JPH0366731A - シルエチニルシロキサン共重合体およびその製造方法 - Google Patents
シルエチニルシロキサン共重合体およびその製造方法Info
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- JPH0366731A JPH0366731A JP2198088A JP19808890A JPH0366731A JP H0366731 A JPH0366731 A JP H0366731A JP 2198088 A JP2198088 A JP 2198088A JP 19808890 A JP19808890 A JP 19808890A JP H0366731 A JPH0366731 A JP H0366731A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/48—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
- C08G77/50—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which at least two but not all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms by carbon linkages
-
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- C08G77/42—Block-or graft-polymers containing polysiloxane sequences
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- Silicon Polymers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はポリマーに関するものである。より詳しくはシ
ルエチニル単位およびシロキサン単位からなる線状共重
合体およびその製造方法に関するものである。
ルエチニル単位およびシロキサン単位からなる線状共重
合体およびその製造方法に関するものである。
ある種のシルエチニルシロキサン共重合体は知られてお
り、1987年6月セントルイス・ミズーリにおけるシ
リコン化学に関する第8回国際シンポジウムの会報中(
A 36)においてビー・ジョーンズ(P、Jones
)による報文中に記載されている。これらは、式((C
1lz)2Sio (Cli)2SicミC〕を2ま
たは3単位有する環状共重合体であった。これらの環状
共重合体は、HBr触媒によるビス(メトキシジメチル
シリル)アセチレンの縮合により作られたものである。
り、1987年6月セントルイス・ミズーリにおけるシ
リコン化学に関する第8回国際シンポジウムの会報中(
A 36)においてビー・ジョーンズ(P、Jones
)による報文中に記載されている。これらは、式((C
1lz)2Sio (Cli)2SicミC〕を2ま
たは3単位有する環状共重合体であった。これらの環状
共重合体は、HBr触媒によるビス(メトキシジメチル
シリル)アセチレンの縮合により作られたものである。
その共重合体は、シルエチニル単位に対するシロキサン
単位の比率1/1を有するものである。
単位の比率1/1を有するものである。
アセチレン状不飽和を有する共重合体は興味ある特徴を
有するので、より多くの種類のそのような共重合体を製
造することができる方法を見いだすことがff1lしい
0例えば線状の共重合体を作ることおよびシルエチニル
単位に対するシロキサン単位の比率が変えられる共重合
体を作ることが望ましい。
有するので、より多くの種類のそのような共重合体を製
造することができる方法を見いだすことがff1lしい
0例えば線状の共重合体を作ることおよびシルエチニル
単位に対するシロキサン単位の比率が変えられる共重合
体を作ることが望ましい。
発明者等は、本発明の共重合体は環状シロキサンおよび
環状シルエチニルポリマーの塩基触媒による開環反応に
より作ることができることを見いだした。この方法では
シロキサン単位およびシルエチニル単位を有する線状お
よび環状共重合体を製造することができる。一般的に線
状および現状共重合体の混合物はこの方法により製造さ
れる。
環状シルエチニルポリマーの塩基触媒による開環反応に
より作ることができることを見いだした。この方法では
シロキサン単位およびシルエチニル単位を有する線状お
よび環状共重合体を製造することができる。一般的に線
状および現状共重合体の混合物はこの方法により製造さ
れる。
この方法はランダムまたはブロック共重合体を作ること
ができる。
ができる。
本発明によれば、式R2S i (C’EE C)単位
