JPH0367085A - 一枚羽根非接触ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、製造が容易であり、非接触ポンプの代表格と
も言うべきルーツポンプよりも全断熱効率が高くかつ真
空ポプとして使用する場合にはより高真空が得られ、更
に安価な特徴を有する非接触ポンプの構造に関する。

（　従来の技術　） 一般に各々のローターが互いに非接触状態で同期的に噛
み合う非接触ポンプとしてはルーツ型、スクリュー型（
リショルム型）が広く使用されいてるが、前者は製造が
容易で安価であるが、内部圧縮機能を有していない為に
全断熱効率が低く、後者は逆に全断熱効率は高いが、ロ
ーターがローター軸の回にヘリカル状にねじれている為
に製造が極めて難かしく、高価となる欠点があった。又
、真空ポンプとして使用する場合には漏洩損失が大で高
真空が得られない欠点があった。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明の目的は、スクリュー型よりは製造が容易で安価
であり、非接触ポンプの代表格とも言うべきルーツ型よ
りも全断熱効率が高くかつ真空ポンプとして使用する場
合にはより高真空が得られる非接触ポンプを提供しよう
としたところにある。

（問題点を解決する為の手段） 本発明は従来の欠点を解決する為に、回転中空体の外側
に固定された固定中空体の周囲に密接しながら前記回転
中空体と一体的に回転する１枚の羽根を有する雄ロータ
ーと、ケーシング内周面に密接する雌ローター外周部及
びこの雌ローター外周部から陥没しながら前記雄ロータ
ーの羽根が嵌り込む陥没部を有する雌ローターとが互い
に非接触状態で同期的に互いに反対方向へ回転し合い、
かつ前記雌ローター外周部が前記固定中空体に密接する
様にし、更に前記雄ローターの羽根と雌ローターとによ
って挟まれた作動室に注目し、回転体の弁作用により同
作動室内へ吸入された流体が前記固定中空体に形成され
た吐出口及び前記回転中空体に形成された開閉口を介し
て前記回展中空体内吐出空間へ吐出される厘に構成し、
更に前記吐出口内の残留した流体が雄ローター側の作動
室内への放出を開始する瞬間の近傍までには、前記回転
体の弁作用により前記雄ローター側の作動室と吸入通路
との連通を遮断しておく様にして前記回転中空体内の吐
出空間へ吐出し尽くされずに残留した流体を吸入通路へ
素通りさせない様に構成したのである。

（　実　施　例　） 第１、２、３図は本発明による一枚羽根非接触ポンプの
一実施例で（第１図は第３図のＡ−Ａ’線断面図、第２
図は第３図のＢ−Ｂ’線断面図であり、以後第１、２、
３図を同時に参照のこと）、羽根２は羽根側板３にしっ
かりと固定され、回転中空体６の外側に固定された固定
中空体４の周囲に密接しながら回転中空体６と一体町に
回転する（回転中空体６の周囲の固定中空体４の内周面
に密接している）。

雌ローター８はケーシング内周面に密接する雌ローター
外周部９及びこの雌ローター外周部９から陥没しながら
羽根２が嵌り込む陥没部１０を有し、雄ローター１（羽
根２、羽側板３から成るローター）に雌ローター８とは
互いに非接触状態で同期歯車によって同期的に互いに反
対方向へ回転し合う様になっている。

雌ローター外周部９は固定中空体４に密接する様に構成
され、望ましくは図示の如く固定中空体４に雌ローター
外周部９が密接する欠円部１１を形成し、両者を面状に
密接させるのが良い。

尚、羽根側板３は通常は羽根２の両端面に備える様にす
るが、一方は回転中空体６に一体的に形成され、回転中
空体６と羽根２とをしっかりと連結するものである（他
方は羽根２の端面に固定されているのみである）。

雄ローターの羽根２の進み側の羽根側面（線Ｃ２に相当
する部分）は雌ローターの陥没部１０の進み側の壁面（
線Ｃ３に相当する部分）の先端部にある所定の部分（線
Ｃ３の先端部にあると蝶タハ小さな丸みとする）によっ
て創成される様になっているが、少滴の液体を含んだ気
体を圧涙する場合には液圧縮を防ぐ為に線Ｃ２の根元部
を第４図の如く切欠き、切欠き部１７から液体を逃す様
にする事が考えられる。

