線(1)の入力部のインプットソース
に供給する様にしたものである。
〔作用〕
本発明に依ればCCD遅延線(1)のインプットソース
の電圧はこのCCD遅延線(1)の転送部の最大取扱電
荷量と等しい電荷量の供給源となる様に設定されるので
、このCCD遅延線(1)の転送部に転送される電荷に
上限があり、大きな人力信号が供給されても電荷オーバ
ーフローを生じることがないと共にこのCCD遅延線(
1)のインプットソースの電圧を設定する第1及び第2
のレジスタ(2)及び(3)をCCD遅延線(1)と同
一の半導体基板(4)に形成したので温度変化に依る特
性の変化がこのCCD遅延線(1)と第1及び第2のレ
ジスタ(2)及び(3)とは同様であり、温度変化に応
じたインプットソースの電圧が設定され、これによりイ
ンプットソースの電荷量が決るので温度変化があっても
電荷オーバーフローを生じることがない。
〔実施例〕
以下図面を参照しながら本発明CCD遅延装置の一実施
例につき説明しよう。
第1図及び第2図に於いて、(4)はP形シリコンの半
導体基板を示し、この半導体基板(4)に信号電荷が転
送されかつ遅延時間に応じた長さのCCD遅延線(1)
を形成すると共にこの半導体基板(4)にこのCCD遅
延線(1)の幅aと同一幅aでかつ所定長lの第1のレ
ジスタ(2)とこの第1のレジスタ(2)と同じ幅aと
同じ長さlの第2のレジスタ(3)とを形成する。この
場合この第1及び第2のレジスタ(2)及び(3)の幅
aとCCD遅延線(1)の幅aとを等しくし、之等の最
大取扱電荷量を等しくする如くする。
またこの例のCCD遅延線(1)は二相形式で動作する
二層電極構造のnチャンネルBCCD (埋め込みチャ
ンネルCCD)から成るものである。このCCD遅延線
(1)、第1及び第2のレジスタ(2)及び(3)はこ
のP形シリコン基板(4)の表面に形成されているn層
から戒っている。
またこのCCD遅延線(1)の人力部の一端にはn層層
からなるインプットソース領域(6)が形成されている
。このCCD遅延線(1)上には5in2から戒る絶縁
層(7)を介して、夫々不純物をドープした多結晶シリ
コンから成る第1及び第2の入力ゲート電極(8)及び
(9)と、第1層の多数の転送電極(10)及び第2層
の多数の転送電極(11)とが形成されている。
この第1層及び第2層の夫々の転送電極(10)及び(
11)並びに第1及び第20入カゲート電極(8)及び
(9)はSiO□から成る層間絶縁膜(12)によって
互いに電気的に絶縁されている。
また第゛lのレジスタ(2)の入力部はCCD遅延線(
1)の入力部と実質的に同一に構成するもので、この入
力部の一端にはCCD遅延線(1)のインプットソース
領域(6)と同一のインプットソース領域(6a)が形
成され、この第1のレジスタ(2)の上には5iO7か
ら成るit! 縁II(71を介して夫々不純物をドー
プした多結晶シリコンから成る第1及び第2の入力ゲー
ト電極(8a)及び(9a)と第1層の転送電極(10
a)及び第2層の転送電極(lla)とが形成され、こ
の第1層及び第2層の転送電極(10a)及び(lla
)並びに第1及び第2の人力ゲート電極(8a)及び(
9a)はSiO□から威る層間絶縁膜(12)によって
互いに電気的に絶縁されている。またこの第1層及び第
2層の転送電極(10a)及び(lla)は第2のレジ
スタ(3)上に迄延びて形成されていて、この第2のレ
ジスタ(3)の第1層及び第2層の転送電極を兼用して
いる。
またこの第1のレジスタ(2)の他端の出力部にはn層
層から成る浮動拡散領域(13)が形成されている。更
にこの浮動拡散領域(13)から所定間隔離れた部分の
P形シリコン基板(4)中にはプレチャー、シトレイン
領域(14)が形成されている。□この第1のレジスタ
(2)上にはこの第1及び第2の入力ゲート電極(8a
)及び(9a)並びに第1層及び第2層の転送電極(1
0a)及び(lla)に加えて、夫々不純物をドープし
た多結晶シリコンから成る出力ゲート電極(15)及び
プレチャージゲート電極(16)が形成されている。こ
の場合2等出力ゲート電極(15)及びプレチャージゲ
ート雷鳴(16)は第2のレジスタ(3)上に迄延びて
形成されていて、この第2のレジスタ(3)の出力ゲー
ト電極及びプレチャージゲート電極を兼用している。
またこめ第2のレジスタ(3)の一端の人力部にはn4
層から成るインプットソース領域(17)が形成され、
また他端の出力部には第1のレジスタ(2)の浮動拡散
領域(13)と同一の浮動拡散領域(18)が形成され
