JPH03503684A - 赤外線ガス分析器用の改良した設定点制御回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ｉ・　　ガス　　１　の　　したー　占！　口技ＪｂＬ社 本発明は、赤外線ガス分析器に関するものであって、更に詳細には、ガス分析器 制御システムにおいて安定した設定点を与える方法及び装置に関するものである 。

Ｚｌしと１量 非分散型赤外線ガス分析器は、典型的に、赤外線エネルギを発生し且つサンプル セル内に収容されている未知のガス混合物を介して指向させるために赤外線源を 使用する。ある所定の波長で該サンプルセルな介して通過するエネルギが検知さ れ、且つそれを表わす電気信号が発生される。その所定の波長は、興味のある一 つ又はそれ以上のガスの特性吸収周波数と対応すべく選択されている。その電気 信号を処理して、該サンプルセル内のガス混合物内のガスの一つ又はそれ以上の 濃度を表わす出力を発生する。

このような分析器の一つは、米国特許第４，３４６．２９６号（Ｐａｓｓａｒｏ 　　ｅｔ　　ａｌ、）に記載されている。この特許においては、赤外線源は、比 較的広いスペクトルに亘って比較的一定の強度で赤外線照射を射出する。該赤外 線源からの赤外線照射は、チョッパーホイールによって周期的に中断される。サ ンプルセルを通過した後に、チョップされた赤外線照射は夫々の検知器によって 検知される。各々の場合において、その照射は、狭い通過域フィルタによってフ ィルタされ、従って各検知器は夫々のガスの夫々の吸収周波数特性に対応する周 波数の特定の狭い帯域の照射のみ実効的に感応する。

従って、夫々の検知信号は、システム的に、夫々のガスの夫々の濃度に関連して いる。チョッパーホイールを使用しているために、これらの信号はチョッパーホ イールの周波数で決定されるＡＣ信号である０次いで、これらの信号は増幅され 、検知され且つフィルタされて対応するＤＣ信号が発生される。

各フィルタされた信号は、所謂スパン（ｓｐａｎ）増幅器の一方の入力端へ印加 される。スパン増幅器は、典型的に、加算増幅器を有しており、それはオフセッ トした基準入力信号と制御可能なフィードバック入力信号とを受取る。このオフ セットした基準信号は、該分析器の零点をオフセットし、且つ該フィードバック 信号はフルスケールの出力を与λるために必要とされる入力信号のスパン、即ち 太きさを制御する。

そのフィードバック信号は、該スパン増幅器によって制御されて、零点を決定す ることが可能であるようにオフセット信号をバランスさせる０本明細書において 、「零点」という用語は、入射赤外線照射の吸収がない状態でのスパン増幅器が 零出力を発生する状態を意味している。米国特許第４，３４６．２９６号に記載 される如く、スパン増幅器の零点は、サンプルセル内へ所謂零ガスを導入し且つ 零の読取りを与えるようにフィードバック信号入力の利得制御を調整することに よって調節される。この零ガスは、例えば窒素のようなガスであって、それは少 なくとも夫々のフィルタによって通過される周波数において赤外線エネルギに対 して実質的に吸収性がないものである。

所定のキャリブレーション、即ち較正用ガスをサンプルセルに導入すると、フィ ードバック信号の利得は、何らかの所定のキャリプレート、即ち較正した値に調 節される。次いで、分析されるべきガスを導入すると、出力メータは、適切に記 録を行うか、又は夫々の較正ガスの相対的濃度を表示する。

「自動零調整を有する赤外線ガス分析器（Ｉｎｆｒａｒｅｄ　　Ｇａｓ　　Ａｎ ａｌｙｚｅｒ　　ＷｉｔｈＡｕｔｏｍａｔｉｃ　　Ｚｅｒｏ　　Ａｄｊｕｓｔｍ ｅｎｔ）Ｊという名称の米国特許第４，６８７゜９３４号（Ｒｏｂｅｒｔ　　Ｅ 、　　Ｐａ５ｓａｒｏ、Ｒａｙｍｏｎｄ　　Ｅ、　　Ｒｏｇｅｒｓ、Ｊ、　　Ｃ ｒａｉｇ　　Ｇｒｉｆｆｉｔｈ）は、赤外線ガス分析器用の自動ゼロ装置を記載 している。この装置は、サンプルセル内に非吸収性ガスが存在する場合に出力信 号を実質的にゼロへ減少させるためにスパン増幅器からの検知器信号の信号レベ ルを自動的に制御する利得制御を具備する比較器を有している。前述した特許は 、所定レベルを超えたガス分析器の温度ドリフトが存在する場合又は所定の時間 周期の後に繰返される零点動作を与えるプログラム可能なマイクロプロセサを使 用している。上述した要素は、オペレータが手作業によってシステムを適切な零 条件に調節することの必要性を除去している７上述した特許は、所定の時間周期 に亘って及び所定レベルを超λた温度ドリフトが存在する場合に自動的に零点を 与える赤外線ガス分析器を開示している。しかしながら、上述したタイプのガス 分析器は、赤外線源の温度における変動及び検知器の温度における変動に起因し て設定点が不安定となる傾向を示すことが知られている。米国特許第４，３９８ ．０９１号（Ｐａｓｓａｒｏ）は、このような変動を補償するガス分析器を記載 している。従って、しばしば、分析器内における適宜の場所にヒータを配置させ 、且つ該ヒータをモニタして、ガス分析器の温度を一定温度に維持し、周囲の温 度が変化する場合に必要とされるドリフト補正の多くを除去している。そのよう にする場合、ガス分析器は一層安定であり、従って種々のガスの濃度レベルを正 確に測定することが可能である。

