JPH03505348A - ワークピースにおいて被覆部を積層および／または除去する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ワークピースにおいて被覆部を積層および／または除去する装本発明は、少なく とも一つの媒質源に接続可能で送り込み用の、および容器を媒質源と接続する放 出用の配管を有し、搬送装置を備え、ならびにワークピースを収納する容器（処 理空間部）を備えていて、配管および媒質源の相互間接続が、少なくとも一つの 制御装置を介して行なわれるといったワークピースでの被覆部を積層および／ま たは除去する装置に関するものである。

この種の装置は例えばＤＥ〜ＯＳ　２６１９９８７に記述されている。

容器（処理空間部）内への媒質の供給はこの場合、横方向に行なわれ、反面、媒 質の流れの制御に対しては複数の多分岐弁が使用される。このような点は、循環 路内に複数の滞留部が形成さ゛れるよう誘導し、相互に融和せぬ媒質を混和させ ることにもなる。既知の装置が係わることになる別途欠点のポイントは、こうし た装置が電解質利用による被覆部を形成させるべく用いられると、被覆部の積層 ないし除去がゆっくりと進行するようになるという点である。別の装置はＤ　Ｅ ２６６０７１１　Ｃ２に記述されている。この明細書では空気遮断下において表 面を電気化学処理する装置が示される。ワークピースを収納する容器を満たした り、空にするため複数の配管、弁および加圧媒質保存容器（保護ガス用）が必要 となる。この既知装置の基本的欠点は、環境に負担をかけぬような運転を保証す るために格別な措置が講ぜられねばならめという点にある。例えば容器の一つに 、あるいは配管の一つに切り傷があると、本容器中あるいは本配管中にある液体 は制御されないま＼外部に漏れる。このような装置において通常、最も異質とさ れ、また極めて攻撃的な化学薬品が使われることにもなるので、こうした装置自 体が普通では、特殊空間内ないしは特殊容器中に配備されて、漏れた液体やガス 環境破壊をするのを阻止する。こうした点が装置全体のコストを押しあげる。

既知装置が有しているその他の次点は、装置自体が、廃棄処分を託されぬような 人に随意にまかせて運用されるようなことにはなり得ぬという点にある。かよう な装置は特に、歯科医または医者の領域には使用不能である。

上記の先行技術から発して本発明の基本目的は、本発明による装置を、特にとり たて−云うほどの構造上の負担を伴なわずに、こうした装置が滞留部なく作動し 、相互に融和されぬ液体に対して利用できるよう構成させるようにすることにあ る。

上記の本基本目的は、本発明によれば、制御装置が少なくとも３つの異なる媒質 源に接続でき、および容器（処理空間部）下方に配備されていること、および搬 送装置が容器（処理空間部）の放出側配管内に接続されていることにより解消さ れる。

液体の循環、すなわち媒質源から容器（処理空間部）への、および容器（処理空 間部）から媒質源に戻す運動が目的に合わせて減圧により行なわれるるときに、 本発明がいづれにせよ実現されるものと理解され、その結果、漏洩が排除され難 い場合、配管ないし容器においてはいづれにせよ内部破壊を生じ易い。

このような場合、媒質はいづれにせよ外側には到達せず、むしろ単独で、直ちに 対応容器中に還流する。操作が行なわれる間、切り換えが極めてスムースに進む がゆえに、運転についてはとりたて！云うほどの中断がない。こうして一つの連 続性を有する循環流が他の循環流によりひき継がれることになり、しかも極端に 短時間のうちにひき継がれる。

本発明の別の目的に沿い有利な実施態様は従属請求項から明らかになっている。

本発明の特に目的に即した措置は、搬送装置が媒質源の上方に配備されているこ とを前提とする。本発明は、この場合、容器（処理空間部）と媒質容器との間に 存在するすべての配管、ならびに径方向−または軸方向−スライダの如き制御装 置が、これ等の装置部分において何等、圧力が生ぜず、またこれ等の諸部分が対 応媒質容器と、媒質を誘導すべく接続されている場合には、間断なく空になるよ う挙動するといった事実を活用するのである。

本発明の他の目的に即した実施態様は、容器（処理空間部）の壁部中に少なくと も一個のワークピースを支持する把持部のための少なくとも一個の開口部で形成 されていることを前提とする。この場合、把持部が弾性変形できてしかも壁部と は加圧接続する密封性ある部分を有する場合には、特に目的に適っている。この ような発明理念の枠内にあっては、特に開放部の円錐台形状になっている場合、 およびこの被覆面が内部に向けて細くなっている場合には、有利である。

