JP2956164B2 - 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析計Info
- Publication number
- JP2956164B2 JP2956164B2 JP2214093A JP21409390A JP2956164B2 JP 2956164 B2 JP2956164 B2 JP 2956164B2 JP 2214093 A JP2214093 A JP 2214093A JP 21409390 A JP21409390 A JP 21409390A JP 2956164 B2 JP2956164 B2 JP 2956164B2
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- nebulizer
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- mass spectrometer
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、高周波誘導結合プラズマ質量分析計に関
し、更に詳しくは、サンプル導入部の操作性を改善した
高周波誘導結合プラズマ質量分析計に関する。
し、更に詳しくは、サンプル導入部の操作性を改善した
高周波誘導結合プラズマ質量分析計に関する。
＜従来の技術＞ 高周波誘導結合プラズマ質量分析計は、高周波誘導結
合プラズマを用いて試料を励起させ、生じたイオンをノ
ズルとスキマーからなるインターフェイスを介して質量
分析計に導いて電気的に検出し該イオン量を精密に測定
することにより、試料中の被測定元素を高精度に分析す
るように構成されている。第２図は、このような高周波
誘導結合プラズマ質量分析計の従来例構成説明図であ
る。この図において、プラズマトーチ１の外側管1bと最
外側管1cにはガス調節器２を介してアルゴンガス供給源
３からアルゴンガスが供給され、内側管1aには試料槽４
内の試料がネブライザ５で霧化されてのちアルゴンガス
によって搬入されるようになっている。また、プラズマ
トーチ１に巻回された高周波誘導コイル６には高周波電
源10によって高周波電流が流され、該コイル６の周囲に
高周波磁界（図示せず）が形成されている。
合プラズマを用いて試料を励起させ、生じたイオンをノ
ズルとスキマーからなるインターフェイスを介して質量
分析計に導いて電気的に検出し該イオン量を精密に測定
することにより、試料中の被測定元素を高精度に分析す
るように構成されている。第２図は、このような高周波
誘導結合プラズマ質量分析計の従来例構成説明図であ
る。この図において、プラズマトーチ１の外側管1bと最
外側管1cにはガス調節器２を介してアルゴンガス供給源
３からアルゴンガスが供給され、内側管1aには試料槽４
内の試料がネブライザ５で霧化されてのちアルゴンガス
によって搬入されるようになっている。また、プラズマ
トーチ１に巻回された高周波誘導コイル６には高周波電
源10によって高周波電流が流され、該コイル６の周囲に
高周波磁界（図示せず）が形成されている。
一方、ノズル８とスキマー９に挟まれたフォアチャン
バー11内は、真空ポンプ12によって例えば1Torr.に減圧
されている。また、センターチャンバー13内にはイオン
レンズ系14a,14bが設けられると共に、該センターチャ
ンバー13の内部は第１油拡散ポンプ15によって例えば10
-4Torr.に減圧され、マスフィルタ（例えば四重極マス
フィルタ）16を収容しているリアチャンバー17内は第２
油拡散ポンプ18によって例えば10-5Torr.に減圧されて
いる。
バー11内は、真空ポンプ12によって例えば1Torr.に減圧
されている。また、センターチャンバー13内にはイオン
レンズ系14a,14bが設けられると共に、該センターチャ
ンバー13の内部は第１油拡散ポンプ15によって例えば10
-4Torr.に減圧され、マスフィルタ（例えば四重極マス
フィルタ）16を収容しているリアチャンバー17内は第２
油拡散ポンプ18によって例えば10-5Torr.に減圧されて
いる。
この状態で上記高周波磁界の近傍でアルゴンガス中に
電子かイオンが植え付けられると、該高周波磁界の作用
によって瞬時に高周波誘導結合プラズマ７が生ずる。該
プラズマ７内のイオンは、ノズル８やスキマー９を経由
してのちイオンレンズ系14a,14bを通って収束される。
ここで、イオンレンズ系14a,14bは、高周波誘導結合プ
ラズマ７からの光を遮断しイオンだけを通過させる例え
ばダブル四極子レンズが用いられており、該イオンレン
ズ系を通過したイオンは、マスフィルタ16を通り二次電
子増倍管19に導かれて検出され、該検出信号が信号処理
部20に送出されて演算・処理されることによって前記試
料中の被測定元素分析値が求められるようになってい
る。
電子かイオンが植え付けられると、該高周波磁界の作用