を少なくとも1単位および式R2S i O単位を少な
くとも1単位有するシルエチニルシロキサン共重合体の
製造方法が提供される0式中各Rは独立に水素原子、炭
素原子を16迄有する炭化水素基または置換された炭化
水素基を示し、触媒量のリチウム化合物の存在下におい
て式(R2SiO〕0の環状シロキサンおよび式(R2
S i CミC〕、の環状シルエチニルポリマーの開環
共重合を含む0式中Rは上記の如くであり、nおよびm
は少なくとも3の値の整数を示す)。
を少なくとも1単位および式R2S i O単位を少な
くとも1単位有するシルエチニルシロキサン共重合体の
製造方法が提供される0式中各Rは独立に水素原子、炭
素原子を16迄有する炭化水素基または置換された炭化
水素基を示し、触媒量のリチウム化合物の存在下におい
て式(R2SiO〕0の環状シロキサンおよび式(R2
S i CミC〕、の環状シルエチニルポリマーの開環
共重合を含む0式中Rは上記の如くであり、nおよびm
は少なくとも3の値の整数を示す)。
本発明における方法の出発試薬は公知の材料である。環
状シロキサンは長期に亘って知られており、数種類は商
業的に入手可fiとである。置換基Rは例えば水素、ア
ルキル、アリール、アルケニル、アラルキルまたはアル
カリール(alkaryl)基を用いることができる。
状シロキサンは長期に亘って知られており、数種類は商
業的に入手可fiとである。置換基Rは例えば水素、ア
ルキル、アリール、アルケニル、アラルキルまたはアル
カリール(alkaryl)基を用いることができる。
そのような置換基の例として、メチル、エチル、プロピ
ル、イソブチル、フェニル、ビニル、アリル、トリルお
よびフェニルエチルを含む。好ましくは全R基の少なく
とも80%が低級アルキルまたはアリール基であり、最
も好ましくはメチルまたはフェニルである。好ましい環
状シロキサンは、ヘキサメチルトリシロキサンである。
ル、イソブチル、フェニル、ビニル、アリル、トリルお
よびフェニルエチルを含む。好ましくは全R基の少なく
とも80%が低級アルキルまたはアリール基であり、最
も好ましくはメチルまたはフェニルである。好ましい環
状シロキサンは、ヘキサメチルトリシロキサンである。
環状シルエチニルポリマーも公知であり、例えば英国特
許出願第2,204,041号に記載されている。
許出願第2,204,041号に記載されている。
これらの材料は例えば1稲以上のジェチニルシランのリ
チウム塩と1種以上のジハロシランとの反応により作ら
れる。置換基Rおよびそれらの好ましい種類の例は、環
状シロキサン用に記載された如くである。
チウム塩と1種以上のジハロシランとの反応により作ら
れる。置換基Rおよびそれらの好ましい種類の例は、環
状シロキサン用に記載された如くである。
本発明の方法に用いられるリチウム化合物は、有機リチ
ウム化合物、リチウムシラル−ト(lithium 5
ilanolate)またはジェチニルシランのリチウ
ム塩が良い、好ましい材料としてはブチルリチウム、メ
チルリチウム、(Calls)2Si(OLi)2、M
c2S i(C”E CL i)、またはP hzS
i(CE CL i)2がある。但し式中Meおよびp
hはそれぞれメチル基およびフェニル基を示す。
ウム化合物、リチウムシラル−ト(lithium 5
ilanolate)またはジェチニルシランのリチウ
ム塩が良い、好ましい材料としてはブチルリチウム、メ
チルリチウム、(Calls)2Si(OLi)2、M
c2S i(C”E CL i)、またはP hzS
i(CE CL i)2がある。但し式中Meおよびp
hはそれぞれメチル基およびフェニル基を示す。
本発明の方法は、異なる種類の単位の比率が171に限
定されることなくかなり正確に比率を調節できるシロキ
サンおよびシルエチニル単位の共重合体を製造すること
ができるので、普通の縮合方法より有利である。選ばれ
る触媒により、反応製品は主として低分子量環状物質あ
るいは比較的高分子量の線状共重合体となる0例えばP
h2s i(C= CL i)zは環状共重合体を形
成し易いのに対して、有機リチウム化合物は線状共重合
体を形成する傾向があることが見いだされた。共重合体
の分子量は500〜50,000、典型的には2 、0
00〜6 、000ダルトン(Daltons)の範囲
である。
定されることなくかなり正確に比率を調節できるシロキ
サンおよびシルエチニル単位の共重合体を製造すること
ができるので、普通の縮合方法より有利である。選ばれ
る触媒により、反応製品は主として低分子量環状物質あ
るいは比較的高分子量の線状共重合体となる0例えばP
h2s i(C= CL i)zは環状共重合体を形
成し易いのに対して、有機リチウム化合物は線状共重合
体を形成する傾向があることが見いだされた。共重合体
の分子量は500〜50,000、典型的には2 、0
00〜6 、000ダルトン(Daltons)の範囲
である。