、この浮動拡散領域(■8)から所定間隔離れて、第1
のレジスタ(2)のプレチャージドレイン領域(14)
と同一のプレチャージドレイン領域(19)が形成され
ている。またこの第2のレジスタ(3)上には第1層及
び第2層の転送電極(10a)及び(lla) 。
出力ゲート電極(15〉及びプレチャージゲート電極(
16)に加えて、この第1のレジスタ(2)の第1及び
第2の入力ゲート電極〈8a)及び(9a)に対応する
位置に不純物をドープした多結晶シリコンから成る第1
層及び第2層の転送電極(20)及び(21)が形成さ
れている。
この第1及び第2のレジスタ(2)及び(3)のプレチ
ャージドレイン領域(14〉及び(19)は浮動拡散領
域(13)及び(18)の電荷を後述のスイッチ(25
)及び(30)の開閉動作に関連して蓄積するためのも
のであり、プレチャージゲート電極(16)によって電
荷の蓄積が制御卸される。
またこの第1のレジスタ(2)の浮動拡散領域(13)
はMOS FET (22) (23)から成るソース
スホロワ(24)及びスイッチ(25)を介して比較回
路を構成する演算増幅回路(5)の反転入力端子Oに接
続されている。
同様に第2のレジスタ(3)の浮動拡散領域(18)は
−〇S FET (27) (28)から成るソースホ
ロワ(29)及びスイッチ(30)を介してこの比較回
路を構成する演算増幅回路(5)の非反転入力端子■に
接続されている。
この演算増幅回路(5)の出力端子は抵抗器(31)及
びコンデンサ(32)の直列回路を介して接地され、こ
の抵抗器(31)及びコンデンサ(32)の接続中点は
第1のレジスタ(2)のインプットソース領域(6a)
に接続されている。即ち演算増幅回路(5)の比較出力
信号をこの第1のレジスタ(2)のインプットソース領
域(6a)にフィードバックする。
また本例に於いてはCCD遅延線(1)の第2の人力ゲ
ート電極(9)には人力信号a (33)が接続され、
この第■のレジスタ(2)の第2の入力ゲート電極(9
a)にはクロック信号の高しヘル時の電圧例えば5■の
電源電圧VDDが供給されている。
また本例に於いては第2のレジスタ(3)のインプット
ソース領域(17)は直流電圧の得られる電池(34)
が接続されている。この電池(34)はこの第2のレジ
スタ(3)にその最大取扱電荷量に等しい電荷即ちCC
D遅延線(1)の最大取扱電荷量に等しい電荷を常時転
送させておく電圧に設定する。
またこのCCD遅延線(1)、第1及び第2のレジスタ
(2)及び(3)の電荷の転送は第1層の転送電極(1
0) 、 (10a) 、 (20)と第2層の転送電
極(11) 、 (lla) 。
(21)とから成る対に所定の二相のクロック信号φ1
及びφ2を所定の順序に従って供給することにより行わ
れる。
この電荷の転送方向は互いに対をなす第1層の転送電極
(10) 、 (10a) 、 (20)と第2層の転
送電極(11) 、 (lla) 、 (21)との下
の半導体基板(4)の不純物濃度を変化し非対称なポテ
ンシャル井戸を形成することにより決定されている。
1 本例に於いてはこの第1のレジスタ(2)のインプット
ソース領域(6a)に供給される電圧をCCD遅延線(
1)のインプットソース領域(6)に供給する如くされ
ている。
またこのCCD遅延線(1)及び第1のレジスタ(2)
の夫々の第1の入力ゲート電極(8)及び(8a)に第
2の入力ゲート電極(9)及び(9a)の出力側の転送
電極(11) 、 (10) 、 (lla) 、 (
10a)に供給するクロック信号φ1とは位相の異なる
クロック信号φ2が供給される。
本例は上述の如く構成されているので第2のレジスタ(
3)を転送されて浮動拡散領域(18)に到達した電荷
はソースホロワ(29)によって電圧に変換された後、
スイッチ(30〉によりサンプルホールドが行われる。
このようにして演算増幅回路(5)の非反転入力端子■
に、この第2のレジスタ(3)の最大取扱電荷量即ちC
CD遅延&’1(1)の最大取扱電荷量に応した大きさ
の電圧が供給される。ところで動作開始時においては、
第1のレジスタ(2)には電荷が存在しないため、演算
増幅回路(5)の反転入力端子Z ○への供給電圧はハイレベルとなる。そして、演算増幅
回路(5)の出力端子からこの非反転入力端子■及び反
転入力端子eに夫々供給される電圧の差に応じた大きさ
の帰還電圧が第1のレジスタ(2)のインプットソース
領域(6a)に供給されるので、この帰還電圧によって
このインプットソース領域(6a)の電荷量が所定量と
なる。この状態で第1のレジスタ(2)の第1の入力ゲ
