JPH03242557A - 圧電型加速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野ｊ この発明は膜状圧電体を用いた圧電型加速度センサに係
り、特に焦電効果によるノイズ出力を低パと、・こしの
に関する。

「従来の技術」 圧電型加速度センサには、（オ料によって大別すれば、
無機・セラミックスの圧電体を加速度感知部に用いたも
のと、ポリマ系の圧電体を用いたしのがある。

無機・セラミックス系のセンサは、精度が良く、使用可
能温度範囲が広い等の利点があるが、衝撃によって破壊
しやすく、小型化しにくい等の問題がある。これは、チ
タン酸ジルコン酸塩系セラミック圧電体による加速度セ
ンサを例にして考えるに、感知部を焼結によって成形す
るために小型化が困難であるとともに、感知部の物性と
しての脆さが耐衝撃性を損なっていると考えられる。

一方、ポリマ系のセンサは、公開された特許公報や一般
に市販されているセンサによれば、圧電性ポリマのノー
トのみならず、無機・セラミックス系圧電体の粉体をポ
リマ中に分散させた混和物のノートを用いた乙のであっ
て、耐衝撃性（よ改善されているが、必ずしら小型では
なく、測定可能な周波数帯域が狭く、クロストークが悪
く、正味の出力感度が低い等の問題がある。

なわ、商運した加速度センサの一例として、特開昭５６
−１０２５８号公報に開示されたも′のか知られている
。この加速度センサは第１８図に示す上うに、圧型ポリ
マ製の振動膜１をその周縁部で環状の枠体２に固定し、
振動膜Ｉの中心部の両面に慣１１−質量として機能オろ
荷重体３を設け、枠体２を台座４に固定してなるもので
ある。

ところが、この構造の加速度センサにおいても、ポリマ
製の振動膜１の周辺を固定した振動膜構造てあり、ポリ
マの弾性率が低いことに起因し、感知軸Ｇに直行する方
向の加速度ら検出してしまうために、前述のようなりロ
ストークの問題などを生じる欠点がある。

」二連のように圧電型加速度センサの性能は、圧電体の
材質わよびセンサの構造と深くかかわっていると考えら
れる。

そこで本発明者らは、以−Ｌのような従来のセンサの欠
点を解消するために、被測定物に剛に取り付１すられる
台座と、この台座の感知軸に垂直な測定面に固着された
膜状圧電体と、この膜状圧電体上に固着され、慣性質量
部として作用する剛体からなる荷重体を具備したことを
特徴とするセンサを案出し、先に特願平１−１１３２５
５号として特許出願している。

かかるセンサは、構造が極めて簡単であり、感知軸方向
に直交する方向の加速度が加わった時のノイズ出力が極
めて小さく、しかも、測定可能な周波数帯域が広いなど
の利点を有している。

「発叩が解決しようとする課題」 しかしながら、この新しいタイプのセンサにおいて乙以
下のような不都合の解決が必要であった。

前記構造のセンサは、温度の変動によって膜状圧電体に
部分的に温度変化を生じると、この温度分布に起因する
焦電効果によって余分な電気出力を生し、これがノイズ
出力となるので、周囲の温度変化が激しい場所での使用
は困難であった。

また、焦電効果によるノイズ出力は、周波数成分として
は低周波数剃にあるので、バイパスフィルタを使用する
ことによってカットすることちてきるか、そうすると、
低周波数ｆｆ１１１の加速度ら測定できなくなるという
不都合があった。

そこで、本発明者らは、この焦電効果によるノイズ出力
低減策として、特願平１−１９０８２４号、わよび、特
願平１−２２９８０７号において特許出願を行っている
。

これらの特許出願にわいては、分極方向が互いに逆ｊ−
ｊ向の膜状圧電体を積層してなるバイモルフＪ、レメ／
トを圧電体ブロック内に組み込み、膜状圧・ｄ体のすさ
方向の温度変化を生じた場合、分極方向の児なる膜状圧
電体どうしの士の余分な起電力を７１ち哨才ことによっ
て焦電効果によるノイズ１１力の問題を解消したちので
あった。

ところが、前記構造の加速度センサは、圧電体内部の温
度分布、例えば、検知部のどちらか一面（１１１１から
熱伝導によって温度変化を生じた場合は有効であるが、
設置雰囲気全体の急激な温度変化に対しては効果が期待
できない。よって、現状では、１用達度センザのパッケ
ージ等で頑強に熱絶縁を施−１一方向のみからの熱伝達
によってのみ検知部の温度変化が生しるように設計し、
製造する必要があった。

