JPH0357551U - - Google Patents

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JPH0357551U
JPH0357551U JP11880389U JP11880389U JPH0357551U JP H0357551 U JPH0357551 U JP H0357551U JP 11880389 U JP11880389 U JP 11880389U JP 11880389 U JP11880389 U JP 11880389U JP H0357551 U JPH0357551 U JP H0357551U
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JP
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basic operating
ion
beam current
beam energy
operating parameters
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JP11880389U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案に係る制御装置の要部の構
成を示すブロツク図である。第２図は、第１図の
制御装置の一実施例であるホストコントローラの
構成を示すブロツク図である。第３図は、基本運
転パラメータテーブルの一例を部分的に示す図で
ある。第４図は、第２図のホストコントローラを
用いて第５図のイオン注入装置を制御する動作の
一例を示すフローチヤートである。第５図は、イ
オン注入装置の一例を示すブロツク図である。第
６図は、従来のホストコントローラを用いて第５
図のイオン注入装置を制御する動作の一例を示す
フローチヤートである。 ６１……設定手段、６２……格納手段、６４…
…第１の判断手段、６４：補間手段、６５……立
上げ制御手段、６６……合わせ込み手段、６７…
…第２の判断手段、７０……実施例に係るホスト
コントローラ、８０……基本運転パラメータテー
ブル。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオン注入装置の自動による立上げを含む制御
    を行う制御装置であつて、目標とするイオン種、
    ビーム電流およびビームエネルギーを含むレシピ
    を設定する設定手段と、イオン種、ビーム電流お
    よびビームエネルギーの各組合わせに対する幾つ
    かの設定パラメータであつてイオン注入装置を予
    め手動操作で立上げることによつて得られた基本
    運転パラメータを格納している格納手段と、この
    格納手段中に、設定されたレシビ中のイオン種、
    ビーム電流およびビームエネルギーと完全に同一
    の条件下の基本運転パラメータがあるか否かを判
    断する第１の判断手段と、前記のような同一条件
    下の基本運転パラメータが無い場合に、レシピ中
    のイオン種について格納済みの基本運転パラメー
    タに基づいて補間を行つてレシピ中のビーム電流
    およびビームエネルギーに対応する設定パラメー
    タを求める補間手段と、この補間によつて求めた
    設定パラメータに基づいて、イオン注入装置を立
    上げる一連の調整処理を制御する立上げ制御手段
    と、前記のような同一条件下の基本運転パラメー
    タがある場合に、イオン注入装置の各パラメータ
    を当該基本運転パラメータの各値に合わせ込む制
    御を行う合わせ込み手段と、この合わせ込みの後
    、イオン注入装置におけるビームエネルギー、イ
    オン種およびビーム電流の内で既にレシピ中の値
    と一致しているものがあるか否かを判断し、一致
    しているものがあれば前記立上げ制御手段におけ
    る当該一致しているものに関する調整処理をパス
    させる第２の判断手段とを備えることを特徴とす
    るイオン注入装置の制御装置。
JP11880389U 1989-10-12 1989-10-12 Pending JPH0357551U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014038096A1 (ja) * 2012-09-06 2014-03-13 愛知機械工業株式会社 結合構造およびスプライン結合体の製造方法
WO2023223930A1 (ja) * 2022-05-16 2023-11-23 日本精工株式会社 ボールねじ装置およびその製造方法

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JPS6143582A (ja) * 1984-08-08 1986-03-03 Ricoh Co Ltd 印字装置
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