JPH0320673A - 圧電型加速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分！４４Ｐ　：１ この発明は膜状圧電体を用いた圧電型加速変センサに係
り、特に焦電効果に起因するノイズの発生を抑えたもの
に関ケる。

〔従来の技術〕

従来の圧電型加速度センナ（以下、センサと略記する。

）の一例として、第１７図に示すものが知られている。

このセンサは特開昭５６−１０２５８号公報に開示され
たもので、圧電性ボリマーなどの圧電材料からなる円板
状の振動膜Ｉをその周禄部で環状の枠体２に固定し、振
動膜１の中心の両面に慣性質量として機能する荷重体３
を設け、枠体２を台座４に固定したものである。

そして、このセンサでは、振動膜ｌの膜゛面に直交し、
荷重体３の中心を通る軸が加速度の感知軸Ｇとなってい
る。

このようなセンザでは、その台座４を被測定物に取り付
けることにより、被測定物の感知軸Ｇ方向の加速度変化
を検知することができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このセンサにあっては、感知軸Ｇ方向に
直交する方向の加速度が加わった際にも、荷重体３がそ
の方向に変位し、振動膜１に歪が生じて電気的出ツノが
生じてしまう欠点があった。

また、構造が複推で、製造が面倒である不都合もあり、
測定可能な周波数帯域が狭く、その変更も困難である欠
点もあった。

このような従来のセンサの欠点を解消するため、本発明
者等は、被測定物に剛に取り付けられる台座と、この台
座の感知軸に垂直な測定面に固着された膜状圧電体と、
この膜状圧電体上に固着され、慣性質量部として作、用
する剛体からなる荷重体から構成され、膜状圧電体の平
面形状が、前記測定面に平行な面において感知軸を対称
の中心とする点対称であり、荷重体は、それの膜状圧電
体に接する面の平面形状が感知軸を対称の中心とする点
対称であり、かつ感知軸を通り、測定面に垂直な無数の
平面で断面した時、すべての断面について感知軸を対称
軸とする線対称としたことを特徴とするセンサを案出し
、先に特許出願している。

かかるセンサは、構造が極めて簡単であり、感知軸方向
に直交する方向の加速度が加わった時のノイズ出力が極
めて小さく、しかも測定可能な周波数帯域が広いなどの
利点を有している。

しかしながら、この新しいタイプのセ．ンザにおいてら
以下のような不都合の解決が必要であった。

前記構造のセンサの電気出力は、荷重体の質量に応じて
変化するので、比重の大きな物質、例えば，銅、黄銅な
どの金属材利を用いることによってより高い出力が得ら
れる。ところが、台座の材料として、より安価で加工性
に富むプラスチック材料を用いると、金属とプラスチッ
クといった、熱伝導度の異なる部材で膜状圧電体を挾む
構成となるので、センサの設置場所に温度変化が生じた
場合、膜状圧電体の表．裏面に温度差が生じることで焦
電効果による電気出力が発生してしまい、ノイズ出力が
発生する問題があった。

本発明は前記課題を解決するためになされたもので、焦
電効果に起因するノイズ出力が発生しないようにした圧
電型加速度センサを提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

請求項ｌに記載の発明は前記課題を解決するために、被
測定物に剛に取り付けられる台座と、この台座の感知軸
に垂直な測定面に固着された膜状圧電体と、この膜状圧
電体に形成された電極と、前記膜状圧電体上に固着され
、慣性質量部として作用する剛体からなる荷重体を有し
、 膜状圧電体の平面形状が、前記測定面に平行な而におい
て感知軸を対称の中心とする点対称であり、荷重体が、
それの膜状圧電体に接する面の平面形状が感知軸を対称
の中心とする点対称であり、かつ感知軸を通り、前記測
定面に垂直な無数の平面で断面した時、すべての断面に
ついて感知軸を対称軸とする線対称であるたともに、 前記荷重体が、質量の異なる複数の分割荷重体を感知軸
の軸方向に沿って一体に積層してなり、前記膜状圧電体
に固着される分割荷重体の厚さをｔ．ｗ，Ｍ伝導度をＫ
ｗ、前記台座の厚さをｔａ、台座の熱伝導度をＫＢとし
て５４下式の関係を満足するようにし、たちのである。

０．８（Ｋ　　ａ　　／　　ｔ　　Ｂ　　）　　≦　（
Ｋ．　　ｗ／　　ｔ．ｖ）　　≦　１．２（Ｋ　　Ｂ　
　／　　ｔ　　Ｂ　　）以下、この発明を詳１，ク説明
する。