ート電極(8a)にクロック信号φ2を供給すると共に
この第2の入力ゲート電極(9a)にクロック信号φ1
.φ2の高レベルの時の電圧VDDを供給しているので
、この第1層及び第2層の転送電極(10a)及び(I
la)下の第1のレジスタ(2)中に電荷が転送される
。この電荷は第1層及び第2層の転送電極(10a)及
び(Ila)によって最終的に浮動拡散領域(13)に
転送される。この場合第1層及び第2層の転送電極(1
0a)及び(lla)並びに出力ゲート電極(15)は
第1のレジスタ(2)と第2のレジスタ(3)とで共通
であるため第1のレジスタ(2)の浮動拡散領域(13
)にこの電荷が転送されるタイくングと同一のタイミン
グで、第2のレジスタ(3)の浮動拡散領域(18)に
もこの第2のレジスタ(3)の最大取扱電荷量に等しい
量の電荷が転送される。この第1のレジスタ(2)の浮
動拡散領M (13)と第2のレジスタ(3)の浮動拡
散N域(18)とに夫々転送された電荷はソースホロワ
(24) 、 (29)によって夫々電圧に変換された
後、同一のタイ砒ングでサンプルホールドが行われる。
この結果、演算増幅回路(5)の反転入力端子eには第
1のレジスタ(2)を転送されている電荷量に応じた大
きさの電圧が、またこの非反転入力端子■には第2のレ
ジスタ(3)の最大取扱電荷量に応した大きさの電圧が
夫々供給される。この演算増幅回路(5)の出力端子か
らこの反転入力端子e及び非反転入力端子■に夫々供給
される電圧の差に応じた大きさの帰還電圧が出力され、
この出力された帰還電圧によって第1のレジスタ(2)
のインプットソース領域(6a)の電荷量が制御される
。このようにして第1のレジスタ(2)の転送する電荷
量が第2のレジスタ(3)を転送される電荷量と等しく
なるように演算増幅回路(5)の出力端子から帰還電圧
が出力され、この帰還電圧が第1のレジスタ(2)のイ
ンプットソース領域(6a)に供給される。
この為定常状態に於いては第1のレジスタ(2)を転送
される電荷量は常に第2のレジスタを転送される最大取
扱い電荷量と等しく保たれる。
この第1のレジスタ(2)のインプットソース領域(6
a)に供給される電圧がCCD遅延線(1)のインプッ
トソース領域(6)に供給されるので、このCCD遅延
線(1)のインプットソース領域(6)の電圧はこのレ
ジスタの最大取扱電荷量と等しい電荷量の供給源となる
。。この為このCCD遅延線(1)の第2の入力ゲート
電極(9)に供給される入力信号がいかに大きくてもこ
の最大取扱電荷量以上の電荷がこのCCD遅延線(1)
の電荷転送部に供給されることがないので、このCCD
遅延線(1)の電荷転送部で電荷のオーバーフローを生
じることはない。また共通半導体基板(4)に於いてC
CD遅延線(1)と第1のレジスタ(2)との入力構造
を同一にすると共に第1のレジスタ(2)と第2のレジ
スタ(3)との出力構造を同一にしているので、温度が
変化した場合、CCD5 遅延線(1)の人力部及び第1のレジスタ(2)の人力
部は共に同一の影響を受け、また第1のレジスタ(2)
の出力部及び第2のレジスタ(3)の出力部も共に同一
の影響を受けるので、温度変化によるCCD遅延線(1
)の電荷転送部の電荷のオーバーフローを防止できる。
向上述の実施例においては、第1及び第2のレジスタ(
2)及び(3)の浮動拡散領域(13) 、 (1B)
に転送される電荷をソース・ホロワ(24) 、 (2
9)によって電圧に変換後、演算増幅回路(5)によっ
てそれぞれの電圧を比較検出しているが、例えば次のよ
うにしてもよい。即ち、第3図に示すように、第1及び
第2のレジスタ(2)及び(3)上に絶縁膜(7)を介
して多結晶シリコンから威る浮遊ゲート電極(36)及
び(37)をそれぞれ形成し、これらの浮遊ゲート電極
(36)及び(37)をソース・ホロワ(24) 、 
(29)に接続するようにしてもよい。この場合には、
第1及び第2のレジスタ(2)及び(3)中を転送され
る電荷をこの浮遊ゲート電極(36) 、 (37)に
生ずる鏡像電荷として検出することができる。またMO
S FET(38)は6 リセットスイッチであって、このスイッチのオン・オフ
により浮遊ゲート電極(36)のポテンシャルが制御さ
れる。この浮遊ゲート電極(36) (37)中の電荷
をソース・ホロワ(24) 、 (29)によって電圧
に変換後、演算増幅回路(5)によって両電圧を比較検
出することは上述の実施例と同様である。
さらに、例えば第4図に示すように、プレチャージドレ