一般的に、これらの要素のモニタ動作は、ガス分析器に対して「設定点」を与え るプロセサと関連する制御回路によって達成される。本願明細書においで設定点 という用語は、既知のガス及びガス濃度において装置が設定されるキャリブレー ション（較正）点であり、それからガスの測定値を取ることが可能なものである 。ガス分析器の読みが正確なものであることを確保するために５例えば赤外線源 の温度及びヒー・夕の温度等のようなある種のパラメータは、ガスの測定を行う 前に安定なものでなければならない、従って、これらのパラメークは、ガス分析 器の「設定点」を与えるためにモニタされ且つ調節される。

設定点を制御するために、ガス分析器の測定された温度信号が設定点回路へ供給 される。これらの信号は、基準信号と比較される。該温度信号が基準信号に対応 しない場合、ガス分析器内のプロセサが、適宜の出力信号が得られる迄、ヒータ の温度を調節する。その結果、後にガス分析器によってなされる測定が正確なも のであることを確保するために設定点が安定なものであることが重要である。

典型的に、ヒータに関連する温度センサの出力信号を何らかの基準信号と比較す ることによってガス分析器において安定な設定点を与えるために差動増幅器回路 が使用されている。所定の信号が該増幅器の出力端上に存在しない場合には、適 切な出力電圧が存在するようになる迄、該プロセサは該ヒータの温度を調節する 。

差動増幅器がガス分析器内の設定点制御回路として効果的に動作するが、それは 、適切な動作を行うために複数個の精密な抵抗を必要とする。精密抵抗の値が相 互作用によって設定点制御回路の出力電圧を与えるので５精密抵抗が必要とされ る。公知の如く、差動増幅器の二つの入力端に対して共通入力信号が与えられる 場合、差動モード出力信号はゼロである。しかしながら、実際的には、両方の入 力端子が正確に同一の電位にあるが両方の入力端子の電位か一体的に変化する場 合には、何らかの出力電圧変動が発生するということが知られている。この出力 変動は共通モードエラー信号と呼ばれている。従って、共通モードエラー信号は 、入力信号が同一である場合の不正確性を表わしている。このエラーは、入力抵 抗が注意深く整合されていることを確保することによって最小とさせることが可 能である。従って、共通モードエラーを最小とするために精密抵抗が使用される 。

精密抵抗は高価であり且つ装置コストを著しく増加させるものであることが知ら れている。より特定的には、ガス分析器においては全体的なコストを可及的に低 （維持することが極めて重要である。このような意味合いから、差動増幅器回路 を使用することは精密抵抗に対する必要性を増加させ、従ってそれと共に使用さ れるガス分析器のコストを不所望に増加させるものであることが判明した。

従って、ガス分析器のコストを低下させる何らかのシステム、デバイス又は装置 は、従来技術と比較して顕著な利点を与えるものである。更に詳細には、ガス分 析器において使用される設定点制御回路において必要な精密抵抗の数を制限し尚 且つガス分析器の安定性を維持するような何らかの構成は、公知の回路と比較し て顕著な改良を与えるものである。

１−辺 広義においては、本発明の目的は、改良した設定点制御回路を具備する赤外線ガ ス分析器を提供することである。

本発明の別の目的とするところは、所定の温度範囲及び時間間隔に亘って与えら れた入力信号に対して安定な出力信号を供給する回路を提供することである。

本発明の更に別の目的とするところは、従来の設定点制御回路と比較して一層廉 価な安定な設定点制御回路を有するガス分析器を提供することである。

１豆五ｌ刀 ガス分析器用の設定点制御回路は、基準信号発生器とセンス信号を発生するため のセンサとを有しており、該センス信号はガス分析器のパラメータに依存してい る０本回路は、更に、基準信号発生器及びセンサへ選択的に結合されるべく適合 されている増幅器を有している。該増幅器は、それに結合された場合に基準信号 を表わす信号を供給し、且つそれに結合された場合にセンサを表わす信号を供給 する。

基準信号発生器とセンサとの間における該増幅器の選択的なスイッチングのため に本回路においてはプロセサが使用されている。該基準及びセンサ信号は該プロ セサ内において比較される。該プロセサは１次いで、そのパラメータが基準信号 に態様するようになる迄、そのセンサ信号と関連するパラメータを調節する。

