JPH0353057A - 銀白色被覆膜 - Google Patents
銀白色被覆膜Info
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- JPH0353057A JPH0353057A JP18694389A JP18694389A JPH0353057A JP H0353057 A JPH0353057 A JP H0353057A JP 18694389 A JP18694389 A JP 18694389A JP 18694389 A JP18694389 A JP 18694389A JP H0353057 A JPH0353057 A JP H0353057A
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- coating film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はノギス、スケール等の計測器の目盛板のよう
に明るい銀白色の外観が要求される部材に利用可能な銀
白色被覆膜に関する． 〔従来の技術〕 明るい銀白色の被覆膜は、一般にクロームを基材に対し
温式ノブキすることによって形成されている． 〔発明が解決しようとする課題〕 この従来の銀白色被覆膜では明るい銀白色の外観は得ら
れるが被覆膜の硬度が低い為摩耗し易く、寿命が短い問
題点があった。寿命を延ばす為に被覆膜の層厚を大きく
することが行なわれるが、そうすると被覆膜の為の原料
が多く必要となる問題点があった． 本発明は以上のような点に鑑みてなされたもので、その
目的とするところは、硬度が高くて摩耗しに＜＜、明る
い銀白色の外観を耐久性高く保つことができ、しかもそ
のような被覆膜を少ない原料で形成できて省資源に貢献
できるようにした銀白色被覆膜を提供することである． （課題を解決する為の手段） 上記目的を達威する為に、本願発明は前記請求の範囲記
載の通りの手段を講したものであって、その作用は次の
通りである。
に明るい銀白色の外観が要求される部材に利用可能な銀
白色被覆膜に関する． 〔従来の技術〕 明るい銀白色の被覆膜は、一般にクロームを基材に対し
温式ノブキすることによって形成されている． 〔発明が解決しようとする課題〕 この従来の銀白色被覆膜では明るい銀白色の外観は得ら
れるが被覆膜の硬度が低い為摩耗し易く、寿命が短い問
題点があった。寿命を延ばす為に被覆膜の層厚を大きく
することが行なわれるが、そうすると被覆膜の為の原料
が多く必要となる問題点があった． 本発明は以上のような点に鑑みてなされたもので、その
目的とするところは、硬度が高くて摩耗しに＜＜、明る
い銀白色の外観を耐久性高く保つことができ、しかもそ
のような被覆膜を少ない原料で形成できて省資源に貢献
できるようにした銀白色被覆膜を提供することである． （課題を解決する為の手段） 上記目的を達威する為に、本願発明は前記請求の範囲記
載の通りの手段を講したものであって、その作用は次の
通りである。
被覆膜の仕上層はクロームであるから明るい銀白色の外
観を呈する．上記クロームの仕上層は窒化クロームの下
地層の上に形成してある為、硬度が高く、高い耐摩耗性
を示す。
観を呈する．上記クロームの仕上層は窒化クロームの下
地層の上に形成してある為、硬度が高く、高い耐摩耗性
を示す。
以下本願の実施例を示す図面について説明する．第１図
は銀白色被覆膜を有するｉ艮白色部材の一部を拡大して
示すものである．この第１図において、ｌは基材で、銀
白色部材の性格や用途に合った材料、例えばスケールの
場合、錆を生じ難くて丈夫なステンレスが用いられる。
は銀白色被覆膜を有するｉ艮白色部材の一部を拡大して
示すものである．この第１図において、ｌは基材で、銀
白色部材の性格や用途に合った材料、例えばスケールの
場合、錆を生じ難くて丈夫なステンレスが用いられる。
この基材ｌは金属に限らず、耐熱性の良好な他の材料例
えばセラミック或いは耐熱製のプラスチックも用いられ
る．２は銀白色被覆膜を示す。以下この恨白色被覆膜２
