JPH0386917A - 磁気記録担体 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は非磁性担体材料と、その上に施こされた・本質
的には有機結合剤中に微細に分散させた奪 ・コバルト改質した酸化鉄(5)及び六方フェライトか
らなろグループから選ばれた磁性材料と無機支持物質と
からなる磁化可能の層とからなる磁気記録担体に関する
。
的には有機結合剤中に微細に分散させた奪 ・コバルト改質した酸化鉄(5)及び六方フェライトか
らなろグループから選ばれた磁性材料と無機支持物質と
からなる磁化可能の層とからなる磁気記録担体に関する
。
(従来技術)
磁気記録技術の改良の枠内においては、とくに記録担体
へ画像磁気記録の際に、その磁気乃至電磁緒特性に関し
てもその機械的安定性についても高度の要求が課せられ
る。これら双方のパラメータの結合は、ビデオチーブの
性能にとって重要な磁化層の均質性及び表面性状に見出
だされる。層を形成する結合剤に関しては多数の物理的
に乾燥する又は橋かけしたポリマー乃至ポリマー混合物
が有効と判明した一方磁性材料に関しては強磁性のコバ
ルト改質した酸化鉄(fll)又はバリウム−乃至スト
ロンチウム−フェライトがほとんどの用途に適した材料
である。しかしその間にコバルト改質した酸化鉄側)又
はフェライトと硬質・球状の非磁性材料とを混合するこ
とが必要と判明した。重要な理由の一つは磁石層の機械
的緒特性である。これらの充填材は支持物質とも呼ばれ
るがこれらなしでは、レコーダの磁気ヘッドが速かに汚
れる。
へ画像磁気記録の際に、その磁気乃至電磁緒特性に関し
てもその機械的安定性についても高度の要求が課せられ
る。これら双方のパラメータの結合は、ビデオチーブの
性能にとって重要な磁化層の均質性及び表面性状に見出
だされる。層を形成する結合剤に関しては多数の物理的
に乾燥する又は橋かけしたポリマー乃至ポリマー混合物
が有効と判明した一方磁性材料に関しては強磁性のコバ
ルト改質した酸化鉄(fll)又はバリウム−乃至スト
ロンチウム−フェライトがほとんどの用途に適した材料
である。しかしその間にコバルト改質した酸化鉄側)又
はフェライトと硬質・球状の非磁性材料とを混合するこ
とが必要と判明した。重要な理由の一つは磁石層の機械
的緒特性である。これらの充填材は支持物質とも呼ばれ
るがこれらなしでは、レコーダの磁気ヘッドが速かに汚
れる。
とにかくこの種の非磁性材料は記録担体の残留磁化を明
かに低減して、特定の、とくに音声の緒特性が決定的に
劣化することになる。そのほか針状の磁性材料と球状の
非磁性材料とを分散させるため、針状及び球状物質の間
で相分離の生じないよう両者を互いに適合させることは
困難である。その結果は磁石層表面の不均等ならびに支
持物質の表面集積となろう。それによって記録の品質が
とくに高周波のビデオ情報に関するものが不利な影響を
受けることになろう。
かに低減して、特定の、とくに音声の緒特性が決定的に
劣化することになる。そのほか針状の磁性材料と球状の
非磁性材料とを分散させるため、針状及び球状物質の間
で相分離の生じないよう両者を互いに適合させることは
困難である。その結果は磁石層表面の不均等ならびに支
持物質の表面集積となろう。それによって記録の品質が
とくに高周波のビデオ情報に関するものが不利な影響を
受けることになろう。
西ドイツ国特許公開公報第1955699号からは永年
来磁石層中に磁性材料として、二酸化クロムとドープし
である又はドープしてない酸化鉄GIN)との混合比率
1:4乃至4:1の混合物がある磁気記録担体が公知で
ある。しかし対応の混合物のある磁気記録担体には、二
酸化クロムのすぐれた磁気特性及びそれに由来する記録
感度が高い割合の酸化鉄(5)により持続性に劣化する
欠点がある。他方大量の二酸化クロムの混入は磁気ヘッ
ドの著しい摩耗へ導く。
来磁石層中に磁性材料として、二酸化クロムとドープし
である又はドープしてない酸化鉄GIN)との混合比率
1:4乃至4:1の混合物がある磁気記録担体が公知で
ある。しかし対応の混合物のある磁気記録担体には、二
酸化クロムのすぐれた磁気特性及びそれに由来する記録
感度が高い割合の酸化鉄(5)により持続性に劣化する
欠点がある。他方大量の二酸化クロムの混入は磁気ヘッ
ドの著しい摩耗へ導く。
(発明の目的)
それゆえとくにビデオ記録に適した磁気記録担体であっ
て上記の欠点がなく、磁石層の申し分の表面性状におけ
る均質性及び平滑度に関しても記録及び再生操作の際す