第１図はこの発明のセンサの一例を示すもので、図中符
号ｌ１は板状の台座である。この台座ｌｌ社センサの基
体をなし、被測定物に剛に取り付けられるもので、十分
な剛性を有し、安価で加工性に寓む材料、例えば、プラ
スチック、あるいはガラスｗＬ維などで強化されたプラ
スチックなどから形成されている。また、台座１１をな
す材料の弾性率は後述の膜状圧電体のそれ以上とされ、
台座１１の厚さは膜状圧電体の数倍以上であることが望
ましい。この例の台座１ｌは板状に形成されているが、
台座１ｌの形状はこれに限られるものではなく、直方体
状、円柱状などの形状でもよい。

この台座１１の一つの表面は、平坦かつ平滑な４り定面
１２となっている。この測定面ｌ２は、このセンサの加
速度の感知軸Ｇに対し，て正確に垂直とされた垂直面で
ある必要がある。

この台座１１の測定面ｌ２上には膜状圧電体ｌ３が台座
ＩＩに対ｊ２て一体に強固に固着されている。

嘆状圧電体ｌ３は、匡電性を有する材料からなる主に厚
さＩ．　Ｏ〜１００μｍのフィルム状のものであって、
その厚さが十分に均一でかつ全体が十分に均質なものが
用いられる。圧電性を有する材料としては、ボリフッ化
ビニリデン、ポリ塩化ビニリデン、ボリフッ化ビニル、
ポリ塩化ビニル、ナイロン１ｌやポリメタフエニレンイ
ソフタラミドなどのナイロン、テトラフ口口エチレン、
トリフロロエチレン、フッ化ビニルなどとフッ化ビニリ
デンとの共重合体、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、
安息香酸ビニルなどとンアン化ビニリデンとの共重合体
、ボ“ｌフッ化ビニリデンとポリカーボネイトとのブレ
ンドボリマー、ボリフッ化ビニリデンとボリフソ化ビニ
ルとのブレンドボリマー等のボリマー系のほかに、チタ
ン酸金属塩、チタン酸ジルコン酸金属塩等の圧電材料の
粉末をボリマーに添加、分散したものなどが用いられる
。

この膜状圧電体ｌ３の上面（表面）には、電気出力取出
用のアルミニウム箔などからなる電極層（図示略）が設
けられるとともに、膜状圧電体１３の底面（裏面）にも
同様の電極層か設けられている。

そして、この膜状圧電体ｌ３と台座ＩＩとの固着は、エ
ボキシ系接着剤などの硬化型の接着剤を用いて行われる
。

また、前記膜状圧電体ｌ３にあっては、その平面形状が
クロストークを低減する上で重要である。

この発明におけるクロストークとは、センサの感知軸Ｇ
方向の加速度を受けた時の出力Ｐ１と、感知軸Ｇに直交
する方向の加速度を受（プた時の出力Ｐ，との比Ｐ　２
／　ｐ　．で表されるものである。

まず、膜状圧電体ｌ３の平面形状が、４り定而ｌ２に平
行な面において感知軸Ｇを対称の中心とする点対称でな
ければならない。第ｌ図に示す例では長方形となってい
るか、これ以外に上記条件を満たす平面形状としては、
例えば第２図ないし第７図に示すようならのろくある。

第２図は平行四辺形、第３図は円形、第４図は楕円、第
５図は正六角形、第６図は八角形、第７図は円環形であ
る。これらの図において符号Ｇはいずれも感知軸Ｇを示
す。これらの平面形状はずへて感知軸Ｇを対称の中心と
する点対称となっている。勿論、これら以外の平面形状
でら上記条件を満たせば採用可能である。

このような膜状圧電体１３の上には、慣性質量部として
機能する剛体からなる荷重体ｌ４が一体に接着されてい
る。この例の荷重体１４は分割荷重体１４ａと分割荷重
体＋４ｂと分割荷重体１４ｃとから構或されている。