本発明は前記課題を解決するためになされたしので、焦
電効果によるノイズ出力を低減することができ、温度変
化の激しい環境において使用することができる圧電型加
速度センサを提供することを目的とする。

「課題を解決するための手段」 請求項１に記載の発明は前記課題を解決するために、被
測定物に剛に取り付けられろ台座と、この台座の測定面
に固着され電極を備えた膜状圧電体と、前記膜状圧電体
上に固着され慣性質量部として作用する剛体からなる荷
重体とを有する検知部を備え、前記検知部の側方に検知
部に近接させて前記膜状圧電体と同一材料製で同一厚さ
の膜状圧電体からなるＭ）供用圧電体を設け、膜状圧電
体と補償用圧電体が両者の電気出力の差動電圧を取り出
せるように結線してなるものである。

以下、この発明の詳細な説明する。

第１図と第２図は、この発明のセンサの一例を示す乙の
で、台座１ｊ上に、膜状圧電体１３と荷重体１４が積層
されて検知部Ａが構成されている。

前記台座１１はセンサの基体をなし、被測定物に剛に取
り付けられるもので、十分な剛性を存する材料、例えば
、鋼、黄銅、アルミニウムなどから作られている。また
、台座１１をなす材料の弾姓串は後述の膜状圧電体のそ
れ以上とされ、台座ＩＩの厚さは膜状圧電体の数倍であ
ることが望ましい。この例の台座１１は直方体状に形成
されているが、台座１１の形状はこれに限られるもので
はむく、板状、円柱状などの形状でもよい。

この台座１１の一つの表面（上面）は、平坦かつゝ１乙
滑な測定面とむっでし）る。この測定面は、このセンサ
の加速度の感知軸Ｇに対して正確に垂直とされたＩＲ直
面である必要がある。

この台座１１の測定面上には接着層を介して膜状圧電体
１３が台座１１に対して一体に強固に固着されている。

この実施例の膜状圧電体１３は、圧電性を有する（オ料
からなる厚さ１０〜１００μｍのフィルム状のらのであ
って、その厚さか十分に均一でかつ全体が十分に均質な
ものが用いられる。圧電性を有する材料としては、ポリ
フッ化ビニリデン、ポリ塩化ビニリデン、ポリフッ化ビ
ニル、ポリ塩化ビニル、ナイロン１１やポリメタフェニ
レンイソフタラミドなどのナイロン、テトラフロロエチ
レン、トリフロロエチレン、フッ化ビニルなどとフッ化
ビニリデンとの共重合体、酢酸ビニル、プロピオン酸ヒ
ニル、安息香酸ビニルなどとシアン化ビニリデンとの共
重合体、ポリフッ化ビニリデンとポリカーボネイトとの
ブレンドポリマー　ポリフッ化ビニリデンとポリフッ化
ビニルとのブレンドポリマー等のポリマー系のほかに、
チタン酸金属塩、チタン酸ノルコン酸金属塩等の圧電材
料の粉末をポリマーに添加、分散したものなどが用いら
れろ。

この膜状圧電体１３の上面（表面）と下面（裏面）には
、電気出力取出用のアルミニウム箔などからなる電極層
が設けられている。そして、この膜状圧電体１３と台座
１１との固着は、エボキノ系接着剤などの硬化型の接着
剤を用いて行われる。

このようｔ工膜状圧電体１３の上には、慣性質量部とし
て機能する剛体からなる荷重体１４が接着１４を介して
一体に固着されている。この荷重体Ｉ・１は加速度を受
けて変位し膜状圧電体１３に歪みまたは応力を生せしめ
るもので、その重量はセン→ｌ−ｂ”’＋　ｌｌｉ、　
（ｄ、加速度当たりの電気的出力に関係するため、特に
限定されること（よないが、膜状圧電体ｌｊ３にタリー
ブを生しせしめない範囲とされろ。荷重体１１と膜状圧
電体Ｉ３の固着は、台座１１と摸伏１ｆ：市体Ｉ３の固
着と同様である。

方、台ｆ４＜　Ｉ　＋の上面てあって検知部Ａの膜状！
■［凰Ｒ，ｘ　ｌ　３の側方に：よ、前記膜状圧電体Ｉ
３と同一・（イ科て、ｈって、同一厚さの膜状圧電体か
らなるｈｌｉ　Ｉ音［Ｈ圧電体１５が接着されている。

