JPH0354477A - 圧電型加速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、膜状圧電体を用いた圧電型加速度センサに
係り、特に構造が簡単で、温度特性に優れ、高出力とす
ることができ、しかも感知軸方向に直交する方向の加速
度による出力が微少である圧電型加速度センサに関する
。

〔従来の技術〕

従来の圧電型加速度センサ（以下、センサと略記する。

）の例として、第１７図に示すようなものがある。この
センサは特開昭５６−１０２５８号公報に開示されたも
ので圧電性ボリマーなどの圧電材料からなる円板状の振
動膜ｌをその周縁部で環状の枠体２に固定し、振動膜ｌ
の中心の両面に慣性質量として機能する荷重体３，３を
設け、枠体２を台座４に固定したものである。

そして、このセンサでは、振動膜ｌの膜面に直交し、荷
重体３の中心を通る軸が加速度の感知軸Ｇとなっている
。

このようなセンサでは、その台座４を彼測定物に取り付
けることにより、被測定物の感知軸Ｇ方向の加速度変化
を検知することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このセンサにあっては、感知軸Ｇ方向に
直交する方向の加速度が加わった際にも、荷重体３がそ
の方向に変位し、振動膜ｌに歪が生じて電気的出力が生
じてしまう欠点があった。

また、構造が複雑で、製造が面倒である不都合もあり、
測定可能な周波数帯域が狭く、その変更も困難である欠
点もあった。

このような従来のセンサの欠点を解消するため、本発明
者等は、被測定物に剛に取り付けられる台座と、この台
座の感知軸に垂直な測定面に固着された膜状圧電体と、
この膜状圧電体上に固着され、慣性質量部として作用す
る剛体からなる荷重体から構成され、膜状圧電体の平面
形状が、前記測定面に平行な面において感知軸を対称の
中心とする点対称であり、荷重体は、それの膜状圧電体
に接する面の平面形状が感知軸を対称の中心とする点対
称であり、かつ感知軸を通り、測定面に垂直な無数の平
面で断面した時、すべての断面について感知軸を対称軸
とする線対称としたことを特徴とするセンサを案出し、
先に特願平ｉｔ　１３２５５号として特許出願している
。

かかるセンサは、したがって構造が極めて簡単であり、
感知軸方向に直交する方向の加速度が加わった時の出力
が極めて小さく、しかも測定可能な周波数帯域が広いな
どの利点を有している。

しかしながら、この新しいタイプのセンサにおいても以
下のような不都合があり、その解決が必要であった。す
なわち、センサの電圧による出力を増大させるためには
膜状圧電体の厚さを厚くすればよいことになるが、厚い
膜状圧電体ではそれのポーリング処理が困難であり、双
極子の配向が悪く、圧電定数が小さくなったり、その値
がばらついたりする不都合がある。

また、電荷としての出力感度を増大させるには、膜状圧
電体の面積を大きくしてやればよいことになるが、膜状
圧電体の面積を大きくすることはセンサの大型化につな
がり、小型化の要望に合わなくなる。

このため、本発明者はさらにかかる課題を解決するセン
サとして、膜状圧電体を複数枚積層した積層構造とし、
かつ積層界面を導通状態としたものを、特願平１−１３
８３２３号として特許出願している。

しかしながら、この改良型のセンサにあっては、センサ
の周囲の環境温度の変動に伴ってその出力が変動し、温
度特性が必ずしも良好でない不都合がある。すなわち、
環境温度の変動によって、膜状圧電体のそれぞれの厚み
方向および積層された積層物の厚み方向に温度分布が生
じ（Ｉｌ！！状圧電体は一般に熱伝導性が低く、全体が
均一な温度となるまでに時間を要する。）、この温度分
布に基づく焦電効果によって電位差が生じ、出力として
表れるためである。

〔課題を解決するための手段〕

この発明にあっては、被測定物に剛に取り付けられる台
座と、この台座の感知軸に垂直な測定面に固着された膜
状圧電体と、この膜状圧電体上に固着され、慣性質量部
として作用する剛体からなる荷重体を有し、 膜状圧電体は、その平面形状が、前記測定面に平行な面
において感知軸を対称の中心とする点対称であり、かつ
偶数枚が積層された積層物とされ、この積層物の両端に
はそれぞれ端部電極が設け与れ、積層枚数をｎ　（ｎ＝
２．４，６．８・・・・・）としたとき、そのｎ　／　
２枚目とｎ／２＋１枚目との間に中間電極が間挿され、
この中間電極を境界として積層された膜状圧電体の厚さ
方向の分極方向が互いに逆方向とされ、両端部電極と中
間電極との間の電位差を検知出力とするようにされ、荷
重体は、それの膜状圧電体に接する面の平面形状が感知
軸を対称の中心とする点対称であり、かつ感知軸を通り
、前記測定面に垂直な無数の平面で断面した時、すべて
の断面について感知軸を対称軸とする線対称としたセン
サによって上記課題を解決した。