即ち、羽根２の進み側の羽根側面の少なくとも所定の部
分の陥没部１０の進み側の壁面の先端部にある所定の部
分によって創成する様にするのである。線Ｃ４の先端部
と線Ｃ１との間の接近した状態での間隙、線Ｃ２の先端
部と線Ｃ３（但し、その先端部は除く）との間の接近し
た状態での間隙、及び羽根２の羽根外周部２’と線Ｃ５
との間の接近した状態での間隙は、ここではいずれも十
分に大とする様に構成しておく（通常で２〜５ｍｍ位）
。

次に、回転中空体６内は分離壁１３によって吸入通路１
６へ通ずる吸入空間Ｓとポンプ吐出側へ通ずる吐出空間
Ｄとに分別されている。

今、雄ローターの羽根２と雌ローター８とによって挟ま
れた作動室１２に注目すると、回転中空体６に形成され
た吸入口１５及び固定中空体４に形成された吸入口１４
を介して吸入空間Ｓから同作動室１２内へ吸入された流
体はローターの回転に従って同作動室１２の容積の縮小
によって圧縮され、吐出空間Ｄの圧力にほぼ等しくなっ
た時点で回転中空体６に形成された開閉口７が固定中空
体４に形成された吐出口５に連通し、吐出口５、開閉口
７を介して吐出空間Ｄへ吐出される様になっている（内
部圧縮機能あり）。

吸入口１４の各々の中心角をＯ１、羽事２の固定中空体
４の周囲に密接する部分（以後、羽根２の羽根内周部と
称する）の中心角をＯ２とすれば、Ｏ１≦Ｏ２となる様
に構成され、吸入口１５は回転中空体６の強度を減少さ
せない様に例えば三分割されている。羽根２の羽根内周
部の遅れ端が吐出口５を通過するに到ると、吐出口５内
に残留した高圧の流体は吸入空間Ｓへ向かって放出を開
始するが吸入空間Ｓへ逃がさない様にする為（損失防止
）に吸入口１５と吸入口１４との連通を遮断すり様にす
るのである。

即ち、吐出口５内に残留した流体が雄ローター１側の作
動室（羽根２の遅れ側にある作動室）内への放出を開始
する瞬間の近傍までには、回転体（回転中空体６）の弁
作用により雄ローター１側の作動室と吸入通路１６（吸
入空間Ｓも広義では吸入通路１６の一部である）との連
通を遮断しておく様にして回転中空体６内の吐出空間Ｄ
へ吐出し尽くされずに残留した流体を吸入通路１６へ素
通りさせない様に構成するのである。

尚、第１図に示す如く線Ｃ３の先端部が線Ｃ２に密接す
る状態に到ると、両者は線対線によって密接する為、面
対面で密対する場合に比較して両者間の間隙から作動室
１２内の流体が陥没部１０内へ漏れ易いが、羽根２の羽
根外周部２’の遅れ端がケーシング内周面から離れる瞬
間の近傍までには吸入口１５と吸入口１４との連通を遮
断しておく様にすれば前記陥没部１０内への漏洩流体が
吸入空間Ｓへ逃げ込む事がなく、損失が減少すると共に
真空ポンプとして使用する場合には到達空度を高める事
ができる（第１図の場合には、吐出口５内に残留した流
体が雄ローター１側の作動室内への放出を開始する瞬間
以前に羽根外周部２’の遅れ端がケーシング内周面から
離れる事は起り難いが、第７図に示す如く断面形状が先
軸状の羽根２を採用する場合には起り易い）。

第５図に吸入口１５と吸入口１４とか連通して吸入過程
が開始される直前の状態を示す。

ところで第５図において、線Ｃ４の先端部が欠円部１１
に到達した時点から吸入口１５が吸入口１４に連通し作
動室（羽根２の遅れ側にあり）の吸入過程が開始される
のが一般的であるが、この瞬間における作動室内には吐
出口５内から放出された流体が一部流入している為、真
空ポンプとして使用する場合とは高真空を得ようとする
と障害になる。