この補償用ｒ■ｘ　爪体Ｉ５を固着する位置は、検知部
Ａになるべく近い部分であることが好ましく、できれば
５ｍｍ以内か好ましい。

第２図は、膜状圧電体１３と補償用圧電体１５う・らの
電気出力を得るための結線構造の一例を示【う、って、
この結線構造は、膜状圧電体１３の出ツノと？Ｉｌｉ償
用圧重用圧電体１５ノの両者の出力の差を出力するため
のらのである。即ち、この例では、膜状圧電体１３の分
極方向と補償用圧電体Ｉ５の分極方向とをいずれら第２
図に示すように上向きとしであるのて、膜状圧電体Ｉ３
の底面側の電極と補償用圧電体Ｉ５の底面１１１＋１の
電極を接続線１６て結線し、膜状圧電体１３の上面側の
電極に引き出し線１７を接続し、補償用圧電体１５の」
−面側の電極に引き出し線１８を接続して構成し、引き
出し線１７．１８からセンサの出力を取り出せるように
構成されている。

一方、前記膜状圧電体１３にあっては、その平面形状が
クロストークを低減する上で重要である。

この発明におＩＪ′るクロス）・−りとは、センサの感
知軸Ｇ方向の加速度を受けた時の出力Ｐ、と、感知軸Ｇ
に直交する方向の加速度を受けた時の出力Ｐ、との比Ｐ
２／Ｐ、で表されるものである。

まず、膜状圧電体１３の平面形状が、台座ＩＩの測定面
に平行な面にむいて感知軸Ｇを対称の中心とする点対称
でなければならない。第１図に示ず例では長方形となっ
ているが、これ以外に上記条件を満たす平面形状として
は、例えば第３図ないし第８図に示すようならのかある
。第３図は平行四辺形、第４図は円形、第５図は楕円、
第６図は正六角形、第７図はへ角形、第８図は円環形で
ある。これらの図において符号Ｇはいずれも感知軸Ｇを
示す。これらの平面形状はすべて感知軸Ｇを対称の中心
とする点対称となっている。勿論、これら以外の平面形
状でも上記条件を満たせば採用可能である。

また、前記荷重体１４については、その立体形状がクロ
ストークを低減するうえて重要である。

まず、６：１重体１４の膜状圧電体１３と接する面（以
下、底面と言う。）は感知軸Ｇに対して正確に垂直てあ
り、かつ底面の平面形状が感知ｌ１ｈＧを対称の中心と
する線対称である必要がある。よって、この条件を満た
ず形状として（よ先の膜状圧電体１３の平面形状と同様
に例えば第３図ないし第８図に示すものが採用できる。

ただし、膜状圧電体１３と荷重体１４との組み合わせに
おいて、荷重体Ｉ４の底面の平面形状と膜状圧電体Ｉ３
の平面形状とは必ずしも同一形状である必要はなく、例
えば膜状圧電体１３の平面形状が正方形で、荷重体１４
の底面の平面形状が円形の組み合わせてあってもよく、
後述するように感知軸Ｇを同じくすればかまわムい。

また、同時に荷重体１４は、感知軸Ｇを通り、底面に垂
直な無数の平面で断面した時にすべての断面１こついて
感知軸Ｇを対称軸とする線対称である必要がある。この
線対称の条件を満たすものとしては、第９図ないし第１
５図に示すものがある。

第９図に示したものは板状であり、第１０図のものは柱
状、第１Ｉ図は錐状、第１２図のものは球を平面で切り
取ったもの、第１３図のものは楕円体を平面で切り取っ
たもの、第１４図のものは柱状の内部に空間を形成した
もの、第１５図のものは柱体と板体とを組み合わせたも
のである。これらの図において、符号Ｓは底面を示し、
Ｇは感知軸と一致する対称軸である。この線対称の条件
を満たす荷重体Ｉ４の重心は感知軸Ｇ上に位置すること
になる。

また、δ；丁玉体１４は、その全体が同質の材料からむ
ろらのの池に、異なる材料からなる複合材で形成オろこ
ともできるが、この場合には、それぞれの材料が強固に
固着し、全体として剛体とみなしうろらのであることが
必要であり、それぞれが加速度を受けて別の変位を起こ
すものてあってはへらへい。