荷重体ｌ４は、全体が剛体からなるもので、この例では
３つの分割荷重体１　４ａ．，Ｌ　４ｂ．１　４ｃがい
ずれも剛体からなる。ただし、台Ｉｌｌをガラス繊維入
りエボキシ樹脂などのプラスチックから形成した場合は
、分割荷重体１４ａも同等のプラスチックから、あるい
は、前言己プラスチックと熱伝導率の近い材料で形戊す
るものとし，、分割荷重体１４ｂを黄銅などの比重の大
きな金属材料などから形戊する。ここで分割荷重体１４
ａの構戒材料を選定する場合、台ｆｕｌｌの構戊材料の
熱伝導度と分割荷重体１４ａの構威材料の熱伝導度の差
異は、以下の式の関係とする。即ち、分割荷重体１４ａ
の厚さをｔｗ，熱伝導度をＫｗ、台座の厚さをｔＢ、熱
伝導度をＫＢとすると、 ０．８（ＫＢ／ｔ　Ｂ　）　≦　（Ｋｗ／ｔｗ）　≦　
１．２（Ｋ．ｓ／ｔｎ）なる関係を満足することが好ま
しい。台座１１と分割荷重体１４ａの厚さと熱伝導度が
、この式の範囲外になるようであると、センサ出力に焦
電効果によるノイズ出ノノが大きく出るようになるので
好ましくない。なお、台座１ｌをプラスチックなどの比
重の小さい材料で形戊するとともに分割荷重体１　４．
　ａを台座１１と同等の比重の小さい材料で形成した場
合、分割荷重体１４ｂを比重の大きな金属材料などで形
戚し、膜状圧電体ｌ２に十分な負荷を与え、十分な電気
出力を取り出・ｊ−ことができるようにすることが好ま
しい。

［司記分割Ｆ１重体１．４ｂはその重量が他の分割荷重
体１４ａ，１４ｃに比較して大きく、この分割荷重体１
４ｂが荷重体ｌ４の全体重量に匹敵する質量に設定され
る。また、荷重体ｌ４を構成ずろ分割荷重体１　４ａ，
１　４ｂ．ｌ　４ｃはそれぞれが強固に固着し、全体と
して剛体とみなしうるちのであることか必要であり、そ
れぞれが加速度を受けて別の変はを起こすものであって
はならない。

荷重体ｌ４は加速度を受けて変位し膜状圧電体ｌ３に歪
みまたは応力を生せしめるもので、その重量はセンサの
単位加速度当たりの電気的出力に関係するため、特に限
定されることはないが、膜状ＦＩＪ体１３にクリープを
生じせしめない範囲とされる。荷重体１４と膜状圧電体
ｌ３の固着は、台座１１と膜状圧電体１３の固着と同様
である。

また、この荷重体１４については、その立体形状がクロ
ストークを低減するうえで重要である。

まず，荷重体ｌ４の膜状圧電体１３と接する面（底面）
は感知軸Ｇに対して置確に垂直であり、かつｉ民面の平
面形状が感知軸Ｇを対称の中心とする線文・１称である
必要がある。共って、この条件を満たす形状としては先
の膜状疋電体ｌ３の平面形状と同様に例えば第２図ない
し第７図に示すものが採｝｝１できる。ただし、膜状圧
電体１３と荷重体ｌ４との相み合わせにおいで、荷重体
ｌ４の底面の平面形状と膜状圧電体１３の平面形状とは
必ず１，も同一形状である必要はなく、例えば膜状圧電
体ｌ３の平面形状が正方形で、荷重体ｌ４の底面力平面
形状が円形の組み合わせであってもよく、後述するよう
に感知軸Ｇを同じくすればかまわない，、 １１た、同時に荷重体１４は、感知軸Ｇを通り、底面に
乗直な無数の平面で断面ｌ２た時にすべての断面（：つ
いて感知！［１１　Ｇを対称軸とする線対称である必要
がある。この線対称の条件を満たすものとし，てｊヨ、
第８図ないし第１４図に示すものかある。

第８図に示したものは板状ごあり、第９図のものは柱状
、第１０図は錐状、第ｉｔ図のものは球を平面で切り取
ったもの、第１２図のものは楕円体を平面で切り取った
もの、第１３図のものは柱状の内部に空間を形戊したも
の、第１４図のもの；よ住体と板体とを組み合わせたも
のである。これらの図にＪ′５いて、符号Ｓは底面を示
し、Ｇは感知軸とー・致する対称軸である。この線対称
の条件を１潟たす荷重体ｌ４の重心は感知軸ＧＥに位置
することになる。

そして、このような条件、すなわち対称性を有する荷重
体ｌ４はその対称軸を膜状圧電体１３の対称中心に一致
させて、言い換えれば感知軸Ｇ′ｒ．に膜状圧電体】３
の対称中心と荷重体１４の対称軸とを一致させて配ｉ＋
ｆｆされ、固着されている。

