JPH0355830Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はふつ素樹脂製のダイアフラムポンプに
係り、特にポンプケーシングの外側を剛性の部材
で緊締して熱膨脹による漏洩を封止するようにし
たふつ素樹脂製のダイアフラムポンプに関する。

（従来の技術） 一般に半導体洗浄薬液等の材料液を加圧して使
用場所へ供給する手段として可変容積型のふつ素
樹脂製ダイアフラムポンプが広く使用されてい
る。

第３図はこの種のダイアフラムポンプの従来例
を示したものであり、ポンプハウジング１は、中
央ブロツク２Ａ，２Ｂと、この中央ブロツク２
Ａ，２Ｂの両側面に配置された端ブロツク３Ａ，
３Ｂとからなつている。中央ブロツク２Ａ，２Ｂ
と端ブロツク３Ａ，３Ｂとの接合面には独立した
２つの第１および第２のポンプ室５Ａ，５Ｂが形
成されている。

それぞれのポンプ室内にはふつ素樹脂製のダイ
アフラム６Ａ，６Ｂが張設され、各ポンプ室内は
このダイアフラムによつて吸込圧縮室７Ａ，７Ｂ
と作動気体室８Ａ，８Ｂとの２つの室に分画され
ている。

上記ダイアフラム６Ａ，６Ｂは、その中央部が
連結棒９によつて連結されており、両方のダイア
フラムは連動するように構成されている。

また、吸込圧縮室７Ａ，７Ｂには吸込通路１０
Ａ，１０Ｂが開口接続され、その通路上に吸込弁
１１Ａ，１１Ｂが組込まれている。

さらに吸込圧縮室７Ａ，７Ｂには吐出通路１２
Ａ，１２Ｂが開口接続され、その通路上には吐出
弁１３Ａ，１３Ｂが組込まれている。

前記吸込弁１１Ａ，１１Ｂは吸込ダクト１５内
に設けられ、この吸込ダクト１５内に設けられた
吸込通路１４に接続されている。

また吐出弁１３Ａ，１３Ｂは吐出ダクト１７内
に設けられ、この吐出ダクト１７内に設けられた
吐出通路１６に接続されている。

一方、前記作動気体室８Ａ，８Ｂには作動気体
の給排通路１８Ａ，１８Ｂが開口接続され、作動
気体を交互に給排してダイアフラム６Ａ，６Ｂを
作動するようにされている。

このように構成されたポンプケーシング１は、
中央ブロツク２Ａ，２Ｂと端ブロツク３Ａ，３Ｂ
との間に接合面３２Ａ，３２Ｂを、吸込ダクト１
５とポンプケーシング１との間に接合面３３Ａ，
３３Ｂを、さらに吐出ダクト１７とポンプケーシ
ング１との間に接合面３４Ａ，３４Ｂを有してい
る。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら上述のように構成された従来のふ
つ素樹脂製ダイアフラムポンプにおいて、150℃
程度以上の高温の材料液を使用したり、高温材料
液と低温材料液とを繰り返し使用すると、ポンプ
ケーシングが熱変形する。

この熱変形はふつ素樹脂の線膨脹係数が、例え
ば金属に比較して10倍以上も大きいことから大き
な変形となり、その結果ポンプの各接合面３２，
３３，３４の間隙が増大し、液体が外部へ漏洩す
るという不具合がある。

そこで本考案の目的は、上記従来技術の問題点
を解消し、中央ブロツクの両側面に一対の端ブロ
ツクを固着し、ブロツクの接合面間にポンプ室を
形成し、接合面の間にポンプ室を２分するダイア
フラムを挟持し、中央ブロツクと端ブロツクとか
らなるポンプケーシングの外側面に吸込・吐出ダ
クトを取り付けたふつ素樹脂製ダイアフラムポン
プにおいて、高温の流体を加圧する場合も、中央
ブロツクと端ブロツクとの接合面および吸込・吐
出ダクトの取付面から流体が漏洩しないふつ素樹
脂製ダイアフラムポンプを提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 上記の目的を達成するために、本考案は、一対
の端ブロツクを中央ブロツクの両側面にタンデム
結合してなるポンプケーシングの上記接合面間に
ポンプ室を形成し、それぞれのポンプ室内に室を
２分するダイアフラムを張設し、ポンプケーシン
グの外側面に吸込ダクトと吐出ダクトとを取付け
たふつ素樹脂製ダイアフラムポンプにおいて；上
記ポンプケーシングの端ブロツクの外側に剛性の
円板をあてがい、これらの円板を端ブロツクと中
央ブロツクを貫通横断する締結ボルトで剛性接合
するとともに、上記中央ブロツクと端ブロツクと
の接合面の外側に剛性の環状帯を巻装し、さらに
上記吸込ダクトと吐出ダクトとをポンプケーシン
グに対して剛性のバンドで緊締するようにしたこ
とを特徴としている。