そして、このような条件、すなわち対称性を有４−ろ６
：トｎ体１・１はその対称軸を膜状圧電体１３のズ・［
作中心に一致させて、言い換えれば感知軸Ｇ上に膜状圧
電体１３の対称中心と荷重体１４の対称軸とを一致させ
て配置され、固着されている。

次に１ラス記構成の加速、空センサの作用について説明
する。

１１’ｌ　ＲＥ、構成のセンサは台座ＩＩを被測定物に
取り付けて用いられ、その感知軸Ｇ方向に加速度が作用
すると、荷重体Ｉ４が膜状圧電体■３に加速度に［ぶじ
た荷重を負荷し、この負荷に応じた歪の発“ｊ：　；二
Ｊ、ｕついて膜状圧電体１３の表面側の電極と裏面側の
電極に電位差を生じる。ここて、膜状圧電体１３は、加
速度検知部Ａにあり、上に荷重体Ｉ４を有しているので
、加速度に応じた電位差が得られるが、Ｎｌｉ償用圧用
圧電体１５荷重が乗っていないのて、加速度を与えても
電位差を生じることはない。従って引き出し線１７，１
１３間において、電位差を測定することにより加速度の
大きさを判定することができる。

しかし、加速度センサの設置環境において、加速度を与
えなくとも、急激な温度変化を与えろと、焦電効果によ
って膜状圧電体１３と補償用圧電体１５の双方に出力を
生じる。

この時の膜状圧電体１３の電気出）Ｊと補償用圧電体１
５の電気出力は、士の方向が逆であり、しかも、圧電体
１３，１．５は同一材料で構成されて厚さも同一である
ので、両電気出力は打ち消しあう結果、引き出し線１７
．１８間に電位差は生しない。

ただし、以上の説明は、圧電体１３．１５が同様の温度
変化を受けた場合に適用できることであるので、圧電体
１３．１５は同一空間内（同一バンケーノ内など）に、
しかも、近接させた距離（好ましくは５ｍｍ以内）に設
置ずろことが望ましい。従って例えば、同一圧電体の電
極を２分割し、片方に荷重体を載せ、他方に荷重体を載
せないで補償周圧爪体として構成することも可能である
。

また、円圧電体１３．１５の作動出力をセッサ出力とし
ているために、台座１１が変形するなどの原因によって
コモンモードノイズ出力を生じても、それらのノイズ出
力を相殺することでノイズ出力の値を小さくすることが
できろ。

一方、以上の構成のセンサにあっては、台座ＩＩと膜状
圧電体１３と荷重体１４とを屯に積層したちのであり、
圧電体Ｉ３に形成する電極層も一般の成膜プロセスなど
を適用できるので、構造が簡単で製造が容易となり、小
型化も可能となる。

また、膜状圧電体１３の平面形状が感知軸Ｇを対称中心
とする点対称であり、荷重体１４の底面の下面形状が感
知軸Ｇを対称中心とする点対称であり、同時に荷重体１
４の立体形状が感知軸Ｇを通る平面においてすべて感知
ＭＧを対称軸とする線対称であるので、クロストークが
微かである。

一般に、セッサにその感知軸方向以外の方向の加速度が
加わった場合、ベクトル分解の法則によって感知やｍに
直交する少なくとも二つ方向の成分と感知軸方向の成分
とに分（ｔられる。この感知軸に直交する方向の成分は
、荷重体１４の重心に作用し、重心を中心とする曲げモ
ーメントか荷重体１４に働くことになる。このため、膜
状圧電体Ｉ３の一部には圧縮力が作用し、残部には引張
ツノが作用することになる。膜状圧電体１３には、圧縮
力と引張力とで反対符号の電荷を生じ、膜状圧電体１３
の電極から生じる電位に差異を生じるが、前記反対符号
の電荷肴が等しければ、各電極から発生ずる電喰の合計
値は変動しない。

したがって、膜状圧電体１３に互いに大きさが等しい圧
縮力と引張力とが作用すれば、膜状圧電体１３からの出
力変動はゼロになり、感知軸方向以外の方向の加速度を
検出しなくなる。

この発明では、膜状圧電体１３および荷重体１４のそれ
ぞれの形状に、上述のような対称性を持たせていること
から、感知軸Ｇ方向以外の加速度が加わっても膜状圧電
体Ｉ３には等しい大きさのＦＥ縮力と引張力とが作用す
ることになって、膜状圧電体１３からの出力変動がなく
、クロストークか極めて小さいものとなる。このように
クロストークを少なく−４“るには、分割電極を感知軸
Ｇを対トｌ：の中心とする点対称配置することが好まし
い。

