JPH01176359U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01176359U JPH01176359U JP7232988U JP7232988U JPH01176359U JP H01176359 U JPH01176359 U JP H01176359U JP 7232988 U JP7232988 U JP 7232988U JP 7232988 U JP7232988 U JP 7232988U JP H01176359 U JPH01176359 U JP H01176359U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- ion
- rear chamber
- clamp
- fixing
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の要部拡大説明図、第２
図は一般的な高周波誘導結合プラズマ質量分析計
の構成説明図、第３図は従来例要部拡大説明図で
ある。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、４……試料槽、５……ネブライザ、７……
高周波誘導結合プラズマ、８……ノズル、９……
スキマー、１１……フオアチヤンバー、１３……
センターチヤンバー、１６……マスフイルタ、１
７……リアチヤンバー、２０……信号処理部、２
１……イオンレンズ、２２……クランプ、２３…
…位置決め用のネジ、２４……上蓋、２５……固
定用のボルト。
図は一般的な高周波誘導結合プラズマ質量分析計
の構成説明図、第３図は従来例要部拡大説明図で
ある。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、４……試料槽、５……ネブライザ、７……
高周波誘導結合プラズマ、８……ノズル、９……
スキマー、１１……フオアチヤンバー、１３……
センターチヤンバー、１６……マスフイルタ、１
７……リアチヤンバー、２０……信号処理部、２
１……イオンレンズ、２２……クランプ、２３…
…位置決め用のネジ、２４……上蓋、２５……固
定用のボルト。
Claims (1)
- 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起し
生じたイオンを真空中に導入しセンターチヤンバ
ー内のイオン光学系を通してのちリアチヤンバー
内の質量分析計検出器に導いて検出することによ
り前記試料中の被測定元素を分析する分析計にお
いて、前記イオン光学系を構成しているイオンレ
ンズを前記リアチヤンバーに固定するクランプと
、該イオンレンズの位置を決めるための位置決め
ピンと、前記センターチヤンバーの上部を覆う上
蓋と、前記リアチヤンバーを前記センターチヤン
バーに固定するボルトとを具備し、前記上蓋をは
ずし前記クランプと位置決めピンを操作して前記
イオンレンズの着脱を行うことを特徴とする高周
波誘導結合プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7232988U JPH0521244Y2 (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7232988U JPH0521244Y2 (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01176359U true JPH01176359U (ja) | 1989-12-15 |
| JPH0521244Y2 JPH0521244Y2 (ja) | 1993-05-31 |
Family
ID=31297501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7232988U Expired - Lifetime JPH0521244Y2 (ja) | 1988-05-31 | 1988-05-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0521244Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-05-31 JP JP7232988U patent/JPH0521244Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0521244Y2 (ja) | 1993-05-31 |
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