JPS6436964U - - Google Patents

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JPS6436964U
JPS6436964U JP13262587U JP13262587U JPS6436964U JP S6436964 U JPS6436964 U JP S6436964U JP 13262587 U JP13262587 U JP 13262587U JP 13262587 U JP13262587 U JP 13262587U JP S6436964 U JPS6436964 U JP S6436964U
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JP
Japan
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inductively coupled
frequency inductively
sample
coupled plasma
plasma torch
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JP13262587U
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  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案実施例の構成説明図、第２図は
従来例の構成説明図である。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、４ａ……レーザ光源、４ｄ……試料台、５
……試料、７……高周波誘導結合プラズマ、８…
…ノズル、９……スキマー、１１……フオアチヤ
ンバー、１３……センターチヤンバー、１６……
マスフイルタ、１７……リアチヤンバー、２０…
…信号処理部、２１……セパレータ、２１ａ……
セパレータの入口、２１ｂ……セパレータの排出
口、２１ｃ……セパレータの出口、２１ｄ……ボ
ールジヨイント。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励
    起し生じたイオンを真空中に導入しイオン光学系
    を通して質量分析計検出器に導いて検出すること
    により前記試料中の被測定元素を分析する分析計
    において、前記高周波誘導結合プラズマを生じさ
    せるプラズマトーチと、レーザ光源からのレーザ
    光を試料に照射して該試料を気化させ且つ該気化
    ののち固化して生ずる大粒の粒子を分離して除去
    すると共に均一な微粒子だけを前記プラズマトー
    チへ導くセパレータとを具備することを特徴とす
    る高周波誘導結合プラズマ質量分析計。 (2) 前記プラズマトーチは、最外室、外室、及
    び内室を有する三重管構造のプラズマトーチでな
    る実用新案登録請求範囲第(1)項記載の高周波誘
    導結合プラズマ質量分析計。
JP13262587U 1987-08-31 1987-08-31 Pending JPS6436964U (ja)

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JP13262587U JPS6436964U (ja) 1987-08-31 1987-08-31

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JPS6436964U true JPS6436964U (ja) 1989-03-06

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JP13262587U Pending JPS6436964U (ja) 1987-08-31 1987-08-31

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54162597A (en) * 1978-06-14 1979-12-24 Hitachi Ltd Laser probe induction coupled plasma emission analyzing apparatus
JPS6148100A (ja) * 1984-08-15 1986-03-08 シヨウワサ−ビス株式会社 在車表示システム

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54162597A (en) * 1978-06-14 1979-12-24 Hitachi Ltd Laser probe induction coupled plasma emission analyzing apparatus
JPS6148100A (ja) * 1984-08-15 1986-03-08 シヨウワサ−ビス株式会社 在車表示システム

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