KR20180138035A - 검사대상물의 이동경로 상에 다중 검사영역이 적용된 연속생산 공정의 이물질 검사장치 - Google Patents

검사대상물의 이동경로 상에 다중 검사영역이 적용된 연속생산 공정의 이물질 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 연속생산으로 생산된 검사대상물을 이송하며 상기 검사대상물의 이물질을 검사하는 이물질 검사장치에 관한 것으로, 상기 검사대상물이 놓여지며, 대상위치로 이송시키는 이송유닛, 상기 이송유닛을 통해 이송되는 상기 검사대상물의 이동 경로상에서 교차하는 방향을 따라 배치되는 제1검사영역상에 구비되어 상기 검사대상물에 포함된 상기 이물질의 거시적인 위치를 측정하는 제1검사유닛, 상기 검사대상물의 이송경로를 따라 상기 제1검사영역의 하류상에서 상기 검사대상물의 폭 방향에 따른 일부분에 대해 제2검사영역을 가지며 상기 이물질의 위치를 정밀하게 측정하는 제2검사유닛 및 상기 제1검사영역에서 측정된 상기 이물질의 위치에 대응하여 상기 제2검사유닛의 위치를 조절하여 상기 이물질이 상기 제2검사영역을 통과하도록 제어하는 제어유닛을 포함하는 이물질 검사장치가 개시된다.

Description

검사대상물의 이동경로 상에 다중 검사영역이 적용된 연속생산 공정의 이물질 검사장치{A Foreign Substance Inspection Device in a Continuous Production Process in which Multiple Inspection Areas are Applied on the Movement Path of the Object to be Inspected}
본 발명은 이물질 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 검사 대상물을 촬영하여 결함을 검출할 수 있는 검사대상물의 이동경로 상에 다중 검사영역이 적용된 연속생산 공정의 이물질 검사장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, EL 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 각종 얼룩 및 스크래치 등의 결함 또는 기판에 형성된 패턴의 결함 여부를 확인하기 위하여 검사를 실시한다. 검사장치로는, 검사자의 육안을 통한 마크로 검사장치(Macro Inspection)와, 광학렌즈와 CCD(charged coupled device) 카메라를 사용하는 인라인 자동광학검사장치(In-Line Automatic Optical Inspection)가 있다.
특히 인라인 자동광학검사장치는 광학렌즈와 CCD 카메라를 사용하여 검사 대상물의 이미지를 캡처(Capture)한 후 비전(Vision) 이미지 프로세싱 알고리즘을 적용하여 사용자가 찾아내고자 하는 각종 이물질이나 결함을 검출해 내는 장치이다.
이러한 자동광학검사장치는 검사 대상물을 이동시키며, 광학장비를 이용해 검사대상물의 이물질을 검사한다..
그러나, 광학장비가 검사 대상물과 항상 일정한 거리 이격되어 일정한 해상도로 검사 대상물을 촬영한다. 즉, 검사 대상물의 보다 정밀한 검사가 필요한 경우 또는 빠른 검사가 필요한 경우 등의 구별 없이 검사대상물을 촬영한다.
특히, 이물질이나 결함의 검출 시 정밀한 위치의 측정이 중요하며, 이에 따라 검사용 장비의 경우 고가의 광학장비를 사용해야 한다.
본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 다음과 같다.
본 발명은 연속생산공정에서 검사대상물의 검사 시 이송경로상에서 전체 영역을 복수 개로 영역을 구획 검사하여 이물질의 개략적인 위치를 측정한 후 해당 영역 내에서 정밀하게 이물질의 위치를 측정함으로써 정밀 장비의 사용을 줄일 수 있는 검사대상물의 이동경로 상에 다중 검사영역이 적용된 연속생산 공정의 이물질 검사장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 일측면에 따르면, 연속생산으로 생산된 검사대상물을 이송하며 상기 검사대상물의 이물질을 검사하는 이물질 검사장치에 관한 것으로, 상기 검사대상물이 놓여지며, 대상위치로 이송시키는 이송유닛, 상기 이송유닛을 통해 이송되는 상기 검사대상물의 이동 경로상에서 교차하는 방향을 따라 배치되는 제1검사영역상에 구비되어 상기 검사대상물에 포함된 상기 이물질의 거시적인 위치를 측정하는 제1검사유닛, 상기 검사대상물의 이송경로를 따라 상기 제1검사영역의 하류상에서 상기 검사대상물의 폭 방향에 따른 일부분에 대해 제2검사영역을 가지며 상기 이물질의 위치를 정밀하게 측정하는 제2검사유닛 및 상기 제1검사영역에서 측정된 상기 이물질의 위치에 대응하여 상기 제2검사유닛의 위치를 조절하여 상기 이물질이 상기 제2검사영역을 통과하도록 제어하는 제어유닛을 포함한다.