一実施形態においては、センスされたパラメータは、ガス分析器内のヒータの温 度である。従って、各ヒータに関連するセンサは、その温度を表わす信号を供給 する。設定点回路は、それに接続された場合に、該プロセサに対して基準電圧を 表わす出力信号を供給する。該設定点回路は、それに接続されたへ供給する。こ れらの信号が等しくない場合には、該プロセサは、そのセンサ及び基準信号の両 方が同一の出力を該プロセサに対して供給する迄、関連するヒータ温度を調節す る。

この較正によって、ガス分析器の精度及び安定性を確保する設定点制御回路が提 供される６本設定点制御回路においては精密部品が必要とされることはない、な ぜならば、信号の比較はプロセサによって達成されるからである。従って、この 設定点制御回路のコストは従来のガス分析器において使用されているものよりも 著しく廉価である。

ｍ皿星皇五ｊ 第１図はガス分析器の概略ブロック図である。

第２図は差動増幅器のブロック図である。

第３図はガス分析器において便用される従来の設定点制御回路のブロック図であ る。

第４図は従来の設定点制御回路の概略回路図である。

第５図は本発明に基づいて構成された設定点制御回路の概略回路図である。

第６図は本発明に基づいて構成された設定点制御回路の概略回路図である。

１立］ 第１図は、本発明の赤外線ガス分析器１０の概略図である。ガス分析器１０は、 検知されるべきガス混合物を受取るサンプルセル１３を有している。赤外線源１ ７は、サンプルセル１３を介して赤外線エネルギを指向させる。この赤外線経路 は、チョッパーホイール１９によって周期的に中断される。

チョッパーホイール１９は、プロセサ３９の制御下において、ステッパモータ２ ５によって動作される。赤外線源１７は、ヒータ要素１７ａを有しており、それ は設定点回路３０に応答しプロセサ３９の制御下にある。検知器／フィルタ組立 体２４は、サンプルセル１３かも出てくる赤外線エネルギを受取る。設定点回路 ３０は、フィルタ／検知器２４のヒータ６０へ熱的に結合されている。この設定 点回路３０は、ガス分析器１０に対する初期的な測定パラメータを与える。

設定点回路３０は、フィルタ／検知器組立体２４及び赤外線源１７の夫々の温度 を表わすセンサ１５０及び１５２からの信号を受取り、次いでこれらの信号をア ナログ・デジタル（Ａ／Ｄ）変換器３５へ供給する。Ａ／Ｄ変換器３５は、該信 号をデジタル化し、次いでプロセサ３９へ信号を供給する。これらの信号に応答 して、プロセサ３９は、ライン７０及び７２上を、ヒータ要素１７ａ及び６０へ 制御信号を供給する。その温度が所定範囲内にある場合には、設定点回路３０は ヒータ要素１７ａ又はヒータ６０の温度を調節することはない、しかしながら、 ヒータ要素１７ａ又はヒータ６０の何れかの温度が範囲外のものである場合には 、プロセサ３９によって調節が行われる。設定点が確立された後に１分析される べきガスがサンプルセル１３内へ供給される。

プロセサ３９は、典型的に、ガス分析器１０の種々の機能を制御するマイクロプ ロセサである。ガス分析器１０において使用される典型的なマイクロプロセサは 、モトローラ社によって製造販売されているモデル番号６８８Ｃ１１である。プ ロセサ３９は、ステッパモータ２５と、赤外線Ｒ１７と、フィルタヒータ６０と を制御しながら、ガスデータ（即ち、混合物内の成分ガスの百分率）を処理する 。

フィルタ２６−１乃至２６−３は、サンプルセル１３からのエネルギをフィルタ し、且つ適宜のガス信号と共に、そのエネルギを検知器２７−１乃至２７−３へ 供給する。検知器２７−１乃至２７−３は、フィルタ２６−１乃至２６−３から 夫々フィルタされたエネルギを受取り、且つそれらを表わす信号出力を発生する 。典型的に、検知器は、信号出力を適宜のレベルとさせるための増幅器を有して いる。検知器２７−１乃至２７−３からの信号は、ガスチャンネル４８−１乃至 ４８−３へ供給される。

ガスチャンネル４８−１乃至４８−３は、典型的に、Ａ／Ｄ変換器であり、それ は検知器２７−１乃至２７−３からのＡＣ信号をＤＣ信号へ変換させ、該ＤＣ信 号は測定したガスの濃度レベルを表わしている。ガスチャンネル４０−１乃至４ ０−３は、プロセサ３９への信号を与＾る。プロセサ３９は、測定したガスの濃 度レベルを表わす出力信号を供給する。