イン領域(14) 、 (19)と電源VDDとの間に
抵抗器(39) 、 (40)をそれぞれ接続し、この
間の電圧降下を演算増幅回路(5)によって比較検出す
るようにしてもよい。
また上述の実施例においては、二相形式で動作する二層
電極構造のnチャンネルBCCDから成るCCD遅延線
を用いた場合につき説明したが、表面チャネルCCDか
ら威るCCD遅延線を適用することができることは勿論
、三相またはそれよりも多相の槽底のCCD遅延線を用
いても、また単層電極構造または三層以上の多層の電極
構造のCCD遅延線を用いる様にしても良い。
また本発明は上述実施例に限ることなく本発明の要旨を
逸脱することなくその他種々の構成が取り得ることは勿
論である。
〔発明の効果] 本発明に依ればCCD遅延線(])のインプットソース
に供給される電圧をこのCCD遅延線(1)の転送部の
最大取扱電荷量と等しい電荷供給源となる様にしている
ので、このCCD遅延線(1)の転送部に転送される電
荷の上限が最大取扱電荷量であり、大きな入力信号が供
給されても電荷オーバーフローを生ずることがない利益
があると共にこのCCD遅延線(1)のインプットソー
スの電圧を設定する第1及び第2のレジスタ(2)及び
(3)をCCD遅延線(1)と同一の半導体基板(4)
に形成したので温度変化に依る影響は同じであり温度変
化があってもこのCCD遅延線(1)の電荷転送部で電
荷オーバーフローを防止できる利益がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明CCD遅延装置の一実施例を示す断面図
、第2図は第1図の平面図、第3図及び9 第4図は夫々本発明の要部の他の例を示す断面図である
。 (1)はCCD遅延線、(2)及び(3)は夫々第1及
び第2のレジスタ、(4)は半導体基板、(5)は比較
回路、(6)及び(6a)は夫々インプットソース領域
、(8)及び(8a)は夫々第1の人力ゲート電極、(
9)及び(9a)は夫々第2の入力ゲート電極、(10
) 、 (10a) 、 (11)及び(11a)は夫
々転送電極、(33)は入力信号源、(34)は電池、
VDDは電源電圧である。 代 理 人 松 隈 秀 盛 0

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 CCD遅延線と該CCD遅延線の最大取扱電荷量と略々
    同一の最大取扱電荷量を有する第1及び第2のレジスタ
    を共通半導体基板に形成し、上記CCD遅延線と上記第
    1のレジスタとの入力部を実質的に同一構造とすると共
    に上記第1及び第2のレジスタの夫々の出力部を実質的
    に同一構造とし、 上記第2のレジスタの出力信号が常に上記最大取扱電荷
    量に相当する信号となる様にすると共に上記第1及び第
    2のレジスタの夫々の出力信号を比較回路に供給して比
    較し、上記第1のレジスタの出力信号が上記第2のレジ
    スタの出力信号と同一となる様に上記比較回路の出力信
    号を上記第1のレジスタの入力部のインプットソースに
    フィードバックさせると共に上記第1のレジスタの入力
    ゲートにクロック信号の高レベルの電圧を供給する様に
    し、 上記第1のレジスタのインプットソースの電圧を上記C
    CD遅延線の入力部のインプットソースに供給する様に
    したことを特徴とするCCD遅延装置。
JP1226749A 1989-09-01 1989-09-01 Ccd遅延装置 Expired - Lifetime JP2864553B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1226749A JP2864553B2 (ja) 1989-09-01 1989-09-01 Ccd遅延装置
US07/575,381 US5087843A (en) 1989-09-01 1990-08-30 Input circuit for ccd delay line
EP90402413A EP0415852B1 (en) 1989-09-01 1990-08-31 Input circuit for CCD delay line
DE69023988T DE69023988T2 (de) 1989-09-01 1990-08-31 Eingangsschaltung für CCD-Verzögerungsleitung.

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