まｌ二、このセッサは、その測定可能周波数の上限か高
く、測定可能周波数帯域が広いものとなる。

この種のセンサの測定可能周波数の上限はセンサのｊ（
振周波敢によって定まる。

こ、）光切でのセンサの共振周波数は、その構造か萱台
座１１と荷重体１４との間に存在するもの、Ａ−なわち
膜状圧電体Ｉ３、接着層、電極層の弾性率を荷重体１４
の質量で除した値に比例するため、従来の振動膜型のセ
ンサの共振周波数に比べて２桁以上高くなり、キロヘル
ツのオーダーとなる。

但し、接着剤層の弾性率が低くなると共振周波数・９又
下オるので、留意すべきである。

このため、膜状圧電体１３と台座１１および荷重体１４
との固着１こ接着剤を用いるものでは、接着剤層の弾性
率をＥＡ、厚さをｔＡとし、膜状圧電体Ｉ３の弾性率を
Ｅｐ１厚さをｔｐとしたとき、次の式で表される関係を
満足する必要かある。

（ＥＡ　／ｌ　Ａ　）　／（Ｅｐ／ｌ　ｐ）≧０．１こ
の式の意味するところは、加速度によって荷重体１４に
生じた力が接着層によって吸収緩和されることなく膜状
圧電体１３に伝わるための条件であり、上式の値が０．
１未満となると接着層による吸収緩和が無視できなくな
り、上述のように共振周波数が低下し、測定可能周波数
帯域を決めることなる。

なお、上式における接着層の厚さは、台座１１と荷重体
Ｉ４との間の存在するすべての接着層の厚さの合計を言
う。また、接着剤の種類が異なり、弾性率も異なる場合
には、それぞれの接着層での弾性率と厚さの比を求め、
これを合計して上式に代入すればよい。

したかって、接着剤としてはエボキ／系、フエノール系
、ノアノアクリレーＩ・系などの硬化型で、弾性率の高
いしのを選択すべきであり、ゴム系などの粘着型は不適
切である。また、導電性接着剤を用いることらできる。

むお、ボｊ記実施例にわいては、膜状圧電体Ｉ３として
ｊｌｉ層のものを用いたが、膜状圧電体Ｉ３は多層横這
の乙のでも差し支えない。また、第１６図に示すように
、極性の児なる膜状圧電体３０３１を中間−、Ｉｉ　体
３２を介して積層し、積層された膜状圧電体３０．３１
の上下両面に端部爪棒３３を形成してなるバイモルフエ
レメント３５を形成して、膜状圧電体１３の代わりにこ
のバイモルフエレメント３５を用いても良い。

一方、７１７図（よ、本定四の結線構造の他の例を示“
４゛らのて、このρｊでは、膜状圧電体１３の分極方向
とＭｔｉ償用圧和体１５の分桶方向か逆方向に向いてい
る場合の例である。この例では、膜状圧電体１３の上面
側の電極と補償用圧電体１５の底面伸１ｆ）電極とか接
続線１９て結線され、膜状圧電体Ｉ３の底ｒｆｉ’ｉ　
ｆｕｌｌに引き出し線２０が接続され、補（賞用圧電体
１５の上面側の電極に引き出し線２Ｉが接続されて構成
されている。

この例の構造においては、焦電効果によって膜状圧電体
Ｉ３に生じた電気出力とＭ＠用正圧電体１５生じた電気
中）Ｊの方向が逆であるので、互いに打ち消しあう結果
、焦電効果による余分な出力変動は生じない。

「実施例１１ 厚さ５ｍｍのアルミニウム板を台座とし、これの上面に
、厚さ１００μｍで縦１０ｍｍ、　ｌｉｓ　ｔ　Ｏｍｍ
の正方形状の２枚のＰＶＤＦ圧電フィルトをＴｉし）に
２ｍｍ離間させた状態でエボキノ系接着剤で接着した。

このＩＴ：、市フィルｌ、の上下両面には、Ｃｕ／Ｎｉ
電極が形成されてい４゜また、２枚のＰ　Ｖ　Ｉ）　Ｆ
圧電フィルムのうりの１枚の上に、質量１０ｇの荷重体
をエボキノ系接着剤で固着してセッサを構成した。なお
、このセンサの構造では、第２図に示す結線構造を採用
した。