以下、この発明を詳しく説明する。

第１図は、この発明のセンサの一例を示すもので、図中
符号１ｌは台座である。この台座ＩＩはセンサの基体を
なし、被測定物に剛に取り付けられるもので、十分な剛
性を有する材料、例えば鋼、黄銅、アルミニウムなどの
金属、ガラス、セラミノクス、硬質プラスチノクスなど
から作られている。

また、台座ｌ１をなす材料の弾性率は後述の膜状圧電体
のそれ以上とされ、台座ｌｌの厚さは膜状圧電体の数倍
であることが望ましい。

ここでの台座１１はその形状が円柱状となっているが、
これに限られることはなく、板状、直方体などでもよい
。

この台座１１の一つの表面は、平坦かつ平滑な測定面ｌ
２となっている。この測定面ｌ２は、このセンサの加速
度の感知軸Ｇに対して正確に垂直とされた垂直面である
必要がある。

この台座１１の測定面ｌ２上には、圧電体積層ブロノク
Ｉ３がエポキン系接着剤などにより一体にかつ強固に固
着されている。

この圧電体積層ブロノクｌ３は、第２図に示すように、
２個の端部電極１４，１４、中間電極ｌ５および１枚以
上の膜状圧電体１６．１６山が積層された２枚の積層シ
ー｝１７．１７とから構成され、これらが一体に積層固
着されてなるものである。２枚の積層シート１７．１７
は、ともに１枚以上でかつ同枚数の膜状圧電体ｌ６・を
エポキシ系接着剤などで積層一体化したものであって、
この２つの積層ンート１７．１７は中間電極１５をその
間に介して一体に接着されている。また、２つの積層ン
ート１７．１７の中間電極１５に接していない表面には
それぞれ端部電極１４．１４が接合されている。

中間電極ｌ５および端部電極１４．１４はいずれもアル
ミニウム済、銅箔などの金属済や金属蒸青膜からなるも
ので、その周縁部には、リードヮイヤ１８・・がそれぞ
れ接続されている。

２つの積層ノー｝１７．１７はともに同枚数の膜状圧電
体１６・が積層されているので、１個の積層ブロック１
３内に積層されている膜状圧電体ｌ６・・・の枚数は偶
数枚となり、全積層枚数をｎ（ｎ一２，４，６．８……
）とすると、ｎ　／　２　枚目とｎ／２＋１枚目との間
、すなわち膜状圧電体ｌ６の全積層枚数の中間に中間電
極ｌ５が位置することになる。

ここで用いられる膜状圧電体ｌ６は、圧電性を有する材
料からなる厚さｌＯ〜５００μｍのフィルム状のもので
あって、その厚さが十分に均一でかっ全体が十分に均質
なものか用いられる。圧電性を有する材料としては、ボ
ワッ，化ビニリデン、ポリ塩化ビニリデン、ボリフノ化
ビニル、ポリ塩化ビニル、ナイロン１１やポリメタフェ
ニレンイソフタラミドなどのナイロン、テトラフロロエ
チレン、トリフロロエチレン、フノ化ビニルナトとフー
フ化ビニリデンとの共重合体、酢酸ビニル、プロピオン
酸ビニル、安息香酸ビニルなどとンアン化ビニ．リデン
との共重合体、ボリフノ化ビニリデンとポリカーボ不イ
トとのブレンドポリマー、ボリフッ化ビニリデンとポリ
フノ化ビニルとのブレンドボリマー等のポリマー系のほ
かに、チタン酸金属塩、チタン酸ジルコン酸金属塩等の
圧電材料の粉末をポリマーに添加、分散したものなどが
用いられる。

これらの膜状圧電体ｌ６・・・にはすべて同一の平面形
状で同一の圧電特性を有するものが用いられる。

また、１つの積層シ一ト１７内においては、それぞれの
膜状圧電体１６の分極方向が同一方向で揃っていること
が必要であり、かっこの分極方向が２つの積層シート１
７．１７の間では、第２図矢印で示すように互いに逆方
向である必要がある。