なわちテープ/ヘッド接触の際のブロッキング及びヘッ
ド摩耗に関しても高度の画像及び音声品質を保証するも
のを用意するとの課題が存在した。
て上記の欠点がなく、磁石層の申し分の表面性状におけ
る均質性及び平滑度に関しても記録及び再生操作の際す
なわちテープ/ヘッド接触の際のブロッキング及びヘッ
ド摩耗に関しても高度の画像及び音声品質を保証するも
のを用意するとの課題が存在した。
今回、磁気記録担体材料であって非磁性担体材料とその
上に施こされた磁化可能の層とからなり後者が本質的に
は有機結合剤中に微細に分散され方 た、コバルト改質した酸化鉄(2)と六禽フェライトと
からなるグループから選ばれた磁気材料及び無機支持物
質からなるものが、無機支持物質として、保磁磁場の強
さが24 kA/mより大きく、比表面積が20乃至6
0 m2/gである針状強磁性二酸化クロムを磁性材料
全量に対して)10乃至〈20%の量で磁石層中に含ま
れているとき、課せられた課題を解決することが見出だ
された。
上に施こされた磁化可能の層とからなり後者が本質的に
は有機結合剤中に微細に分散され方 た、コバルト改質した酸化鉄(2)と六禽フェライトと
からなるグループから選ばれた磁気材料及び無機支持物
質からなるものが、無機支持物質として、保磁磁場の強
さが24 kA/mより大きく、比表面積が20乃至6
0 m2/gである針状強磁性二酸化クロムを磁性材料
全量に対して)10乃至〈20%の量で磁石層中に含ま
れているとき、課せられた課題を解決することが見出だ
された。
(発明の構成)
本発明による記録担体に適したコバルト改質した酸化鉄
([11)又はフェライトも磁性材料としての二酸化ク
ロムならびにそれらの製法も公知である。
([11)又はフェライトも磁性材料としての二酸化ク
ロムならびにそれらの製法も公知である。
コバルト改質した酸化鉄(■)の保磁磁場の強さは30
乃至128 kA/m 、 7 xライトのものは40
0 kA/fflまで、二酸化クロムは24より大きく
とくに26乃至80 kA、/mである。本発明による
記録担体材料中に用いるのに適している磁性材料は粒子
長さ0.1乃至1.0 μmとくに0.2乃至0.8t
tmsまた長さ:厚さ比率は10:1乃至20:1であ
るべきで、それらの粒子容積は有利には0.2・10−
4乃至2.0・10−4μm1である。そのうえ本発明
による記録担体材料では、二酸化クロムのBET比表面
積が20 mj’?より、望ましくは25 m2/gよ
り大きく60 mZPまでであることが重要である。そ
の池の磁性材料の比表面積は同じ大きさのオーダとする
ことができる。
乃至128 kA/m 、 7 xライトのものは40
0 kA/fflまで、二酸化クロムは24より大きく
とくに26乃至80 kA、/mである。本発明による
記録担体材料中に用いるのに適している磁性材料は粒子
長さ0.1乃至1.0 μmとくに0.2乃至0.8t
tmsまた長さ:厚さ比率は10:1乃至20:1であ
るべきで、それらの粒子容積は有利には0.2・10−
4乃至2.0・10−4μm1である。そのうえ本発明
による記録担体材料では、二酸化クロムのBET比表面
積が20 mj’?より、望ましくは25 m2/gよ
り大きく60 mZPまでであることが重要である。そ
の池の磁性材料の比表面積は同じ大きさのオーダとする
ことができる。
本発明による記録担体材料製造のためには微粉砕した磁
性材料、コバルト改質した酸化鉄(lI[)とくにr−
酸化鉄(III)及び二酸化クロムを通常の添加剤、分
散助剤たとえばオレイン酸ナトリウム、オレイン酸亜鉛
、ラウリン酸−、バルミチン酸−、ステアリン酸−ナト
リウム、エチレンオキシド改質した助剤、櫛状ポリイミ
ン、ポリアミド、有機燐酸エステルなどならびに場合に
よっては、非磁性充填剤たとえば石英粉末、珪酸塩基質
の粉末、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウムなどであ
って磁化層の機械的緒特性にあまり影響を及ぼさないも
の及び有機溶媒中に溶解させた結合剤たとえばエラスト
マーポリウレタン、エポキシ樹脂、塩化ビニル/酢酸ビ
ニル−コポリマー、多官能インシアナートで橋かけした
OH基含有ポリウレタンならびにそれらの混合物ととも
に分散装置たとえば痛型−又は撹拌機つきミル内で加工
処理して分散液とする。この分散液を引続いて通常の塗
布機により非磁性担体上に塗布する。非磁性担体として
は通常の担体材料とくに直鎖のポリエステル、ポリエチ