分析器１０は以下の如き態様で動作する。典型的には自動車エンジン排気からの ガス混合物が、バルブ１４を介してガス分析器１０内へ入り、次いでポンプ２０ によってサンプルセル１３内へ導入される。プロセサ３９の制御下にある赤外線 源１７が、ヒータ要素１７ａによって発生さハた赤外線照射をサンプルセル１３ を介して指向させ、且つその赤外線照射は、チョッパーホイール乃至はブレード １９によって所定の周波数で周期的に中断される、赤外線源ヒータ要素１７ａは 、典型的に、抵抗加熱によって赤外線エネルギを発生するセラミックヒータ要素 を有している。

チョッパーブレード１９は、ステッパモータ２５を介してプロセサ３９の制御下 にある６ステツパモータ２５を使用することにより、チョッパーブレード１９が 個別的なステップで回転され、それによりシャープな方形波ＡＣ信号出力が与え られる。

各位置におけるチョッパーブレード１９のドエル時間は、所望の波形状を与える ように選択されている。従って、チョッパーブレード１９は、バックグラウンド のＤＣ照射を相殺する効果を有するＡＣ信号を供給する。好適実施例においては 、チョッパーブレード１９は、円の９０６に亘るウェッジ形状の金属ブレードを 有している。チョッパーブレード１９は、サンプルセル１３を介して通過する赤 外線エネルギを交互にブロックするような態様で９０°の範囲に亘って回転され る。従って、サンプルセル１３の出力側においてＡＣ信号が形成される６勿論、 同様のデユーティサイクルを与えるために当業者がその他のタイプの形態を有す るチョッパーブレードを使用することが可能である。

本発明の図示した実施例においては、サンプルセル１３内、のガスの予め選択し た波長において受取った赤外線照射に態様する検知器２７−１．２７−２．２７ −３とフィルタ２６−１．２６−２゜２６−３の共同によって検知信号が発生さ れる。

フィルタ２６−１乃至２６−３及び検知器２７−１乃至２７−３は、好適には、 個別的な組立体２４であって、該組立体において、光学的フィルタ及びサーモパ イル検知器が測定すべき各ガスに対して使用されている。組立体２４は、それを 所定の温度に維持しその際に周囲の状態において変化がある場合に必要とされる ドリフト補正を除去するために抵抗加熱要素６０を有している。

検知されるべき夫々のガスの波長の選択は、夫々の狭い通過帯域フィ゛ルタ２６ −１．２６−２゜２６−３によって決定される。赤外線源１７は、フィルタ２６ −１乃至２６−３によってフィルタされる赤外線エネルギを発生する。フィルタ されたエネルギは、夫々、検知器２７−１乃至２７−３によって受取られる。検 知器２７−１．２７−２．２７−３のＡＣ信号出力は、夫々、ガスチャンネル４ ８−１．４８−２．４８−３によって処理され、適宜の信号を発生し且つプロセ サ３９によりアナログ−デジタル変換を制御する。これらの変換された信号は、 システム的に、検知されるべきガスの濃度に関連している。

従って、検知器によって発生される各ＡＣ信号は、増幅器２９−１．２９−２． ２９−３によって増幅され、積分器３１−１．３１−２．３１−３によって積分 され、且つ制御論理３３−１．３３−２．３３−３と関連して動作するプロセサ ３９によってデジタル形態へ変換される。このようにして形成されたデジタルワ ードは、システム的に、サンプルセル１３内において測定される三つのガス（本 例においては、ｃｏａ　、Ｃｏ、ＨＣ）の濃度に関連している。

本発明の好適実施例は、自動車のエンジンの排気ガスにおけるガスの相対的な存 在を検知するために使用される。特に興味のあるガスは炭化水素及び−酸化炭素 である。しかしながら、本発明はこのような特定のガスに関連する使用に制限さ れるべきものではなく、又自動車エンジンの排気ガスに関連しての使用に制限さ れるべきものではないことは当然である。従って、本発明のガス分析器は当業者 にとって明らかなその他の多くの使用態様を有するものである。

従来のガス分析器においては、赤外線源における温度変化及びフィルタ検知器組 立体における温度変化が分析器の精度に影響を与えるものであることが知られて いる。特に、各ガスチャンネルに対する検知器は温度に影響を受けるものである ことが判明している。従って、ガス分析器の周囲温度における変動は、検知器か らの出力において変動を発生させる場合があり、それはサンプルセル内の各予め 選択したガスの不正確な表示を与えることとなる。

前述した如く、米国特許第４，３９８．０９１号（ＰａｓｓａｒＯ）は、赤外線 源１７及びフィルタ／検知器組立体２４のヒータ６０の温度が所望の温度に維持 されることを確保するためにそれらの温度を調節することを開示している。従っ て、ガス分析器の設定点を表わす出力信号を与えるために差動増幅器回路を使用 することは公知である６第１図のガス分析器１０においては、設定点回路３０は 、赤外線源１７及びフィルタ／検知器組立体２４のヒータ６０からそれらの温度 を表わす信号を受取る。公知の如く、成分ガスの正確な測定を行うためには、こ れらの温度は所定の範囲内に維持されねばならない。又、ガス分析器の全体的な 精度にとって、ヒータの一つからの特定の温度の読みが常にプロセサに対して同 一の出力の読みを与えることが極めて重要である。従って、設定点回路３０は、 これらの温度が一定の状態であることを確保するために設けられている。