そこで本発明では、更に線Ｃ３を線Ｃ２に先端部によっ
て創成すると共に線Ｃ５に羽根外周部２’が密接する様
に構成する事が望ましく、これにより空間部ｂには吐出
口５内から放出された流体が流入しているが、空間部ａ
は吐出口５と非連通状態で容積を拡大してきている為、
吸入開始時の作動室（空間部ａ、ｂ）内には吐出口５内
から放出された流体が流入する度合が減少し、高真空を
得る事ができる。

第７図においては線Ｃ３を線Ｃ２の先端部によって創成
すると共に羽根外周部２’が線Ｃ’５に密接する様にし
、かつ線Ｃ’１とＣ’４との内でいずれか一方の線が他
方の線によって創成される様に構成すれば、吸入開始時
の作動室は吐出口５と完全に非連通状態で容積を拡大し
てきている為、高真空を得る事ができる。

即ち本発明を真空ポンプとして使用する場合には、吐出
口５と所定期間非連通状態で容積を拡大してきた空間部
をその一部（第５図に相当）又は全部（第７図に相当）
とする作動室、即ち吐出口５と所定期間容積を非連通状
態で拡大してきた空間部を少なくともその一部とする作
動室が回転中空体６内の吸入空間Ｓへ連通してゆく様に
構成する事が望ましい。

以上は、第６図（第３図のＢ−Ｂ’線断面に相当すもの
であり、Ａ−Ａ’線断面図に相当するものについては第
１図を参照のこと）に示す如く羽根２の遅れ側の羽根側
面（線Ｃ１に相当する部分）の少なくとも所定の部分（
通常は線Ｃ１全体）を陥没部１０の遅れ側の壁面（線Ｃ
４に相当する部分）の先端部にある所定の部分によって
創成する様にしても同様の効果があり、これにより吸入
過程にある作動室１２（吸入空間Ｓと連通している）は
吐出口５と最初から非連通状態で容積を拡大してきてい
るので、高真空を得る事ができる。

第７図において、１８は雌ローター８の外壁面（図では
雌ローター外周部９）により閉鎖され陥没部１０により
開かれる補助吸入通路で、線Ｃ’４の先端部がケーシン
グ内周面に到達するまで雄ローター１側の作動室内へ補
助的に流体を流入させるものである。

吸入口１４と吸入口１５との連通開始時はどうしても有
効連通断面積が小さく、流体の流入に抵抗を伴い易いが
、補助吸入通路１８を備える事により抵抗なく流入させ
る事ができる。

吸入口１５との連通開始時期を遅らせても、その間は補
助吸入通路１８から流体を流入させる事ができるから、
吸入口１４と吸入口１５との連通期間を減少させ得る為
、吸入口１４や吸入口１５の中心角を縮小して固定中空
体４や回転中空体６の剛性を増す事ができる効果も更に
生まれるのである。

尚、補助吸入通路１８は二点鎖線示の如くローター端面
にあるケーシングに備える事もできる（この場合は雌ロ
ーター８の外壁面、即ち端面により閉鎖され、陥没部１
０により開かれることになる。）第８図は第７図の羽根
２の厚みを増したもので、線Ｃ２と線Ｃ３とによって挟
まれた空間が雄ローター１側の作動室へ連通する瞬間（
線Ｃ３の先端部が欠円部１１の壁面から離れる瞬間）の
近傍までに吸入口１４と吸入口１５とに連通を遮断）す
る様に構成されている。

この場合、線Ｃ３の先探部が欠円部１１の壁面から離れ
る瞬間には羽根２の羽根外周部２’の遅れ端が図示の如
くケーシング内周面から正に離れる様にしても良いし、
未だにケーング内周面上にある様に構成しても良い。

言い換えると陥没部１０の一部又は全部、即ち陥没部１
０の少なくとも一部が雄ローター１側の作動室へ連通す
る瞬間の近傍までに回転体（回転中空体６）の弁作用に
より雄ローター１側の作動室と吸入通路１６との連通を
遮断しておく様に構成するのである（もちろん、吐出口
５内に残留した流体が雄ローター１側の作動室内への放
出を開始する瞬間には既に雄ローター１側の作動室を吸
入通路１６との連通は遮断されている）。

