JPH0633941B2 - 真空熱処理炉における中間扉の気密構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本願発明は次に述べる問題点の解決を目的とする。

（産業上の利用分野） この発明は炉体の内部空間を開閉自在な中間扉によって
複数の熱処理室に区画し、各熱処理室において被処理物
の加熱或いは冷却などの熱処理を行うようにした真空熱
処理炉に関し、更に詳しくは、その真空熱処理炉におけ
る中間扉の気密構造に関するものである。

（従来の技術） 上記のような熱処理炉としては、例えば第２図に示され
る如き構造のものが周知である。即ち、第２図におい
て、１は中空の炉体、２は入口扉で、開閉装置３による
開閉を自在に構成してある。４，４・・・は炉体１の内
部において設定されている熱処理室で、加熱室や冷却室
等があり、開閉自在の中間扉５，５・・・によって相互
に区画された小空間をもって構成してある。６は中間扉
５の開閉装置を示す。７は各熱処理室に設けられた加熱
手段を示す。（冷却室の場合には冷却用のファン等が備
えられている。）８は被熱処理物を搬送する為の搬送手
段、９は装入テーブルを夫々示す。次に上記中間扉５の
部分の構造を示す第３図において、11は扉５における気
密シール用の環状の押圧面で、扉における前面の周縁部
分をもって構成してある。12は炉体１に備えさせた受座
で、上記扉５の前面側に設けられており、上記押圧面11
を受止める為の環状の扉受面13を備えている。次に開閉
装置６において、14は炉体に取付けた昇降用シリンダ、
15はそのピストンロッド、１７は連結具16を介してロッ
ド16に連結した昇降枠で、図示外の周知のガイドレール
に沿って昇降できるようになっている。18は昇降枠17と
扉５の背面とを連結する平行リンクを示す。19は扉５の
受止部材を示す。このような構成の開閉装置６にあって
は、第３図の状態からシリンダ14の作動によりロッド15
を介して昇降枠17が上方に引き上げられると、扉５は受
座12から離反しその後昇降枠17と共に上方へ移動する。
一方扉５を閉じる場合は、シリンダ14の作動によりロッ
ド15を介して昇降枠17が下降する。この昇降枠17の下降
と共に扉５は下降し、やがてそれは受止部材19に当接し
てそれ以上の下降が阻止される。この状態において昇降
枠17がさらに下降すると、その下降力はリンク18を介し
て扉５の押圧面11を扉受面13に押しつける力となり、扉
受面13に対する押圧面11の密着状態が達成される。

上記構成の熱処理炉においては、入口扉２が開けられ、
装入テーブル９から炉内の熱処理室４に被熱処理物が装
入され、入口扉２が閉じられてその熱処理室４が真空排
気され、加熱手段７によって被処理物の熱処理が行われ
る。一つの熱処理室で熱処理がなされた被熱処理物は中
間扉５が開けられることにより後段の熱処理室４に送ら
れ、そこで所定の熱処理が施される。一方、入口扉２が
再び開けられ装入テーブル９から新しい被熱処理物が炉
内の熱処理室４に運ばれ、上記と同様にその熱処理が行
われる。上記のような操作によって各熱処理室４で夫々
被熱処理物の熱処理を行う場合、それらの熱処理室は各
々の部屋での熱処理に適した真空度に真空排気される。
この場合、上記のような構成の中間扉５にあっては、扉
５の前面側の熱処理室４の真空度が高く背面側の熱処理
室４の真空度が低い場合には、真空度が高い部屋の負圧
により扉５の押圧面11が扉受面13に密着させられる為、
部屋相互間のシール性を良好に保つことができるが、扉
５の前面側の部屋の真空度が低く背面側の部屋の真空度
が高い場合には、上記扉受面13に対する押圧面11の押圧
が不十分となって、真空度の低い側の部屋のガスが高い
側の部屋に漏れる危険性のある問題点があった。

（発明が解決しようとする問題点） この発明は上記従来の問題点を除き、隣接する熱処理室
の真空度の高低に拘わらず、それらの熱処理室の気密状
態を安定に保持できてそれらの部屋の真空度を安定維持
できるようにした真空熱処理炉における中間扉の気密構
造を提供しようとするものである。