について説明する．３は下地層で、窒化クロームの銀白
色の層である．４は下地層３の上に形成した仕上層で、
クロームの層となっている。尚５は基材１と下地層３と
の間に設けた密着層で、クロームの層となっている．こ
の層５は基材１と下地層３との密着力を著しく向上させ
る為に設けたものである．基材１の種類によってはこの
層５が無くても充分な密着力を得ることができ、その場
合には密＠Ｎ５を省略してもよい． 上記のような銀白色被覆膜２を持った銀白色部材は、ク
ロームの仕上層４によって明るい銀白色の外観を呈する
． また上記銀白色部材の被覆膜２は、窒化クロームの下地
層３とクロームの仕上層４とで構或されている為、硬度
が高く耐摩耗性に優れる。
えばセラミック或いは耐熱製のプラスチックも用いられ
る．２は銀白色被覆膜を示す。以下この恨白色被覆膜２
について説明する．３は下地層で、窒化クロームの銀白
色の層である．４は下地層３の上に形成した仕上層で、
クロームの層となっている。尚５は基材１と下地層３と
の間に設けた密着層で、クロームの層となっている．こ
の層５は基材１と下地層３との密着力を著しく向上させ
る為に設けたものである．基材１の種類によってはこの
層５が無くても充分な密着力を得ることができ、その場
合には密＠Ｎ５を省略してもよい． 上記のような銀白色被覆膜２を持った銀白色部材は、ク
ロームの仕上層４によって明るい銀白色の外観を呈する
． また上記銀白色部材の被覆膜２は、窒化クロームの下地
層３とクロームの仕上層４とで構或されている為、硬度
が高く耐摩耗性に優れる。
次に第２図には、上記のような恨白色被覆膜２を形成す
る為の装置が略示されている。この装置はイオンブレー
ティングあるいはスパッタリング法を用いた公知（例え
ば特開昭６１４７７３６５）の被覆装置と同様の被覆装
置である。その構成を簡単に説明すると、１０は反応室
で、内部の真空排気及び雰囲気ガス供給ｓｔｔ， １２
からの夫々アルゴンガス及び窒素ガス等の雰囲気ガスの
供給が可能となっている。反応室１０内においては、前
記基材１を保持する為のホルダが基材１を符号１３で示
される如き円形の軌跡を描いて移動させられるように備
わっている。１４は各層５．３．４の形成の為に用いら
れるクロームのターゲットで、上記軌跡１３の一部を挟
んで対の状態に設けてある． 次に上記装置を用いて行なう銀白色被覆膜２を有する銀
白色部材（第１例）の形成について、第３図を用いて説
明する。基材１の一例として、ステンレス製のスケール
を洗浄、乾燥した後、スパッターイオンプレーティング
方式と呼ばれる上記装置内に装着されたホルダにセット
し、上記軌跡に沿って移動するようにする．反応室ｌＯ
内を５×１０−’ｍｂａｒまで真空引きしたあと、アル
ゴンガス３５０ＳＣＣ？Ｉを導入し、抵抗ヒータで雰囲
気を３００℃まで加熱し、基材１の表面からの脱気と共
に基材の加熱を行う．この後アルゴンガスを４００ＳＣ
Ｃ？ｌ導入し、基材に−１５００Ｖ印加してイオンボン
バードメントにて基材表面の清浄化を実施する。
る為の装置が略示されている。この装置はイオンブレー
ティングあるいはスパッタリング法を用いた公知（例え
ば特開昭６１４７７３６５）の被覆装置と同様の被覆装
置である。その構成を簡単に説明すると、１０は反応室
で、内部の真空排気及び雰囲気ガス供給ｓｔｔ， １２
からの夫々アルゴンガス及び窒素ガス等の雰囲気ガスの
供給が可能となっている。反応室１０内においては、前
記基材１を保持する為のホルダが基材１を符号１３で示
される如き円形の軌跡を描いて移動させられるように備
わっている。１４は各層５．３．４の形成の為に用いら
れるクロームのターゲットで、上記軌跡１３の一部を挟
んで対の状態に設けてある． 次に上記装置を用いて行なう銀白色被覆膜２を有する銀
白色部材（第１例）の形成について、第３図を用いて説
明する。基材１の一例として、ステンレス製のスケール
を洗浄、乾燥した後、スパッターイオンプレーティング
方式と呼ばれる上記装置内に装着されたホルダにセット
し、上記軌跡に沿って移動するようにする．反応室ｌＯ