このような装置は特に医学領域および歯科学領域において利用、導入可能である 。容器（処理空間部）はその際、媒質に関連して抵抗力を備えた材料から成る。

容器（処理空間部）においては減圧が生ずるので、栓自体は何等、ら旋をもつ必 要はない、むしろ栓がワークピースと嵌合した後に、鈴が開放部中に差し込まれ るならば、それで十分である。減圧により栓には、容器溝空間内に向った力が働 らき、これによって栓が容器から外れるのが阻止される。

搬送装置と容器（処理空間部）との間に存在し、および排気に貢献する磁気弁（ Ｖ）が開放すると、圧力平衡を生じ、その結果、液体は容器（処理空間部）およ び配管から対応の媒質容器中へと流入し、しかも間断なく流れ込む。弁の外部に 向けての開放は、通常、一定の液体による作動プロセス完了直前に行なわれる。

その後、弁が再び閉鎖されると、容器（処理空間部）中には新しい、他の液体が 流入する。作業プロセス全体が完了した後、栓は開口部から取り出され得る。当 然のことながら栓およびワークピースを装備せしめられ、その後で容器（処理空 間部）と連結するような、容器（処理空間部）とは分離できるようにして接続可 能となっているプレートとして全体壁を形成させることが可能となる。

金属体に電解生成被覆体をつくる装置においては、容器（処理空間部）の内部空 間に入り込んだワークピース部分の表面が陰極ないし陽極として構成されている ならば；ワークピースに対して陽極ないし陰極が対応配備されているならば；お よび電極間に電解質が流入するならば目的に適っている。流入液がワークピース を十分に洗浄できることが保証されるよう、容器（処理空間部）内に液体の流れ 方向に影響を及ぼす装置が配備されているならば、目的に適ったものである。こ の場合、送り込み用配管が基底域内で接続し、放出用配管が容器（処理空間部） 内で接続可能になっていれば、本装置自体が、容器（処理空間部）の基底ないし 天井に対して間隔をおいて配備された２枚のプレートから構成され、しかも本プ レートが、ワークピースを支持する壁の壁部領域内においてそれぞれ一つの空隙 ないしスリットを除き、基底ないし天井をカバーしている際には有利である。こ うして、流入液がワークピースを支持する壁の内側沿いに流れ、ワークピースの 洗浄を適切に行なうことが保証される。

電解質容器および前洗浄−ならびに前洗浄容器に接続できる装置では、前洗浄− ならびに洗浄容器内に洗浄水再生のためのイオン交換器が配備されているならば 有利である。この場合、特にそれぞれの容器においてそれぞれ２個づつのイオン 交換器が配備されているならば特に目的に沿っている。このようなイオン交換器 は、容器の流入・流出開口部と分離できるような接続性を有し、これ等両開口部 間にイオン収納機構が配備されているといった中空体から構成され得る。このよ うな措置の有利な点は、イオン交換器がその機能をもはや満たさない段階になる と、イオン交換器が容器から取り出されて、新しいイオン交換器によって代替え され得るという点にある０本装置のオペレータはこの時に、液体に何等、触れず に済むのである。

本発明は、上記の措置を講じた装置によって、ワークピースでの被覆部の積層用 および／または除去を行なう方法にも関連する。こ−では、ワークピースが容器 （処理空間部）の内側空間内に配備されること；更にワークピースが必要に応じ て前処理されること；その結果、容器（処理空間部）が電解質または他の化学液 により環流されること；および一定の被覆層形成後、該制御装置は該配管を洗浄 液に接続させ、この洗浄液が容器（処理空間部）を通過して搬送せしめられるこ とになる。

本発明の幾つかの実施態様例が図解により示されるが、その概要は以下の通り。

第１図は電気めっき用装置であり、 第２図は容器（処理空間部）を拡大して示したものであり、第３図は媒質源用容 器を拡大して示したものであり、第４図は、容器外に配備された陽極を具備する 容器（処理空間部）であり、 第５図は、ワークピースに対応して陽極を空間的に整理して示したものであり、 第６図は媒質源のための他の容器である。

