JPH0390461U - - Google Patents

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JPH0390461U
JPH0390461U JP15235689U JP15235689U JPH0390461U JP H0390461 U JPH0390461 U JP H0390461U JP 15235689 U JP15235689 U JP 15235689U JP 15235689 U JP15235689 U JP 15235689U JP H0390461 U JPH0390461 U JP H0390461U
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guard ring
photo diode
avalanche photo
low concentration
light receiving
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例のガードリング表
面低濃度層を有するアバランシエ・フオト・ダイ
オードの断面図である。第２図はこの考案の他の
実施例のアバランシエ・フオト・ダイオードの断
面図である。第３図は従来のガードリングを有す
るアバランシエ・フオト・ダイオードの断面図で
ある。 １……半導体基板、２……受光部、３……ガー
ドリング、４……表面保護絶縁膜、５……ｐｎ接
合、６，７……ガードリング表面低濃度層。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 プレーナ構造の受光部にガードリングを有する
    構造において、 前記ガードリングの表面近傍に、同一導電型の
    低濃度領域を形成したことを特徴とするアバラン
    シエ・フオト・ダイオード。
JP15235689U 1989-12-27 1989-12-27 Pending JPH0390461U (ja)

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