なお、分割荷重体１４ｃあるいは分割荷重体ｌ４ｄご）
固着方法は、任意であり、接着剤による貼り合わせ法、
溶融物質の滴下による形成法、メッキ法により電気化学
的に析出する方法などのいずれの方法を用いてら良い。

市Ｊ記構戊のセンザはその台座Ｉｔを彼測定物に取り付
けて用いられ、その格知軸Ｇ方向に加速度が作用すると
、荷重体１・ｔが膜状圧電体ｌ３に加速度に応じた荷重
を負尚し，、この負荷に応じた歪の発生に基づいて膜状
圧電体１３の表面側と裏面側ｊＪｏ電位差を生じる。こ
の・”ｄ位差でもって加速；ダの大小を測定することが
できる， この構１衣のセンサにあ）では、台座ｌ１と膜状ｆ″Ｆ
電休ｌ３と荷徂体１４とを単｛こ積層したものであり、
圧電体１３に形成十ろ電極ち一般の成膜ブロゼスなどを
適用できる／Ｔ）で、構造が簡単で製造か容易となり、
小型イ１１も可能となる。

＊　ｆ：＝、膜状圧電体１３ｆ：″）平面形状が感知軸
Ｇを対称中心とする点対称であり、荷重体１４の底面の
平ｉｆｒｉ形状が感知軸Ｇを対称中心とする点対称で．
ちり、同時に荷重体１４の立体形状が感知軸ＧをｉＩＮ
る平面ζ，ごおいてナベＣ感相輔Ｇを対称軸とする掠付
弥であるので、クａストー・クか微かであるう一般に、
センサにその感知軸方向以外の方向の力ｌ速度が加わっ
た場合、ベクトル分解の法則？こよって感知軸に直交す
る少なくとも二つ方向の成分と感知軸方向の戎分とに分
けられる。この感知軸に直交する方向の成分は、荷這体
Ｉ４の重心に作用し、重心を中心どする曲げモーメント
が荷重体ｌ４に働くことになる。このため、膜状圧電体
１３の一部には圧縮力が作用し，残部には引張力が作用
することになる。膜状圧電体１３には、康縮力と引張力
とで反対符号の電荷を生じるが、前記反対符号の電荷量
が等シ，：＋れば、山力は変動しない。

したがって、膜状圧電体ｌ３に互いに大きさが等しい圧
縮力と引張力とが作用すれば、膜状圧電体ｌ３からの出
力変動はゼロになり、感知軸方向以外の方向の加速度を
検出しなくなる。

この発明では、膜状圧電体１３および荷重体Ｉ４のそれ
ぞれの形状に、一Ｌ述のような対称性を持たせているこ
とから、感知軸Ｇ方向以外の加速度が加わっても膜状圧
電体１３には等しい大きさの圧縮力と引張力とが作用す
ることになって、膜状圧電体ｌ３からの出力変動がなく
、クロストークが極めて小さいものとなる。このように
クロス１・ークを少なくするには、分割１ｉ極を感知軸
Ｇを刻称の中心とする点対称配置することが好ましい。

また、このセンザは、その測定可能周波数の上限が高く
、測定可能周波数帯域が広いものとなる。

この種のセンサの測定可能周波数の上限はセンサの共振
周波数によって定まる。この発明でのセンサの共振周波
数は、その構造から台座１ｌと荷重体１４との間に存在
するもの、すなわち膜状圧電体Ｉ３、接着層、電極層の
弾性率を荷重体１４の質量で除した値に比例するため、
従来の脹動膜型のセンサの共振周波数に比べて２桁以」
二高くなり、キロヘルツのオーダーとなる。但し、接着
剤層の弾性率が低くなると共振周波数が低下するので、
留意すべきである。

このため、膜状圧電体ｌ３と台座１１および荷重体ｌ４
との固着に接着剤を用いるものでは、接着剤層の弾性率
をＥＡ，厚さをｔＡとし、膜状圧電体１３の弾性率をＥ
ｐ、厚さをｔｐとしたとき、次の式で表される関係を満
足する必要がある。

（ＥＡ　／ｔ　Ａ　）　／（Ｅｐ／ｔ　ｐ）≧０．１こ
の式の意味するところは、加速度によって荷重体１４に
生じた力が接着層によっ七吸収緩和されることなく膜状
圧電体Ｉ３に伝わるための条件であり、上式の値か０．
１未満となると接着層による吸収緩和が無視できなくな
り、上述のように共振周波数が低下し、測定可能周波数
帯域を狭めることなる。