（作用） ふつ素樹脂製のダイアフラムポンプを150℃以
上の高温の材料液で使用すると、ふつ素樹脂製の
ポンプケーシングは熱膨脹する。

ポンプケーシングの周囲を剛性の部材で緊締す
ると、ふつ素樹脂と剛性の部材との線膨脹係数と
の差により、ふつ素樹脂製のポンプケーシングの
外側への膨脹が抑えられ、逆にポンプの内側へ膨
脹する。

その結果、ポンプの各接合面がさらに密着する
ことになる。

（実施例） 以下本考案によるふつ素樹脂製のダイアフラム
ポンプの一実施例について、第３図と同一部分に
は同一符号を付した第１図および第２図を参照し
て説明する。

図中符号１はふつ素樹脂製のポンプケーシング
を示し、中央ブロツク２Ａ，２Ｂの両側面に端ブ
ロツク３Ａ，３Ｂがタンデム結合されている。

前記中央ブロツク２Ａ，２Ｂと両側に配置され
た端ブロツク３Ａ，３Ｂとの接合面のほぼ中央に
はポンプ室５Ａ，５Ｂが形成されている。

各ポンプ室５Ａ，５Ｂにはふつ素樹脂製のダイ
アフラム６Ａ，６Ｂが張設され、各ポンプ室５
Ａ，５Ｂはこのダイアフラム６Ａ，６Ｂによつて
吸込圧縮室７Ａ，７Ｂと作動気体室８Ａ，８Ｂと
の２つの室に分画されている。

上記ダイアフラム６Ａ，６Ｂは、その中央部が
連結棒９によつて連結されており、両方のダイア
フラムは互いに連動するように構成されている。

また、吸込圧縮室７Ａ，７Ｂには吸込通路１０
Ａ，１０Ｂが開口接続され、その通路上に吸込弁
１１Ａ，１１Ｂが組込まれている。

さらに吸込圧縮室７Ａ，７Ｂには吐出通路１２
Ａ，１２Ｂが開口接続され、その通路上には吐出
弁１３Ａ，１３Ｂが組込まれている。

また、吸込通路１０Ａ，１０Ｂの入口側は前記
入口ダクト１５内に穿設された材料液の吸込通路
１４と接続される一方、吐出通路１２Ａ，１２Ｂ
の出口側は、前記吐出ダクト１７内に穿設された
材料液の吐出通路１６に接続されている。

一方、前記作動気体室８Ａ，８Ｂには作動気体
の給排通路１８Ａ，１８Ｂが開口接続され、この
給排通路１８Ａ，１８Ｂは前記中央ブロツク２
Ａ，２Ｂ内を通つて外部に開口されている。

前記中央ブロツク２Ａ，２Ｂの接合面およびこ
れらと端ブロツク３Ａ，３Ｂとの接合面を含んだ
ポンプの外側面の周囲には、剛性の環状帯２３が
前記給排通路１８Ａ，１８Ｂの開口部２３ａを除
いて巻装するように設けられており、各接合面３
２Ａ，３２Ｂから外側への漏洩を封止するように
されている。

また、端ブロツク３Ａ，３Ｂの端板の外側に
は、剛性の円板２４Ａ，２４Ｂがナツト２５Ａ、
剛性の締結ボルト２５Ｂにより取り付けられてお
り、前記各接合面３２Ａ，３２Ｂの横方向の熱膨
脹を防止するようにされている。

一方、第２図に示されるように端ブロツク３
Ａ，３Ｂの外側周上にはブラケツト２７Ａ，２７
Ｂおよび３０Ａ，３０Ｂが固着されるとともに下
方には支持台２０Ａ，２０Ｂが備えられ、ポンプ
ケーシング１を支持するようにされている。

