JPH0353104A - 反射体の倒れ制御方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光反射体の倒れを検出し＃御する反射体の倒
れ制御方式に関する。

〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕フーリ
エ変換赤外分光光度計では、マイケルソン干渉計を使用
し、光源からの光をマイケルソン干渉計で２光束に分割
した後、再び重ね合わせて検出器に導き、ここで得られ
たインクフェログラムをフーリエ変換して分光透過曲線
を求めている。

この場合において、干渉計の移動鏡の移動をモニタする
のにレーザを光源とした干渉計が用いられている。

レーザ光は単色光であるため、干渉計にレーザ光を入力
し２光東に分割して固定鏡と移動鏡で反射させ合成する
と、移動鏡の移動に追従したコサイン波が得られる。そ
こで、このコサイン波を使うことによって、移動鏡の制
御を行っている。

干渉計は、上記のように半透鏡と２つの反射鏡からなる
光学素子により構戊されているが、光が干渉するために
は、これらの光学素子のお互いの傾きが精度よく調整さ
れていることが必要である。

そのため、従来の装置では、高精度の傾き調整機構が用
意されている。また、長期にわたって傾きが狂わないよ
うにするため、ホルダの材質や形状も工夫されている。

例えば反射鏡の一方を平行移動させて信号を得る方式の
フーリエ変換赤外分光光度計においては、その移動鏡が
傾かないで移動するようにエアベエリング（ガスベエリ
ング〉を使用する等の工夫がなされている。

また、その他に倒れ修正方式としては、ベックマン（　
Ｂ　ｅｃｋｍａｎ）方式を利用したものもある。このベ
ックマン方式は、レーザ発振器の周りから磁界をかける
と、周波数がずれしかも逆方向に円偏光したレーザ光に
スプリットするというゼーマン（　Ｚ　ｅｅｍａｎ）効
果及び偏光を利用したものであり、移動鏡の移動速度が
遅くなっても制御できる点で特徴がある。

しかしながら、上記従来の倒れ修正方式は、いずれも高
い精度を要する機構を用いているため、高価で機構が複
雑になり、取り扱いや調整も簡便でないという問題があ
る。

本発明は、上記の課題を解決するものであって、高度な
機構を使用することなく干渉状態を安定に保つことがで
きる反射体の倒れ制御方式を提供することを目的とする
ものである。

〔課題を解決するための手段〕

そのために本発明は、光反射体の倒れを検出し制御する
反射体の倒れ制御方式であって、レーザ光を２つの平行
光束に分割して反射体に照射する波形分割手段、反射体
から反射した２つの平行光束を合成する波形合成手段を
備え、波形合成手段により反射体の倒れを２つの平行光
束の光路差により検出するように構或したことを特徴と
するものである。

〔作用〕

本発明の反射体の倒れ制御方式では、レーザ光を２つの
平行光東に分割して反射体に照射し、その反射光を波形
合成手段により合成して反射体の倒れを２つの平行光束
の光路差で検出するので、精度の高い機構を使用するこ
となく、簡単な構或により反射体の倒れを検出すること
ができ、また、その検出信号をフィードバックすること
により反射体の倒れを修正することができる。

〔実施例〕

以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。

第１図は本発明に係る反射体の倒れ制御方式の１実施例
を示す図であり、１は移動鏡、２は波形分割器、３は波
形合戒器、４は検知器、５は等位相面を示す。

第Ｆ図において、波形分割器２は、レーザーを２光束に
分割するものであり、波形合成器３は、波形分割器２か
ら放出され移勤鏡１で反射してきた２つの光束を合戒す
るものである。検出器４は、波形合成器３で２つの光束
を合成することによって干渉した信号を移勤鏡ｌの倒れ
信号として検出するものである。

いま、波形合成器３に入力する２つの光東間の光路差を
みると、移勤鏡１が傾いていない場合には、第１図（ｂ
）に示すように２つの光束の等位相面５と合成面が一致
するが、移勤鏡１が傾いた場合には、同図（Ｃ）に示す
ように２つの光束の等位相面５と合成面が一致しない。