또한, 상기 제1검사유닛은 상기 제1검사영역을 복수 개로 분할된 구획영역을 가지며, 각각의 영역에서 상기 이물질의 존재 여부를 감지하여 상기 제어유닛으로 전달할 수 있다.
또한, 상기 제1검사유닛은 복수 개의 감지부를 가지며, 각각이 독립적으로 상기 구획영역에 대응하여 상기 이물질의 존재여부를 감지할 수 있다.
또한, 상기 감지부는 상기 제1검사영역내에서 상기 검사대상물의 이송방향과 교차되는 방향을 따라 일렬로 배치될 수 있다.
또한, 상기 제1검사유닛은 적어도 하나 이상의 카메라를 포함하며, 상기 제1검사영역을 통과하는 상기 검사대상물의 이미지를 촬영하여 상기 이물질의 개략적인 위치를 도출할 수 있다.
또한, 상기 제2검사유닛은 상기 검사대상물의 상부에서 이격되어 적어도 일부가 상기 검사대상물의 폭 방향을 따라 교차되도록 배치되는 위치조절부 및 상기 위치조절부에서 상기 검사대상물의 폭 방향을 따라 위치가 조절되며, 복수 개의 상기 구획영역 중 상기 제1검사유닛에 의해 감지된 상기 이물질이 위치하는 영역을 검사하는 측정부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 측정부는 상기 구획영역 중 적어도 하나 이상을 감지할 수 있는 크기의 상기 제2검사영역을 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 일 실시예에 따른 검사대상물의 이동경로 상에 다중 검사영역이 적용된 연속생산 공정의 이물질 검사장치에 의하면 이송되는 검사대상물을 복수 개의 검사영역으로 구획하여 이물질의 개략적인 위치를 감지한 후 해당 영역에 대해 정밀하게 이물질의 위치를 측정함으로써, 고가의 비전장비 사용을 줄여 비용절감의 효과가 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이물질 검사장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면;
도 2는 도 1의 이물질 검사장치에서 검사대상물이 이송되는 상태를 나타낸 도면;
도 3은 도 1의 이물질 검사장치에서 이물질이 제1검사영역에서 감지되는 상태를 나타낸 도면;
도 4는 도 3의 이물질 검사장치에서 제1검사영역에서 감지된 이물질의 위치에 대응하여 제2검사영역이 이동하는 상태를 나타낸 도면; 및
도 5는 도 1의 이물질 검사장치에서 제1검사유닛의 변형된 형태를 나타낸 도면이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다. 다만, 첨부된 도면은 본 발명의 내용을 보다 쉽게 개시하기 위하여 설명되는 것일 뿐, 본 발명의 범위가 첨부된 도면의 범위로 한정되는 것이 아님은 이 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 알 수 있을 것이다.
그리고, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어서, 동일 기능을 갖는 구성요소에 대해서는 동일 명칭 및 동일부호를 사용할 뿐 실질적으론 종래기술의 구성요소와 완전히 동일하지 않음을 미리 밝힌다.
또한, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 이물질 검사장치의 구성에 대해 개략적으로 살펴보면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 이물질 검사장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 이물질 검사장치에서 검사대상물이 이송되는 상태를 나타낸 도면이며, 도 3은 도 1의 이물질 검사장치에서 이물질이 제1검사영역에서 감지되는 상태를 나타낸 도면이다.
그리고 도 4는 도 3의 이물질 검사장치에서 제1검사영역에서 감지된 이물질의 위치에 대응하여 제2검사영역이 이동하는 상태를 나타낸 도면이며, 도 5는 도 1의 이물질 검사장치에서 제1검사유닛의 변형된 형태를 나타낸 도면이다.
본 발명에 따른 검사대상물(10)의 이동경로상에 다중 검사영역이 적용된 연속생산 공정의 이물질 검사장치는 크게 이송유닛(100), 제1검사유닛(200), 제2검사유닛(300) 및 제어유닛(미도시)를 포함한다.