レンテレフタラートなどの一般に厚さ4乃至20μmの
フィルムが使用できる。なお液状の塗布材料が担体上で
乾燥する(このことは好都合に温度50乃至90℃にお
いて10乃至200秒間に行なわれる)前に異方性磁石
粒子を磁場の作用により、予定の記録方向に配向させる
。引続いて磁石層を加熱・研磨したロール間を通過させ
ることにより、場合によっては圧及び温度50乃至lO
O℃、望ましくは60乃至90℃を適用して、平滑にし
かつ圧密する。磁石層の厚さは一般に2乃至6μmであ
る。
性材料、コバルト改質した酸化鉄(lI[)とくにr−
酸化鉄(III)及び二酸化クロムを通常の添加剤、分
散助剤たとえばオレイン酸ナトリウム、オレイン酸亜鉛
、ラウリン酸−、バルミチン酸−、ステアリン酸−ナト
リウム、エチレンオキシド改質した助剤、櫛状ポリイミ
ン、ポリアミド、有機燐酸エステルなどならびに場合に
よっては、非磁性充填剤たとえば石英粉末、珪酸塩基質
の粉末、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウムなどであ
って磁化層の機械的緒特性にあまり影響を及ぼさないも
の及び有機溶媒中に溶解させた結合剤たとえばエラスト
マーポリウレタン、エポキシ樹脂、塩化ビニル/酢酸ビ
ニル−コポリマー、多官能インシアナートで橋かけした
OH基含有ポリウレタンならびにそれらの混合物ととも
に分散装置たとえば痛型−又は撹拌機つきミル内で加工
処理して分散液とする。この分散液を引続いて通常の塗
布機により非磁性担体上に塗布する。非磁性担体として
は通常の担体材料とくに直鎖のポリエステル、ポリエチ
レンテレフタラートなどの一般に厚さ4乃至20μmの
フィルムが使用できる。なお液状の塗布材料が担体上で
乾燥する(このことは好都合に温度50乃至90℃にお
いて10乃至200秒間に行なわれる)前に異方性磁石
粒子を磁場の作用により、予定の記録方向に配向させる
。引続いて磁石層を加熱・研磨したロール間を通過させ
ることにより、場合によっては圧及び温度50乃至lO
O℃、望ましくは60乃至90℃を適用して、平滑にし
かつ圧密する。磁石層の厚さは一般に2乃至6μmであ
る。
本発明による磁気記録担体は磁石層が高度に均質かつ平
滑であり、この記録担体操作の際にブロッキングの生じ
ることがない。そのほかこうして高品位ビデオ記録特性
に必要な非常に微細分散したコバルト改質した酸化鉄(
lit)が使用でき、通常の無機支持物質たとえばカー
ボン又は石英粉末によって引き起こされる品位低下又は
層下均質の生じることがない。よってビデオ・テープの
Hi F i品質は、実質上残留損失が生じないので、
明かに改良される。支持特性の効果は、テープ表面が硬
いビデオヘッドに接触するのを妨げるテープ表面上のC
rO2粒子の僅かな集塊化による。
滑であり、この記録担体操作の際にブロッキングの生じ
ることがない。そのほかこうして高品位ビデオ記録特性
に必要な非常に微細分散したコバルト改質した酸化鉄(
lit)が使用でき、通常の無機支持物質たとえばカー
ボン又は石英粉末によって引き起こされる品位低下又は
層下均質の生じることがない。よってビデオ・テープの
Hi F i品質は、実質上残留損失が生じないので、
明かに改良される。支持特性の効果は、テープ表面が硬
いビデオヘッドに接触するのを妨げるテープ表面上のC
rO2粒子の僅かな集塊化による。
(実施例)
本発明を下記の実施例により、技術の水準による実験と
比較して、詳細に説明する。実施例及び比較実験におい
て示す部及び百分率は、別設の記載のない限り、重量に
関する。
比較して、詳細に説明する。実施例及び比較実験におい
て示す部及び百分率は、別設の記載のない限り、重量に
関する。
比較実験1
等量のテトラヒドロフラン及びジオキサンの混合物中の
、アジピン酸、ブタンジオール−1,4−及び4,4′
−ジイソシアナートジフェニルメタンからなる熱可塑性
ポリエステルウレタンの12.5係溶液640部ならび
に同じ混合溶媒中の、ビスフェノールAとエピクロルヒ
ドリンとからのフェノキシ樹脂の20%溶液100部を
保磁磁場48.5 kA/m %BET比表面積28.
Orr115’の二酸化クロム900部及びオレイン酸
亜鉛2.25部及びさらに上記混合溶媒660部ととも
に、直径4乃至6Wの鋼球8000部を充填した容量6
000容積部のボールミル内で68時間分散させた。引
続いてさらに上記ポリエステルウレタン溶液640部、
フェノキシ樹脂溶液100部、ステアリン酸ブチル18
