JPH07120396A - Icp発光分析装置 - Google Patents

Icp発光分析装置

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Publication number
JPH07120396A
JPH07120396A JP27027593A JP27027593A JPH07120396A JP H07120396 A JPH07120396 A JP H07120396A JP 27027593 A JP27027593 A JP 27027593A JP 27027593 A JP27027593 A JP 27027593A JP H07120396 A JPH07120396 A JP H07120396A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
discharge
plasma
plasma torch
holder
icp emission
Prior art date
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Pending
Application number
JP27027593A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiromi Yamashita
裕己 山下
Masayoshi Kawakami
正義 川上
Akira Owada
章 大和田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP27027593A priority Critical patent/JPH07120396A/ja
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明の目的は、プラズマ点灯開始時に火花放
電を行う放電クリップを外さないで、信頼性・安全性・
保守性の高いICP発光分析装置を提供することにあ
る。 【構成】プラズマトーチ1は、プラズマトーチ保持用ホ
ールダ9により、高周波誘導コイル2の中心に固定され
る。プラズマトーチ保持用ホールダ9に、放電ピン10
が組込まれており、高圧ケーブル5を介して電圧をかけ
ることにより火花放電を行う。 【効果】本発明によれば、放電クリップを外す必要がな
いので、信頼性・安全性・保守性を大幅に向上させる効
果がある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属元素等の分析を行
うICP発光分析装置に係り、特にテスラーコイル放電
部を組込めるプラズマトーチ保持用ホールダを有するI
CP発光分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ICP発光分析装置の構成は既に良く知
られている。その主な構成は、ICP励起源,試料導入
システム,分光器,検知部及び演算部である。霧状にな
った試料は、プラズマの中心を下から上に通過する際
に、プラズマからのエネルギーを受けとって励起され
る。プラズマは、三重管構造のプラズマトーチに3種類
のアルゴンガス(キャリアアルゴン,補助アルゴン,冷
却アルゴン)を流し、プラズマトーチ上部にセットされ
た高周波誘導コイルを通して高周波電力をかけて高周波
誘導によってアルゴンガスを放電させて点灯する。
【0003】又、点灯開始時には高周波のみでの自己放
電は困難であるため、テスラーコイルの火花放電を利用
して、アルゴンの放電を開始させる。
【0004】図4により従来の技術を説明する。プラズ
マトーチ1には、キャリアアルゴン+霧状試料6,補助
アルゴン7,冷却アルゴン8を流し、高周波誘導コイル
2に高周波電力をかけてプラズマを点灯する。プラズマ
トーチ1は、プラズマトーチ保持用ホールダ9により、
高周波誘導コイル2の中心に固定される。放電クリップ
4は、プラズマトーチ1に取り付けられ、高圧ケーブル
5より電圧を受け火花放電することにより、プラズマ点
灯を開始させていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術は、放電ク
リップの取り付け方法について配慮がされておらず、プ
ラズマトーチの保守・交換の際、その都度放電クリップ
を外す必要があった。放電クリップを再度取り付ける際
に、放電クリップ取り付け位置のずれによる火花放電の
不良、又取り付け忘れによる感電の恐れ等の危険性があ
った。
【0006】本発明は、放電クリップを外さないことを
目的としており、信頼性・安全性・保守性の高いICP
発光分析装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、放電クリップをプラズマトーチ保持用ホールダに組
込んだものである。
【0008】また、絶縁性を得るために、プラズマトー
チ保持用ホールダを絶縁材料としたものである。
【0009】
【作用】本発明によれば、放電クリップを外す必要がな
い。それによって、火花放電の不良,放電クリップの取
り付け忘れによる感電の恐れを予め防止することができ
る。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1により説明す
る。プラズマトーチ1は、プラズマトーチ保持用ホール
ダ9により高周波誘導コイル2の中心に固定されてい
る。また、プラズマトーチ保持用ホールダ9は電気絶縁
材料により成形されている。放電ピン10は、高圧ケー
ブル5より電圧を受け火花放電する。プラズマトーチ保
持用ホールダ9に放電ピン10を組込む方法は以下の方
法がある。
【0011】(1)プラズマトーチ保持用ホールダ9と
放電ピン10の一体成形 (2)ねじ込みによる取り付け (3)接着剤による取り付け (4)圧入による取り付け (5)Oリングを用いた取り付け (6)2と3の併用又は3と4の併用。
【0012】上記取り付けにより、放電ピン10は、常
に同じ位置に固定されることになる。プラズマトーチ保
持用ホールダ9と放電ピン10の位置は、火花放電によ
る高周波誘導コイル2への損傷を防止するため、実験で
決めた高適位置まで下げている。図2は本発明の変形例
である。図1では、高圧ケーブル5に放電ピン10を取
り付けて、プラズマトーチ保持用ホールダ9に組込んだ
が、変形例では、放電ピン10を取り付けず高圧ケーブ
ル5を直接プラズマトーチ保持用ホールダ9aに組込ん
だものである。この変形例によっても同等の効果を得る
ことができる。以上のことにより本実施例によれば、放
電クリップを外すことがなくなるので、火花放電の不
良,放電クリップの取り付け忘れによる感電の恐れを予
め防止する効果がある。
【0013】また、図3に本発明の応用例を示す。図1
では、プラズマトーチ保持用ホールダ9に放電ピン10
を組込むことを詳述したが、プラズマトーチ保持用ホー
ルダ9は、プラズマトーチ1の固定用とし、新たに放電
ピン用ホールダ11を設け、放電ピン10を組込むこと
によっても、図1の例と同様の効果が得られるものであ
る。
【0014】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
放電クリップを外す必要がないので、信頼性・安全性・
保守性の向上を大幅に図る効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の構成図である。
【図2】本発明の変形例を示す図である。
【図3】本発明の応用例を示す図である。
【図4】従来技術の構成図である。
【符号の説明】
1…プラズマトーチ、5…高圧ケーブル、9…プラズマ
トーチ保持用ホールダ、10…放電ピン。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】プラズマを点灯させるICP励起源,溶液
    試料を噴霧させる試料導入部,測定元素の測定波長を取
    り出すための分光器,分光器より取り出された目的波長
    の光を検知する検知部,検知された光の量を演算し、発
    光信号として表示する演算表示部を有するICP発光分
    析装置において、プラズマ点灯開始時に火花放電させる
    テスラーコイル放電部を、プラズマトーチを保持するホ
    ールダに組込んだことを特徴とするICP発光分析装
    置。
  2. 【請求項2】テスラーコイル放電部を組込んだホールダ
    を、絶縁材料としたことを特徴とする請求項1記載のI
    CP発光分析装置。
JP27027593A 1993-10-28 1993-10-28 Icp発光分析装置 Pending JPH07120396A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000214093A (ja) * 1999-01-25 2000-08-04 Seiko Instruments Inc 誘導結合プラズマ分析装置
JP2004502958A (ja) * 2000-07-06 2004-01-29 ヴァリアン オーストラリア ピーティーワイ.エルティーディー. プラズマ発生方法、分光測定用プラズマ源および導波路
JP2017130255A (ja) * 2016-01-18 2017-07-27 株式会社島津製作所 誘導結合プラズマ発生装置

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