상기 이송유닛(100)은 상기 검사대상물(10)이 연속 생산되어 이송되도록 하는 구성으로, 길게 형성되어 상기 검사대상물(10)을 대상위치로 이송시킨다.
이때, 이송유닛(100)은 도시된 바와 같이 벨트 형태로 형성되어 상기 검사대상물(10)을 연속하여 이송시킨다.
구체적으로 상기 이송유닛(100)은 크게 이송벨트(120) 및 이송롤러(110)를 포함한다.
상기 이송벨트(120)는 순환하는 벨트 형태로 형성되어 상면에 상기 검사대상물(10)이 놓여진다. 이때, 상기 검사대상물(10)은 연속생산 공정을 통해 일정한 폭을 가지며 길게 형성되어 상기 이송벨트(120)의 상면에 놓여진다.
그리고 상기 이송벨트(120)는 상면에 놓여진 상기 검사대상물(10)의 길이방향을 따라 순환하며 대상위치로 이송시킨다.
한편, 상기 이송롤러(110)는 적어도 한 쌍 이상으로 구성되어 상호 이격 배치되며, 상기 이송벨트(120)를 순환시킨다.
구체적으로 상기 이송롤러(110)는 롤러 형태로 형성되어 둘레의 일부에 상기 이송벨트(120)가 접촉하며 한 쌍이 상호 이격 배치되어 상기 이송벨트(120)를 길이방향으로 배치시킨다.
이때 상기 이송롤러(110)의 둘레에는 별도의 돌기가 형성되어 상기 이송벨트(120)와 접촉하여 순환시키도록 구성될 수도 있고 이와 달리 단순 마찰을 통해 상기 이송벨트(120)를 순환시키도록 구성될 수도 있다.
이와 같이 상기 이송유닛(100)은 길게 형성되어 일정한 폭을 가지며, 상면 일부에 상기 검사대상물(10)이 놓여진다. 그리고 이와 같이 놓여진 상기 검사대상물(10)은 상기 이송유닛(100)에 의해 길이방향을 따라 이송되며 후술하는 상기 제1검사유닛(200) 및 상기 제2검사유닛(300)을 경유한다.
한편, 상기 제1검사유닛(200)은 상기 이송유닛(100)을 통해 이송되는 상기 검사대상물(10)에서 이물질(20)의 거시적 위치를 측정하는 구성으로, 상기 검사대상물(10)의 이송경로상에 배치되어 상기 이물질(20)의 여부를 감지한다.
구체적으로 상기 제1검사유닛(200)은 상기 검사대상물(10)의 이동경로상에서 교차되는 방향을 따라 배치되는 제1검사영역(A)을 가지며, 상기 검사대상물(10)에 포함된 이물질(20)을 감지한다.
이때, 상기 제1검사영역(A)은 상기 검사대상물(10)의 폭 방향을 따라 전체를 커버 가능하도록 배치되어 상기 검사대상물(10)의 이송 시 상기 제1검사영역(A)을 통과하도록 구성된다.
여기서, 상기 제1검사유닛(200)은 적어도 하나 이상의 감지부(210)를 가지며, 상기 이송유닛(100)의 상부에서 하부방향에 위치하여 이송되는 상기 검사대상물(10)을 검사하여 이물질(20)의 여부를 확인한다.
본 실시예에서 상기 제1검사유닛(200)은 도시된 바와 같이 상기 제1검사영역(A)이 상기 이송유닛(100)에 의해 이송되는 상기 검사대상물(10)이 경유하도록 배치된다. 이때, 상기 제1검사영역(A)은 복수 개로 분할된 구획영역(a1, a2, a3, a4)을 가지며, 각각의 영역에서 상기 이물질(20)의 존재 여부를 감지한다.
그리고, 각각의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)은 별도로 구분되어 독립적으로 해당 영역 내에서 이물질(20)이 존재하는지 여부를 감지한다.
도 3을 참조하여 살펴보면, 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)은 4개의 제1영역(a1) 내지 제4영역(a4)으로 구획되어 있으며, 상기 제1영역(a1)에서 상기 이물질(20)이 감지되는 것을 알 수 있다.
그리고, 이와 같이 복수 개의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4) 중 상기 이물질(20)이 감지된 영역의 정보를 후술하는 상기 제어모듈로 전달한다.
