JPH0358175A - 検査コンベヤ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は、例えばＩＣリードフレームのようなパターン
が形威された薄板部材の外観検査に好適な検査コンベヤ
装置に関する。

（従来の技術） 従来、リードフレームのような複雑なパターンが形戊さ
れた薄板部材からなる被検査体に対して種々な外観検査
装置が知られているが、画像処理技術を応用した装置と
して、 （イ）パターンの検査対象部を、予め記憶しておいた良
品パターンと比較して不良部を認識するパターンマッチ
ング法を用いたもの。

（ロ）レーザ光や落射照明光などにより、不良部の特徴
を際立たせて良品部との区別をつけることで、良、不良
判定を行う特徴抽出法を用いたもの。

などが代表的な装置として用いられている。

ところで、どのような外観検査装置においても、検査位
置には被検査体の形状を明確に捕らえる手段としての照
明系（投光器）と受光器とを必要とする。一般に平坦な
被検査体上の不良を発見するためには、照明系によって
照らし出された被検査体の上面からの反射光成分の強弱
や、回折パターンの差異に着目して、良品部と不良部と
を区別するといった方法が取られる。従って、被検査体
そのものに歪みやそりがある場合、たとえその変形量は
良品とされる許容範囲内にあっても、上述のような検出
手段においては、反射或分の様相に変化が生じるため、
正確な検査結果が期待できないことがある。

このような場合、被検査体が単に平板な部材ならば検査
ステージで被検査体を吸着し、歪みやそりを修正して検
査が行われている。

（発明が解決しようとする課題） しかるに、被検査体がＩＣリードフレームなどのような
薄板パターン製品の場合は、そのパターンが複雑、多岐
に亘っており、寸法も様々なので、専用の吸着治具を必
要とし、その結果コスト高となり、さらに段取り替え時
間も増大する不都合がある。また、吸着には検査ステー
ションとして主にＸ−Ｙステージを用いるため、被検査
体の連続搬送が不可能であり、アンロードからロードま
での戻り時間が検査上の損失時間となる不都合がある。

本発明は、上述の不都合を解決するためになされたもの
で、薄板部材からなる被検査体に許容範囲内の歪みやそ
りがあっても、検出光を用い、しかも連続搬送しながら
検査する高精度で高能率な検査コンベヤ装置を提供する
ことを目的とする。

［発明の構戊］ （課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために本発明の検査コンベヤ装置は
、パターンが形成された薄板部材からなる被検査体を搬
送しかつ搬送路の途中に上記パターンの良不良を判定す
るための検出光を上記被検査体に投射する検査位置が設
定されるベルトコンベヤ本体と、 上記検査位置に設けられこの検査位置を通過する被検査
体の主面直角方向の反りを規制する規制手段と、 この規制手段の前後に設けられ規制される被検査体をベ
ルトに押圧して被搬送力を増加させる一対の押圧手段と
を具備した構戊としたことを特徴とする。

（作用） 本発明においては、搬送される薄板部材の歪みゃ反りを
、規制手段により規制するので、変形により起こる誤検
査を防止することができ、さらに押圧手段を設けたので
、規制手段の負荷による搬送速度の低下を防ぐことがで
きる。

（実施例） 以下本発明の詳細を、第１図ないし第６図に示す実施例
により説明する。なお、被検査体はＩＣリードフレーム
である。

本実施例は、ベルトコンベヤ本体１と、規制手段２と、
押圧手段３とから構成されており、ベノレトコンベヤ本
体１の搬送コンベヤ１ａにより搬送される被検査体Ｐは
、検査位置において規制手段２によりその歪みが規制さ
れ、かつ押圧手段３（こより速度を低下させることなく
搬送されな力《らノくターンの検出が行われ、例えばそ
の反射光番こよる情報が図示しない処理回路により処理
されて、良否の判定がなされる。

まず、ベルトコンベヤ本体１につき主として第３図を参
照して説明する。

コンベヤベース５に固定側板６が垂直に設けられており
、さらに固定側板６に対向してリニアガイド７に載せら
れた可動側板８が設置されている。

これら側板６、８間には、被検査体Ｐの幅に合わせて稼
働側板８を位置調節するためのボールねじ９と、バルス
モータ１０の回転を搬送コンベヤ１ａを構成する搬入コ
ンベヤ１ｂと搬出コンベヤ１Ｃに伝達するためのスプラ
イン軸１１ａ，１１ｂとが回転自在に取り付けられてい
る。バルスモータ１０の回転はタイミングベルト１２ａ
によりスプライン軸１１ｇに伝達され、さらにタイミン
グベルト１２ｂによりスプライン軸１ｌｂに伝えられる
。また、スプライン軸１１ａ，ｌｌｂの回転はタイミン
グベルト１３ａ，１３ｂを介して搬入コンベヤｌｂ，搬
出コンベヤＩＣに伝達される。

そして各コンベヤ１　ｂ　ｓ　１　ｃのベルト１ｄ１１
ｅは、ベルト受けにより支持されて水平に走行し、被検
査体Ｐは矢印１５の方向へ搬送される。

上記両コンベヤ１ｂ、１ｃの間には、その中心位置を検
査ライン１６とする検査位置１７が設定されており、こ
こには第２図に示すように、規制手段２としてのガイド
体１８と、これの前後に設けられた一対の抑圧手段３と
しての押圧ローラ１９ｇ，１９ｂとが設けられている。

この検査位置１７には、さらに検査ライン１６に沿って
検出光２０を照射する図示しない投光器およびラインセ
ンサーおよびこれからの検出情報によりパターンの良否
を判定する処理回路などから構威される検査装置が設け
られている。