これにより線Ｃ３の先端部が線Ｃ２に密接するに到った
状態から陥没部１０内へ漏出した流体（線対線で密接し
ている為に漏出し易い）は吸入空間Ｓへ素通りする事が
ないので、損失が減少すると共に、真空ポンプとして使
用する場合には到達真空度を高める事ができる（更に、
羽根外周部２’や羽根内周部の円周方向長も大となるの
で、漏洩が減少し到達真空度は高まる）。

ところで第８図においては陥没部１０が雄ローター１側
の作動室内へ連通したり（漏洩流体が放出される）、吐
出口５内の流体が雄ローター１側の作動室内へ放出され
たりすると、これらの流体は吸入口１４と吸入口１５と
の連通は遮断されているから吸入空間Ｓ１は素通りしな
いけれども、吸入口１４内へは侵入し、吸入過程の開始
と共に吸入空間Ｓへ放出される為、極めて僅かではある
が、到達真空度に影響を及ぼす事が考えられる。

この対策としては、羽根２の厚みを更に増し、第９図に
示す如く吐出口５内に残留した流体が雄ローター１側の
作動室内への放出を開始する瞬間の近傍までに羽根２に
より吸入口１４を閉鎖しておく様に構成するものが良い
。

更にこの場合、羽根外周部２’（羽根２のケーシング内
周面に密接する部分）の遅れ端がケーシング内周面から
離れる瞬間の近傍までに図示の如く羽根２により吸入口
１４を閉鎖しておく様にすると、陥没部１０内の流体も
吸入口１４内へ侵入する事はなく、極めて高真空が得ら
れる。

次に第１図において羽根２が陥没部１０に嵌り込んでく
る時には、陥没部１０内の流体が圧縮されて動力損失と
なるが、この対策として第１０図に示す如く陥没部１０
内の流体を圧縮しないでそのまま逃がす逃がし通路１９
を形成する事が考えられる。

又、陥没部１０の容積も実質的に増大する様にしても（
例えば第１１図の二点鎖線示の如く拡大したり、陥没部
１０と連通する空洞部２０を形成する事）羽根２が嵌り
込んできた時の圧縮比が小となる為、前記動力損失も減
少させる事ができる。

但し、真空ポンプとして使用する場合は陥没部１０内の
圧力が殆ど０の状態から圧縮される為、損失動力は非常
に小さく、これらの手段を必要としない。

以上、第１図から第１１図までに述べた本発明では雄ロ
ーター１側の作動室と吸入通路１６との連通を断続する
回転体として回転中空体６を利用したが、羽根側板３や
専用のロータリー弁を使用した実施例を第１２、１４図
に示す。

即ち第２図において（部分側面図を示した第１３図をも
参照）、羽根側板３に吸入口２１を形成すると共に羽根
側板３の背後に吸入通路２２を形成し、吐出口５内に残
留した流体が雄ロータ１側の作動室内への放出を開始す
る瞬間の近傍までには吸池通路２２と吸入口２１との連
通を遮断し、雄ローター１側の作動室と吸入通路２２と
の連通を遮断しておく様にするのである。

回転中空体６内の分離壁１３を備える必要はなく、作動
室１２内の流体は同作動室１２の容積の縮小によって圧
縮された後に吐出口５、開閉口７を介して回転中空体６
内の吐出空間Ｄへ吐出されるのである。

吸入口２１は雌ローター８の端面を通過する時に吸入口
２１を介して圧縮過程中の作動室と吸入過程中の作動室
とが連通しない様に、雌ローター８の端面により完全に
覆われる瞬間を有する形状としている。

又、第１４図においては（部分側面図を示して第１５を
も参照）、回転中空体６と一体的に回転する専用ロータ
リ弁２３を備え（このロータリ弁２３側にある羽根側板
は除去することとする）、吐出口５内の残留した流体が
雄ローター１側の作動室内への放出を開始する瞬間の近
傍までにはロータリ弁２３に形成された吸入口２６とケ
ーシングに形成された吸入口２５との連通を遮断してお
く様にするのであるしもちろん回転中空体６内に第３図
の様に分離壁１３を備える必要はない）。

２４は吸入通路である。

この場合も、吐出口５内の残留した流体が雄ローター１
側の作動室内への放出を開始する瞬間の近傍までに羽根
２により吸入口２５を閉鎖しておく様にすると、第９図
で説明した通り到達真空度を高める事ができ、更に羽根
外周部２’の遅れ端がケーシング内周面から離れる瞬間
の近傍まデに図示の如く羽根２により吸入口２５を閉鎖
しておく様にすると、一層到達真空度を高める事ができ
る。