線状共重合体を製造する際に共重合体の分子量は、末端
ブロッキング化合物を反応混合物へ添加することにより
、成る程度調節することができる。そのような末端ブロ
ッキング化合物としては式RzSiXで示される一官能
価シラン化合物がある(式中Rは前記の如くであり、X
はハロゲンまたはヒドロキシル基である)、そのような
末端ブロッキング化合物の例としては、トリメチルクロ
ロシラン、フエニルジメチルクロロシラン、トリメチル
シラノールおよびビニルジメチルクロロシランを含む。
ブロッキング化合物を反応混合物へ添加することにより
、成る程度調節することができる。そのような末端ブロ
ッキング化合物としては式RzSiXで示される一官能
価シラン化合物がある(式中Rは前記の如くであり、X
はハロゲンまたはヒドロキシル基である)、そのような
末端ブロッキング化合物の例としては、トリメチルクロ
ロシラン、フエニルジメチルクロロシラン、トリメチル
シラノールおよびビニルジメチルクロロシランを含む。
そのようなシラン、特にXがハロゲンであるシランは、
触媒活性を急に停止させるために反応末期に加えられる
1本発明に用いられるその他の末端ブロッキング化合物
としては、式R3S i(OS +(R>2)aRで表
される短鎖シロキサンを含む(式中aは1〜5の値を有
する)、これらの短鎖シロキサンは、共重合体の分子量
を管理するために反応の始めに試薬と共に加えることが
好ましい、しかしながら、環状シロキサンに対する環状
シルエチニルポリマーの比率が高い場合には、線状共重
合体が、 S i R2R’単位で末端ブロックされる
可能性が高い(式中R′は式−C; CHを有する)。
触媒活性を急に停止させるために反応末期に加えられる
1本発明に用いられるその他の末端ブロッキング化合物
としては、式R3S i(OS +(R>2)aRで表
される短鎖シロキサンを含む(式中aは1〜5の値を有
する)、これらの短鎖シロキサンは、共重合体の分子量
を管理するために反応の始めに試薬と共に加えることが
好ましい、しかしながら、環状シロキサンに対する環状
シルエチニルポリマーの比率が高い場合には、線状共重
合体が、 S i R2R’単位で末端ブロックされる
可能性が高い(式中R′は式−C; CHを有する)。
反応は溶媒の存在下で行うことができる。溶媒は出発化
合物の何れに対しても溶媒であり、好ましくはエーテル
または炭化水素溶媒、例えばジエチルエーテル、テトラ
ヒドロフラン、ヘキセン、トルエンまたはキシレンが良
い1反応は室温で行われるのが好ましいが、より高い温
度で行うこともできる。
合物の何れに対しても溶媒であり、好ましくはエーテル
または炭化水素溶媒、例えばジエチルエーテル、テトラ
ヒドロフラン、ヘキセン、トルエンまたはキシレンが良
い1反応は室温で行われるのが好ましいが、より高い温
度で行うこともできる。
本発明方法の反応生成物は、線状または環状の共重合体
である6本発明の方法により製造される全てのR基がメ
チル基である環状共重合体は、通常1,000迄の分子
量を有する共重合体である。
である6本発明の方法により製造される全てのR基がメ
チル基である環状共重合体は、通常1,000迄の分子
量を有する共重合体である。
本発明方法により製造される共重合体は、液体から固体
物質に及ぶことができる。
物質に及ぶことができる。
線状のシルエチニルシロキサン共重合体は新規なもので
あり、本発明の範囲に包含されるものである。
あり、本発明の範囲に包含されるものである。
本発明の他の局面によれば、次式のようなシルエチニル
シロキサン共重合体が得られる。
シロキサン共重合体が得られる。
ここに、それぞれのRは独立に水素原子、炭化水素基、
炭素数16迄の置換炭化水素基、R′は・−cミCH基
またはRであり、aおよびbは同じでもまたは異なって
もよく、少なくとも1の値の整数である。
炭素数16迄の置換炭化水素基、R′は・−cミCH基
またはRであり、aおよびbは同じでもまたは異なって
もよく、少なくとも1の値の整数である。
本発明の共重合体は低分子量の物質または比較的高い分
子量の物質であり、その中にシロキサン単位およびシル
エチニル単位が交互にまたはランダムに配列されている
。
子量の物質であり、その中にシロキサン単位およびシル
エチニル単位が交互にまたはランダムに配列されている
。
共重合体の分子量は500〜50,000、典型的には
1,000〜10,000ダルトンの範囲である。共重
合体の置換基Rは、水素、アルキル、アリール、アルケ
ニル、アラルキルまたはアルカリールである。
1,000〜10,000ダルトンの範囲である。共重
合体の置換基Rは、水素、アルキル、アリール、アルケ
ニル、アラルキルまたはアルカリールである。
それらの置換基の例としては、メチル、エチル、プロピ
ル、イソブチル、フェニル、ビニル、アリル、トリルお
よびフェニルエチルである。好ましくは、少なくとも全