第１図では、少なくとも一つの媒質源１８に接続可能で送り込み用の、および容 器（処理空間部）１４を媒質源１８．１９および２１と接続する放出用の配管１ ６および２０を有し、ワークピース１０および１２を収納する容器（処理空間部 ）を備えている、ワークピース１０および１２において被覆部を積層および／ま たは除去する装置が示されていて；配管１６および２０と媒質源１８．１９およ び２１との間における接続は制御装置２４−二一では径方向スライダーにより行 なわれる。

制御装置２４には、共通軸のまわりで相向き合って旋回可能になっている２つの 円形プレート１および２から成る弁があり、この弁は一方では容器（処理空間） １４の下方に、および他方では媒質源１８．１９および２１の上方に配備されて いて；配管１６および２０は基本的に垂直に配置し、その結果、これ等配管中に は滞留部は生じない。径方向スライダ２４によって、配管１６および２４は、２ つ以上の容器１８．１９および２１と接続する。放出管２０には減圧搬送装置２ ６が接続しているが、本実施態様では真空ポンプになっている。液体は従って、 例えば容器１８から配管１６中へ、およびこの容器（処理空間部）１４中へと搬 送される。容器（処理空間部）１４中に減圧が生ずるので、液体は配管２０を介 して径方向スライダ２４中へ流れ、そこから再び容器１８中へ戻る。

第１図は更に、容器（処理空間部）１４の壁部２８には、ワークピースｌＯおよ １２を支持する把持部４０および４２用の２つの開放部３０および３２が構成さ れている。把持部４０および４２は、弾性変形性があり、壁２８とは加圧接続す るバッキング断面部を有する。

開放部３０および３２の被覆面は円錐台であり、内側に向けて細くなっている。

金属体に対し電解製出可能な被覆部をつくり出す第１図に示された装置が用いら れるべき時には、容器（処理空間部）１４の内部空間中に突出するワークピース １０および１２の部分の表面が陰極ないし陽極として構成されていて、反面、ワ ークピース１０および１２に対して陽極４４ないし陰極が配備されている。液体 はこれ等の電極間を流れる。

配管１６により供給される液体がワークピース１０および１２に作用を及ぼすの を確実ならしめるため、容器（処理空間部）１４内には、液体４６の流れに影響 を及ぼす装置５０および５２が配備されている。送り込み側の配管１６は、特に トランペット状に構成され得る基底領域内にあり、および放出側配管２０は容器 （処理容器）１４の天井領域内に接続している。液体の流れに影響を及ぼす装置 ５０および５２は、容器（処理空間部）１４の基底部５４ないし天井部５６に対 して間隔をおいて配備された２枚のプレートから構成されていて、これ等プレー トはワークピース１０および１２を支持する壁部２８の壁部領域において基底部 ５４ないし天井５６をそれぞれ空隙６０および６２を除いて被覆する。

第１図からは、配管２０中にあり、しかも搬送装置２６と容器（処理空間部）と の間に接続している弁（Ｖ）が確認される。

排気のため磁気弁として構成された弁（Ｖ）は、容器（処理空間部）１４が空に なり、およびこの容器中に存在する媒質が対応の媒質容器１８．１９および２１ 中に到達するべく意図される際に、生じ、その結果、液体は配管２６を介して下 方へ流出可能となる。

搬送装置２６はスイッチオフの状態になってはいけない。

第２図は、流入電解質によりワークピース１０および１２が受ける衝撃作用は、 容器（処理空間部）１４内に配備される渦流発生装置であるプロペラ３によって も行なわれ得る。

第１図は第３図との関連において、浄水容器１９内では、２つのイオン交換基６ ４および６６が洗浄水再生のために配備されていることを理解させるものである 。イオン交換器６４および６６は、容器（処理空間部Ｈ４の流入・流出開口部７ ０ないし７２とは分離可能なように接続できる、流入・流出開口部７４．７８な いし７６゜８０を具備したそれぞれ一個の中空体から構成される。これ等開口部 間には、イオンを収納すべき機構８２−こ−では樹脂−が配備されている。

配管６を通ってイオンを有する液体、例えば水が容器１４中に流入すると、この 液体は次の段階でイオン交換器６６の中空体９０中に到達する。このような中空 円筒中空体９０は多数の径方向に向ってあけられた孔部９１および９２を有する 。中空体９０から流出する液体はイオン収納機構８２により圧を加えられて、お よび開口部７６を通過して容器（処理空間部）１４の内部空間に到達する。