部、ステアリン酸4.5部及び上記混合溶媒400部を
添加してさらに24時間分散させた。得られた分散液は
加圧下に気孔径5μmのフィルタを通して濾過し、通常
の線状注出器により厚さ1.45μmのポリエチレンテ
レフタラート−フィルム上に塗布した。
、アジピン酸、ブタンジオール−1,4−及び4,4′
−ジイソシアナートジフェニルメタンからなる熱可塑性
ポリエステルウレタンの12.5係溶液640部ならび
に同じ混合溶媒中の、ビスフェノールAとエピクロルヒ
ドリンとからのフェノキシ樹脂の20%溶液100部を
保磁磁場48.5 kA/m %BET比表面積28.
Orr115’の二酸化クロム900部及びオレイン酸
亜鉛2.25部及びさらに上記混合溶媒660部ととも
に、直径4乃至6Wの鋼球8000部を充填した容量6
000容積部のボールミル内で68時間分散させた。引
続いてさらに上記ポリエステルウレタン溶液640部、
フェノキシ樹脂溶液100部、ステアリン酸ブチル18
部、ステアリン酸4.5部及び上記混合溶媒400部を
添加してさらに24時間分散させた。得られた分散液は
加圧下に気孔径5μmのフィルタを通して濾過し、通常
の線状注出器により厚さ1.45μmのポリエチレンテ
レフタラート−フィルム上に塗布した。
塗布したフィルムは磁石粒子の配向のために磁場を通過
後に、温度60乃至80℃において乾燥させた。乾燥後
に塗布ずみのフィルムの磁石層を加熱ローラ(85℃、
線圧35 Kg/m’ )間に2回通過させて、圧密し
かつ平滑とした。そのとき磁石層の厚さは4μmであっ
た。塗布ずみフィルムを切断してy2“幅のビデオテー
プとした後に、これらを日本ビクター社から市販のVH
8−レコーダで基準テープ(OdB )に比べて試験し
た。
後に、温度60乃至80℃において乾燥させた。乾燥後
に塗布ずみのフィルムの磁石層を加熱ローラ(85℃、
線圧35 Kg/m’ )間に2回通過させて、圧密し
かつ平滑とした。そのとき磁石層の厚さは4μmであっ
た。塗布ずみフィルムを切断してy2“幅のビデオテー
プとした後に、これらを日本ビクター社から市販のVH
8−レコーダで基準テープ(OdB )に比べて試験し
た。
16静止画像:
画像記録が市販のVHSレコーダにおいて静止画像とし
てすなわち磁気テープ静止、磁気ヘッド回転の場合、1
6 dBのレベルが発現するまで再生され得る時間(単
位:分)を耐久時間として表示する。
てすなわち磁気テープ静止、磁気ヘッド回転の場合、1
6 dBのレベルが発現するまで再生され得る時間(単
位:分)を耐久時間として表示する。
Zビデオ信号・雑音比(ビデオS/N)Rhode u
nd Schwarz社製雑音電圧計UPSFを用いて
測定した100部白色画像の輝度信号対雑音レベルの比
率(> 100 kHz )。
nd Schwarz社製雑音電圧計UPSFを用いて
測定した100部白色画像の輝度信号対雑音レベルの比
率(> 100 kHz )。
そのほかDIN 4768第1葉による平均深さRzと
しての表面粗さ及びヘッド摩耗を測定した。ヘッド摩耗
は測定用顕微鏡により測定しμmを単位として表わす。
しての表面粗さ及びヘッド摩耗を測定した。ヘッド摩耗
は測定用顕微鏡により測定しμmを単位として表わす。
この目的のためビデオテープの200時間の反復運転(
100回通過に相当)を市販のVHSレコーダにおいて
実施し、ヘッド摩耗を量産のフェライト磁気ヘッドにつ
いて測定した。
100回通過に相当)を市販のVHSレコーダにおいて
実施し、ヘッド摩耗を量産のフェライト磁気ヘッドにつ
いて測定した。
測定結果は表に示しである。
比較実験2
比較実験1に記載のとおりに作業した、ただし二酸化ク
ロムの代りに、BET比表面積27.2 vl/P 1
保磁磁場の強さ51.6 kA/mのコバルト改質l酸
化鉄(III)900部を用いた。測定結果は表に示し
である。
ロムの代りに、BET比表面積27.2 vl/P 1
保磁磁場の強さ51.6 kA/mのコバルト改質l酸
化鉄(III)900部を用いた。測定結果は表に示し
である。
実施例1
比較実験2に記載のとおりに作業した、ただしコバルト
改質したl−酸化鉄(110900部の代りにこの物質
845部及び比較実験1記載のBET比表面積25冠今
の二酸化クロム55部を用いた。測定結果は表に示しで
ある。
改質したl−酸化鉄(110900部の代りにこの物質
845部及び比較実験1記載のBET比表面積25冠今
の二酸化クロム55部を用いた。測定結果は表に示しで
ある。
実施例2