이와 같이 상기 제1검사유닛(200)은 상기 제1검사영역(A)을 복수 개의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)으로 구분한 후, 각각의 영역에서 상기 이물질(20)의 존재 여부를 검사한다.
이에 따라. 상기 제1검사유닛(200)은 각각의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)에서 상기 이물질(20)의 존재 여부 확인하고, 해당 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)에 상기 이물질(20)의 존재 여부만 판단한다.
본 발명의 실시예에서 상기 감지부(210)는 적어도 하나 이상의 카메라를 포함하여 상기 제1검사영역(A)에 위치한 상기 검사대상물(10)을 촬영하고, 촬영된 이미지를 통해 상기 이물질(20)의 유무 및 개략적인 위치를 도출할 수 있다.
뿐만 아니라 상기 제1검사유닛(200)은 레이저나 적외선을 이용하여 상기 이물질(20)을 감지할 수도 있다.
특히, 상기 감지부(210)가 복수 개로 구성되어 각각이 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)을 독립적으로 감지하고, 각각의 감지부(210) 중 상기 이물질(20)이 감지된 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)의 해당 감지부(210) 위치에 대응하여 후술하는 상기 제2검사유닛(300)이 추가적인 검사를 수행할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 상기 제1검사유닛(200)은 상기 제1검사영역(A)을 복수 개의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)으로 구획하여 각각의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)에 상기 이물질(20)이 존재하는지 여부를 감지한다.
이때, 본 실시예와 같이 상기 제1검사유닛(200)이 하나의 상기 감지부(210)로 구성되어 상기 제1검사영역(A)을 통과하는 상기 검사대상물(10)의 이물질(20) 존재 여부를 판단할 수도 있고, 이와 달리 도 5에 도시된 바와 같이 상기 감지부(210)가 복수 개로 구성되어 각각이 독립적으로 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)을 형성하며, 상기 이물질(20)을 감지할 수도 있다.
특히, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 감지부(210)가 복수 개로 구성되는 경우 상기 감지부(210)는 상기 제1검사영역(A) 내에서 상기 검사대상물(10)이 이송방향과 교차되는 방향을 따라 일렬 또는 이열로 배치될 수 있다.
다음으로, 상기 제2검사유닛(300)은 상기 검사대상물(10)의 이송경로를 따라 상기 제1검사영역(A)의 하류상에서 상기 검사대상물(10)의 폭 방향에 다른 일부분에 대해 제2검사영역(B)을 가지며 상기 이물질(20)의 위치를 정밀하게 측정한다.
구체적으로 상기 제2검사유닛(300)은 상술한 제1검사유닛(200)과 달리 상기 검사대상물(10)의 폭 방향에 따른 일부 영역에 대해 검사가 가능하도록 상기 제2검사영역(B)을 가지며, 상기 이물질(20)의 위치에 대응하여 상기 제2검사영역(B)의 위치를 조절한다.
그리고 이와 같이 위치가 조절된 상기 제2검사영역(B)에 상기 이물질(20)이 통과하며, 상기 제2검사영역(B) 내에서 상기 이물질(20)의 정밀한 위치를 측정한다.
본 실시예에서 상기 제2검사유닛(300)은 크게 위치조절부(310) 및 측정부(320)를 포함한다.
상기 위치조절부(310)는 상기 검사대상물(10)의 상부에서 이격 배치되어 적어도 일부가 상기 검사대상물(10)의 폭 방향을 따라 교차되도록 배치된다. 그리고 이와 같이 구성된 상기 위치조절부(310)에 후술하는 상기 측정부(320)의 위치를 조절한다.
구체적으로 상기 위치조절부(310)는 도시된 바와 같이 한 쌍의 지지측벽(312)과 상기 검사대상물(10)의 상부에서 이를 연결하는 슬라이딩가이드(314)를 포함하며, 상기 슬라이딩가이드(314)를 따라 상기 측정부(320)의 위치가 조절된다.
한편, 상기 측정부(320)는 상기 위치조절부(310)에서 상기 검사대상물(10)의 폭 방향을 다라 위치가 조절되며, 복수 개의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4) 중 상기 제1검사유닛(200)에 의해 감지된 상기 이물질(20)이 위치하는 영역을 검사한다.