てのRの80%が低級アルキルまたはアリール基であり
、最も好ましいのは、メチルまたはフェニルである0本
発明の共重合体の末端停止単位は、一般式−S r R
2R’の基のいずれかでよい(ここに、R′は好ましく
はR基である)、末端基はトリメチルシリル、エチルジ
メチルシリル、フエニルジメチルシリル、メチルフェニ
ルエチルシリルおよびビニルジメチルシリル基である。
ル、イソブチル、フェニル、ビニル、アリル、トリルお
よびフェニルエチルである。好ましくは、少なくとも全
てのRの80%が低級アルキルまたはアリール基であり
、最も好ましいのは、メチルまたはフェニルである0本
発明の共重合体の末端停止単位は、一般式−S r R
2R’の基のいずれかでよい(ここに、R′は好ましく
はR基である)、末端基はトリメチルシリル、エチルジ
メチルシリル、フエニルジメチルシリル、メチルフェニ
ルエチルシリルおよびビニルジメチルシリル基である。
末端停止単位はシロキサン結合またはシルエチニル結合
(SiC=C3i)を介して鎖に結合していてもよい。
(SiC=C3i)を介して鎖に結合していてもよい。
シロキサン鎖にアセチレン基が存在するので、本発明の
共重合体および本発明の方法で得られた共重合体は、高
いTFlを有し且つ熱安定性を維持することができる、
不飽和結合が存在するので、この共重合体は中間体、例
えばシリコンに結合した水素を有する化合物との付加反
応などのために有用である。
共重合体および本発明の方法で得られた共重合体は、高
いTFlを有し且つ熱安定性を維持することができる、
不飽和結合が存在するので、この共重合体は中間体、例
えばシリコンに結合した水素を有する化合物との付加反
応などのために有用である。
以下に、実施例で本発明を説明するが、特記しないかぎ
り部および%は重量により、Meはメチルを示す。
り部および%は重量により、Meはメチルを示す。
夾m
0.4g<5.4モル)のヘキサメチルトリシロキサン
および1.35g(16,5ミリモル)の(MezS
iC二〇)n (ここに、nは平均5:iたは6であ
る)をフラスコに入れ、窒素ガスでパージした。50m
1のテトラヒドロフランを加え、撹拌しながら(CgH
5Lzs i(CE CL i)を加え、反応物全量に
基づいて触媒量が1モル%の濃度になるようにした。こ
の混合物を室温下で16時間撹拌し、その後1−のトリ
メデルクロロシランを加えて反応を停止させた。この溶
液を炭酸ナトリウムで中和したのち濾過した。P液から
テトラヒドロフランを減圧下に除去し、褐色油状物を得
た。
および1.35g(16,5ミリモル)の(MezS
iC二〇)n (ここに、nは平均5:iたは6であ
る)をフラスコに入れ、窒素ガスでパージした。50m
1のテトラヒドロフランを加え、撹拌しながら(CgH
5Lzs i(CE CL i)を加え、反応物全量に
基づいて触媒量が1モル%の濃度になるようにした。こ
の混合物を室温下で16時間撹拌し、その後1−のトリ
メデルクロロシランを加えて反応を停止させた。この溶
液を炭酸ナトリウムで中和したのち濾過した。P液から
テトラヒドロフランを減圧下に除去し、褐色油状物を得
た。
この生成物を再びジクロロメタン中に溶解し、クロマト
グラフカラムを通過させることによりLiClを除去し
た。このカラム通過液から溶媒を蒸発させ淡褐色のワッ
クス状固体が得られた。これは赤外吸収スペクトルおよ
びCI′、C”N M Rスペクトルで分析した結果、
線状および環状共重合体の混合物であり、ジメチルシル
エチニル単位に対するジメチルシロキサン単位の比は約
1/1であり、これらの単位は共重合体中にランダムに
分散していた。
グラフカラムを通過させることによりLiClを除去し
た。このカラム通過液から溶媒を蒸発させ淡褐色のワッ
クス状固体が得られた。これは赤外吸収スペクトルおよ
びCI′、C”N M Rスペクトルで分析した結果、
線状および環状共重合体の混合物であり、ジメチルシル
エチニル単位に対するジメチルシロキサン単位の比は約
1/1であり、これらの単位は共重合体中にランダムに
分散していた。
尖A1L」−
1,11gのヘキサメチルトリシロキサンおよび1.2
5i+の(M e2 S iCa C)nを用いた以外
は、実施例1と同様の操作を繰り返した。最終生成物は
、線状および環状共重合体の混合物であり、ジメチルシ
ルエチニル単位に対するジメチルシロキサン単位の比は
約3/1であり、これらの単位は共重合体の中にランダ
ムに分散していた。
5i+の(M e2 S iCa C)nを用いた以外
は、実施例1と同様の操作を繰り返した。最終生成物は
、線状および環状共重合体の混合物であり、ジメチルシ
ルエチニル単位に対するジメチルシロキサン単位の比は
約3/1であり、これらの単位は共重合体の中にランダ
ムに分散していた。
実4L倒−」−
0、,28gのヘキサメチルトリシロキサンおよび1.