比較実験2に記載のとおりに作業した、ただし改質酸化
鉄(II)900部の代りに同じ酸化物750部及びB
ET比表面積30 nVPの二酸化クロム150部を用
いた。測定結果は表に示しである。
鉄(II)900部の代りに同じ酸化物750部及びB
ET比表面積30 nVPの二酸化クロム150部を用
いた。測定結果は表に示しである。
実施例3
実施例2に記載のとおりに作業した、ただしコバルトを
ドープした、HC−値68 kklm・比表面積52r
rt/Vの酸化鉄側)を使用し、溶媒は10%増量した
。測定結果は表に示しである。
ドープした、HC−値68 kklm・比表面積52r
rt/Vの酸化鉄側)を使用し、溶媒は10%増量した
。測定結果は表に示しである。
実施例4
実施例2に記載のとおりに作業した、ただしBET比表
面積27.2 m2/gのコバルト改質酸化鉄慎)の代
りに比表面積35.2 rrVtのものを用いた。測定
結果は表に示しである。
面積27.2 m2/gのコバルト改質酸化鉄慎)の代
りに比表面積35.2 rrVtのものを用いた。測定
結果は表に示しである。
比較実験3
比較実験2に記載のとおりに作業した、ただしコバルト
改質酸化鉄(111)900部の代りに同じ酸化物45
0部及び比較実験1記載の二酸化クロム450部を用い
た。測定結果は表に示しである。
改質酸化鉄(111)900部の代りに同じ酸化物45
0部及び比較実験1記載の二酸化クロム450部を用い
た。測定結果は表に示しである。
表
実験番号 粗さ 7)” %止持iL1転S/N摩耗
画像 100 間
画像 100 間
Claims (1)
- 非磁性担体材料と、その上に施こされた・本質的には
有機結合剤中に微細に分散させた・コバルト改質した酸
化鉄(III)及び六方フェライトからなるグループから
選ばれた磁性材料と無機支持物質とからなる磁化可能の
層とからなる磁気記録担体材料において、無機支持物質
として、保磁磁場の強さ24kA/m超、比表面積20
乃至60m^2/gの針状強磁性二酸化クロムが磁性材
料の全量に対して>10乃至<20%の量で磁化層中に
含まれていることを特徴とする磁気記録材料。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3927622.8 | 1989-08-22 | ||
DE3927622A DE3927622A1 (de) | 1989-08-22 | 1989-08-22 | Magnetischer aufzeichnungstraeger |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0386917A true JPH0386917A (ja) | 1991-04-11 |
Family
ID=6387571
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2219137A Pending JPH0386917A (ja) | 1989-08-22 | 1990-08-22 | 磁気記録担体 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5209970A (ja) |
EP (1) | EP0414101B1 (ja) |
JP (1) | JPH0386917A (ja) |
DE (2) | DE3927622A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6126990A (en) * | 1997-03-31 | 2000-10-03 | Tdk Corporation | Method for producing magnetic recording medium |
JP2008023636A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Yokogawa Electric Corp | 移送システム |
JP2008171929A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150010519A (ko) | 2013-07-19 | 2015-01-28 | 삼성전자주식회사 | 연자성 자기교환결합 복합 구조체 및 이를 포함한 고주파소자 부품, 안테나 모듈 및 자기저항소자 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5526528B1 (ja) * | 1968-11-06 | 1980-07-14 | ||