さらに、個々の膜状圧電体ｌ６の厚さは厳密に同一であ
る必要はないが、そのバラッキは±１０％以内であるこ
とが望ましく、一方の積層シート１７中の膜状圧電体１
６・・の総厚みをｔ．とじ、他方の積層シ一ト１７中の
膜状圧電体ｌ６・・・・・・の総厚みをｔ。とすると、 ０．９ｔ．≦ｔ．≦１．１ｔｎ の条件を満たすことが望ましい。

そして、この膜状圧電体１６にあっては、その平面形状
がクロストークを低減するうえで重要である。

この発明におけるクロストークとは、センサの感知軸Ｇ
方向の加速度を受けた時の出力Ｐ１と、感知軸Ｇに直交
する方向の加速度を受けた時の出力Ｐ，との比Ｐ，／Ｐ
．で表されるものである。

このクロストークの低減のため膜状圧電体ｌ６の平面形
状は、測定面ｌ２に平行な面において感知軸Ｇを対称の
中心とする点対称でなければならない。第１図に示した
例では円形となっているが、これ以外に上記条件を満た
す平面形状としては、例えば第３図ないし第８図に示す
ようなものがある。第３図は平行四辺形、第４図は正方
形、第５図は楕円、第６図は正六角形、第７図は八角形
、第８図は円環形である。これらの図において符号Ｇは
いずれも感知軸Ｇを示す。これらの平面形状はすべて感
知軸Ｇを対称の中心とする点対称となっている。勿論、
これら以外の平面形状でも上記条件を満たせば採用可能
である。

このような圧電体積層ブロノクｌ３の上には、慣性質量
部として機能する剛体からなる荷重体１９が一体に固着
されている。この荷重体１９は加速度を受けて変位し圧
電体積層ブロノクｌ３に歪みまたは応力を生ぜしめるも
ので、その重量はセンサの単位加速度当たりの電気的出
力に関係するため、特に限定されることはないが、圧電
体積層ブロンク１３にクリープを生じせしめない範囲と
される。荷重体Ｉ９と圧電体積層ブロソク１３の積層物
の固着は、エポキン系接着剤などによって行われる。

また、この荷重体ｌ９については、その立体形状がクロ
ストロークを低減するうえで重要である。

まず、荷重体ｌ９の圧電体積層ブロノクｌ３の端部電極
１４と接する面（以下、底面と言う。）は感知軸Ｇに対
して正確に垂直であり、かつ底面の平面形状が感知軸Ｇ
を対称の中心とする線対称である必要がある。よって、
この条件を満たす形状としては先の膜状圧電体ｌ６の平
面形状と同様に例えば第２図ないし第７図に示すものが
採用できる。ただし、圧電体積層ブロソク１３と荷重体
１９との組み合わせにおいて、荷重体ｌ９の底面の平面
形状と膜状圧電体１６の平面形状とは必ずしも同一形状
である必要はなく、例えば膜状圧電体ｌ６の平面形状が
正方形で、荷重体ｌ９の底面の平面形状が円形の組み合
わせであってもよく、後述するように感知軸Ｇを同じく
すればかまわない。

また、同時に荷重体ｌ９は、感知軸Ｇを通り、底面に垂
直な無数の平面で断面した時にすへての断面について感
知軸Ｇを対称軸とする線′ｌ：Ｉ称である必要がある。

この線対称の条件を満たすものとしては、第９図ないし
第１５図に示すものがある。

第９図に示したものは板状であり、第１０図のものは柱
状、第１１図は錐状、第１２図のものは球を平面で切り
取ったもの、第１３図のものは楕円体を平面で切り取っ
たもの、第１４図のものは柱状の内部に空間を形或した
もの、第１５図のものは柱体と板体とを組み合わせたも
のである。これらの図において、符号Ｓは底面を示し、
Ｇは格知軸と一致する対称軸である。また、この線対称
の条件を満たす荷重体１９は、したがってその重心が感
知軸Ｇ上に位置することになる。

また、荷重体ｌ９は、その全体が同質の材料からなるも
のの他に、異なる材料からなる複合材で形戊することも
できるが、この場合には、それぞれの材料が強固に固着
し、全体として剛体とみなしうるちのであることが必要
であり、それぞれが加速度を受けて別の変位を起こすも
のであってはならない。

そして、このような条件、すなわち対称性を有する荷重
体ｌ９はその対称軸を圧電体積層ブロノクｌ３の対称中
心に一致させて、言い換えれば感知軸Ｇ上に圧電体積層
プロ，ク１３の対称中心と荷歪体ｌ９の対称軸とを一致
させて配置され、固着されている。

