JPH0381360U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0381360U JPH0381360U JP14068889U JP14068889U JPH0381360U JP H0381360 U JPH0381360 U JP H0381360U JP 14068889 U JP14068889 U JP 14068889U JP 14068889 U JP14068889 U JP 14068889U JP H0381360 U JPH0381360 U JP H0381360U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing chamber
- plasma
- processing
- reduced pressure
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のプラズマ処理装置
の要部縦断面図である。 １……処理室、３……試料台、５……試料設置
台、６……冷媒流路、９……加温媒体流路、１２
……カバー、１３……空間、１４……試料。
の要部縦断面図である。 １……処理室、３……試料台、５……試料設置
台、６……冷媒流路、９……加温媒体流路、１２
……カバー、１３……空間、１４……試料。
Claims (1)
- 処理室と、該処理室内を減圧排気する手段と、
前記処理室内に処理ガスを導入する手段と、前記
処理ガスをプラズマ化する手段と、該プラズマを
利用して処理される試料が前記処理室内で設置さ
れる試料台と、前記試料を０℃以下の低温に冷却
可能に前記試料台を冷却する手段より成るプラズ
マ処理装置において該試料台の試料載置面を除く
少なくとも前記処理室内の露出面に前記処理室内
と気密に隔離された減圧空間を設け、さらに該減
圧空間の試料載置面側の周りに前記処理室および
減圧空間と気密に隔離された加温空間を設け該露
出面を前記処理室内にあるガスの露点温度以上の
温度に保持することを特徴としたプラズマ処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14068889U JPH0381360U (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14068889U JPH0381360U (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0381360U true JPH0381360U (ja) | 1991-08-20 |
Family
ID=31687640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14068889U Pending JPH0381360U (ja) | 1989-12-06 | 1989-12-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0381360U (ja) |
-
1989
- 1989-12-06 JP JP14068889U patent/JPH0381360U/ja active Pending
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