内を５×１０−’ｍｂａｒまで真空引きしたあと、アル
ゴンガス３５０ＳＣＣ？Ｉを導入し、抵抗ヒータで雰囲
気を３００℃まで加熱し、基材１の表面からの脱気と共
に基材の加熱を行う．この後アルゴンガスを４００ＳＣ
Ｃ？ｌ導入し、基材に−１５００Ｖ印加してイオンボン
バードメントにて基材表面の清浄化を実施する。
次に第３図イの区間の操作を実行する。即ち、ターゲッ
ト１４をスパッタリングして、基材１の上にクロームの
密着層５を０．１５μｍ形成する。上記の場合の雰囲気
ガスとしてはアルゴン２００５ＣＣＭ とする。
ト１４をスパッタリングして、基材１の上にクロームの
密着層５を０．１５μｍ形成する。上記の場合の雰囲気
ガスとしてはアルゴン２００５ＣＣＭ とする。
次に第３図口の区間の操作を実行する。即ち、アルゴン
ガス２００５ＣＣＭ 、窒素ガス４０３ＣＣＭを導入し
た雰囲気にて、ターゲット１４を、放電電圧６００ｖ、
放電電流ｌＯ＾でプラズマを発生しスパッタリングする
ことで、−１５０Ｖのバイアス電圧を印加した基材ｌに
おいて上記密着層５の上に恨白色の硬質の窒化クローム
ＣｒＮの下地Ｎ３を１μｍ形成する。
ガス２００５ＣＣＭ 、窒素ガス４０３ＣＣＭを導入し
た雰囲気にて、ターゲット１４を、放電電圧６００ｖ、
放電電流ｌＯ＾でプラズマを発生しスパッタリングする
ことで、−１５０Ｖのバイアス電圧を印加した基材ｌに
おいて上記密着層５の上に恨白色の硬質の窒化クローム
ＣｒＮの下地Ｎ３を１μｍ形成する。
次に第３図ハの区間の操作を実行する。即ち、クローム
のターゲット１４をスパンタリングして、上記の下地Ｎ
３の上にクロームの仕上層４を０．２μｍ形成する．上
記の場合の雰囲気ガスとしてはアルゴン２００３ＣＣ阿
とする。
のターゲット１４をスパンタリングして、上記の下地Ｎ
３の上にクロームの仕上層４を０．２μｍ形成する．上
記の場合の雰囲気ガスとしてはアルゴン２００３ＣＣ阿
とする。
以上の操作が完了したならば、被覆装置の作動を停止し
、銀白色被覆膜２の形威された銀白色部材を取り出す。
、銀白色被覆膜２の形威された銀白色部材を取り出す。
上記のようにして形威された銀白色部材は、一つの被覆
装置内において連続的に密着層５及び被覆膜２の形成を
行う為、即ち大気に曝すことなく密着層５及び被覆膜２
の形成を行うから、基材１ ＆び各層５．３．４相互間
の密着性は共に高い。
装置内において連続的に密着層５及び被覆膜２の形成を
行う為、即ち大気に曝すことなく密着層５及び被覆膜２
の形成を行うから、基材１ ＆び各層５．３．４相互間
の密着性は共に高い。
向上記のようにして被覆１１！Ｊ２の形成を行なう場合
、基材１の回転速度は例えば０．５〜２ｒｐＩＩ＋であ
る。
、基材１の回転速度は例えば０．５〜２ｒｐＩＩ＋であ
る。
表面となるクロームの銀白色の色調は、基材ｌに印加す
るバイアス等で若干変化するが、ほぼターゲットとして
準備したクロームの銀白色の色調のまま再現性よく生産
される． なお、上記実施例では処理対象物をステンレス製のスケ
ールとしたが、他の材質及び部品でも実施できることは
明かである。
るバイアス等で若干変化するが、ほぼターゲットとして
準備したクロームの銀白色の色調のまま再現性よく生産
される． なお、上記実施例では処理対象物をステンレス製のスケ
ールとしたが、他の材質及び部品でも実施できることは
明かである。
また上記密着層５、下地層３又は仕上層４の形成の場合
、基材１を軌跡１３に沿って回転させず、ターゲット対
の間に位置させたままの状態でスパッタリングを行って
も良い。その場合、むらの発生を防止する為基材ｌを移
動乃至振動させると良い．上記のような被覆装置を用い
てのスパッタリングによる被覆膜２の形威によれば、従
来の湿式メッキの場合のように廃液による公害の心配を
生ずることがな＜、無公害化を可能にできる．次に上記
基材１の上に形威された各層５，３，４の厚みが前記第
１例とは異なる銀白色部材の例（第２例）を示せば、密
着層５が０．１μｍ、下地層３が０．５μｍ１仕上層４
が０．５μｍである．これらの厚みは、前記スパッタリ