구체적으로 상기 측정부(320)는 상기 슬라이딩가이드(314)의 길이방향을 따라 위치가 조절되며, 하부를 향하도록 배치되어 상기 제2검사영역(B)을 형성하여 상기 검사대상물(10)을 검사한다.
이때, 상기 측정부(320)는 상기 제1검사영역(A)과 달리 넓은 영역을 검사하는 것이 아니라, 상기 검사대상물(10) 상에서 일부 영역만을 정밀하게 검사하여 해당 영역 내에 위치한 상기 이물질(20)의 위치를 감지할 수 있도록 구성된다.
즉, 상기 측정부(320)는 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4) 중 적어도 하나 이상의 영역을 감지할 수 있는 크기의 상기 제2검사영역(B)을 가진다.
이와 같이 상기 측정부(320)는 상기 제2검사영역(B)을 가지며 정밀하게 상기 이물질(20)을 감지한다.
본 실시예에서 상기 측정부(320)는 도시된 바와 같이 상기 슬라이딩가이드(314)의 길이방향을 따라 위치가 조절되며, 복수 개의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4) 중 상기 이물질(20)이 감지된 영역에 상기 제2검사영역(B)이 위치하도록 한다.
그리고, 해당 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4) 내에서 상기 측정부(320)가 상기 이물질(20)의 정밀한 위치를 감지한다.
이와 같이 상기 제2검사유닛(300)은 상기 제1검사영역(A)에서 감지된 상기 이물질(20)의 거시적인 위치에 대응하여 상기 제2검사영역(B)에 상기 이물질(20)이 통과하도록 상기 측정부(320)의 위치를 조절하고, 상기 측정부(320)는 통과하는 상기 이물질(20)의 정확한 위치를 측정한다.
한편, 상기 제어유닛은 상기 제1검사유닛(200)에서 감지된 상기 이물질(20)의 개략적인 위치정보를 통해 상기 제2검사유닛(300)의 위치를 조절한다.
구체적으로 상기 제어유닛은, 상기 제1검사유닛(200)을 통해 복수 개의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)에서 상기 이물질(20)이 존재하는 영역의 정보를 전달 받는다.
그리고 상기 이물질(20)이 존재하는 구획영역(a1, a2, a3, a4)의 위치에 대응하여 상기 제2검사영역(B)이 위치하도록 상기 측정부(320)의 위치를 조절함으로써, 연속하여 이송되는 상기 검사대상물(10)상에 위치한 상기 이물질(20)이 상기 제2검사영역(B)을 통과하게 된다.
이에 따라 상기 제2검사유닛(300)은 상기 제2검사영역(B)을 통과하는 상기 이물질(20)의 정밀한 위치를 감지할 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 이물질 검사장치는 상술한 상기 이송유닛(100), 상기 제1검사유닛(200), 상기 제2검사유닛(300) 및 상기 제어유닛을 포함하며, 상기 제1검사유닛(200)에서 상기 이물질(20)의 개략적인 위치를 측정한 후 상기 제2검사유닛(300)을 통해 정밀하게 위치를 측정할 수 있다.
이에 따라, 이송되는 상기 검사대상물(10)의 폭 방향 전체에 대응하는 영역을 커버하도록 상기 제2검사유닛(300)을 구비하지 않고, 상대적으로 저렴한 상기 제1검사유닛(200)으로 개략적인 위치를 측정한 후 일부에만 상기 제2검사유닛(300)을 구비할 수 있다.
즉, 상기 이물질(20)의 위치를 정밀하게 측정하는 상기 측정부(320)의 개수를 줄임으로써 비용을 절감할 수 있다.
이어서, 상기 검사대상물(10)에 포함된 상기 이물질(20)의 위치를 측정하는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 상기 이송유닛(100)에 의해 상기 검사대상물(10)이 이송되고, 이송되는 상기 검사대상물(10)이 상기 제1검사영역(A)을 통과한다.
이때, 상기 검사대상물(10)에 상기 이물질(20)이 존재하는 경우 상기 제1검사영역(A) 내에서 상기 이물질(20)이 존재하는 해당 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)을 도출한다.
본 실시예에서 도 3에 도시된 바와 같이 복수 개의 상기 구획영역(a1, a2, a3, a4)(a1~a4) 중 상기 제1영역(a1)에 상기 이물질(20)이 존재한다
이는 상술한 바와 같이 상기 제1검사유닛(200)이 상기 감지부(210)가 하나로 구성될 수도 있고 이와 달리 복수 개의 감지부(210)로 구성되어 독립적으로 상기 이물질(20)을 감지할 수도 있다.