によって瞬時に高周波誘導結合プラズマ７が生ずる。該
プラズマ７内のイオンは、ノズル８やスキマー９を経由
してのちイオンレンズ系14a,14bを通って収束される。
ここで、イオンレンズ系14a,14bは、高周波誘導結合プ
ラズマ７からの光を遮断しイオンだけを通過させる例え
ばダブル四極子レンズが用いられており、該イオンレン
ズ系を通過したイオンは、マスフィルタ16を通り二次電
子増倍管19に導かれて検出され、該検出信号が信号処理
部20に送出されて演算・処理されることによって前記試
料中の被測定元素分析値が求められるようになってい
る。
また、第３図は高周波誘導結合プラズマ質量分析計の
サンプル導入部の一部たるネブライザ５の構成断面図で
あり、図中、４は試料槽、51は外管、52は内管、53は接
続管、54はシリコーンチューブ、55は接続部、56はガス
導入管、57はサンプルチューブである。このような要部
構成からなる従来例において、サンプルチューブ57の接
続は、接続管53の内側にシリコーンチューブ54を挿入
し、このシリコーンチューブ54の内側にサンプルチュー
ブ57を挿入することによって行われていた。
サンプル導入部の一部たるネブライザ５の構成断面図で
あり、図中、４は試料槽、51は外管、52は内管、53は接
続管、54はシリコーンチューブ、55は接続部、56はガス
導入管、57はサンプルチューブである。このような要部
構成からなる従来例において、サンプルチューブ57の接
続は、接続管53の内側にシリコーンチューブ54を挿入
し、このシリコーンチューブ54の内側にサンプルチュー
ブ57を挿入することによって行われていた。
＜発明が解決しようとする問題点＞ 然しながら、このような従来例においては、高濃度の
試料をネブライザに供給してのちサンプルチューブを交
換したりネブライザを洗浄したりするような場合、交換
作業や洗浄作業が非常に繁雑になるという欠点があっ
た。
試料をネブライザに供給してのちサンプルチューブを交
換したりネブライザを洗浄したりするような場合、交換
作業や洗浄作業が非常に繁雑になるという欠点があっ
た。
本発明は、かかる従来例の欠点に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、高濃度の試料をネブライザに供給
してのちサンプルチューブを交換したりネブライザを洗
浄したりするような場合であっても、ネブライザの交換
作業や洗浄作業が容易に行なえるような高周波誘導結合
プラズマ質量分析計を提供することにある。
であり、その目的は、高濃度の試料をネブライザに供給
してのちサンプルチューブを交換したりネブライザを洗
浄したりするような場合であっても、ネブライザの交換
作業や洗浄作業が容易に行なえるような高周波誘導結合
プラズマ質量分析計を提供することにある。
＜問題点を解決するための手段＞ このような目的を達成するために、本発明は、 ネブライザで霧化した試料をプラズマトーチに導いて
励起し、励起した試料を質量分析計によって分析する高
周波誘導結合プラズマ質量分析計において、内部にＯリ
ングを有していて、前記試料を前記ネブライザに搬送す
るサンプルチューブが前記Ｏリングの中心を貫通するよ
うに設けられた第１の袋ナットと、内部にＯリングを有
していて、前記ネブライザのネブライザ接続部先端が前
記Ｏリングの中心を貫通するように設けられた第２の袋
ナットと、一端に前記第１の袋ナットがＯリングを介し
て絞め込まれ、他端に前記第２の袋ナットがＯリングを
介して絞め込まれるようになっていて、前記サンプルチ
ューブと前記ネブライザ接続部先端とを接続するコネク
タボディを具備し、このコネクタボディの前記ネブライ
ザ接続部先端が挿入される側の孔は前記サンプルチュー
ブが挿入される孔より大きく形成されており、かつ、前
記ネブライザ接続部先端の内径は前記サンプルチューブ
の外径より大きく形成されていることを特徴としてい
る。
励起し、励起した試料を質量分析計によって分析する高
周波誘導結合プラズマ質量分析計において、内部にＯリ
ングを有していて、前記試料を前記ネブライザに搬送す
るサンプルチューブが前記Ｏリングの中心を貫通するよ
うに設けられた第１の袋ナットと、内部にＯリングを有
していて、前記ネブライザのネブライザ接続部先端が前
記Ｏリングの中心を貫通するように設けられた第２の袋
ナットと、一端に前記第１の袋ナットがＯリングを介し
て絞め込まれ、他端に前記第２の袋ナットがＯリングを
介して絞め込まれるようになっていて、前記サンプルチ
ューブと前記ネブライザ接続部先端とを接続するコネク
タボディを具備し、このコネクタボディの前記ネブライ
ザ接続部先端が挿入される側の孔は前記サンプルチュー
ブが挿入される孔より大きく形成されており、かつ、前
記ネブライザ接続部先端の内径は前記サンプルチューブ
の外径より大きく形成されていることを特徴としてい
る。
＜実施例＞ 以下、本発明について図を用いて詳細に説明する。第