第１２図において、線Ｃ３の先端部と線Ｃ２との間の間
隙を接近とた状態でも羽根２の羽根外周部２’とケーシ
ング内周面との間の間隙（通常では０．０５〜０．１５
ｍｍ位）に比し相対的に十分に大である様にした（通常
では２〜４ｍｍ位とするが、後に述べる水噴射式等にお
いては０．３〜０．５ｍｍ位とする）ものに相当する本
発明により一枚羽根非接触ポンプを第１６図に示す。

線Ｃ”１と線Ｃ”４との間の接近した状態での間隙、羽
根外周部２’と線Ｃ”５との間の接近した状態での間隙
、線Ｃ’２の先端部と線Ｃ’３との間の接近した状態で
の間隙については流体が自由に流通できる程度に大とす
る−通常で２〜５ｍｍ位が良い。

但し、第１６図においては吸入通路２２、吸入口２１（
２個形成した）を介して吸入した作動室１２内の流体を
容積の縮小によって密閉的に圧縮した後に吐出口５、開
閉口７を介して回転中空体６内の吐出空間Ｄへ吐出する
が、線Ｃ’３の先端部がケーシング内周面から離れる瞬
間（この直後に吐出口５と開閉口７との連通が遮断され
る）に到ると、以後は同作動室１２内に残留した流体は
線Ｃ’３の先端部と線Ｃ’２との間の間隙から陥没部１
０内へ放出され、羽根２の羽根外周部２’の遅れ端がケ
ーシング内周面から離れると、更に雄ロータ１側の作動
室内へ放出される様になっている。

この時、吐出口５内に残留した流体が雄ローター１側の
作動室内への放出を開始する瞬間の近傍までには回転体
の弁作用により（羽根側板３の弁作用により、即ち吸入
口２１と吸入通路２２との連通を遮断し）雄ローター１
側の作動室と吸入通路２２との連通を遮断とておく様に
構成されているから（通常は羽根２の羽根外周部２’が
ケーシング内周面から離れる瞬間の近傍で遮断するのが
良い）、吐出空間Ｄへ吐出の尽くされずに残留した吐出
口５内や作動室１２内の流体は吸入通路２２内へ素通り
することがなく損失もない。

線Ｃ’３の先端部がケーシング内周面から離れる瞬間の
後の作動室１２内の流体を雄ローター１側の作動室（羽
根２の遅れ側にある作動室）内へ放出するに際しては、
吐出口５をも介して放出することが望ましい。

羽根２の羽根外周部２’の進み端がケーシング内周面に
到達した時点から圧縮過程が開始される。

吐出口５内に残留した流体が雄ローター１側の作動室内
への放出を開始する瞬間の近傍まデに雄ローター１側の
作動室と吸入通路２２との連通を遮断しておく回転体と
しては第１、２、３図で説明した如く回転中空体６を利
用する事ももちろん可能である。

ところで第１６図のポンプを空気圧縮機として使用する
場合には水噴射式とする事が考えられ、この場合には線
Ｃ’３の先端部と線Ｃ’２との間の接近した状態での間
隙が常時０．３〜０．５ｍｍ程度に保たれる様にすると
、噴射された水により密封性が増し、線Ｃ’３の先端部
がケーシング内周面から離れる瞬間の後の作動室１２内
の流体は陥没部１０内へ若干漏出しながらも大部分は吐
出口５、開閉口７を介して（両者の連通遮断時期を若干
遅延させて）回転中空体６内の吐出空間Ｄへ吐出される
に到るのである。

もちろん線Ｃ’３の先端部と線Ｃ’２との間の間隙から
陥没部１０内へ漏出した流体は、雄ローター１側の作動
室内へ放出されても、回転体の弁作用により（吸入口２
１と吸入通路２２との連通が遮断）吸入通路２２内へ素
通りすることはない。

水噴射式とする場合には、液圧縮を防ぐ為、線Ｃ’２の
所定の部分に第４図の如く切欠き部１７を形成するのが
良い（線Ｃ’３の先端部がこの切欠き部１７に到達した
瞬間の直後に、吐出口５と開閉口７との連通は遮断され
る）。