04gの<MezS+CミC)nを用いた以外は、実施
例1ヒ同様の操作を繰り返した。f&終生成物は、線状
および環状共重合体の混合物であり、ジメチルシルエチ
ニル単位に対するジメチルシロキサン単位の比は約1/
3であり、これらの単位は共重合体中にランダムに分散
していた。
04gの<MezS+CミC)nを用いた以外は、実施
例1ヒ同様の操作を繰り返した。f&終生成物は、線状
および環状共重合体の混合物であり、ジメチルシルエチ
ニル単位に対するジメチルシロキサン単位の比は約1/
3であり、これらの単位は共重合体中にランダムに分散
していた。
手続補正書
1、事件の表示
平底 2年特許願第198088号
2、発明の名称
シルエチニルシロキサン共重き体およびその製造方法3
、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 ダウ・コーニング・リミテッド4、代理人 〒100 (1)明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 明細書の発明の詳細な説明の欄を、次のとおり補正する
。
、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名 称 ダウ・コーニング・リミテッド4、代理人 〒100 (1)明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 明細書の発明の詳細な説明の欄を、次のとおり補正する
。
第8頁、末行、「常1,000迄の分子量を有する共重
合体である。」を、「常1分子中に10個迄のシリコン
原子があり、1,000迄の分子量を有する共重合体で
ある。」とする。
合体である。」を、「常1分子中に10個迄のシリコン
原子があり、1,000迄の分子量を有する共重合体で
ある。」とする。
Claims (5)
- (1)触媒量のリチウム化合物の存在下において、式〔
R_2SiO〕_nの環状シロキサンおよび式〔R_2
SiC≡C〕_mの環状シルエチニルポリマー(式中各
Rはそれぞれ独立に水素原子、炭素原子数16迄の炭化
水素基または炭素原子数16迄の置換された炭化水素基
を示し、nおよびmは少なくとも3の値を有する整数を
示す) の開環共重合を含むことを特徴とする、一般式R_2S
iC≡Cの単位を少なくとも1単位および一般式R_2
SiOの単位を少なくとも1単位有するシルエチニルシ
ロキサン共重合体の製造方法。 - (2)環状シロキサンおよび環状シルエチニルポリマー
中の全R基の少なくとも80%が低級アルキル基または
アリール基であることを特徴とする、請求項1に記載の
方法。 - (3)リチウム化合物がブチルリチウム、メチルリチウ
ム、(C_6H_5)_2Si(OLi)_2、(CH
_3)_2Si(C≡CLi)または(C_6H_5)
_2Si(C≡CLi)_2より選ばれることを特徴と
する、請求項1または2に記載の方法。 - (4)一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ を有することを特徴とするシルエチニルシロキサン共重
合体 (式中各Rは独立に水素原子、炭素数16迄の炭化水素
原子または炭素数16迄の置換された炭化水素原子を示
し、R′は−C≡CH基またはR基を示し、aおよびb
は独立に少なくとも1の値を有する整数である)。 - (5)全R基の少なくとも80%がメチルまたはフェニ
ル基である請求項4に記載のシルエチニルシロキサン共
重合体。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB8917329.8 | 1989-07-28 | ||
GB898917329A GB8917329D0 (en) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | Silethynylsiloxane copolymers and method of making them |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0366731A true JPH0366731A (ja) | 1991-03-22 |
JP2947596B2 JP2947596B2 (ja) | 1999-09-13 |
Family
ID=10660806
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2198088A Expired - Lifetime JP2947596B2 (ja) | 1989-07-28 | 1990-07-27 | シルエチニルシロキサン共重合体およびその製造方法 |
Country Status (6)
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---|---|
US (1) | US5102968A (ja) |
JP (1) | JP2947596B2 (ja) |
CA (1) | CA2021014C (ja) |
DE (1) | DE4023931A1 (ja) |
FR (1) | FR2650284B1 (ja) |
GB (2) | GB8917329D0 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001329218A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-27 | Jsr Corp | シリコーン含有組成物および膜形成用組成物 |
JP2020158775A (ja) * | 2017-06-14 | 2020-10-01 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | ケイ素ベースのハードマスク |
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---|---|---|---|---|
GB9009410D0 (en) * | 1990-04-26 | 1990-06-20 | Dow Corning | Method of making silethynyl-siloxane copolymers |
JPH05214106A (ja) * | 1992-01-31 | 1993-08-24 | Nippon Dow Corning Kk | ポリ(シルエチニレンジシロキサン)及びその製造方法 |
US5874514A (en) * | 1995-05-09 | 1999-02-23 | Us Navy | Siloxane unsaturated hydrocarbon based polymers |