そのため、波形合成器３において２つの光束による干渉
状態が変わる。

すなわち、周波数ｆ０のレーザーを移勤鏡１の２点で反
射させると、移勤鏡ｌに倒れが生じた場合、移勤鏡ｌの
反射光は、ｆｏ　＋ｆとｆｏ　＋ｆ’の周波数で合成面
に入射する。これを直接干渉させると、ｆ−ｆ’の差同
波数（ビート周波数）が得られる。したがって、移動鏡
１の倒れがある場合には、このビート周波数が検出器４
で検出される。

このようにすると、移動鏡１の移動速度に無関係に移勤
鏡１の倒れを検出することができ、この信号をフィード
バックすることにより移勤鏡１の倒れ制御を行うことが
できる。なお、紙面に対してピッチング方向に傾いた場
合には、２つの光束間の光路差の変化がないので、その
方向に対しても同様の構或を付加することにより各方向
の倒れに対してその修正を行うことができる。

覚２図及び第３図は本発明の他の実施例を説明するため
の図であり、１１と２１は平面鏡、ｌ２、ｌ３、２２と
２３は平行板を示す。

第２図に示す例は、平行板１２、１３を用いて平面鏡１
１の倒れを検出するようにしたものであり、平行板ｌ２
で入射光を２つの光東■、■に分割し、平行板１３で２
つの光東■、■を干渉させている。なお、平行板１２、
１３は、１枚で構戊してもよいし、別々のものであって
もよい。

上記のように平行板１２、ｌ３で光束の分割、干渉を起
こさせると、２つの光東■、■は、それぞれ平行板１２
、ｌ３で光路差が生じる。この光路差は、平面鏡１１が
傾いていない場合には等しくなるが、平面鏡１１が傾く
と等しくなくなる。

すなわち、屈折率を０１平行板１２、ｌ３の厚さをｔ１
平行板１２、ｌ３内での屈折角をｒＳｒとすると、平行
板ｌ２、１３内では、同図６）に示すようにそれぞれ光
東■と■で２ｎｔｃｏｓｒの光路差が生じ、平面鏡１１
が傾いていない場合にはこの光路差が等しくなる。しか
し、平面鏡■１が傾くと、平面鏡１１から反射してくる
光束は、平行板１３で入射角が変化し平行板ｌ３内での
屈折角ｒが変化してｒ′となる。その結果、２　ｎ　ｔ
　　ｃｏｓｒ−２　ｎ　ｔ　ｃｏｓｒ’が検出器で取り
出されることができる。つまり、この実施例は、平面鏡
１ｌの倒れによって平行板ｌ３内における光路差が変化
するのを検出するものである。

第３図に示す例は、平行板２２、２３を直列に配置して
用いたものである。この場合にも、第２図に示す例と同
様に、平面鏡２１が傾いた場合に平行板２３内における
光路差が変化するのを検出している。

なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。例えば上記の実施例では
、干渉計の移動鏡や平面鏡における倒れを検出するもの
として説明したが、干渉計に限らず他の平面鏡その他の
光を反射する物体の倒れを検出するのに利用してもよい
。また、検出した倒れ信号をフィードバックして倒れ修
正、あるいは制御に用いるようにしてもよいことはいう
までもない。さらには、倒れを検出、修正、制御する物
体に平面鏡等の反射体を取り付けるように構成してもよ
い。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、２つ
の平行光束を照射しその反射光の光路差を検出すること
によって倒れを検出するので、簡単な構戒により反射体
の倒れを検出することができる。したがって、フーリエ
変換赤外分光光度計において、高度な機構を設けること
なく、移動鏡の倒れを修正することができ、干渉状態を
良好に保つことができる。また、光学的に差周波数を得
ているため、移動鏡の速度に無関係に移動鏡の倒れを検
出し、倒れ修正のコントロールを行うことができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明に係る反射体の倒れ制御方式の１実施例
を示す図、第２図及び第３図は本発明の他の実施例を説
明するための図である。 １・・・移動鏡、２・・・波形分割器、３・・・波形合
或器、４・・・検知器、５・・・等位相面、１１、２１
・・・平面鏡、１２、１３、２２、２３・・・平行板。 出　願　人　　日本電子株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）光反射体の倒れを検出し制御する反射体の倒れ制
   御方式であって、レーザ光を２つの平行光束に分割して
   反射体に照射する波形分割手段、反射体から反射した２
   つの平行光束を合成する波形合成手段を備え、波形合成
   手段により反射体の倒れを２つの平行光束の光路差によ
   り検出するように構成したことを特徴とする反射体の倒
   れ制御方式。