従って、設定点回路３０は、赤外線源２１の温度を表わす信号を受取ると共に、 センサ１５０及び１５２からフィルタ／検知器ヒータの温度を表わす信号を受取 る。従って、設定点回路３０は、それらを表わす信号を、アナログ−デジタル変 換器（Ａ／Ｄ）３５を介しライン１６０及び１６２を介してプロセサ３９へ供給 する。

これらの信号の一つが設定点回路３０内の基準信号と対応しない場合には、プロ セサ３９はライン９０上に信号を送り、該信号が基準信号と合致するようにヒー タ要素１７ａの温度又はヒータ６０の温度をライン７０及び７２を介して調節す る。そのようにすることにより、成分ガスの爾後の正確な測定を行うことを可能 とする設定点が与えられる。

ガス分析器は、典型的に、設定点回路３０のための差動増幅器を使用している。

該増幅器は、温度センサによって発生された信号を回路３０内で発生された基準 信号と比較する。これらの回路はそれらの意図した目的のために効果的に動作す るものではあるが、それらは、しばしば、ガス分析器の全体的なコストにかなり の負担を加えるものである。

従来の設定点回路に関連する困難性をより良く説明するために、第２図を参照す る。第２図は、差動増幅器１００のブロック図である。公知の如く、差動増幅器 は、二つの入力信号の間の差を増幅する回路である。理想的な差動増幅器におい ては、その出力信号は次式で与えられる。

■。＝　Ａ　ａ　　（Ｖ　＋　−Ｖ　ｚ　）尚、Ａ６は差動増幅器の利得である 。

従って、Ｖｌ及びＶ、が等しい場合には、差動出力信号■０は何らかの公称値で あることが理解される。しかしながら、実際的な差動増幅器は、上の式によって 記述されるものではない。なぜならば、一般的には、出力信号は、二つの信号の 差信号Ｖ６に依存するばかりでなく、共通モード信号ＶＣと呼ばれる平均レベル 信号にも依存するからである。従って、ある状況下においては、該増幅器の出力 端上の信号は、入力信号■１及び■２が所謂共通モードエラーに起因して等しい ものであったとしても、公称電圧出力■。よりもかなり大きなものである。前述 した如く、共通モードエラーは、入力信号の電位が一体的に変化する場合に発生 し、公称値以外の出力電圧が供給される。

共通モード信号がもし可能なものであることを確保するために、差動増幅器に関 連する抵抗が適切にマツチされていることが極めて重要である。現在の集積回路 技術は、このような形態においてマツチした抵抗を使用することを可能とするも のではあるが、これらの抵抗は、一般的に、所謂精密型抵抗でなければならない 。

精密抵抗は標準的な抵抗よりもかなり高価なものであることは周知である。更に 詳細には、これらの抵抗は、ガス分析器にかなりの付加的な費用を付加させる。

ガス分析器の全体的なコストを低下させることが極めて重要であるので、精密抵 抗を除去することを可能とする改良は、ガス分析器の市場性を向上させることと なる０本明細書において精密抵抗という用語は、ｌＯｐｐＭ／’Ｃ以内の精度を 有する抵抗のことである。

第３図を参照すると、第１図のガス分析器１ｏにおいて使用することが可能な簡 単化した従来の設定点回路３０ａをブロック図で示しである。この実施例におい ては、スイッチ１７０又は１７２がライン９０を介してプロセサからの適宜の信 号によって活性化される。活性化されると、各センサからの信号がＶＲＥＦと比 較される。増幅器１８４の入力端１８０及び１８２における入力抵抗（不図示） は、共通モードエラーが存在しないことを確保するように精密なものとすべきで ある。集積回路技術は、これらの抵抗をマツチングさせることを可能とする。し かしながら、前述した如く、これらの抵抗をマツチさせる場合には、設定点回路 ３０ａのコストは著しく増加される。

この実施例においては、差動増幅器１８４によってセンサ１５０又は１５２の一 方とＶ　ＲｔＦとの比較により、Ａ／Ｄ変換器３５へＤＣ出力信号が供給され、 それはこれらの信号の差を表わしている１次いで、Ａ／Ｄ変換器３５がその信号 をデジタル化して、その差を表わすデジタル信号をプロセサ３９へ供給する。そ の差が許容可能な範囲内のものでない場合には、プロセサ３９は、ライン７０又 は７２を介して信号を送り、特定のセンサ１５０又は１５２と関連するヒータを 調節する。赤外線源１７又はヒータ６０に対して適切な調節が行われることを確 保するために回路３０ａがある範囲の電圧に亘って安定であることが極めて重要 である。