本願発明の構成は次の通りである。

（問題点を解決する為の手段） 本願発明は前記請求の範囲記載の通りの手段を講じたも
のであってその作用は次の通りである。

（作用） 中間扉が閉じられた状態においては中間扉における二つ
の扉要素の夫々の押圧面が受止面に当接する。この状態
において各熱処理室が真空排気されると、それらの熱処
理室が夫々真空化されることによる各々の負圧によっ
て、各扉要素のシール用押圧面が夫々の熱処理室の側の
扉受面に夫々個別に密着させられる。その結果、いずれ
の熱処理室も気密状態が保たれる。

（実施例） 以下本願の実施例を示す図面第１図について説明する。
同図中の符号で第２図及び第３図と同一の符号は機能上
相互に均等構成の部分を現すものとして、その部分につ
いての詳しい説明は省略する。図において、21は中間扉
を示し、相互に間隔を隔てて並設された２枚の扉要素2
2，22から成る。各扉要素22は夫々の前面を隣接する熱
処理室の側に向けられ、夫々の背面を相互に対向させて
ある。これらの扉要素22，22はいずれも前記説明の扉５
と均等に構成されている。23は両扉要素22，22相互間に
形成された圧力室を示す。

上記構成のものにあって、各熱処理室４，４を夫々真空
排気して各々の部屋において熱処理を行う場合、各熱処
理室が真空化されることによる負圧によって、各扉要素
22は各熱処理室の側に引かれ、各々におけるシール用押
圧面11は夫々受座12の扉受面13に密着してその扉要素の
シール性が良好に保持される。その結果、各部屋の真空
度を安定に維持することができる。この場合、必要に応
じては圧力室23の周壁の一部に給気口を設けて、そこか
ら圧力室23に適宜ガスを送り込むことにより各熱処理室
４と圧力室23との間に圧力差をもたせてもよい。その場
合、隣接する熱処理室４，４の圧力を夫々P₂,P₃、圧力
室23の圧力をＰ_１とすると、Ｐ_１をＰ_２及びＰ_３のいず
れよりも高く設定するか、又は、Ｐ_１をＰ_２又はＰ_３の
高い方の圧力に例えば１kg／cm²を加えた圧力にすると
よい。

（発明の効果） 以上のように本発明にあっては、隣り合う熱処理室４，
４を夫々真空化してそこで夫々被熱処理物の熱処理を行
う場合、中間扉21を閉じることによりそれら隣接熱処理
室を気密的に区画でき、各々の熱処理室を独自の真空度
にして夫々熱処理できる特長がある。

一方、隣接熱処理室相互間で被熱処理物を移動させたい
場合には、上記中間扉21を開いて被熱処理物の移動を行
わせられる特長がある。

しかも上記の如く開閉自在の中間扉21を設けて、それを
閉じることによる熱処理室相互の区画と、開くことによ
る被熱処理物の移動を可能ならしめたものでも、上記熱
処理室相互を気密的に区画し各熱処理室を夫々真空状態
にする場合、各熱処理室４，４が夫々真空化されること
による各々の負圧によって、中間扉21における各々の熱
処理室側の扉要素22のシール用押圧面11を、夫々の熱処
理室の側の扉受面13に夫々個別に密着させられる特長が
ある。このことは、隣接する両熱処理室の気密状態をい
ずれも夫々安定に保持できることであって、これらの熱
処理室の真空度が互いに同じである或いは異なっている
とに拘わらず、各々の真空度を安定維持できる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

図面は本願の実施例を示すもので、第１図は中間扉の縦
断面図、第２図は真空熱処理炉の略示縦断面図、第３図
は従来の中間扉の構成を示す縦断面図。 １……炉体、４……熱処理室、21……中間扉、22……扉
要素、11……押圧面、13……扉受面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空熱処理炉における中空の炉体の内部に
   は、炉体の内部空間を個別の小空間に区画する為の開閉
   自在の中間扉を設けて、上記中間扉で区画された個別の
   小空間を夫々真空の被熱処理物の熱処理室としている真
   空熱処理炉において、上記中間扉は、２枚の扉要素を間
   隔を隔てて並設して構成し、しかも各々の扉要素におけ
   る各小空間側の面の周縁部分は気密シール用の環状の押
   圧面とし、一方上記各小空間においては、上記各扉要素
   の夫々の押圧面と対向する位置に、夫々上記環状の押圧
   面を受止める為の環状の扉受面を備えさせたことを特徴
   とする真空熱処理炉における中間扉の気密構造。