このようなセンサはその台座ｌ１を被測定物に取り付け
られて用いられ、その感知軸Ｇ方向の加速度を測定する
ことができる。

第１６図は、この例のセンサの出力取り出しのための結
線方法を示すものであり、圧電体積層ブロノクｌ３の２
つの端部電極１４．１４を互いに接続して一方の出力取
り出し用端子とされ、中間電極１５を他方の出力取り出
し用端子とされている。

この構成の七ンサにあっては、台座Ｉｆと圧電体積層ブ
ロノク１３と荷重体１９とを単に積層したものであるの
で、構造が簡単であり、製造が容易となり、小型化も可
能となる。

また、膜状圧電体１６の平面形状が感知軸Ｇを対称中心
とする点対称であり、荷重体ｌ９の底面の平面形状が感
知軸Ｇを対称中心とする点対称であり、同時に荷重体１
９の立体形状が感知軸Ｇを通る平面においてすべて感知
軸Ｇを対称軸とする線対称であるので、クロストークが
微かである。

一般に、センサにその感知軸方向以外の方向ノ加速度が
加わった場合、ベクトル分解の法則によって感知軸に直
交する少なくとも二つの方向の戊分と感知軸方向の成分
とに分けられる。この感知軸に直交する方向の戊分は、
荷重体ｌ９の重心に作用し、重心を中心とする曲げモー
メントが荷重体ｌ９に働くことになる。このため、圧電
体積層ブロックｌ３、すなわち個々の膜状圧電体ｌ６・
・・の一部には圧縮力が作用し、残部には引張力が作用
することになる。個々の膜状圧電体１６は、圧縮力と引
張力とで反対符号の電荷を生じるが、この電荷量が等し
ければ互いに打ち〆肖されて出力が出力されなくなる。

したがって、個々の膜状圧電体ｌ６に互いに大きさが等
しい圧縮力と引張力とが作用すれば、膜状圧電体ｌ６か
らの出力はゼロになり、感知軸方向以外の方向の加速度
を検出しなくなる。

この発明では、膜状圧電体Ｉ６および荷重体ｌ９のそれ
ぞれの形状に、上述のような対称性を持たせていること
から、感知軸Ｇ方向以外の加速度が加わっても個々の膜
状圧電体ｌ６・・には等しい大きさの圧縮力と引張力と
が作用することになって、個々の膜状圧電体１６・・か
らの出力がなく、クロストークが極めて小さいものとな
る。

また、このセンサは、その測定可能周波数の上限が高く
、測定可能周波数帯域が広いものとなる。

この種のセンサの測定可能周波数の上限はセンサの共振
周波数によって定まる。この発明でのセンサの共振周波
数は、その構造から台座１ｌと荷重体ｌ９との間に存在
するもの、すなわち膜状圧電体１６・・、接着剤層、端
部電極１４，１４、中間電極１５などの弾性率を荷重体
ｌ９の質量で除した値に比例するため、従来の振動膜型
のセンサの共振周波数に比べて２桁以上高くなり、キロ
ヘルツのオーダーとなる。但し、接着剤層の弾性率が低
くなると共振周ｌ皮数が低下するので、留意すべきであ
る。

このため、圧電体積層ブロックｌ３自体およびこれと台
座Ｉ１および荷重体１９との固着に使われる接着剤につ
いては、接着剤層の弾性率をＥＡｓ総厚さを【Ａとし、
膜状圧電体１６の弾性率をＥ，、総厚さをｔｐとしたと
き、次の式で表される関係を満足する必要がある。

（ＥＡ／ｔＡ）　／　（ＥＰ／ｔＰ）≧０．　　１この
式の意味するところは、加速度によって荷重体１９に生
じた力が接着剤層によって吸収緩和されることなく個々
の膜状圧電体ｌ６・・・によく伝わるための条件であり
、上式の値が０．１未虜となると接着剤層による吸収緩
和が無視できなくなり、上述のように共振周波数が低下
し、測定可能周波数帯域を狭めることなる。

なお、接着剤の種類が異なり、弾性率も異なる場合には
、それぞれの接着剤層での弾性率と厚さの比を求め、こ
れを合計して上式に代入すればよい。

したがって、接着剤としてはエポキシ系、フェノール系
、シアノアクリレート系などの硬化型で、弾性率の高い
ものを遺択すべきであり、ゴム系などの粘着型は不適切
である。