設定点回路３０ａの出力端において与えられる共通モードエラー信号が存在する 場合には、プロセサ３９は、ライン７０又は７２を介し、それに応答して赤外線 Ｒ１７又はヒータ６０を調節する。従って、この調節は、ガス分析器１０による 成分ガスの爾後の測定において不正確性を発生することがある。従って、設定点 回路３０ａの安定性は、適切な設定点調節のために基準信号Ｖ＊ＥＦの安定性よ りも著しく大きなものでなければならない。

この問題を更に明確に説明するために、第４図を参照する。第４図は、第１図の ガス分析器１０において使用される従来の設定点回路３０ａの実際的な具体例を 示した回路図である。第４図の設定点回路３０ａは、センサ１５０及び１５２を 介して、夫々、赤外ｉｌｌ源１７（第１図）及びフィルタ／検知器ユニット２４ の加熱要素６０からの信号をモニタする。この設定点回路３０ａは、スイッチ１ ０２を有しており、その一端は、電圧供給源ｖ３へ結合されており、且つその他 端は抵抗１０４の一端、センサ１５０の一端、及び抵抗１０６の一端へ直列的に 結合されている。この実施例における供給電圧は、典型的に、５ｖであり、回路 ３０ａの出力端上に適切な電圧が表われることを可能とする。スイッチ１０２は 、ライン９０″を介しての、プロセサ３９からの信号によって開閉される。

抵抗１０６の他端は、抵抗１３８及びセンサ１５２へ結合されている。センサ１ ５０の他端は抵抗１０８の一端へ結合されている。抵抗１０８の他端は接地へ結 合されている。抵抗１３８及び１３８′も、夫々、スイッチ１１０及び１１０’ の一端へ結合されている。スイッチ１１０及び１１０’の他端は、共通結合され ており、且つオペアンプ（ＯＰＡＭＰ）１２０の非反転入力端１３４へ結合され ている。スイッチ１１０及び１１０’は、ライン９０及び９０′を介して、プロ セサ３９からの適宜の信号によって開閉される。

抵抗１１４は、その一端が接地へ結合されており、且つその他端は抵抗１１２へ 結合されている。

抵抗１１２は、オペアンプ１２０の反転入力端１３２へ結合されている。抵抗１ １８は、入力端１３２と出力端１３６との間において、オペアンプ１２０とフィ ードバック関係で結合されている。オペアンプ１２０の出力端１３６はスイッチ １３０の一端へ結合されている。スイッチ１３０の他端は抵抗１２８へ結合され ている。スイッチ１３０は、ライン９０′″を介して、プロセサ３９からの適宜 の信号によって開閉される。

抵抗１２８は、オペアンプ（ＯＰ　　ＡＭＰ）１２４の反転入力端１４０へ結合 されている。基準電圧Ｖ　ＦＩＥＦは、オペアンプ１２４の非反転入力端１２６ へ供給される。ガス分析器においては、Ｖ）ＩＥＦは。

典型的に、２．５Ｖであり、且つ０，４％以内の精度での安定な電圧を供給する 。

コンデンサ１２２が、入力端１４０と出力端１４２との間においてオペアンプ１ ２４とフィードバック関係で結合されている。オペアンプ１２４の出力端１４２ は、抵抗１１６の一端へ結合されている。

抵抗１１６の他端はオペアンプ１２０の入力端１３４へ結合されている。

スイッチ１０２，１１０，１１０’　、１３０は。

種々のタイプのものとすることが可能である。典型的なガス分析器においては、 これらのスイッチは電界効果トランジスタ（ＦＥＴ）である、これらのスイッチ は、プロセサ３９の制御下で動作し、ライン９０．９０’　、９０″、９０”を 介して、回路３０ａの異なったモードの動作を与える。

設定点回路３０ａは二つのモード、即ちキャリブレーション（較正）モードと動 作モードとを有している。キャリブレーションモードにおいては、スイッチ１３ ０が閉成され且つスイッチ１０２及びスイッチ１１Ｏ′が開成される。そのよう にすることにより、閉ループが確立され、その顕著なエラ一点はオペアンプ１２ ０の出力端１３６である。オペアンプ１２０の二つの入力端１３２及び１３４は この点において接地される。

オペアンプ１２０の出力端１３６における信号は、抵抗１２８を介して供給され 、該抵抗を介しての電流が停止する迄、コンデンサ１２Ｂを横断しての電圧を変 化させる。フィードバック接続型コンデンサを具備するオペアンプ１２４は、積 分器として動作し、オペアンプ１２０のオフセット電圧を除去する。従って、該 オペアンプの出力は、このキャリブレーションステップを介して、究極的に何ら かの公称電圧に到達する。この出力電圧は、Ａ／Ｄ変換器３５（第１図）へ供給 される６次いで、デジタル化された信号がプロセサ３９へ供給される。このデジ タル化された信号は、該公称電圧（典型的には、２．５Ｖ）を表わす。