開口部７６から本内部空間中に流入する液体は、基本的には陽イオンないし陰イ オンを有しない。この内部空間から液体は開口部７８を介して第２イオン交換器 ６４の内部空間中に達するが、この第２イオン交換器６４自体は陽イオンないし 陰イオンを捕捉する第１イオン交換器６６と同様に構成されている。配管７から 流出する液体はかくしてイオンを含んではいない。イオン交換器６４および６６ が機能的に不具合になっている時には、交換器は容器１４から取り外され、他の ものに置きかえられる。

容器１４の壁２８は素材収納マガジンとしても構成され得る。

本発明の特に利点とされるポイントは、数メートル長さの管の如き大きな装備だ けでなく、ねじ、リングまたは義肢の如き小さな対象物も同様の方式により積層 され得る。積層部分の酸化を避けるため、電解質は例えば窒素により処理され得 る。装備を追加することにより電解質は例えば攪拌または超音波により渦流状態 にされる。この場合、不溶性陽極ないし陰極を用いることが特に目的に叶ってい るとみられる。液体の蒸発による損失が生じないことも確証される。

表面に凹凸があるワークピースで電気めっき被覆を製出しようとする場合、陽極 および陰極（ワークピース）相互間の距離は、被覆層の厚みに決定的な影響を及 ぼさない。この厚みは電流密度および被曝時間に左右される。ワークピースにお けるエツジ、空隙および切り欠き部における多様な電流強度のため、積層の厚み は完全に均等になるわけではない。このようなことは、空隙サイドがワークピー ス自体の陽極に向き合った前方側よりも、陽極からより大きな距離を採ることに なるといった事実に基いて生ずるのである。

この点の救済は、部分的にみれば、陰極からの陽極の間隔に比して空隙の奥行き が無視されるほど小さくなる程度にワークピースから陽極が離れていることによ り達成され得る。このような点は、しかるに容器が通常では明らかにより大きな 構成とならざるを得ないといった欠点をもたらす。

第４図および第５図においては、陽極１０４とワークピース１０および１２との 間隔が比較的小さいもの〜、電場ライン１１０および１１１の長さが極めて大き くなることを示す。陽極１０４は収納容器１００内に装着されていて、この収納 容器のワークピース１０からの距離は、陽極と陰極１０との間における電場１１ ０および１１１の長さよりも明らかに小さい。収納容器１００は容器（処理空間 部）１４の該側に配備されている。この場合、長く伸びた物体にあって、その開 放側１２０が容器（処理空間部）１４と相互に通じ合う物体がとりあげられる。

開放側１２０と陽極１０４との間には複数の障壁１０６および１０７が配備され ている。これ等障壁１０６および１０７は案内プレートとして構成されていて、 その結果、電場ライン１１０および１１１はつゾら折り型および蛇行型となって いる。これれにより、陽極１０４からワークピース１０に至るまでを計測してみ ると電場ラインの長さは、陽極からＸだけ遠くに離れることになる基底部側１１ ６が近似的にはワークピース１０の前端側１１５と同程度に、陰極から距離をお くこと＼なるよう、拡大される。

電場ラインの長さ、換言すれば陽極から前端側１１５までの電場ライン１１０の 長さをｄ、電場ライン１１０′の距離をｄ＋ｘで示ｄ　　。

すとすれば、ｄ＋ｘ−１である。電流は基底部側１１６において前端側１１５に おけるのとはり同じ大きさであり、従って被覆部の厚みは近似的にほぼ〜゛等し くなる。

電場ライン１１０および１１１を焦点合せをするため絞り１０８および１０９が 用意されていて、この絞りによって、電場ライン１１０および１１１が開放側１ ２０をほり同一密度で離れるように措置される。

第５図からは、陽極１０４が、銅、ニッケル、金、銀、クロム等から成る粒状物 １２１により囲まれていることが明らかになっている。本粒状物１２１は収集容 器１０２内にて装填されているが、この容器は収納容器１００と通じている。本 収納容器１００および収集容器１０２は一体となって構成されていて、基本的に はＬ字型を採るが、収集容器１０２の下端が陽極を囲むことになる。この場合、 電気めっき被覆は金属溶液の電解により製出される。対象物を陰極として硫酸銅 溶液中にて懸架し、および陽極として白金から構成される陽極を用い、しかもこ の陽極は例えば、粒状物の如き銅粒子により小球体等を囲むことによって、金属 対象物１０上に銅被覆が製出される。Ｃｕ４＋イオンはマイス荷電対象物へと進 行し、こ＼で被覆面を形成し、反面、酸残基イオン５０４−がＣｕ陽極から新し い（ｕ＋＋イオンを溶出する。その結果、溶液濃度が継続維持される。電流密度 は十分に小さいま＼維持されねばならぬが、さもないとＣｕ−被覆面は多孔性と なり、海綿状を呈するようになるからである。粒状物によりワークピース１０５ からの陽極１０４の距離が一定に維持される状態となる。というのも陽極１０４ の基底部領域内に配備された消費済み粒状物は、カバー１０３までに達している 新規粒状物により代替えされ得るからである。