ングを継続する時間の設定によって達或できる。
、基材１を軌跡１３に沿って回転させず、ターゲット対
の間に位置させたままの状態でスパッタリングを行って
も良い。その場合、むらの発生を防止する為基材ｌを移
動乃至振動させると良い．上記のような被覆装置を用い
てのスパッタリングによる被覆膜２の形威によれば、従
来の湿式メッキの場合のように廃液による公害の心配を
生ずることがな＜、無公害化を可能にできる．次に上記
基材１の上に形威された各層５，３，４の厚みが前記第
１例とは異なる銀白色部材の例（第２例）を示せば、密
着層５が０．１μｍ、下地層３が０．５μｍ１仕上層４
が０．５μｍである．これらの厚みは、前記スパッタリ
ングを継続する時間の設定によって達或できる。
次に上記第１例及び第２例の銀白色部材について測定し
た被覆膜２の硬度を第１表に示す．測定は、マイクロビ
ンカース硬度計により荷重２５ｇで実施した。尚比較例
として、基材１の表面にクロームのみの２．２μｍの層
を形成したもの（比較例ｌ）、及び基材１のみ（比較例
２）について、同様に測定した硬度も第１表に示す。
た被覆膜２の硬度を第１表に示す．測定は、マイクロビ
ンカース硬度計により荷重２５ｇで実施した。尚比較例
として、基材１の表面にクロームのみの２．２μｍの層
を形成したもの（比較例ｌ）、及び基材１のみ（比較例
２）について、同様に測定した硬度も第１表に示す。
第 １ 表
〔単位はｋｇ ／ ｍ ” （ｌｌｖ） ）上記第１表
から明らかな通り、窒化クロームの下地層３を有する構
造の場合、膜厚が純クローム層のみの構造のものより薄
いにも拘わらずいずれも硬度が上回っていることがわか
った． 次に第１例、第２例、比較例１及び窒化クロームＣｒＮ
の単層について、反射式分光色差計により測定した色の
測定値を第２表に示す。
から明らかな通り、窒化クロームの下地層３を有する構
造の場合、膜厚が純クローム層のみの構造のものより薄
いにも拘わらずいずれも硬度が上回っていることがわか
った． 次に第１例、第２例、比較例１及び窒化クロームＣｒＮ
の単層について、反射式分光色差計により測定した色の
測定値を第２表に示す。
第 ２ 表
上記の第２表から、第１例、第２例のものはＬ＊（明度
）がクロームの単層のものと同等乃至はそれ以上に高く
、美しく明るい銀白色の表面を呈することがわかる． 次に第４図は被覆装置の異なる例を示すもので、基材１
を直線状の軌跡１３に沿って繰り返し往復移動させるよ
うにした例を示すものである。
）がクロームの単層のものと同等乃至はそれ以上に高く
、美しく明るい銀白色の表面を呈することがわかる． 次に第４図は被覆装置の異なる例を示すもので、基材１
を直線状の軌跡１３に沿って繰り返し往復移動させるよ
うにした例を示すものである。
往復移動の速度は例えば中央部での最大スピードが０．
３〜３．Ｏｓ＋／分である。
３〜３．Ｏｓ＋／分である。
この例の場合も、各層５．３．４の形成の場合、基材１
をターゲットの前に定置させて、乃至はそこで横移動又
は振動させて各層の形成を行っても良い． なお、機能上前図のものと同一又は均等構戒と考えられ
る部分には、前図と同一の符号を付して重複する説明を
省略した． 〔発明の効果〕 以上のように本発明にあっては、′Ｐ＆覆膜２が下地層
３と仕上層４とで形成され、その仕上層４にクロームを
用いているから、製品の外観を明るい銀白色の美しい外
観にできる特長がある。
をターゲットの前に定置させて、乃至はそこで横移動又
は振動させて各層の形成を行っても良い． なお、機能上前図のものと同一又は均等構戒と考えられ
る部分には、前図と同一の符号を付して重複する説明を
省略した． 〔発明の効果〕 以上のように本発明にあっては、′Ｐ＆覆膜２が下地層
３と仕上層４とで形成され、その仕上層４にクロームを
用いているから、製品の外観を明るい銀白色の美しい外
観にできる特長がある。
しかも使用時に被覆Ｍ２の表面が操り返し摩擦をうけて
も、被覆膜２は窒化クロームの下地Ｎ３とその上のクロ
ームの仕上層４とから戒る構成だから、硬度が高くて摩