上記規制手段２としてのガイド体１８は、被検査体Ｐを
コンベヤ１ａ、１ｂと面−に支持する受け部材１８ａと
、被検査体Ｐを下方に押圧する規制部材１８ｂとからな
っている。規制部材１８ｂには、スプリング１８ｃによ
り常時下方に押されている複数個のローラ１８ｄが取り
付けられている。ガイド体１８を通る被検査体Ｐは、抑
圧されて歪みが極力少なくなるように規制される。なお
、ガイド体１８は、照明光が透過できるように検査ライ
ン１６に沿ったスリットを持つ場合もある。

上記一対の搬入側押圧ローラ１９ａおよび搬出側抑圧ロ
ーラ１９ｂは、常時は上方に位置しており、被検査体Ｐ
が真下に搬送されて来ると、下降して被検査体Ｐを押圧
しベルト１ｄ％１ｅとの摩擦力を増加させる。これはガ
イド体１８を通過する際の負荷により搬送速度が低下す
るのを防止するためである。従って両ローラー１９ａ，
１９ｂのセンター距離Ｌは、被検査体Ｐの長さより短く
設定され、通過中は被検査体Ｐは、常に付勢されるよう
になっている。

なお、本実施例においては、搬送コンベヤ１ａを搬入コ
ンベヤ１ｂと搬出コンベヤ１ｃとに分離して設け、この
間に検査ライン１６を置いたが、これは被検査体Ｐのパ
ターン辺縁にある不良を背景と区別し易すいように透過
照明を使用する場合を想定してのことである。

本実施例は、上述したように構成されているが、次ぎに
その作用を説明する。

まず、被検査体Ｐを搬入コンベヤｌｂ側に落下させると
、コンベヤベルト１　ｄ　％　１　ｅは一定速度にて被
検査体Ｐを搬送するが、この際の搬送速度Ｖ（ｍ＋ｓ／
ｓ）はラインセンサのスキャンタイムＴ（Ｓ／ライン）
とラインセンサーの素子、１画素当たりの分解能λ（　
ｍｓ　）とから、次式（１）のように決定される。すな
わち Ｖ（ｍｍ／ｓ）　　一λ　（ｍｍ）／Ｔ　　（ｓ）−（
１）となる。

上記速度にて被検査体Ｐが搬送されて、搬入側の押圧ロ
ーラ１９ａの真下に到達した時点から、ガイド体１８の
間隙に到達するまでの間に、搬入側押圧ローラ１９ａは
下降する。これは被検査体Ｐが間隙を通過する際の負荷
に対抗するだけの摩擦力、つまり被搬送力を被検査体Ｐ
とベルトｌｄ，１ｅとの間に生じさせるためである。こ
のようにして搬送力を強められた被検査体Ｐは、ガイド
体１８によりそりを規制（矯正）されつつ、搬出コンベ
ヤ１ｃに乗り移る。

次に被検査体Ｐが搬出側押圧ローラ１９ｂの真下に到達
してから搬入側押圧ローラ１９ａを抜ける間での間に、
搬出側抑圧ローラ１９ｂは下降して、強めた搬送カを維
持して被検査体Ｐの安定搬送を実施する。そしてこの間
に検査が行われる。

なお、押圧ローラ１９ａ，１９ｂを作動させるタイミン
グ設定は、ハンドラが搬入コンベヤ１ｂ上に被検査体Ｐ
を落下させるタイミングを検知したり、被検査体Ｐの検
知センサを搬入側に設けるなどでスタート信号を受信し
、シーケンサやコンビュータによる制御で行うものとす
る。

第５図は規制手段２が無い場合を示し、このように被検
査体Ｐの先端が反っている部分Ｗは、良品であっても不
良として誤検出される。

なお、第１図に示すように、変異センサー２２を搬入側
に取り付けて、許容範囲外の歪みを持った被検査体Ｐを
予め取り除くようにしてもよい。

次に、他の実施例を第６図に示す。

これは一本の連続した搬送コンベヤ１ａからなっている
。すなわち、コンベヤを分割する必要がない検査手段を
用いた場合で、この場合は規制手段２は、規制部材１８
ｂだけを設ければよく、抑圧手段３は前の実施例と同じ
である。

［発明の効果コ 以上詳述したように、本発明の検査コンベヤ装置は、規
制手段を設けて被検査体の歪みを規制するようにしたの
で、許容範囲内のひずみの被検査体を誤って不良として
検出することはない。

また、押圧手段を設けて搬送力を増加させるようにした
ので、規制の抵抗力に影響されずに搬送速度を維持する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の全体構成図、第２図（イ）お
よび（ロ）は同じく要部（押圧手段など）の平面図およ
びこれの■一■線断面図、第３図（イ）および（口）は
同じく要部（コンベヤ本体）の平面図および正面図、′
！Ｊ４図は同じく要部（規制手段）の構或図、第５図は
同じく要部（規制手段）の作用説明図、第６図は本発明
の他の実施例の要部 （規制手段など） の構成図である。 Ｐ・・・・・・・・・・・・被検査体 １・・・・・・・・・・・・ベルトコンベヤ本体２・・
・・・・・・・・・・規制手段 ３・・・・・・・・・・・・押圧手段 １７・・・・・・・・・検査位置 ２０・・・・・・・・・検出光

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 パターンが形成された薄板部材からなる被検査体を搬送
   しかつ搬送路の途中に上記パターンの良不良を判定する
   ための検出光を上記被検査体に投射する検査位置が設定
   されるベルトコンベヤ本体と、 上記検査位置に設けられこの検査位置を通過する被検査
   体の主面直角方向の反りを規制する規制手段と、 この規制手段の前後に設けられ規制される被検査体をベ
   ルトに押圧して被搬送力を増加させる一対の押圧手段と
   を具備したことを特徴とする検査コンベヤ装置。