なお、第６図は第１図の媒質容器１９にほり相当する容器２００を示すのである 。容器２００と媒質容器１９との間にある基本的な差異は、完全容器２００が、 接続部２１２および２１４により径方向スライダ２４を介して配管１６および２ ０に接続できるイオン交換器として構成されているという点にある。容器（イオ ン交換器）２００は３つのフィルタ２０２．２０４および２０６を有し、これ等 フィルタ間で、陰イオンないし陽イオン２１０に対するイオン吸収材が例えば、 樹脂形態を採り配備されている。このイオン交換器２００は双方向性を採り操作 され得る。

補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の７第１項の規定による補正書）１、国際出願番号 ＰＣＴ／ＤＥ　　８９１００６００ ２、発明の名称 ワークピースにおいて被覆部を積層および／または除去する装置３、特許出願人 氏　名　　ダラム、ゲルハルト ４、代理人 住所　東京都千代田区霞が関３丁目８番１号虎の門霞が関ビル１４階 栄光特許事務所 電話（３５８１）−９６０１（代表） 氏　名　　　弁理士　　　（７３８７）　　　　萩　　　　野　　　　　　平１ ９９０年４月２日 請求の範囲 ｌ、媒質源に接続可能で送り込み用の、および搬送装置下に配備された媒質源と 容器（処理空間部）とを接続できる放出用の配管を有し；搬送装置を備え、なら びにワークピースを収納する容器（処理空間部）を備えていて；配管と媒質源と の間の相互接続が、少なくとも３つの各種媒質源に接続てき、および容器（処理 空間部）の下に配備された制御装置を介して行なわれるといったワークピースで の被覆部を積層および／または除去する装置において、 搬送装置（２６）が容器（処理空間部）　（１４）の送り出し用配管（２０）内 に接続していることを特徴とする装置。

２、送り込み側聞管（１６）が容器（１４）の最下点域に接続することを特徴と する請求項１に記載の装置。

３、媒質が閉鎖型還流を行なうべく連続的に循環をすることを特徴とする請求項 １から２までの一つに記載の装置。

４、放出側配管（２０）内、および搬送装置（２６）と容器（１４）との間に弁 （Ｖ）、特に磁気弁が接続していることを特徴とする請求項ｌから３までの一つ に記載の装置。

５、容器（処理空間部’）　（１４）内に存在する媒質が渦流を生ずるように働 らく機構（３）が用意されていることを特徴とする請求項１から４までの一つに 記載の装置。

６、容器（処理空間部’）　　（１４）の壁部（２８）中に少なくとも一個のワ ークピース（１０，１２）を支持する把持部（４０，４２）用の少なくとも一個 の開放部（３０，３２）が形成されていることを特徴とする請求項ｌから５まで の一つに記載の装置。

７、把持部（４０，４２）が、弾性変形可能で、しかも壁部（２８）とは加圧接 合する密封断面を有することを特徴とする請求項１から６までの一つに記載の装 置。

８、開放部（３０，３２）の被覆面が円錐台状になっていること、およびこの被 覆面が内側に向けて細くなっていることを特徴とする請求項ｌから７までの一つ に記載の装置。

９、容器（処理空間部Ｘ１４）の内部空間部に突出したワークピース（１０，１ ２）部分が陰極（４４）ないし陽極として構成されていること、ワークピース（ １０，１２）に対応して陽極（４４）ないし陰極が配備されていること、および 電極間には電解質（４６）が流れていることを特徴とする 金属体に電解生成被覆面を製出する請求項１から８までの一つに記載の装置。