また、このセンサにあっては、圧電体積層ブロソク１３
の積層シー｝１７．１７が、複数枚の膜状圧電体１６・
・・を積層したものであるので、センサ出力電圧が大き
くなり、高感度となる。このセンサの出力Ｖは、中間金
属ｌ５と端部電極ｌ４とに挟まれた膜状圧電体ｌ６・・
・の厚さを【、圧電定数をｄ，誘電率をε、加わる応力
をσとすると、Ｖ＝ｄσｔ／ε で示されることになり、膜状圧電体１６の積層枚数を多
することによって、簡単にＶを大きくすることが可能と
なる。

またさらに、このセンサでは焦電効果による出力が生じ
ない。すなわち、２つの積層シ一ト１７，１７間では、
膜状圧電体１６・・・の枚数が等しく、その総厚みもほ
ぼ等しく、分極方向が互いに逆方向（反対方向）てある
ため、圧電体積層ブロノク１３の両端部電極１４．，１
４間にΔｔの温度差が生じた場合、一方の端部電極ｌ４
と中間電極ｌ５との間にはΔｔ／２の温度差が生じ、中
間電極ｌ５と他方の端部電極ｌ４との間にも等しくΔＬ
／２の温度差が生じる。そして、中間電極ｌ５を境界と
して積層ンート１７．１７の分極方向が逆方向であるの
で、一方の積層シー｝１７では△ｔ／２の温度差によっ
て■の焦電効果による電圧が生じると、他方の積層ンー
ト１７では同じ（−Ｖの焦電効果による電圧が生じるこ
とになる。そして、第１６図に示すような出力取り出し
の結線を行っているので、ＶとーＶとが相殺されて出力
端子には、焦電効果による出力が表れないことになる。

よって、温度変化に伴って加速度による出力が変動する
ことがなくなり、温度特性が良好となる。

以下、具体例を示して作用効果を明確にする。

（実施例ｌ） 台座として厚さ１ｍｍのアルミナ基板を用いた。

膜状圧電体として、厚さ１１０μｍ，縦５．０ｍｍ、ｔ
＃５．ｏｍｍのボリフノ化ビニリデンンート（弾性＄２
．７ｘｌＯ”　Ｐａ）を用い、これの１枚をそのまま１
枚の積層７−トとした。この積層シートを２枚用い、端
部電極として厚さ３０Ｉｌｍ、縦５０＋＋＋ｅ＋，　ｆ
ｌＪｌｉ５．　ＯＩＩｖの銅箔を３枚用いて、第２図に
示すような圧電体積層ブロノクを作った。この圧電体積
層ブロックをアルミナ基板の台座上に積層し、この上に
さらに厚さ４．Ｏｓｖ、縦５．０１、＠５．０＋ｅｍ、
重さ０．８ｇの黄銅製の荷重体を対称軸を一致させて積
層し、センサとした。積層にはすべてエポキシ系接着剤
（弾性率１．６Ｘ１０”　Ｐａ）を使用した。１層の厚
さは約１０μｍである。端部電極および中間電極の結線
は第ｌ６図に示したとおりである。

（実施例２） 実施例ｌにおいて、ボリフッ化ピニリデンシ一トを２枚
正しく重ねて積層して１枚の積層ノートとし、この積層
シートを２枚用いて圧電体積層プロ，クを作った以外は
同様にしてセンサを作製した。

（比較例１） 実施例ｌのセンサにおいて、中間電極を有することなく
、両端部電極をそのまま出力端子としたもの。

（比較例２） アルミナ基板上に実施例ｌで用いたものと同じ１枚のボ
リフッ化ビニリデンンートを積層し、この上に同様の荷
重体を対称軸を一致して積層してセンサとした。（特顎
平ｋｌ　１３２５５号に記載のセンサ） これら４個のセンサについて、加振周彼１１００Ｈｚ、
加振加速度ＩＧの正弦波連続加振試験を行い、この試験
中雰囲気温度を下記の条件で変化させた時の出力を測定
した。

２０゜Ｃ（室温） ↓１分間急加温 ４０℃ ↓１分間温度保持 室温まで放冷 結果を第１表に示す。

第１表における出力は、 各例のセンサにおいて 加温前 （時間Ｏ分） の出力をそれぞれ１とした相 対値で示してある。

第 １ 表 また、 室温での各例のセンサの出力は第２表に示す通りである
。

第 ２ 表 第１表および第２表の結果から明らかなように、この発
明のセンサは雰囲気温度の急激な変動があっても、焦電
効果による出力がなく、加速度に基づく出力に変動を与
えることがほとんどなく、温度特性が優秀であることが
わかる。また、出力電圧を高めて高１１とすることら可
能であることがわかる。