なお、上式における接着層の厚さは、台座１１と荷重体
ｌ４との間の存在するすべての接着層の厚さの合計を言
う８また、接着剤の種類が異なり、弾性率も異なる場合
には、それぞれの接着層での弾性率と厚さの比を求め、
これを合計して上式に代入すればよい。

したがって、接着剤としてはエボキシ系、フェノール系
、シアノアクリレート系などの硬化型で、弾性率の高い
ものを選択すべきであり、ゴム系などの粘着型は不適切
である。また、導電性接着剤を用いることもできる。

また、前記構成のセンザが設置場所の温度変化により加
熱または冷却された場合、加熱過程において、あるいは
、冷却過程において、膜状圧電体１２の下方の台座１ｌ
と上方の分割荷重体１４ａとの間に温度差が生じること
が考えられるが、台座１ｌの＋ｌＩ戚材料と分割荷重体
１４ａの構戊材料の熱伝導率の差異が前述した式の範囲
に入り、膜状圧電体【２の表面側の電極と裏面側の電極
への熱伝導の速度差が少なくなり、両Ｎ極に生じる温度
差が十分に小さくされるので、温度差によって膜状圧電
体ｌ２に生じる焦電効果の出力が少なくなり、ノイズ出
力を低減できる効果がある。

なおまた、台座１ｌと分割荷重体１４ａのいずれにも軽
量のプラスチックを用いた場合、全体を小型軽量化でき
る。しかも、分割荷重体１４．ｂとして十分な質量のも
のを用いれば、膜状圧電体１ｌに付加される荷重も十分
に大きくすることができ、その場合、小型軽量化した上
で電気出力も十分に大きくすることができる。

ところで、膜状圧電体ｌ３上に固着する分割荷重体は前
記実施例の如く３つには限らない。第１５図は分割荷重
体１４ａと１．４ｂのみを膜状圧電体ｌ３に固着した例
であり、第１６図は分割荷重体１　４ａ．ｌ　４ｂ．１
　４ｃ，！．　４ｄを膜状圧電体ｌ３に固着した例であ
る。

以下、具体例を示して作用効果を明確にする。

厚さＩ　ｍｍのガラス繊維人リエポキン樹脂板を台座と
し、この台座に厚さＩｌ０７ｌｍ，ｌ辺１０ｍｍの正方
形状の圧電シートを接着した。圧電シートには、ボリフ
ッ化ビニリデンフイルムを用い、その表裏面にアルミニ
ウム蒸着電極層を形成したものを用いた。さらにこの圧
電シートの上に、厚さ１ｍｍのガラス繊維入りエボキシ
樹脂層をエボキシ系接着剤で接着し、更にその上に、厚
さが５ｍｍの黄銅製の分割荷重体を圧電シートの対称軸
と荷重の対称軸が一致するようにエボキン系接着剤で接
着した。また、この分割荷重体を固着したところて所定
の１１口速度を加えて出力を測定する仮測定を行い、そ
の際の出力が許容範囲よりも低いものについては、前記
分割荷重体より質量が小さい分割荷重体を更に固着し、
出力を許容範囲内に納める調整を行った。以上の構成の
加速度センサを実施例ｌとする。

（比較例■） 前記実施例Ｉの構造において、台座上に固着する１層目
のエボキシ樹脂層と３層目の分割荷重体を省略し、台座
−ヒに厚さが５ｍｍの黄銅性の分割荷重体のみを接着し
て形成したものを比較例■とする。

（比較例酊） 実施例Ｉで用いたものと同等の台座と圧電シートを用い
、圧電シーＩ・の上に、ガラス繊維入りエボキシ樹指か
らなる厚さ０．５ｍｍの分割荷重体と黄銅製の厚さ５ｍ
ｍの分割荷重体を接着したものを比較例■とした。

前記各例のセンサについて、ｌｏＯＨｚ，ＩＧの正弦波
を加えた状態で試験雰囲気温度を室温（２０°Ｃ）から
３０秒後に６０℃になるように加熱し、３０秒間６０℃
に保持し、その後放冷した。この時の各例のセンサの出
力の変化を測定し、その結果をそれぞれの試料の初期出
力をＩとした相対値で第１表に示す。