１０、前洗浄用および洗浄用の用水容器（１９）内に洗浄水を再生するための少 なくとも一つのイオン交換器（６４，６６）が対応配備されていることを特徴と する 電解質溶液（１８）および前洗浄用、ならびに洗浄用の用水容器に接続できる請 求項１から９までの一つに記載の装置。

１１、各容器（１９）内にそれぞれ２つのイオン交換器（６４，６６）が配備さ れていることを特徴とする請求項ＩＯに記載の装置。

１２、イオン交換器（６４，６６）が、容器（処理空間部’）　（１４）の流入 ・流出開口部（７０，７２）と分離できるよう接続可能でしかも流入・流出開口 部（７４，７８ニア６、８０）を備えた中空体から成ること、およびこれ等開放 部間にイオン収納用機構（８２）が配備されていることを特徴とする請求項９ま たは１１に記載の装置。

１３、容器内にある液の温度が一定値（°Ｃ）に保たれることを特徴とする請求 項１から１２までの一つに記載の装置。

１４、陽極（１０４）または陰極が収納容器（１００）中に装着されていて、お よびワークピース（１０）からの本容器の距離が陽極・（１０４）と陰極（１０ ）との間における電場ラインの長さよりも明らかに小さいことを特徴とする請求 項１から１３までの一つに記載の装置。

１５、収納容器（１００）が容器（処理空間部Ｘ１４）の外側に配備されている ことを特徴とする請求項１から１４までの一つに記載の装置。

１６、収納容器（１００）が長く伸びた物体であって、本物体の開放側（１２０ ）が容器（処理空間部）と通じていること、および該開放側（１２０）と陽極（ １０４）との間には障壁（１０６，１０７）が構成されていることを特徴とする 請求項ｌから１５までの一つに記載の装置。

１７、障壁（１０６，１０７）が案内プレートとして構成されていて、その結果 、電場ライン（１１０，１１１）がつソら折り型になっていることを特徴とする 容器が断面内では円形状または長方形状になっている請求項１から１６までの一 つに記載の装置。

１８、陽極（１０４）がＣｕ、　Ｎｉ、　Ａｕ、　Ａｇ、　Ｃｒ、　Ｓｎ等から 成る粒状物（１２１）により囲まれていることを特徴とする請求項ｌから１７ま での一つに記載の装置。

１９、粒状物（１２１）が収集容器（１０２）内に装填されていて、この収集容 器が収納容器（１００）と通じていることを特徴とする請求項ｌからから１８ま での一つに記載の装置。

２０、収納容器（１００）と収集容器（１０２）とが一体となって構成されてい て、および基本的にＬ字型の構成となり、収集容器（１０２）下端が陽極を囲む ことを特徴とする請求項１から１９までの一つに記載の装置。

２１、ワークピースが容器（処理空間部）　（１４）の内部空間内に配備され、 更にこのワークピース（１０，１２）が必要に応じて前処理を受けること、制御 装置自体が、用途（処理空間部）が電解質により、あるいは他の化学液により貫 流せしめられるよう作動すること、および一定の被覆層形成後に該制御装置が該 配管を洗浄液に接続させ、この洗浄液が容器（処理空間部）を通過して搬送せし められることと を特徴とする請求項１から２０までの一つに記載の装置によるワークピースでの 被覆部を積層および／または除去する方法。

補正書の翻訳文提出書 （特許法第１８４条の８の規定による補正書）１、国際出願番号 ＰＣＴ／ＤＥ　　８９１００６００ ２、発明の名称 ワークピースにおいて被覆部を積層および／または除去する装置３、特許出願人 氏　名　　ダラム、ゲルハルト ４、代理人 住所　〒１００ 東京都千代田区霞が関３丁目８番１号 虎の門霞が関ビル１４階 栄光特許事務所 電話（３５８１）−９６０１（代表） ５、補正書の提出年月日 １９９０年７月１８日 ワークピースにおいて被覆部を積層および／または除去する装置 本発明は請求項１の基本概念に記載の装置に関するものである。

例えばＤ　Ｅ　１０３４４４７ＢまたはＧ　Ｂ　８９３５７０Ａが記述されてい る装置の如く、冒頭に挙げた方式による従来の装置では、処理空間部内での媒質 が加圧を受け、このことが搬送装置内での媒質交換時において常に残留分を沈降 させたま−の状態とし、残留分自体が新規媒質と混和せしめられる。従って公知 の装置による場合には、処理空間内において搬送される媒質について高純度が求 められるような方法は行なわれ得ない。他の欠点は、配管の傷害時には高圧を受 けた媒質は屋外に搬送されるに至る圧が起るからである。