US3824128A (en) * | 1969-10-07 | 1974-07-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | Magnetic recording medium |
JPS54107313A (en) * | 1978-02-09 | 1979-08-23 | Sony Corp | Magnetic recording medium |
DE2942646A1 (de) * | 1979-10-22 | 1981-04-30 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Verfahren zur herstellung von ferromagnetischem chromdioxid |
JPH0721854B2 (ja) * | 1981-05-29 | 1995-03-08 | 富士写真フイルム株式会社 | 磁気記録体 |
JPS59185027A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録体 |
DE3322746C2 (de) * | 1983-06-24 | 1994-06-23 | Basf Ag | Magnetische Aufzeichnungsträger |
JPS6050725A (ja) * | 1983-08-31 | 1985-03-20 | Ricoh Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JPH0656653B2 (ja) * | 1984-06-13 | 1994-07-27 | 日立マクセル株式会社 | 磁気記録媒体 |
JPS6194231A (ja) * | 1984-10-16 | 1986-05-13 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1989
- 1989-08-22 DE DE3927622A patent/DE3927622A1/de not_active Withdrawn
-
1990
- 1990-08-13 US US07/567,066 patent/US5209970A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-14 DE DE59006121T patent/DE59006121D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-14 EP EP90115564A patent/EP0414101B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-08-22 JP JP2219137A patent/JPH0386917A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6126990A (en) * | 1997-03-31 | 2000-10-03 | Tdk Corporation | Method for producing magnetic recording medium |
JP2008023636A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Yokogawa Electric Corp | 移送システム |
JP2008171929A (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-24 | Olympus Corp | 基板搬送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE59006121D1 (de) | 1994-07-21 |
EP0414101B1 (de) | 1994-06-15 |
US5209970A (en) | 1993-05-11 |
DE3927622A1 (de) | 1991-02-28 |
EP0414101A2 (de) | 1991-02-27 |
EP0414101A3 (en) | 1991-09-04 |
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