動作モードにおいては、スイッチ１３０が開成され且つスイッチ１０２が閉成さ れ、且つスイッチ１１０が閉成され、且つスイッチ１１０′が開成される。供給 電圧■、が、抵抗１０６と、抵抗回路網１０４及び１３６と関連するセンサ１５ ２とから構成されるブリッジ回路へ供給される。抵抗１１８を介して印加される オフセット電圧は、コンデンサ１２２によって一定電圧に維持される。従って、 オペアンプ１２０の出力は、抵抗１０４及び１１４の結合体と抵抗１０６及びセ ンサ１５２の結合体との間の変動の測定値である。

オペアンプ１２０の出力端上に公称電圧が存在すると、ガス分析器１０（第１図 ）の通常の動作が開始される。しかしながら、オペアンプ１２０の出力端上に何 らかのそれ以外の電圧が存在する場合には、その公称電圧が得られる迄、プロセ サはセンサ１５２と関連するヒータを調節する。この動作プロセスは、スイッチ １１０′の活性化とスイッチｌ】０の不活性化によって他のセンサ１５０の測定 のために繰返し行うことが可能である。

回路３０ａはその意図した目的のために効果的に動作するものではあるが、この 構成における問題は、基準レベルにおいて相殺されない共通モードエラーが存在 していることである。このことが意味することは、全ての抵抗が回路３０ａの能 力と相互作用を行って設定点からのそれの正確な値を測定することである。従っ て、センサ電圧が基準電圧から変動しない場合であっても、精密でない場合には 、これらの抵抗が回路３０ａの出力端上に誤った電圧を発生する場合がある。従 って、不正確な信号がプロセサ３９へ供給されることとなる。従って、プロセサ ３９は関連するヒータを調節し、その際にガス分析器の精度に悪影響を与えるこ ととなる。

特に、設定点調節が正確なものであることを確保するために、抵抗１３８、抵抗 １０６及び抵抗１５２と共にスイッチ１１０の抵抗の比及び抵抗１０４及び１３ ６と共に抵抗１１２の比がマツチせねばならない。従って、これらの抵抗の全て は、精密抵抗でなければならない、更に、抵抗１１６を介してのオフセット電流 は、しばしば、抵抗１３８′及び１３８を介して異なったオフセット電流を発生 し、従ってそれらも精密抵抗であることが必要とされる。

これらのことは、上述した抵抗が設定点安定条件よりもより顕著に安定なもので なければならないことを必要とする。精密抵抗は、標準的な抵抗よりも著しく高 価なものである６例えば、設定点回路３０ａにおいて使用される典型的な精密抵 抗は約７ドルするが、標準的な抵抗は約０．０４ドルであるにすぎない。

従って、精密抵抗を使用することは、ガス分析器において回路３０ａを使用する ことの実現性を阻止する程度の影響を与える費用増加を伴うものである。より廉 価で且つより信頼性のあるガス分析器に対する要望が高まると共に、可能である 限りガス分析器の種々の構成部品を減少する必要性も存在している。

従って、設定点回路３０ａはその意図した目的のために効果的に動作するもので はあるが、上述した如き欠点を解消するガス分析器用の設定点制御回路が必要と されている。

第５図を参照すると、本発明に基づいて構成された安定な設定点制御回路３０ｂ がブロック図で示されている。そこに図示されているものは、増幅器１９２であ り、それは第一基準電圧入力端へ結合されており、スイッチ１９０によってプロ セサ３９の動作を介してセンサ１５０又はセンサ１５２の何れかへ選択的にスイ ッチされる。プロセサ３９によって該センサ入力端の一方と基準入力端との間で の増幅器１９２の選択的なスイッチングによって、該信号の測定は、従来の回路 ３０ａにおいて示した如（、直接的な比較測定によるのではなく１時間をベース とした測定となる。そのようにすることにより、設定点回路３０ｂは、ガス分析 器１０の著しく廉価な部分となる。

本発明は、Ａ／Ｄ変換器３５によって変換されるべきＶＲＥＦを供給する。Ａ／ Ｄ変換器３５は、基準入力を表わす第−ＤＣ信号をプロセサ３９へ供給する。そ の後に、該増幅器は、該センサの一方（１５０又は１５２）ヘスイッチされ、且 つ、その後に、Ａ／Ｄ変換器３５へ供給される。次いで、そのセンサ信号を表わ す第二〇Ｃ信号がプロセサ３９へ供給される。センサ入力及び基準信号を表わす これらの第−及び第二ＤＣ信号は、プロセサ３９内において比較される。これら 二つの信号の間に差がある場合には、プロセサ３９は、ライン７０又は７２を介 して、七のセンサ（１５０又は〕５２）と関連するヒータを調節し、そのセンサ 信号をＶ　＊ＥＦと対応するようにさせる。