上記の先行技術から発して本発明の基本目的は、本発明による装置を、特にとり たて＼云うほどの負造上の負担を伴なわずに、こうした装置が滞留部なく作動し 、相互に融和されぬ液体に対して利用できるよう構成させるようにすることにあ る。

上記の目的は本発明によれば、請求項１の特徴点により解消される。

液体の循環、すなわち媒質源から容器（処理空間部）への、および容器（処理空 間部）から媒質源に戻す運動が減圧により行なわれるときに、本発明がいづれに せよ実現されるものと理解され、その結果、漏洩が排除され難い場合、配管ない し容器においてはいづれにせよ内部破壊を生じ易い。このような場合、媒質はい づれにせよ外側には到達せず、むしろ単独で、直ちに対応容器中に還流する。操 作が行なわれる間、切り換えが極めてスムースに進むがゆえに運転についてはと りた−で云うほどの中断がない。こうして一つの連続性を有する循環流が他の循 環流によりひき継がれることになり、しかも極端に短時間のうちにひき継がれる 。

本発明の目的に即し、有利な別途実施態様は従属請求項から明らかである。

本発明の特に目的に即した措置は、搬送装置自体が媒質源の上側に配備されてい ることを前提とする。本発明は、この場合、容器（処理空間部）と媒質容器との 間に存在するすべての配管、ならびに径方向−または軸方向−スライダの如き制 御装置が、これ等の装置部分において何等、圧力が生ぜず、またこれ等の諸部分 が対応媒質容器と、媒質を誘導すべく接続されている場合には、間断なく空にな るよう挙動するといった事実を活用するのである。

本発明の他の目的に即した実施態様は、容器（処理空間部）の壁部中に少なくと も一個のワークピースを支持する把持部のための少なくとも一個の開口部が形成 されていることを前提とする。この場合に、把持部が弾性変形できてしかも壁部 とは加圧接続する密封性ある部分を存する場合には、特に目的に適っている。こ のような発明理念の枠内にあっては、特に開放部の円錐台形状になっている場合 、およびこの被覆面が内側に向けて細くなっている場合には、有利である。

請求の範囲 １、媒質源に接続可能で送り込み用の、および搬送装置下に配備された媒質源と 容器（処理空間部）とを接続できる放出用の配管を有し；搬送装置を備え、なら びにワークピースを収納する容器（処理空間部）を備えていて；配管と媒質源と の間の相互接続が、少なくとも３つの各種媒質源に接続でき、および容器（処理 空間部）の下に配備された制御装置を介して行なわれるるといったワークピース での被覆部を積層および／または除去する装置において、 搬送装置（２６）、つまり真空ポンプが容器（処理空間部）　（１４）の送り込 み用配管内に接続していることを特徴とする特許国際調査報告 国際調査報告 ＤＥ　８９００６００ Ｓ＾　　　３１：２６