前記吸込ダクト１５の外側面の周囲には、剛性
のバンド２６Ａ，２６Ｂが設けられ、このバンド
２６Ａ，２６Ｂは、ボルト２８Ａ，２８Ｂにより
前記ブラケツト２７Ａ，２７Ｂに固着され接合面
３３Ａ，３３Ｂの漏洩を封止するようにされてい
る。

一方、前記吐出ダクト１７の外側面の周囲に
も、バンド２９Ａ，２９Ｂが設けられ、このバン
ド２９Ａ，２９Ｂは、ボルト３１Ａ，３１Ｂによ
り前記ブラケツト３０Ａ，３０Ｂに固着され接合
面３４Ａ，３４Ｂの漏洩を封止するようにされて
いる。

次に以上の構成に基づいて作用について説明す
る。

ふつ素樹脂製のダイアフラムポンプを150℃以
上の高温の材料液で使用すると、ふつ素樹脂は金
属に対して約10倍の線膨脹率で膨脹する。

一方ポンプケーシングの周囲に設けられた例え
ば金属性の環状帯２３、円板２４Ａ，２４Ｂ、締
結ボルト２５Ｂおよびバンド２６Ａ，２６Ｂ，２
９Ａ，２９Ｂは余り膨脹しない。

するとふつ素樹脂は金属製の部材で外部への膨
脹が抑えられているので、ポンプ内部へ膨脹し、
各接合面３２，３３，３４の間隙が逆に小さくな
る。その結果外部への漏洩を防止できるようにな
る。

〔効果〕

以上の説明から明らかなように本考案によれ
ば、中央ブロツクの外周面に剛性の環状帯を巻装
し、端ブロツクの端面に剛性の円板を固定してい
るので、高温流体によつて温度が上昇したとき
も、中央ブロツクと端ブロツクはポンプの軸に直
交する方向に熱膨脹することがない。また、中央
ブロツクと端ブロツクは、剛性円板を介してボル
トによつて締結されているので、温度上昇によつ
て中央ブロツクと端ブロツクは、ポンプの軸方向
に膨脹することがなく、逆に接合面に大きな力で
押圧される。すなわち、ポンプの内部に高温流体
が流れる時に、中央ブロツクと端ブロツクとの接
合面のシール性はかえつて高くなり、流体の漏洩
を防止することができる。

また、吸込ダクトと吐出ダクトは、剛性のバン
ドによつてポンプケーシングに緊結されているの
で、ポンプの温度が高くなつた場合に、ダクトと
ポンプケーシングとの接合面の押圧力が増加し、
吸込・吐出ダクトとポンプケーシングの接合面か
らも内部の流体が漏洩することがない。

すなわち、本考案によれば、高温の流体を使用
しても流体の漏洩が少ないふつ素樹脂製のダイア
フラムポンプを得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるふつ素樹脂製ダイアフラ
ムポンプの一実施例を示した縦断面図、第２図は
第１図の側面図、第３図は従来のふつ素樹脂製ダ
イアフラムポンプの例を示した縦断面図である。 ２……中央ブロツク、３……端ブロツク、５…
…ポンプ室、６……ダイアフラム、１５……吸込
ダクト、１７……吐出ダクト、２３……剛性の環
状帯、２４……剛性の円板、２５Ａ……ナツト、
２５Ｂ……剛製の締結ボルト、２６，２９……剛
性のバンド。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一対の端ブロツクを中央ブロツクの両側面にタ
   ンデム結合してなるポンプケーシングの上記接合
   面間にポンプ室を形成し、それぞれのポンプ室内
   に室を２分するダイアフラムを張設し、ポンプケ
   ーシングの外側面に吸込ダクトと吐出ダクトとを
   取付けたふつ素樹脂製ダイアフラムポンプにおい
   て；上記ポンプケーシングの端ブロツクの外側に
   剛性の円板をあてがい、これらの円板を端ブロツ
   クと中央ブロツクを貫通横断する締結ボルトで剛
   性接合するとともに、上記中央ブロツクと端ブロ
   ツクとの接合面の外側に剛性の環状帯を巻装し、
   さらに上記吸込ダクトと吐出ダクトとをポンプケ
   ーシングに対して剛性のバンドで緊締するように
   したことを特徴とするふつ素樹脂製ダイアフラム
   ポンプ。