１図は本発明実施例の要部を示す要部説明図であり、図
中、第３図と同一記号は同一意味をもたせて使用しここ
での重複説明は省略する。また、21はネブライザ５に装
着されているネブライザ接続部先端、22,26は袋ナッ
ト、23,25はＯリング、24はコネクタボディである。
１図は本発明実施例の要部を示す要部説明図であり、図
中、第３図と同一記号は同一意味をもたせて使用しここ
での重複説明は省略する。また、21はネブライザ５に装
着されているネブライザ接続部先端、22,26は袋ナッ
ト、23,25はＯリング、24はコネクタボディである。
このような構成からなる本発明実施例の要部におい
て、サンプルチューブ57の装着は次のようにして行われ
る。即ち、最初に、ネブライザ接続部先端21に袋ナット
22のＯリング23を通し、コネクタボディ24に固定する。
次に、サンプルチューブ57に袋ナット26のＯリング25を
通し、コネクタボディ24に固定する。このとき、サンプ
ルチューブ57は分析時のコンタミネーション（試料汚
染）を防止するため、できるだけ深く差込んでおく。最
後に、袋ナット22,26をコネクタボディ24に増し締めす
る。
て、サンプルチューブ57の装着は次のようにして行われ
る。即ち、最初に、ネブライザ接続部先端21に袋ナット
22のＯリング23を通し、コネクタボディ24に固定する。
次に、サンプルチューブ57に袋ナット26のＯリング25を
通し、コネクタボディ24に固定する。このとき、サンプ
ルチューブ57は分析時のコンタミネーション（試料汚
染）を防止するため、できるだけ深く差込んでおく。最
後に、袋ナット22,26をコネクタボディ24に増し締めす
る。
また、ネブライザ５の洗浄を行なう場合には次のよう
にして行なう。即ち、袋ナット22を緩め、Ｏリング23と
袋ナット22を外すと、ネブライザ５が単体となる。この
状態で、ネブライザ５を洗浄する。このようにすること
により、洗浄作業が容易に行なえるようになる。
にして行なう。即ち、袋ナット22を緩め、Ｏリング23と
袋ナット22を外すと、ネブライザ５が単体となる。この
状態で、ネブライザ５を洗浄する。このようにすること
により、洗浄作業が容易に行なえるようになる。
更に、サンプルチューブ57の交換は次のようにして行
われる。即ち、最初に、袋ナット22を緩め、Ｏリング25
と袋ナット26を外す。次に。サンプルチューブを新品と
交換する。その後、交換した新しいサンプルチューブ57
に袋ナット26とＯリング25を通し、コネクタボディ24に
固定する。このとき、サンプルチューブ57は分析時のコ
ンタミネーション（試料汚染）を防止するため、できる
だけ深く差込んでおく。最後に、袋ナット26をコネクタ
ディ24に増し締めする。
われる。即ち、最初に、袋ナット22を緩め、Ｏリング25
と袋ナット26を外す。次に。サンプルチューブを新品と
交換する。その後、交換した新しいサンプルチューブ57
に袋ナット26とＯリング25を通し、コネクタボディ24に
固定する。このとき、サンプルチューブ57は分析時のコ
ンタミネーション（試料汚染）を防止するため、できる
だけ深く差込んでおく。最後に、袋ナット26をコネクタ
ディ24に増し締めする。
＜発明の効果＞ 以上詳しく説明したような本発明は、ネブライザで霧
化した試料をプラズマトーチに導いて励起し、励起した
試料を質量分析計によって分析する高周波誘導結合プラ
ズマ質量分析計において、内部にＯリングを有してい
て、前記試料を前記ネブライザに搬送するサンプルチュ
ープが前記Ｏリングの中心を貫通するように設けられた
第１の袋ナットと、内部にＯリングを有していて、前記
ネブライザのネブライザ接続部先端が前記Ｏリングの中
心を貫通するように設けられた第２の袋ナットと、一端
に前記第１の袋ナットがＯリングを介して絞め込まれ、
他端に前記第２の袋ナットがＯリングを介して絞め込ま
れるようになっていて、前記サンプルチューブと前記ネ
ブライザ接続部先端とを接続するコネクタボディを具備
し、このコネクタボディの前記ネブライザ接続部先端が
挿入される側の孔は前記サンプルチューブが挿入される
孔より大きく形成されており、かつ、前記ネブライザ接
続部先端の内径は前記サンプルチューブの外径より大き
く形成されている。
化した試料をプラズマトーチに導いて励起し、励起した
試料を質量分析計によって分析する高周波誘導結合プラ
ズマ質量分析計において、内部にＯリングを有してい
て、前記試料を前記ネブライザに搬送するサンプルチュ
ープが前記Ｏリングの中心を貫通するように設けられた
第１の袋ナットと、内部にＯリングを有していて、前記
ネブライザのネブライザ接続部先端が前記Ｏリングの中
心を貫通するように設けられた第２の袋ナットと、一端
に前記第１の袋ナットがＯリングを介して絞め込まれ、
他端に前記第２の袋ナットがＯリングを介して絞め込ま
れるようになっていて、前記サンプルチューブと前記ネ
ブライザ接続部先端とを接続するコネクタボディを具備