耗し難く、上記の明るい銀白色の外観を耐久性高く保ち
得る効果がある。
も、被覆膜２は窒化クロームの下地Ｎ３とその上のクロ
ームの仕上層４とから戒る構成だから、硬度が高くて摩
耗し難く、上記の明るい銀白色の外観を耐久性高く保ち
得る効果がある。
その上上記のように高硬度で摩耗し難い被覆膜２だから
、必要充分な耐久性を従来のクロームのみのものに比べ
薄い層厚でもって得られる特長がある．このことは、製
造時の原料がその分少なくてよいことであって、省資源
に貢献できる効果がある．
、必要充分な耐久性を従来のクロームのみのものに比べ
薄い層厚でもって得られる特長がある．このことは、製
造時の原料がその分少なくてよいことであって、省資源
に貢献できる効果がある．
図面は本願の実施例を示すもので、第ｌ図は銀白色部材
の部分拡大断面図、第２図は被覆装置の水平断面略示図
、第３図は被覆膜形成時における時間の経過と種々の条
件の変化との関係を示す図、第４図は被覆装置の異なる
例を示す水平断面略示図。 １・・・基材、２・・・銀白色被覆膜、３・・下地層、
４・・・仕上層。 第 １ 図 第 ２ 図 第３ 図 第 牛 図 １４ １４ １４ １’｝
の部分拡大断面図、第２図は被覆装置の水平断面略示図
、第３図は被覆膜形成時における時間の経過と種々の条
件の変化との関係を示す図、第４図は被覆装置の異なる
例を示す水平断面略示図。 １・・・基材、２・・・銀白色被覆膜、３・・下地層、
４・・・仕上層。 第 １ 図 第 ２ 図 第３ 図 第 牛 図 １４ １４ １４ １’｝
Claims (2)
- １．基材の表面に形成された銀白色の被覆膜であって、
該被覆膜は、上記基材の上に形成した窒化クロームの下
地層と上記下地層の上に形成したクロームの仕上層とか
ら構成されていることを特徴とする銀白色被覆膜。 - ２．基材と下地層との間にクロームから成る密着層が設
けられている請求項１記載の銀白色被覆膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18694389A JPH0353057A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 銀白色被覆膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18694389A JPH0353057A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 銀白色被覆膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0353057A true JPH0353057A (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=16197439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18694389A Pending JPH0353057A (ja) | 1989-07-19 | 1989-07-19 | 銀白色被覆膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0353057A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0641720A (ja) * | 1992-07-14 | 1994-02-15 | Kanefusa Kk | 木材切削用刃物 |
-
1989
- 1989-07-19 JP JP18694389A patent/JPH0353057A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0641720A (ja) * | 1992-07-14 | 1994-02-15 | Kanefusa Kk | 木材切削用刃物 |
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