US5563181A (en) * | 1995-05-09 | 1996-10-08 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Siloxane unsaturated hydrocarbon based thermosetting polymers |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2671100A (en) * | 1952-03-15 | 1954-03-02 | Gen Electric | Hydrolyzable organosilylethynes |
GB740991A (en) * | 1952-03-15 | 1955-11-23 | Gen Electric | Improvements in and relating to hydrolyzable organosilylethynes |
GB1314531A (en) * | 1969-07-30 | 1973-04-26 | Dow Corning Ltd | Organosilicon compounds |
US3974120A (en) * | 1975-05-05 | 1976-08-10 | General Electric Company | Fluorosilicone copolymers and process for the preparation thereof |
DE7527323U (de) * | 1975-08-29 | 1976-05-13 | Plentz, Rudolf, 6534 Stromberg | Kolben fuer scheibenbremsen und bremsen allgemein |
US4585669A (en) * | 1984-09-28 | 1986-04-29 | General Electric Company | Novel dual cure silicone compositions |
EP0206780B1 (en) * | 1985-06-20 | 1992-02-26 | Tosoh Corporation | Zirconia sintered body of improved light transmittance |
GB8709296D0 (en) * | 1987-04-16 | 1987-05-20 | Dow Corning Ltd | Silethynyl polymers |
JPS6411160A (en) * | 1987-07-03 | 1989-01-13 | Toshiba Silicone | Organopolysiloxane composition |
US4800221A (en) * | 1987-08-25 | 1989-01-24 | Dow Corning Corporation | Silicon carbide preceramic polymers |
US4923949A (en) * | 1988-08-03 | 1990-05-08 | Kanegafuchi Chemical Industry Co., Ltd. | Ethynylene-disilanylene copolymers and method of preparing same |
-
1989
- 1989-07-28 GB GB898917329A patent/GB8917329D0/en active Pending
-
1990
- 1990-07-11 US US07/550,913 patent/US5102968A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-07-12 CA CA002021014A patent/CA2021014C/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-07-23 GB GB9016083A patent/GB2234517B/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-07-26 FR FR9009565A patent/FR2650284B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1990-07-27 DE DE4023931A patent/DE4023931A1/de not_active Withdrawn
- 1990-07-27 JP JP2198088A patent/JP2947596B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001329218A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-27 | Jsr Corp | シリコーン含有組成物および膜形成用組成物 |
JP2020158775A (ja) * | 2017-06-14 | 2020-10-01 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | ケイ素ベースのハードマスク |
JP2022084838A (ja) * | 2017-06-14 | 2022-06-07 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシー | ケイ素ベースのハードマスク |
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---|---|
JP2947596B2 (ja) | 1999-09-13 |
GB2234517B (en) | 1992-12-09 |
GB2234517A (en) | 1991-02-06 |
FR2650284B1 (fr) | 1994-01-28 |
CA2021014C (en) | 1998-08-25 |
FR2650284A1 (fr) | 1991-02-01 |
DE4023931A1 (de) | 1991-02-07 |
GB9016083D0 (en) | 1990-09-05 |
US5102968A (en) | 1992-04-07 |
CA2021014A1 (en) | 1991-01-29 |
GB8917329D0 (en) | 1989-09-13 |
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