第１６図に示すポンプを真空ポンプとして使用する場合
には、既に説明した様に例えば羽根外周部２’が線Ｃ”
５に密接する様にすると共に線Ｃ’３を線Ｃ’２の先端
部によって創成し、かつ線Ｃ”１と線Ｃ”４の内でいず
れか一方の線を他方の線によって創成する様にすれば、
吸入過程を行うべき作動室内へは線Ｃ’３の先端部と線
Ｃ’２との間の間隙から放出された流体が侵入しないか
ら、到達真空度を高める事ができる。

（発明の効果） 本発明は従来に比し次の様な利点である。

（イ）本発明により一枚羽根非接触ポンプでは、ロータ
ーはスクリュー型とは異なりロータ軸の回りにヘリカル
状にねじれている事がなく直歯形であり、加えて羽根は
たったの１枚である（スクリュー型では４〜５枚である
）。

従ってスクリュー型よりは遥かに製造が容易で安価とな
る。

更に第１６図の様に羽根２が陥没部１０内へ嵌り込んで
くる時、両者間の間隙を十分に大きく取れば、歯形の精
密加工は一切不要で、噛合２１には若干のガタツキが許
される為、同期歯車も高精度を必要としない。

従って、極めて製造が容易となり安価となる。

（ロ）既に述べた様に吐出空間Ｄへ吐出され尽させずに
吐出口５や作動室１２内に残留した流体他雄ローター１
側の作動室内へに放出を開始する瞬間の近傍までには雄
ローター１側の作動室と吸入通路との連通が遮断されい
てるので、吸入通路内へ素通りする損失はない。

さて本発明においては羽根２の羽根外周部２’及び羽根
内周部は各々ケーシング内周面及び固定中空体４の周囲
に広い面対面で密接しており、雌ローター外周部９もケ
ーシング内周面に広い面対面で密接している為、ルーツ
型の梯のローター先端部がケーシング内周面に線対線で
密接している場合に比し作動室１２の密閉性が良く、漏
洩損失は極めて少ない（欠円部１１を形成して、雌ロー
タ外周部９と固定中空体４とを面対面で密接させる様に
すめば一層漏洩損失は小となり、更にこれらの部分、即
ち面対面で密接している部分にラビリンス溝を成形すれ
ば、漏洩損失は極小となる）。

更には作動室１２の容積の縮小により圧縮した後に吐出
を開始する、内部圧縮機能を有しているので、内部圧縮
機能を有しないルーツ型よりは遥かに高い断熱効率を有
するものである。

かくして非接触ポンプの代表格とも言べきルーツ型より
も遥かに高い全断熱効率を有する。

（ハ）前項でも述べた如く本発明では漏洩損失が極めて
少なく、作動室１２の密閉性が極めて良い為、真空ポン
プとして使用する場合には本来的に高真空が得られるも
のである。

第１、８、９図に示す如く、線Ｃ３の先端部がケーシン
グ内周面から離れると作動室１２の密閉性は若干低下す
るが（線Ｃ２に相当する羽根側面と線Ｃ３の先端部に相
当する部分とが面対面ではなく線対線で密接する様にな
る為）、この作動室１２内から陥没部１０内へ漏出した
流体は吸入通路内へは素通りしない為、依然として高真
空が得られるのである（この場合、陥没部１０内へは、
線Ｃ３の先端部と線Ｃ２との間の間隙を介して作動室１
２内から流体が漏出したり、更には羽根外周部２、にラ
ビリンズ溝を形成する場合にはこの溝内の流体が放出さ
れるが、陥没部１０の少なくとも一部が雄ロータ１側の
作動室内へ連通する瞬間の近傍までに雄ローター１側の
作動室と吸入通路との連通が遮断されている様にする為
、吸入通路内へ素通りする事はなく、高真空が得られる
のである）。

もちろん吐出口５内から放出された流体も吸入通路内へ
素通りする事もない。

更には第９、１４図では吐出口５内から放出された流体
は吸入全容積に比し極めて僅かな容積比を有する吸入口
１４、２５内へも侵入する事がないのである。

又、第１６図に示す一枚羽根非接触ポンプを真空ポンプ
として使用する場合には、例えば羽根外周部２’が線Ｃ
”５に密接する様にすると共に線Ｃ’３を線Ｃ’２の先
端部によって創成し、かつ線Ｃ”１と線Ｃ”４との内で
いずれか一方の線が他方の線によって創成する様にする
ので、吸入過程を行うべき作動室内へは吐出空間Ｄへ吐
出の尽くされずに残留した吐出口５内や作動室１２内の
流体が素通りする事もない為、高真空が得られるのであ
る。

以上かるルーツ型よりも遥かに高真空が得られる特長を
有うるのである。

４．図面の簡単な説明 第１、２図は各々第３図のＡ−Ａ’線断面図、Ｂ−Ｂ’
線断面図、第３図は本発明による一枚羽根非接触ポンプ
の側面図、第４図は羽根の図、第５・６・７・８・９・
１２・１４・１６図は本発明により一枚羽根非接触ポン
プの各実施例を示す図、第１０図は逃し通路を有するケ
ーシングの図、第１１図は雌ローターの図、第１３図は
第１２図の部分側面図、第１５図は第１４図の部分側面
図である。

１は雄ローター、２は羽根、２’は羽根外周部、３は羽
根側板、４は固定中空体、５は吐出口、６は回転中空体
、７は開閉口、８は雌ローター、９は雌ローター外周部
、１０は陥没部、１１は欠円部、１２は作動室、１３は
分離壁、１４・１５・２１・２５・２６は吸入口、１６
・２２・２４は吸入通路、１７は切欠き部、１８は補助
吸入通路、１９は逃し通路、２０は空洞部、２３はロー
タリ弁、Ｓは吸入空間、Ｄは吐出空間、ａ・ｂは空間部
である。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転中空体の外側に固定された固定中空体の周囲
   に密接しながら前記回転中空体と一体的に回転する１枚
   の羽根を有する雄ローターと、ケーシング内周面に密接
   する雌ローター外周部及びこの雌ローター外周部から陥
   没しながら前記雄ローターの羽根が嵌り込む陥没部を有
   する雌ローターとが互いに非接触状態で周期的に互いに
   反対方向へ回転し■い、かつ前記雌ローター外周部が前
   記固定中空体に密接する様にし、更に前記雄ローターの
   羽根と雌ローターとによって挟まれた作動室に注目し、
   回転体の弁作用により吸入通路から同作動室内へ吸入さ
   れた流体が前記固定中空体に形成された吐出口及び前記
   回転中空体に形成された開閉口を介して前記回転中空体
   内の吐出空間へ吐出される様に構成したポンプであり、
   更に前記吐出口内に残留した流体が雄ローター側の作動
   室内への放出を開始する瞬間の近傍までには前記回転体
   の弁作用により前記雄ローター側の作動室と前記吸入通
   路との連通を遮断しておく様にして前記回転中空体内の
   吐出空間へ吐出し尽くされずに残留した流体を前記吸入
   通路へ素通りをさせない様にした事を特徴とする一枚羽
   根非接触ポンプ。
2. （２）雄ローターの羽根の進み側の羽根側面の少なくと
   も所定の部分を前記雌ローターの陥没部の進み側の壁面
   の先端部にある所定の部分によって創成し、雌ローター
   の陥没部の少なくとも一部が雄ローター側の作動室へ連
   通する瞬間の近傍までに回転体の弁作用により前記雄ロ
   ーター側の作動室と吸入通路との連通を遮断しておく様
   にした特許請求の範囲第１項記載の一枚羽根非接触ポン
   プ。
3. （３）吐出口内に残留した流体が雄ローター側の作動室
   内への放出を開始する瞬間の近傍までに羽根により吸入
   口を閉■しておく様にした特許請求の範囲第２項記載の
   一枚羽根非接触ポンプ。
4. （４）羽根の羽根外周部の遅れ端がケーシング内周面か
   ら離れる瞬間の近傍までに前記羽根により吸入口を閉■
   しておく様にした特許請求の範囲第３項記載の１枚羽根
   非接触ポンプ。
5. （５）雌ローターの外壁面により閉■され、雌ローター
   の陥没部により開かれて雄ローター側の作動室へ連通す
   る補助吸入通路を備える様にした特許請求の範囲第１項
   ないし第４項の何れかに記載の一枚羽根非接触ポンプ。