「実施例２」 実施例Ｉと同等の圧電フィルムを用いてセンサを購峻乙
、Ｗ（＋、線描這については第１７図に示ず構造を採用
した。

１−尖施削３−。

実施例１の構造にわいて、荷重体を載せない方の「ｆ爪
フイｌしふを厚さ１００μｍ、平面形状が５＼５ｍｍの
ちのを使用してセッサを構成した。

−比較例１− Ｊ７さ５ｍｍＪ）アルミニウム板上に１辺１０ｍｍの正
方彩伏、）　Ｐ　Ｖ　ｌ）　Ｆフィルムを固着し、更に
その上に出力１０ｇの荷重体を１妾ｎし、このＰ　Ｖ　
Ｉ）　Ｆフ（’Ｌ・−′、５）両：ｎｊｈ・、５出力を
取り中子構造のセンサを（１が：戊し、ｒ・ 比較例こ ス′：１色例１と１１１等、つ構ｉ戊で荷７Ｒ体を１］
改Ｕ゛ない方の１’　Ｖ　Ｉ）　Ｆフｆルムの厚さを５
０μｍ圭してセッサを構成した。

以上、）構造８採用した６例のセンサについて、以下の
ような測定試験を１１′った。

（１）活水出力測定試験 ７ノビ一グンス変換回路を介してＩＧあたりのセンナの
基本出力を測定した。（ピーク値）（２）温度変動に対
する出力変化試験 インピーダンス変換回路およびセッサをナイロン６製の
パッケージに組み込み、熱風を吹き付けてセッサ近傍の
１Ｍ　ｅがＩ　’Ｃ上昇した時にどれだけ出力の変動が
起こるかを測定した。

以上の試験結果を第１表に示す。

第　　１　　表 第１ｋに示す結果から、本発明のセンサは温度変化に応
じた出刃変動を小さくすることができろことか明らかに
なった。また、比較例２のセンサにあっては、２枚のｒ
ｒ：、電フィルムの厚さが異なり、同等のか衝撃に対す
る焦電出力が異なるために、両正電フィルムの作動出力
をとっても出力変動が生している。

［−発明の効果」 以」−説明したように請求項Ｉに記載した発明は、加速
度を検出する膜状圧電体の他に補償用圧電体を検出部り
傍に備え、両者の差動出力により加速度を検出てきるよ
うにしたので、環境温度の急激へ変化か生しても、焦電
効果によるノイズ出力を大幅に少なくすることができ、
加速度の測定精度を向上させることができる。

また、円圧電体の差動出力をセンサ出力とするために、
温度変動以外のコモンモードノイズ、例えば、チ゛ン座
の変形により生しるノイズ出力を小さくすることかでき
る効果がある。

更に、この発明のセンサは台座と膜状圧電体と荷重体を
積層して固着したものであるので、構造が簡単で小型化
も容易にできる。更に、クロストークが極めて少なく、
測定可能周波数帯域が広く、測定用途に合致した設計が
容易で設計の自由度が大きいなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図と第２図は本発明の一実施例を示すしので、第１
図は斜視図、第２図は圧電体の結線図、第３図ないし第
８図はそれぞれ膜状圧電体の平面形状の変形例を示す図
、第９図ないし第１５図はそれぞれ荷重体の断面形状の
変形例を示す図、第１６図はバイモルフエレメントを示
す断面図、第１７図は本発明の加速度センサの他の例の
結線図、第１８図は従来の加速度センサを示す断面図で
ある。 Ａ・検知部、ＩＩ・・台座、Ｉ３・・膜状圧電体、１４
・・６；１重体、１５−補償用圧電体、Ｇ・感知軸、１
６．１８・・引き出し線、２０．２１　　出力線。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被測定物に剛に取り付けられる台座と、この台座の測定
   面に固着され電極を備えた膜状圧電体と、前記膜状圧電
   体上に固着され慣性質量部として作用する剛体からなる
   荷重体とを有する検知部を備え、前記検知部の側方に検
   知部に近接させて前記膜状圧電体と同一材料製で同一厚
   さの膜状圧電体からなる補償用圧電体を設け、膜状圧電
   体と補償用圧電体を両者の電気出力の差動電圧を取り出
   せるように結線してなることを特徴とする圧電型加速度
   センサ。