し、このコネクタボディの前記ネブライザ接続部先端が
挿入される側の孔は前記サンプルチューブが挿入される
孔より大きく形成されており、かつ、前記ネブライザ接
続部先端の内径は前記サンプルチューブの外径より大き
く形成されている。
このため、サンプルチューブの相対的差し込み位置が
自由に調節可能となり、コネクタ内部やネブライザ接続
部先端に試料が滞留することがなく試料の交換を迅速に
行うことができる。更に、ネブライザの接続部が簡単に
着脱でき、ネブライザの洗浄やサンプルチューブの交換
が前記従来例に比較して極めて容易になるという利点が
ある。
自由に調節可能となり、コネクタ内部やネブライザ接続
部先端に試料が滞留することがなく試料の交換を迅速に
行うことができる。更に、ネブライザの接続部が簡単に
着脱でき、ネブライザの洗浄やサンプルチューブの交換
が前記従来例に比較して極めて容易になるという利点が
ある。
第１図は本発明実施例の要部構成断面図、第２図は従来
例の要部構成断面図、第３図は高周波誘導結合プラズマ
質量分析計の全体的な構成説明図である。 １……プラズマトーチ、 ３……アルゴンガス供給源、 ４……試料槽、ネブライザ、 ７……高周波誘導結合プラズマ、 ８……ノズル、９……スキマー、 16……マスフィルタ、 19……二次電子増倍管、20……信号処理部 21……ネブライザ接続部先端、 22,26……袋ナット、 23,25……Ｏリング、 24……コネクタボディ、 51……外管、52……内管、 53……接続管、54……シリコーンチューブ、 55……接続部、56……ガス導入管、 57……サンプルチューブ
例の要部構成断面図、第３図は高周波誘導結合プラズマ
質量分析計の全体的な構成説明図である。 １……プラズマトーチ、 ３……アルゴンガス供給源、 ４……試料槽、ネブライザ、 ７……高周波誘導結合プラズマ、 ８……ノズル、９……スキマー、 16……マスフィルタ、 19……二次電子増倍管、20……信号処理部 21……ネブライザ接続部先端、 22,26……袋ナット、 23,25……Ｏリング、 24……コネクタボディ、 51……外管、52……内管、 53……接続管、54……シリコーンチューブ、 55……接続部、56……ガス導入管、 57……サンプルチューブ
Claims (1)
- 【請求項１】ネブライザで霧化した試料をプラズマトー
チに導いて励起し、励起した試料を質量分析計によって
分析する高周波誘導結合プラズマ質量分析計において、
内部にＯリングを有していて、前記試料を前記ネブライ
ザに搬送するサンプルチュープが前記Ｏリングの中心を
貫通するように設けられた第１の袋ナットと、内部にＯ
リングを有していて、前記ネブライザのネブライザ接続
部先端が前記Ｏリングの中心を貫通するように設けられ
た第２の袋ナットと、一端に前記第１の袋ナットがＯリ
ングを介して絞め込まれ、他端に前記第２の袋ナットが
Ｏリングを介して絞め込まれるようになっていて、前記
サンプルチューブと前記ネブライザ接続部先端とを接続
するコネクタボディを具備し、このコネクタボディの前
記ネブライザ接続部先端が挿入される側の孔は前記サン
プルチューブが挿入される孔より大きく形成されてお
り、かつ、前記ネブライザ接続部先端の内径は前記サン
プルチューブの外径より大きく形成されている」ことを
特徴とした高周波誘導プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2214093A JP2956164B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2214093A JP2956164B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0498753A JPH0498753A (ja) | 1992-03-31 |
| JP2956164B2 true JP2956164B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=16650114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2214093A Expired - Fee Related JP2956164B2 (ja) | 1990-08-13 | 1990-08-13 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2956164B2 (ja) |
-
1990
- 1990-08-13 JP JP2214093A patent/JP2956164B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0498753A (ja) | 1992-03-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |