JPH03504786A - 光を発生させるための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 光を発生させるための装置 本発明は特に長さ寸法を測定する干渉計のための光を発生させる装置であって、 この場合、放射されるレーザー光線の周波数が気相周辺媒質中の波長に応じて気 中波長をコンスタントに維持するように調整されている形式のものに関する。

可動な構成要素の位置を測定（規定）するための干渉計においては、用いられる レーザー光線の周辺媒質中における波長（以下ではこれを気中波長と略称する） を正確に知ることに決定的な意義があるとされている。何故ならば、シフト運動 の行程はこの種の気中波長の単位で呈示されるからである。当該光波の周波数が 充分に正確な既知数として得られるならば、その屈折率の検出によって気中波長 を規定することが可能になる。屈折率の検出は、例えば空気温度および気圧なら びに空気湿度を測定し、次いで計算式を用いて屈折率を算出するパラメータ法に より実施することが出来る。然しこのパラメータ法においては、当然のこと乍も 、気体組成などの重要な影響値を考慮することが出来ず、従って工場内もしくは 戸外で干渉計を用いることは論外とされるという欠点を免れない。

なお、開放型のエタロン（度量衡器）により気中波長を検出し、干渉計を用いた 測定にとって重要な気中波長がコンスタントに維持されるように光源の周波数を 空気屈折率に応じて調節するための装置も既に公知となっている。この公知の装 置で用いられている光源はヘリウム−ネオン−レーザーである。検出されたレー ザー光線を変動させるためには、例えば加熱乃至冷却を行なうか、或いは圧電効 果を利用してレーザー共振器の長さを変える措置が可能とされている。

しかるにこの種のヘリウム−ネオン−レーザーの欠点として、かなり高い入力お よび比較的大きな構成寸法が必要とされることは度外視したとしても、実際に生 ずる屈折率変動値がΔｎ＃１０−’に達することも屡々あるのに対し、このレー ザーの周波数調節領域はΔｎ＃２．１０−’程度の規模の屈折率変動を検出する のに充分なものであるに過ぎないという事実が挙げられる。

本発明の課題は、光を発生する装置、殊に長さ測定用の干渉計で利用する光を発 生させる装置に改良を加えて、実地において生ずる屈折率の変動（Δｎ　＃　１ ０−’）に対応して常に周波数を変動させることにより、周辺媒質中における波 長をコンスタントに維持することが出来るようにする点にある。更に本発明によ る装置は、コンパクトなサイズに製作されしかも特に小型の光源を有する装置と して、また場合によってはバッテリー操作を行なうことも出来る装置として構成 される。

この課題を解決すべく提案された本発明の措置によれば、光源としてレーザーダ イオードが用いられており、このレーザーダイオードにおけるレーザー共振器以 外に、レーザーダイオードから発生された光をレーザー共振器内に周波数選択的 にフィードバックさせる装置が設けられている。

本発明で提案されたこの装置によりレーザー光線の周波数選択的なフィードバッ クを行なうならば、周辺媒質中における波長乃至屈折率の変動下で光源として用 いられるレーザーダイオードのエミッション周波数を、その気中波長がコンスタ ントに維持されるように、優先的にフィードバックされる周波数といわば「同調 させる」ことが所定の限度内で可能とされ、しかもこの場合、上記の方式によれ ば、通常のレーザーダイオードにおいて一般に生ずる効果、即ちレーザーダイオ ードのエミッション周波数における各種の稼働パラメータ（インジェクション電 流、温度など）に基づいた非惺常的な（飛躍的な）特性をも「同調範囲」内で抑 制することが出来る。

このレーザーダイオードのエミッション周波数における「同調」を所定の調整範 囲内で可能ならしめるために本発明による装置で利用された効果は、周波数選択 的にフィードバックされた光でありさえすれば、レーザーダイオードにおけるエ ミッション周波数のモードを増幅させるか、或いはサブモードにおける望ましく ない初期振動を申し分なく抑制して、レーザーダイオードからの光放射を、周波 数選択性のフィードバック装置を介して優先的にフィードバックされた周波数に 相当する周波数に「係止」　（ロッキング）することすら可能になるという自体 公知の効果である。

フィードバック装置におけるこの周波数選択性を効果的に利用するために提案さ れた本発明の有利な実施例によれば、変動することのない規定の構成長さ寸法を 有し透過操作もしくは反射操作される１つのエタロンが設けられており、このエ タロンにおける各反射面間に周辺媒質が存在せしめられており、この場合、エタ ロンにより周波数選択されるレーザー光線の少なくとも一部が、レーザーダイオ ードのレーザー共振器内にフィードバックされる。上述した光放射の係止効果を 有効に発揮させる狭帯域のフィードバッグを実施するためには、透過操作される エタロンを用いると特に有利である。この実施例の場合、レーザーダイオードの エミッション周波数範囲でエタロンにより優先的にフィードバックされる周波数 は、周辺媒質の屈折率に応じて有利には自動的に、しかも当該効果により気中波 長をコンスタント・に維持すべくレーザーダイオードのエミッション周波数がシ フトされるように変動せしめられる。

周辺媒質中における波長乃至屈折率を（例えば気中波長を検出するだめの開放式 エタロンに内蔵されている干渉リングを介して行なわれる電子的な検出によって ）求めることが可能とされるならば、°フィードバック装置における閉じたエタ ロンの長さもしくはこのエタロンとレーザーダイオードとの間の距離を（例えば 圧電式または電気光学的に）屈折率乃至気中波長に応じて変動させることによっ て、有利にはレーザーダイオード内にフィー°ドパツクされた周波数を調整し、 ひいてはこの周波数に「係止」されたレーザーダイオードのエミッション周波数 を調節することも原則として可能である。

更に本発明の有利な実施例によれば、周辺媒質中における波長乃至屈折率に応じ てレーザーダイオードのインジェクション電流及び／又は温度を調整する電子的 な調整装置も設けらｎている。系列的な測定を開始する場合には、先づ初めに、 インジェクション電流及び／又は温度に関するレーザーダイオードの適正な初期 エミッション周波数を制御するためにこの電子的な調整装置が用いられ、次いで 変動する環境条件（屈折率）の下で気中波長をコンスタントに維持するように当 該周波数の調整が行なわれる。このような初期選択に際して特にその判定基準と されるのは、例えば、選択された稼働パラメータを維持するために必要とされる エネルギーが出来るだけ僅かなものに抑えられているか否かであり、レーザーダ イオードのインジェクション電流乃至温度に関するエミッション周波数−スペク トル経過中における互いに隣接した２つのモード飛躍間の距離が出来るだけ大き な値に保たれているが否かである。

電子的な調整のために必要とされる周辺媒質中の波長乃至屈折率検出は、エタロ ンを用いて行なうことが可能であり、使用するエタロンの各反射面間には周辺媒 質が存在せしめられ、その干渉パターンが評価される。初期条件が上述のように 規定されたならば、本来の調整機能を発揮するための電子的な調整装置を介して 、レーザーダイオードの各種稼働パラメータ（インジェクション電流及び温度） を気中波長に応じて調整し、ひいてはレーザーダイオードにおけるエミッション 周波数とフィードバック装置により優先的にフィードバックされた周波数との「 同調」を支援することが出来る。このように光学的なフィードバック調整と、レ ーザーダイオードにおける稼働パラメータの電子的な調整との２つの調整操作を 組み合わせることによってのみ、大きな「同調範囲」に亙るれた周波数に係止し た状態を保つことが実際に達成される。この場合、電子的な調整の精度に対して 過度に高い条件が課されることはない、何故ならば、気中波長をコンスタントに 維持するために必要とされるエミッション周波数は、当然のこと乍ら、「同調範 囲」内で周波数選択性のフィードバック装置からフィードバックされる信号によ って規定されているからである。

例えば比較的広帯域の周波数選択性フィードバック装置（例えば厚さ寸法の小さ なガラス製の固体エタロンから成る装置）が用いられることに基づいて、レーザ ーダイオードの周波数が光学的にフィードバックされた所定の周波数に係止され ないか、或いは少なくとも正確には係止されないような場合には、結局のところ 本発明による電子的な調整装置のみを用いることによって、周辺媒質中における 波長乃至屈折率に関連したレーザーダイオードのエミッション周波数調整を行な うことが可能である。然しその場合には、当該電子調整装置にかなり高い条件が 課されねばならないことは言うまでもない。

このような事例では、周波数選択的にフィードバックされた光によって将に振動 中の周波数モードを増幅すると同時に隣接モードの初期振動を抑制する目的で、 前述した光学的フィードバックの効果が利用される。従って、必要とされる調整 範囲内でのレーザーダイオードにおける通常の一定しないエミッション周波数特 性、即ち本発明による装置と協働してその機能をデリケートに妨害し兼ねない特 性が生ずることは回避される。

特に多モードレーザーダイオードと関連して、２段階に亙るプロセスを実施する ことも可能であって、その場合には先づ第１の段階として、必ずしも周辺媒質で 満たされていなくてもよいエタロンを用いることにより、実際の振動を増幅し或 いは隣接モードの初期振動を抑制するための光が、有利にはレーザーダイオード のレーザー共振器長さ寸法より小さな厚さ寸法を有する例えばガラス製の固体エ タロンに対して光学的に周波数選択フィードバックされ、次いで第２段階（即ち より長い方のエタロンからのフィードバック）に達して初めて、光が「同調」乃 至ｒ係止」を行なおうとする周波数にフィードバックされる。

この種のフィードバック効果は、エタロン又はフィードバック装置の反射面から レーザーダイオードのレーザー共振器までの距離にも関連しており、この事実は 、優先的にフィードバックされる周波数の調整をエタロンもしくは反射面からレ ーザーダイオードまでの距離に瓦って実施するためにも利用可能である。

次に添付図面に示した実施例につき本発明によるその他の利点および詳細を説明 する：第１図〜第３図に概略的に示された本発明による装置の各実施例において は、レーザーダイオードのエミッション周波数調整が純粋に光学的なフィードバ ック方式によって行なわれ、第４図および第５図に示された別の各実施例におい ては、レーザーダイオードの稼働パラメータを環境条件に応じて調整するための 電子的な調整方式が採用されており、第６図および第７図に示された２つの実施 例においては、光をレーザーダイオードにおける第２のアウトプット内にフィー ドバックする方式が採られている。

光を発生するための第１図に示された装置は、その主たる構成要素として、レー ザーダイオード（１）と分光器（４ａ）とエアギャップ−エタロン（Ｆａｂｒｙ −Ｐｅｒｏｔ−Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ　：ファブリー゛ペローの干渉計 ）（３ａ）とを有しており、符号（２）でその全体が示された干渉計に長さ測定 用の光を供給するためにこの装置が用いられ、光の周波数は、気相の周辺媒質中 における波長に応じてこの気中波長をコンスタントに維持するように調整される 。長さ測定を行なう干渉計（２）の全体構造はその都度の用例に応じて変化させ ることが可能であって、例えばこの干渉計（２）には、本発明による装置に由来 する光を測定部分と基準部分とに分割する分光器を設けることが出来る。

この場合、長さ変動可能な測定部分には周辺媒質が導かれ、従ってこの部分は環 境（外界）の影響下に置かれている。基準区間から戻ってくる基準光線と測定区 間から戻ってくる測定光線とはそれぞれ干渉を受けて、その干渉信号が評価され る。

この場合、本発明による装置を用いて周辺媒質中における波長（気中波長）をコ ンスタントに維持しておくならば、当初は気中波長の単位で得られる測定結果を メートル法の単位に換算された数値として知ることも出来る。

第１図に示された本発明による実施例では、周波数選択式のフィードバックユニ ットが主とじて開放型のエタロン（３ａ）から構成されており、反射操作される このエタロンは、ミリメートル規模のミラー間距離を有している。この種の開放 型エタロンにおいては、ミラー面（１０ａ）とミラー面（１０ｂ）との間に周辺 媒質（一般に空気）が存在している。ところでこの周辺媒質の屈折率が、ひいて はその気中波長が変化すると、エタロン（３ａ）から分光器（４ａ）を経てレー ザーダイオード（１）内に優先的にフィードバックされる周波数の値が変動する 。従ってレーザーダイオードのエミッション周波数を（例えば狭帯域の充分に強 力なフィードバックにより）フィードバックされた周波数に係止するならば、こ のレーザーダイオードにおけるエミッション周波数を、当該調整範囲内で、エタ ロン（３ａ）からフィードバックされた周波数と「同調」させることが可能にな る。その際の開放量エタロン（３ａ）による周波数調整は、将に気中波長がコン スタントに維持されるような形で行なわれる。実地においては、開放型のエタロ ン（３ａ）を干渉計（２）の測定区間に出来るだけ近づけて配置するか、或いは 他の適宜な手段を講じることにより、測定区間におケル環境条件とエタロン（３ ａ）における環境条件とを合致させることが保証されている。

第２図に示された実施例と上述した第１図による実施例とにおいては、反射操作 される開放型エタロンからのフィードバックに関して殆ど相違点がない、然しこ の第２図によ葛実施例の場合、干渉計（２）のための光がエタロン（３ａ）を貫 通案内されることは言うまでもない。第３図に示された実施例では、レーザーダ イオード（１）から放射された光をレーザー共振器内に周波数選択的にフィード バックさせる処理が透過操作される開放型のエタロン（３ｂ）によって行なわれ 、該エタロン（３ｂ）における各ミラー面（１２ａ）、（１２ｂ）の間にも周辺 媒質が存在している。この場合、レーザーダイオード（１）から放射される光は グラスファイバー（６）を介して案内することが出来る。この光の一部は分光器 として機能するグラスファイバ一連結器（４ｂ）を介して測定干渉計（２）内に 達し、光のその他の部分はチューンアウトレンズ（４）を介して透過エタロン（ ３ｂ）内に達する。周辺媒質中における波長乃至屈折率に応じて優先的にフィー ドバックされる周波数をこのエタロン（３ｂ）によって変動せしめられる光は、 レンズ（５）を介してグラスファイバー（１３）内に連結され、そこからグラス ファイバ一連結器（４ｂ）を経てレーザー共振器内に帰還する。これら２つのレ ンズ（５）間でエタロン（３ｂ）を光の伝播方向に対して稍々傾斜させておくこ とによって、反射信号のフィードバックを回避することが出来る。このように透 過操作されるエタロンを用いるならば、レーザーダイオード（１）内への特に狭 帯域によるフィードバックを行なわせることが可能になり、この場合、周波数選 択的にフィードバックされた光は、エタロン（３ｂ）によって優先的にフィード バックされた周波数に対するレーザーダイオードのエミッション周波数を正確に 係止することが保証されるように、レーザーダイオードの適正なエミツション周 波数モードを増幅し、サブモードにおける不都合な初期振動を抑制する。

第１図〜第３図に示された本発明の実施例においては、周辺媒質に対して開放さ れた構造を有するエタロン（３ａ）乃至（３ｂ）が用いられていることに基づい て、優先的にフィードバックされた周波数が将にその気中波長をコンスタントに 維持するように自動的に変化する。

周辺媒質の気中波長乃至屈折率が既知の値として得られているならば、優先的に フィードバックされ次いでこれにレーザーダイオードのエミッション周波数が係 止される周波数のアクチブな調節をも行なうことが出来る。なおこのアクチブな 調節は、例えば圧電式または電気光学的に長さ調節可能なエタロンを用いて、或 いはエタロン（もしくはレーザーダイオードに面した反射面）からレーザーダイ オードまでの距離を変化させることによって実施可能である。

第４図に示された実施例においては、エタロン（３ａ）からレーザーダイオード （１）のレーザー共振器内への周波数選択的なフィードバックを行なうための装 置に加えて、付加的な電子調整装置（８）が設けられており、この電子的な調整 装置（８）は、周辺媒質中における波長乃至屈折率に応じて、レーザーダイオー ドのインジェクション電流（ｉ）及び／又は温度（Ｔ）を調整するために用いら れる０周辺媒質中における波長を検出するために用いられるエタロンの各ミラー 面間には周辺媒質が存在せしめられており、エタロンの干渉パターンは位置感知 性の検出器、有利にはデュプレックスダイオード（酸二極管）乃至カドラント（ 象限）ダイオード（７）により検出されて電子的に評価される。第４図に示され ているように、電子調整装ｆｆｌ　（８）のために周辺パラメータを検出するエ タロンと周波数選択性の光学的フィードバック装置のエタロンとは、同一のエタ ロン（３ａ）として構成することが可能である。

レーザーダイオードエミッション周波数が効果的なフィードバックにより光学的 に帰還された周波数に対して係止されるならば、電子的な調整の精度に過度に高 い条件が課されることはない。このように光学的なフィードバック調整とレーザ ーダイオードにおける稼働パラメータの電子的調整とを組み合わせることによっ て、優先的にフィードバックされた周波数に対しエミッション周波数が大きな「 同調範囲」に亙り事実上係止された状態を維持することが可能になる。つまりこ の実施例においては、レーザーダイオードエミッション周波数とフィードバック 装置から優先的にフィードバックされた周波数との「同調」を支援するために、 この電子的な調整装置（８）が使用されている。更にこの種の電子的な調整装置 は、レーザーダイオードの初期エミッション周波数を規定する系列的な測定作業 を開始する際の制御装置としても使用可能であり、次いでこの周波数規定に基づ いて気中波長をコンスタントに維持する操作が行なわれる。

例えば光学的なフィードバックが比較的広帯域で行なわれることに起因して、レ ーザーダイオードエミッション周波数が光学的にフィードバックされた所定の周 波数に「係止」されないか、或いは少なくとも充分な精度では係止されない場合 には、電子的な調整装置の調整精度を適正なものにしておくことにより、専らこ の電子制御装置のみを介して１ノーザーダイオードのエミッション周波数を周辺 媒質中における波長乃至屈折率に応じて調整することが可能になる。このような 場合には上述した光学的フィードバックの効果が、周波数選択的にフィードバッ クされた光を介して今まさに振動しているレーザーダイオードの周波数モードを 増幅すると同時に隣接モードの初期振動を抑制する目的で利用される。この種の 措置がとられているならば、レーザーダイオードのエミッション周波数において 一般に生ずる不安定な特性を測定に必要とされる所定の調整範囲内では生じない ように制御することが達成される。

側方における不都合な初期振動を抑制する（比較的広帯域の周波数選択的なフィ ードバックを行なう）ためには、第５図の実施例に示されているように固体とし てのガラスエタロン（３ｃ）を用いることも可能であり、このエタロンの厚さは レーザーダイオードにおけるレーザー共振器ノ長さより小さな値に設定されてい る。傾倒運動に対して過敏に応動しないようにするため、この平面平行な固体ガ ラスエタロン（３ｃ）は、レーザーダイオード付近でレーザーダイオードから散 開的に放射される光線ビーム内に、しかもまだこの光線ビームが規準光学系（１ ４）内にもしくは連結装置がグラスファイバー内に達する前の範囲内に配置され ている。

有利にはレーザー共振器長さ規模もしくはそれ以下の数値に設定されているレー ザーダイオード（１）からガラスエタロン（３ｃ）までの（ひいてはレーザーダ イオードに面した側の反射面として作用するガラスエタロン面までの）距離も矢 張り調整可能であって、この種の調整が行なわれることにより、必要とされる場 合には、優先的にフィードバックされた周波数を変化させることが出来る。ガラ スエタロン（３Ｃ）を用いる代りに、矢張りこの種の距離変動可能な反射面を、 （例えばグラスファイバー内への連結を行なう）規準光学系または黒率光学系の エントランス面によってレーザーダイオード付近に形成することも考えられる。

第６図に示された実施例は、第３図による実施例とほぼ同等であって、矢張り透 過操作式の若干傾斜した開放型エタロン（３ｂ）が設けられている。この第６図 に示された実施例の場合、周辺媒質中における波長乃至屈折率に応じて周波数選 択的に透過される光が、ミラー（９）によりレーザーダイオードにおける第２の アウトプット内にフィードバックされることは言うまでもない。

第７図に示された実施例は、第５図による実施例の変化態様であって、この場合 には固体のガラスエタロン（３Ｃ）の代りに、レーザーダイオード（１）におけ る第２の共振器アウトプット（１４）から距離をおいて配置されたミラー（３ｄ ）が用いられている。なおこのミラー（３ｄ）は、小型のガラスプレートエタロ ンとして構成しておいてもよい。

本発明が単に図示の実施例にのみ限定されることなく、例えば、特に可視光線内 で検出を行なう現在では多モードレーザーダイオードとして用いられるレーザー ダイオードとの関連において、本発明による装置で２段階に亙る光学的なフィー ドバックをも実施しうることは言を俟たない。この２段階プロセスにおいては、 先づ初めに、必ずしも周辺媒質で満たさなくてもよいエタロン、例えば、有利に はレーザーダイオードのレーザー共振器長さ寸法より小さな値の厚さ寸法を有す る固体のガラスエタロンを用いることにより、実際にその時点で振動しているモ ードを増幅すると共に隣接モードの初期振動を抑制すべく、光が周波数選択的に 光学フィードバックされる（第１段階）。

この段階が終了して初めて、レーザーダイオードのエミッション周波数を「同調 」乃至「係止」するために導かれる比較的狭帯域の光が第２のエタロンからフ、 ｒ−ドパツクされる（第２段階）。

本発明の有利な１実施例によれば、反射面からレーザーダイオードまでのエタロ ン長さもしくは距離の自動的な「共同調整」を達成するために、レーザーダイオ ードとエタロン乃至フィードバック装置反射面どが互いに熱的に連結されており 、有利には両者に同一の温度が与えられている。

図面の簡単な説明 １・・・レーザーダイオード、２・・・干渉計、３ａ・・・エアギャップ−エタ ロン、 ３ｂ・・・開放型エタロン、 ３ｃ・・・固体のガラスエタロン、 ４ａ・・・分光器、 ４ｂ・・・グラスファイバ一連結器、 ５・・・チューンアウトレンズ、 ６・；・グラスファイバー、 ７・・・酸二極管乃至象限ダイオード、８・・・電子的な調整装置、９・・・く ツー、１０ａ・１０ｂ・１２ａ・１２ｂ・・・ミラー面、１３・・・グラスファ イバー、 １４・・・規準光学系、 ｉ・・・インジェクション電流、Ｔ・・・温度。

国際調査報告 国際調査報告

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. １．特に長さ寸法を測定する干渉計のための光を発生させる装置であって、この 場合、放射されるレーザー光線の周波数が気相の周辺媒質中における波長に応じ て気中波長をコンスタントに維持するように調整されている形式のものにおいて 、光源としてレーザーダイオード（１）が用いられており、このレーザーダイオ ード（１）におけるレーザー共振器以外に、レーザーダイオード（１）から発生 された光をレーザー共振器内に周波数選択的にフィードバックさせる装置（３ａ ）、（３ｂ）、（３ｃ）、（３ｄ）；（４ａ）、（４ｂ）；（５）、（６）、（ １３）；（９）が設けられていることを特徴とする装置。
2. ２．請求項（１）記載の装置において、周波数選択性の光学的フィードバック装 置（３ａ）、（３ｂ）、（３ｃ）、（３ｄ）；（４ａ）、（４ｂ）；（５）、（ ６）、（１３）；（９）からレーザーダイオードのエミッション周波数範囲で優 先的にフィードバックされる周波数が、周辺媒質中における波長乃至屈折率に応 じて変動せしめられることを特徴とする装置。
3. ３．請求項（２）記載の装置において、フィードバック装置が構成長さの不変な エタロン（３ａ）；（３ｂ）を有しており、エタロンにおける各ミラー面（１０ ａ）、（１０ｂ）；（１２ａ）、（１２ｂ）の間には周辺媒質が存在せしめられ ており、この場合、エタロン（３ａ）；（３ｂ）により周波数選択されるレーザ ー光線の少なくとも一部がレーザー共振器内にフィードバックされることを特徴 とする装置。
4. ４．請求項（３）記載の装置において、エタロン（３ｂ）が透過操作されている ことを特徴とする装置。
5. ５．請求項（２）記載の装置において、フィードバック装置が周辺媒質中におけ る波長乃至屈折率に応じて長さ調節可能な、ひいては優先的にレーザーダイオー ド内にフィードバックされる周波数範囲で調節可能なエタロンを有していること を特徴とする装置。
6. ６．請求項（２）記載の装置において、長さ調節可能なエタロンが電気光学的な 素材から成る１枚の平面平行なプレートとして構成されており、このプレートの 表面には導電性の半透明なコーティングが施されており、従ってエタロンの光学 的な厚さが電圧印加により変動可能ならしめられていることを特徴とする装置。
7. ７．請求項（１）〜（６）のいづれか１項に記載の装置において、フィードバッ ク装置に反射面が形成されており、この反射面とレーザー共振器との間の距離、 有利にはレーザー共振器長さ規模のもしくはそれ以下の距離が変動可能ならしめ られていることを特徴とする装置。
8. ８．請求項（７）記載の装置において、視準または焦準のために必要とされる光 学系としての有利にはグラジエントーインデックスーレンズのエントランス面が 反射面として用いられることを特徴とする装置。
9. ９．請求項（１）〜（８）のいづれか１項に記載の装置において、フィードバッ ク装置がエタロン（３ｃ）を有しており、このエタロン（３ｃ）とレーザーダイ オードとの間の距離、有利にはレーザー共振器長さ規模の距離が変動可能ならし められていることを特徴とする装置。
10. １０．請求項（７）及び（９）に記載の装置において、エタロン（３ｃ）が透明 な素材、有利にはガラスから成る薄い小型プレートとして構成されており、レー ザーダイオード（１）の側に位置しているこのプレートの面が反射面を形成し、 このプレートの厚さがレーザーダイオードの共振器長さより小さな値に設定され ていることを特徴とする装置。
11. １１．請求項（１）〜（１０）のいづれか１項に記載の装置において、周辺媒質 中における波長乃至屈折率に応じてレーザーダイオード（１）のインジェクショ ン電流及び／又は温度を調整する電子的な調整装置（８）が設けられていること を特徴とする装置。
12. １２．請求項（１１）記載の装置において、レーザーダイオード（１）における エミッション周波数の調整が、専ら電子的な調整装置（８）を用いることにより 、周辺媒質中における波長乃至屈折率に応じて行なわれることを特徴とする装置 。
13. １３．請求項（１１）又は（１２）に記載の装置において、周辺媒質中における 波長を検出するためのエタロン（３ａ）が設けられており、エタロン（３ａ）の 各ミラー面（１０ａ）、（１０ｂ）の間に周辺媒質が存在せしめられており、エ タロン（３ａ）の干渉パターンが検出され且つ電子的に評価されることを特徴と する装置。
14. １４．請求項（３）及び（１３）に記載の装置において、光学的なフィードバッ ク装置のエタロン（３ａ）が、同時に電子的な調整装置（８）のために周辺媒質 中における波長を検出するエタロン（３ａ）としても利用されていることを特徴 とする装置。
15. １５．請求項（１）〜（１４）のいづれか１項に記載の装置において、周波数選 択性の光学的フィードバック装置が、互いに長さの異なる少なくとも２つのエタ ロン（３ｂ）、（３ｃ）を有しているか、或いは１つのエタロンと補足的な１つ の反射面とを有しており、光がこの反射面から周波数選択的にレーザーダイオー ド内にフィードバックされることを特徴とする装置。
16. １６．請求項（１）〜（１５）のいづれか１項に記載の装置において、光学的な フィードバック装置が有利には反射操作されるエタロン（３ｃ）を有しており、 このエタロン（３ｃ）の長さがレーザーダイオード（１）におけるレーザー共振 器長さより小さな値に設定されていることを特徴とする装置。
17. １７．請求項（１６）記載の装置において、エタロン（３ｃ）が透明な素材、特 にガラスから成る薄い小型プレートとして構成されており、このプレートの厚さ が共振器長さより小さな値に設定され、このプレートが有利にはレーザーダイオ ード（１）から散開的に生ずる光線ビーム内に配置されていることを特徴とする 装置。
18. １８．請求項（１）〜（１７）のいづれか１項に記載の装置において、有利には 可視領域内で放射を行なうレーザーダイオードが光源として用いられることを特 徴とする装置。
19. １９．請求項（１）〜（１８）のいづれか１項に記載の装置において、周波数選 択的なフィードバックにより単に１つのモードでのみ放射を行なう多モードレー ザーダイオードが光源として用いられることを特徴とする装置。
20. ２０．請求項（１）〜（１９）のいづれか１項に記載の装置において、レーザー ダイオードとフィードバック装置における単数または複数のエタロンもしくは反 射面とが互いに熱的に連結されており、有利には同じ温度を有していることを特 徴とする装置。
21. ２１．請求項（１）〜（２０）のいづれか１項に記載の装置において、共振器ミ ラーを介してレーザーダイオード（１）から発生される光が、周波数選択性のフ ィードバック装置（３ｂ）、（９）；（３ｄ）により別の共振器ミラーを介して レーザー共振器内にフィードバックされることを特徴とする装置。