이와 같이 상기 제1영역(a1)에 상기 이물질(20)이 존재하는 것이 확인된 정보는 상기 제어모듈로 전달되고 상기 제어모듈이 상기 측정부(320)의 위치를 조절한다.
이때, 상기 측정부(320)는 이송되는 상기 검사대상물(10)상에서 상기 제1영역(a1)에서 감지된 부분이 상기 제2검사영역(B)을 통과할 수 있도록 조절된다.
그리고 이와 같이 위치가 조절된 상기 제2검사유닛(300)에 의해 상기 이물질(20)의 정밀한 위치를 측정한다.
이와 같은 과정을 통해 연속생산 공정에서 상기 검사대상물(10)의 이송경로상에 다중 검사영역을 형성하고, 상기 이물질(20)의 위치를 정밀하게 측정할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.
10: 검사대상물
20: 이물질
100: 이송유닛
110: 이송롤러
120: 이송벨트
200: 제1검사유닛
210: 감지부
300: 제2검사유닛
310: 위치조절부
320: 측정부
A: 제1검사영역
B: 제2검사영역

Claims (7)

  1. 연속생산으로 생산된 검사대상물을 이송하며 상기 검사대상물의 이물질을 검사하는 이물질 검사장치에 있어서,
    상기 검사대상물이 놓여지며, 대상위치로 이송시키는 이송유닛;
    상기 이송유닛을 통해 이송되는 상기 검사대상물의 이동 경로상에서 교차하는 방향을 따라 배치되는 제1검사영역상에 구비되어 상기 검사대상물에 포함된 상기 이물질의 거시적인 위치를 측정하는 제1검사유닛;
    상기 검사대상물의 이송경로를 따라 상기 제1검사영역의 하류상에서 상기 검사대상물의 폭 방향에 따른 일부분에 대해 제2검사영역을 가지며 상기 이물질의 위치를 정밀하게 측정하는 제2검사유닛; 및
    상기 제1검사영역에서 측정된 상기 이물질의 위치에 대응하여 상기 제2검사유닛의 위치를 조절하여 상기 이물질이 상기 제2검사영역을 통과하도록 제어하는 제어유닛;
    을 포함하는 이물질 검사장치.
  2. 상기 제1검사유닛은,
    상기 제1검사영역을 복수 개로 분할된 구획영역을 가지며, 각각의 영역에서 상기 이물질의 존재 여부를 감지하여 상기 제어유닛으로 전달하는 이물질 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1검사유닛은,
    복수 개의 감지부를 가지며, 각각이 독립적으로 상기 구획영역에 대응하여 상기 이물질의 존재 여부를 감지하는 이물질 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 감지부는,
    상기 제1검사영역내에서 상기 검사대상물의 이송방향과 교차되는 방향을 따라 일렬로 배치되는 이물질 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1검사유닛은,
    적어도 하나 이상의 카메라를 포함하며, 상기 제1검사영역을 통과하는 상기 검사대상물의 이미지를 촬영하여 상기 이물질의 개략적인 위치를 도출하는 이물질 검사장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 제2검사유닛은,
    상기 검사대상물의 상부에서 이격되어 적어도 일부가 상기 검사대상물의 폭 방향을 따라 교차되도록 배치되는 위치조절부; 및
    상기 위치조절부에서 상기 검사대상물의 폭 방향을 따라 위치가 조절되며, 복수 개의 상기 구획영역 중 상기 제1검사유닛에 의해 감지된 상기 이물질이 위치하는 영역을 검사하는 측정부;
    를 포함하는 이물질 검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 측정부는,
    상기 구획영역 중 적어도 하나 이상을 감지할 수 있는 크기의 상기 제2검사영역을 가지는 이물질 검사장치.
KR1020170078075A 2017-06-20 2017-06-20 검사대상물의 이동경로 상에 다중 검사영역이 적용된 연속생산 공정의 이물질 검사장치 KR20180138035A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200061639A (ko) * 2018-11-26 2020-06-03 현대제철 주식회사 소재 검사장치
KR102222655B1 (ko) * 2019-09-10 2021-03-03 주식회사 포스코아이씨티 코일 표면결함 자동검사 시스템

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