JPH0378577A - 真空装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は１Ｏ−２〜１００パスカル（Ｐａ）程度の真
空度が必要とされるＳＥＭ等の真空装置に関するもので
ある。

［従来の技術］ 第２図は従来の真空装置を示すブロック図で、図におい
て、（１）はＳＥＭ等の試料室があるチャンバＡ、（２
）はバルブＡ（３）を介して、チャンバＡ　（１）に連
結されてロータリーポンプ、（５）はバルブＣ（７）を
介してチャンバＡ　（１）に連結された拡散ポンプであ
る。

次に動作について説明する。試料室があるチャンバＡ（
りは、まずバルブＡ（３）を開き、ロータリーポンプ（
２）を動作させることにより〜１０−’Ｐａ程度の真空
度になされた後、バルブＡ（３）を閉じ５次にバルブＣ
（７）を開き、拡散ポンプ（５）を１０−２〜１Ｏ−３
程度のＳＥＭ等の観察に必要とされる真空度になるまで
動作させる。

［発明が解決しようとする課題］ 従来の真空装置は以上のように構成されていたので、Ｓ
ＭＥ等の観察に必要な１０−２〜１０−’Ｐａ程度の真
空度を達成するために、ロータリーポンプと拡散ポンプ
の２つのポンプを順次用いなければならないため、かな
りの時間が必要となるという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、短時間でＳＥＭ等の観察に必要な１Ｏ−２〜
１Ｏ−３Ｐａ程度の真空度を達成できる真空装置を得る
ことを目的とする。

［問題を解決するための手段］ この発明に係る真空装置は、試料室のあるチャンバＡに
比べて容積が数段大きいチャンバＢをチャンバＡとバル
ブを介して設け、そのチャンバＢは拡散ポンプ等で常に
１０−’Ｐａ程度の高真空度に保ち、チャンバＡを真空
にする時にはバルブの開閉を行うようにしたものである
。

［作用］ この発明における真空装置は、チャンバＡより容積が大
きく、常に１Ｏ−５ＰａＯ高真空度に保たれているチャ
ンバＢがチャンバＡとのバルブを開くことにより、チャ
ンバＡを短時間にてｌロー２〜１Ｏ−３Ｐａ程度の真空
度にする。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）は試料室のあるチャンバＡ、（２）
はバルブＡ（３）を介してチャンバＡ　（１）に連結さ
れたロータリーポンプ、（４）はバルブＢ（６）を介し
てチャンバＡ　（１）に連結されたチャンバＡ（１）　
より容積の数段大きいチャンバＢ、（５）はチャンバＢ
（４）に連結された拡散ポンプである。

次に動作について説明する。試料室があるチャンバＡ（
１）はまず、バルブＡ（３）を開き、ロータリーポンプ
（３）を動作させることにより〜１０−’Ｐａ程度の真
空度になされた後、バルブＡ（３）を閉じ、次に、拡散
ポンプ（５）によりｌｏ−５程度の高真空度に保たれて
いるチャンバＢ（４）とチャンバＡ　（１）の間のバル
ブＢ（６）を開くことにより、１Ｏ−２〜１Ｏ−３Ｐａ
程度のＳＥＭ等の観察に必要な真空度が瞬時に達成され
る。

［発明の効果］ 以上のようにこの発明によれば、試料室のあるチャンバ
Ａに比べて容積の数段大きいチャンバＢを設け、このチ
ャンバＢは常に拡散ポンプ等で高真空度に保ち、必要に
応じてチャンバＡとチャンバＢを連結させるように構成
したので、チャンバＡをＳＥＭ等の観察に必要とされる
１０−２〜１Ｏ−３ｒ’ａ程度の真空度まで瞬時に達成
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による真空装置を示すブロ
ック図、第２図は従来の真空装置を示すブロック図であ
る。 図において、（１）は試料室のあるチャンバＡ、（２）
はロータリーポンプ、（３）はバルブＡ、（４）はチャ
ンバＢ、（５）は拡散ポンプ、（６）はバルバＢを示す
。 なお、図中、同一符号は同一　又は相当部分を示す。 ｌ：斗ｆｉパＡ ２：ロータリーポンプ ｌ：バノＬブＡ ４、＋ＹシバＢ ｆ：〃ム嘴友ポジ７゜ ６゛バルフ′Ｂ 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　１０＾−＾２〜１０＾−＾３パスカル（Ｐａ）の真空
   度が必要とされるＳＥＭ等の観察を行う試料室のあるチ
   ャンバＡに比べて、容積が数段に大きいチャンバＢをチ
   ャンバＡとバルブを介して設け、チャンバＢは常に拡散
   ポンプ（Ｄ．Ｐ．）等にて、〜１０＾−＾５Ｐａ程度の
   高真空度に保ち、チャンバＡを真空にする必要がある時
   に、バルブを開いて、チャンバＡと高真空度のチャンバ
   Ｂを連結できるようにしたことを特徴とする真空装置。