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．一つの媒質源に接続可能で送り込み用の、および容器（処理空間部）を媒質 源と接続する放出用の配管を有し、搬送装置を備え、ならびにワークピースを収 納する容器（処理空間部）を備えていて、配管および媒質源の相互間接続が、少 なくとも一つの制御装置を介して行なわれるるといったワークピースでの被覆部 を積層および／または除去する装置において、制御装置（２４）が少なくとも３ つの異なる媒質源（１８，１９，２１）に接続可能であり、および容器（処理空 間部）（１４）下に配備されていること、および搬送装置（２６）が容器（処理 空間部）（１４）の送り込み側配管（２０）内に接続していることを特徴とする 装置。 ２．搬送装置（２６）か媒質源（１８，１９，２１）上に配備されていることを 特徴とする請求項１に記載の装置。 ３．送り込み側配管（１６）が容器（１４）の最下点域に接続することを特徴と する請求項１または２に記載の装置。 ４．媒質が閉鎖型還流を行なうべく連続的に循環をすることを特徴とする請求項 １から３までの一つに記載の装置。 ５．放出側配管（２０）内、および搬送装置（２６）と容器（１４）との間に弁 （Ｖ）、特に磁気弁が接続していることを特徴とする請求項１から４までの一つ に記載の装置。 ６．容器（処理空間部）（１４）内に存在する媒質が渦流を生ずるように働らく 機構（３）が用意されていることを特徴とする請求項１から４までの一つに記載 の装置。 ７．容器（処理空間部）（１４）の壁部（２８）中に少なくとも一個のワークピ ース（１０，１２）を支持する把持部（４０，４２）用の少なくとも一個の開放 部（３０，３２）が形成されていることを特徴とする請求項１から６までの一つ に記載の装置。 ８．把持部（４０，４２）が、弾性変形可能で、しかも壁部（２８）とは加圧接 合する密封断面を有することを特徴とする請求項１から７までの一つに記載の装 置。 ９．開放部（３０，３２）の被覆面が円錐台状になっていること、およびこの被 覆面が内側に向けて細くなっていることを特徴とする請求項１から８までの一つ に記載の装置。 １０．容器（処理空間部）（１４）の内部空間部に突出したワークピース（１０ ，１２）部分が陰極（４４）ないし陽極として構成されていること、ワークピー ス（１０，１２）に対応して陽極（４４）ないし陰極が配備されていること、お よび電極間には電解質（４６）が流れていることを特徴とする 金属体に電解生成被覆面を製出する請求項１から９までの一つに記載の装置。 １１．前洗浄用および洗浄用の用水容器（１９）内に洗浄水を再生するための少 なくとも一つのイオン交換器（６４，６６）が対応配備されていることを特徴と する 電解質溶液（１８）および前洗浄用、ならびに洗浄用の用水容器に接続できる請 求項１から１０までの一つに記載の装置。 １２．各容器（１９）内にそれぞれ２つのイオン交換器（６４，６６）が配備さ れていることを特徴とする請求項１１に記載の装置。 １３．イオン交換器（６４，６６）が、容器（処理空間部）（１４）の流入・洗 出閉口部（７０，７２）と分離できるよう接続可能でしかも流入・流出開口部（ ７４，７８；７６，８０）を備えた中空体から成ること、およびこれ等開放部間 にイオン収納用機構（８２）が配備されていることを特徴とする請求項１０また は１２に記載の装置。 １４．容器内にある液の温度が一定値（℃）に保たれることを特徴とする請求項 １から１３までの一つに記載の装置。 １５．陽極（１０４）または陰極が収納容器（１００）中に装着されていて、お よびワークピース（１０）からの本容器の距離が陽極（１０４）と陰極（１０） との間における電場ラインの長さよりも明らかに小さいことを特徴とする請求項 １から１４までの一つに記載の装置。 １６．収納容器（１００）が容器（処理空間部）（１４）の外側に配備されてい ることを特徴とする請求項１から１５までの一つに記載の装置。 １７．収納容器（１００）が長く伸びた物体であって、本物体の開放側（１２０ ）が容器（処理空間部）と通じていること、および該開放側（１２０）と陽極（ １０４）との間には障壁（１０６，１０７）が構成されていることを特徴とする 請求項１から１６までの一つに記載の装置。 １８．障壁（１０６，１０７）が案内プレートとして構成されていて、その結果 、電場ライン（１１０，１１１）がつゞら折り型になっていることを特徴とする 容器が断面内では円形状または長方形状になっている請求項１から１７までの一 つに記載の装置。 １９．陽極（１０４）がＣｕ，Ｎｉ，Ａｕ，Ａｇ，Ｃｒ，Ｓｎ等から成る粒状物 （１２１）により囲まれていることを特徴とする請求項１から１８までの一つに 記載の装置。 ２０．粒状物（１２１）が収集容器（１０２）内に装填されていて、この収集容 器が収納容器（１００）と通じていることを特徴とする請求項１からから１９ま での一つに記載の装置。 ２１．収納容器（１００）と収集容器（１０２）とが一体となって構成されてい て、および基本的にＬ字型の構成となり、収集容器（１０２）下端が陽極を囲む ことを特徴とする請求項１から２０までの一つに記載の装置。 ２２．ワークピースが容器（処理空間部）（１４）の内部空間内に配備され、更 にこのワークピース（１０，１２）が必要に応じて前処理を受けること、制御装 置自体が、用途（処理空間部）が電解質により、あるいは他の化学液により貫流 せしめられるよう作動すること、および一定の被覆層形成後に該制御装置が該配 管を洗浄液に接続させ、この洗浄液が容器（処理空間部）を通過して搬送せしめ られることと を特徴とする請求項１から２１までの一つに記載の装置によるワークピースでの 被覆部を積層および／または除去する方法。