（以下、余白） 第　　１　　表 以上の結果を得ることができ、本発明に係る実施例のセ
ンサの出力が熱的に安定していることが明らかになった
。

また、前記各例で用いたガラス＃ａ維入りのエボキシ樹
指の熱伝導度は１．２Ｗ／ｍ’ｃ、黄銅の熱伝導度はＩ
　Ｏ　６　Ｗ／ｍ’ｃであるので、各例の熱伝導度と厚
さの関係を前記した下式に当てはめて計算すると以下の
ようになる。

０．８（Ｋ　ｒ３／　ｔ　Ｂ）≦（Ｋｗ／ｔｗ）≦１．
２（Ｋ　Ｂ／　Ｌ　Ｂ　）実施例Ｉ 台座：（Ｋ８／ＬＢ）＝１．２／　１＝１．２、分割荷
重体：（Ｋｗ／Ｌｗ）＝　ｌ　．２／　Ｉ　＝　ｌ　．
２、比較例ｎ 台座（ＫＢ／ｔｓ）−１　．２／ｌ　＝　１　．２、分
割荷重体（Ｋ　ｗ／　ｔｗ）　＝　１０６／　５＝　２
　１　．　２、比較例■ 台座＋（Ｋａ／ｔＢ）＝Ｉ．２／１＝１．２、分割荷重
体：（Ｋｗ／ｔｗ）＝　１　．２　／０．５＝　２　．
４、これらの数値比較により、実施例Ｉのセンサのみが
前記式に合致する熱伝導度と厚さの値を有し、この場合
にノイズ出力が小さくなっていることが明らかになった
。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明は、膜状圧電体を挾むよう
に設けられる台座と分割重量体を熱伝導度の近いものか
ら形成し、加熱時や冷却時に膜状圧電体の両面の電極間
に温度差が生じにくいようにしたので、焦電効果による
ノ゛イズ出力の影響を排除することができる。従ってセ
ンサの設置場所に温度変化が生じた場合であっても、ノ
イズ出力の少ない出力の安定した高性能の加速度センサ
を得ることができる。

また、この発明のセンサは台座と膜状圧電体と荷重体゛
を積層して固着したものであるので、構造ｈ＜　Ｉ　ｉ
ｌｉで小型化も容易にでキる、更に、クロスト一クが極
めて少なく、ｉ＋＋定可能周波数帯域が広く、測定用途
に合致した設計が容易で設計の自由，度か大きいなどの
効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の−・実施例の一郎を破断した斜視図
，．第２図ないし第７図はいずれしこの発明で用いられ
る膜状圧電体の平面形状の例を示す図、第８図ないし第
１４図はいずれもこの発明で用いられる荷重体の立体形
状を示す断面図、第１５図と第１６図はこの発明の方法
を説明するためのもので、第１５図は４つの分割荷重体
を積治した状態を示す斜視図、第１６図は２つの分割荷
重体を積層した状態を示す斜視図、第１７図は従来の加
速度センザを示す断面図である。 １ｌ・・・台座、ｌ２・・・測定而、［３・・・膜伏圧
電体、１　４−＝荷重体、１４８、１４ｂ．ｌ４ｃ−分
割荷重体、Ｇ・・・感知軸。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被測定物に剛に取り付けられる台座と、この台座の感知
   軸に垂直な測定面に固着された膜状圧電体と、この膜状
   圧電体に形成された電極と、前記膜状圧電体上に固着さ
   れ、慣性質量部として作用する剛体からなる荷重体を有
   し、 膜状圧電体の平面形状が、前記測定面に平行な面におい
   て感知軸を対称の中心とする点対称であり、荷重体が、
   それの膜状圧電体に接する面の平面形状が感知軸を対称
   の中心とする点対称であり、かつ感知軸を通り、前記測
   定面に垂直な無数の平面で断面した時、すべての断面に
   ついて感知軸を対称軸とする線対称であるとともに、 前記荷重体が、質量の異なる複数の分割荷重体を感知軸
   の軸方向に沿って一体に積層してなり、前記膜状圧電体
   の直上に固着される１つの分割荷重体の厚さをｔｗ、熱
   伝導度をＫｗ、前記台座の厚さをｔＢ、台座の熱伝導度
   をＫＢとして、下式の関係を満足することを特徴とする
   圧電型加速度センサ。 ０．８（ＫＢ／ｔＢ）≦（Ｋｗ／ｔｗ）≦１．２（ＫＢ
   ／ｔＢ）