また、いずれのセンサについても、そのクロストークは
３〜５％の範囲であり、測定可能周波数帯域は、０．１
Ｈｚ〜２ＫＨｚであった。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明の圧電型加速度センサは
、被測定物に剛に取り付けられる台座と、この台座の感
知軸に垂直な測定面に固着された膜状圧電体と、この膜
状圧電体上に固着され、慣性重量部として作用する剛体
からなる荷重体を有し、膜状圧電体は、その平面形状が
、前記測定面に平行な面において感知軸を対称の中心と
する点対弥であり、かつ偶数枚が積層された積層物とさ
れ、この積層物の両端にはそれぞれ端部電極が設けられ
、積層枚数をｎ　（ｎ＝２．４，６．８……）としたと
き、そのｎ／２枚目とｎ／２＋１枚目との間に中間電極
が間挿され、この中間電極を境界として積層された膜状
圧電体の厚さ方向の分極方向が互いに逆方向とされ、両
端部電極と中間電極との間の電位差を検知出力とするよ
うにされ、 荷重体は、それの膜状圧電体に接する面の平面形状が感
知軸を対称の中心とする点対称であり、かつ感知軸を通
り、前記測定面に垂直な無数の平面で断面した時、すべ
ての断面について感知軸を対称軸とする線対弥としたも
のであるので、構造が簡単であり、小型化を計ることが
容易であり、温度特性が擾秀であり、高出力とすること
ちでき、またクロストークが極めて少ないものとなる。

さらに、１則定可能周波数帯域が広く、測定用途に合致
した設計が容易であり、設計の自由度が大きいなどの効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の圧電型加速度センサの一例を示す分
解斜視図、 第２図はこの発．明における圧電体積層ブロックの例を
示す斜視図、 第３図ないし第８図はいずれもこの発明で用いられる膜
状圧電体の平面形状の例を示す平面図、第９図ないし第
１５図はいずれもこの発明で用いられる荷重体の立体形
状の例を示す断面図、第１６図はこの発明での出力取り
出しのための結線を示す図、 第１７図は従来の圧電型加速度センサの例を示す概略構
戎図である。 １１　　・・・・台座、 １ Ｇ ２・・・・測定面、 ・・・・感知軸、 ３・・・圧電体積層ブロノク、 ４−・・・端部電極、 ５・　・・中間電極、 ６・・・・・膜状圧電体、 ７・・・・・積層ソート、 ９・・・・・・荷重体。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定物に剛に取り付けられる台座と、この台座
   の感知軸に垂直な測定面に固着された膜状圧電体と、こ
   の膜状圧電体上に固着され、慣性質量部として作用する
   剛体からなる荷重体を有し、膜状圧電体は、その平面形
   状が、前記測定面に平行な面において感知軸を対称の中
   心とする点対称であり、かつ偶数枚が積層された積層物
   とされ、この積層物の両端にはそれぞれ端部電極が設け
   られ、積層枚数をｎ（ｎ＝２、４、６、８……）とした
   とき、そのｎ／２枚目とｎ／２＋１枚目との間に中間電
   極が間挿され、この中間電極を境界として積層された膜
   状圧電体の厚さ方向の分極方向が互いに逆方向とされ、
   両端部電極と中間電極との間の電位差を検知出力とする
   ようにされ、荷重体は、それの膜状圧電体に接する面の
   平面形状が感知軸を対称の中心とする点対称であり、か
   つ感知軸を通り、前記測定面に垂直な無数の平面で断面
   した時、すべての断面について感知軸を対称軸とする線
   対称であることを特徴とする圧電型加速度センサ。
2. （２）請求項（１）記載の圧電型加速度センサにおいて
   、各膜状圧電体間、端部電極ならびに中間電極と積層物
   との間および端部電極と台座ならびに荷重体との間が接
   着剤で固着され、これらの接着剤層の総厚さをｔ＿Ａ、
   その弾性率をＥ＿Ａとし、膜状圧電体の総厚さをｔ＿Ｐ
   、その弾性率をＥ＿Ｐとして、下式の関係を満足するこ
   とを特徴とする圧電型加速度センサ。 （Ｅ＿Ａ／ｔ＿Ａ）／（Ｅ＿Ｐ／ｔ＿Ｐ）≧０．１