JPH0366146U - - Google Patents
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- JPH0366146U JPH0366146U JP12729989U JP12729989U JPH0366146U JP H0366146 U JPH0366146 U JP H0366146U JP 12729989 U JP12729989 U JP 12729989U JP 12729989 U JP12729989 U JP 12729989U JP H0366146 U JPH0366146 U JP H0366146U
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- JP
- Japan
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- inductively coupled
- coupled plasma
- frequency inductively
- torch
- mass spectrometer
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
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- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の要部裁断構成斜視図、
第２図は高周波誘導結合プラズマ質量分析計の全
体的な構成説明図、第３図は従来例の要部裁断構
成斜視図である。 １……プラズマトーチ、１′……トーチボツク
ス、３……アルゴンガス供給源、７……高周波誘
導結合プラズマ、８……ノズル、９……スキマー
、１６……マスフイルタ、２０……信号処理部、
２１……スプレーチヤンバー、２２……ブラケツ
ト、２３……金属片、２４……固定台。
第２図は高周波誘導結合プラズマ質量分析計の全
体的な構成説明図、第３図は従来例の要部裁断構
成斜視図である。 １……プラズマトーチ、１′……トーチボツク
ス、３……アルゴンガス供給源、７……高周波誘
導結合プラズマ、８……ノズル、９……スキマー
、１６……マスフイルタ、２０……信号処理部、
２１……スプレーチヤンバー、２２……ブラケツ
ト、２３……金属片、２４……固定台。
Claims (1)
- 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起さ
せ生じたイオンをノズルとスキマーからなるイン
ターフエイスを介して質量分析計検出器に導いて
検出することにより前記試料中の被測定元素を分
析する分析計において、前記高周波誘導結合プラ
ズマを生じさせるプラズマトーチが収容されてい
るトーチボツクス内に先端部が鋭角に形成された
金属片を設け、該金属片をアース電位に保つて前
記トーチボツクス内で生ずる放電を導くことを特
徴とする高周波誘導結合プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127299U JPH0644009Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127299U JPH0644009Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0366146U true JPH0366146U (ja) | 1991-06-27 |
| JPH0644009Y2 JPH0644009Y2 (ja) | 1994-11-14 |
Family
ID=31675059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989127299U Expired - Lifetime JPH0644009Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0644009Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1989127299U patent/JPH0644009Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0644009Y2 (ja) | 1994-11-14 |
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