この構成により、センサ信号と基準信号との間の差の大きさは、制御性能にとっ て比較的影響のないようにされ、即ち第３図及び第４図の従来の構成とは異なり 、１０％の推定ズレエラーは最終的な設定点精度に影響を与えることはない５重 要な特徴は、増幅器１９２が、スイッチ１９０によってＶ　＋ｔｔｒとセンサと の間でスイッチされる場合に、均等な出力をプロセサ３９へ供給するということ である。従って、プロセサ３９は、その中での比較に応答して、その後に、プロ セサ３９へ供給される出力信号が増幅器１９２へ結合される場合に■■ｒによっ て与えられる出力信号と同一となる迄、そのセンサと関連するヒータを調節する 。従って、夫々のエラー信号の正確な利得は重要ではないので、増幅器１９２に おいては精密抵抗は必要とはされない。このように精密抵抗を除去することは、 設定点回路３０ｂのコストを著しく低下させるばかりか、ガス分析器１０の全体 的なコストを低下させることを表わしている。

本発明を更に詳細に説明するために、第６図を参照する。第６図は１本発明の設 定点回路３０ｂの一実施例を示した回路図である。設定点回路３０ｂは、スイッ チ１１０及び１１０′を有しており、それらは、第３図の回路と同様に、センサ １５０及び１５２を、夫々、該回路の残存部分へ接続している。スイッチ１１０ は、オペアンプ（ＯＰ　　ＡＭＰ）２２０の非反転入力端２５０へ結合されてい る。オペアンプ２２０の反転入力端２５２は、フィードバック関係で抵抗２１８ と結合されており、更に抵抗２１４及び２１６とも結合されている。オペアンプ ２２０の出力端２３６はスイッチ２３０へ結合されている。スイッチ２３０は抵 抗２２８へ結合されており、抵抗２２８はオペアンプ（ＯＰ　　ＡＭＰ）２２４ の反転入力端２４０へ結合されている。

コンデンサ２２２が、反転入力端２４０と出力端２４２との間においてオペアン プ２２４とフィードバック関係で結合されている。オペアンプ２２４の非反転入 力端２２６は基準電圧Ｖ　ＩＩＥＦへ結合されており、且つ更にオペアンプ２６ ０の非反転入力端２５６へ結合されている。第４図に関して説明した如く、■□ 、は、２．５■の安定電圧とすることが可能であり、それは０．４％の精度を有 するものとすることが可能である。Ｖ　、Ｅ、は、抵抗２１４の他端へ結合され ている。オペアンプ２２４の出力端２４２には抵抗２３２が結合されており、抵 抗２３２はオペアンプ（ＯＰ　　ＡＭＰ）２６０の反転入力端２５８へ結合され ている。抵抗２３４が、入力端２５８と出力端２６２との間においてオペアンプ ２６０とフィードバック関係で結合されている。オペアンプ２６２の出力端２６ ２は、抵抗２１６の一端へ結合されている。

この回路３０ｂは、制御センサ１５０及び１５２をモニタし、且つ夫々の入力信 号に従ってヒータを調節する。オペアンプ２２０，２２４，２６０及び抵抗２１ ４，２１６，２１８，２３４，２３２，２２８及びコンデンサ２２２を有する増 幅器回路は、第５図の増幅器１９２を表わしている。プロセサ３９は、制御ライ ン７０及び７２を介して、センサ１５０及び１５２の何れかと基準電圧■□、と によって発生される信号の間の差を除去する。

本発明は、以下の如き態様で動作する。キャリブレーションモードにおいては、 スイッチ１１０及び１１０′が開成され且つスイッチ１０２が閉成され且つスイ ッチ２３０が閉成される。従って、閉ループが確立され、その顕著なエラ一点は オペアンプ２２０の出力端である。信号が抵抗２２８を介して供給されて、電流 が停止する迄、コンデンサ２２２における電圧を変化させる。この時に、オペア ンプ２２０の出力は、オペアンプ２２４において供給される基準電圧Ｖ□、′− オフセット電圧と等しい、その出力はオペアンプ２２０の出力端２３６において 読取られ、且つこの値は設定点として確立される。

動作モードにおいては、スイッチ２３０が開成され且つスイッチ１０２が開成さ れる。従って、スイッチ１１０が閉成される。従って、センサ１５０の出力はス イッチ１２０が閉成された場合に受取られる電圧、即ち本実施例においては基準 電圧Ｖ□。

と比較される。従って、センサ１５０の電圧変動は、スイッチ１１０及び１０２ の間で制御回路３０ａをスイッチングさせることにより、同期的に基準電圧と比 較することが可能である。同様に、センサ１５２と基準電圧との間の変動は、ス イッチ１１０′と１０２との間で制御回路３０ｂをスイッチングさせることによ り、同期的に比較させることが可能である。

本実施例においては、この変動の正確なスケールファクタは、比較的に重要性の ないものであり、従って使用される抵抗の全ては標準的な抵抗とすることが可能 である０両方の信号（基準及びセンサ）が増幅器回路を介して供給されるので、 それらの出力をプロセサ３９によって比較することが可能である、従って、出力 信号の値乃至は大きさは重要ではない。重要なことは、基準信号及びセンサ信号 が互いに対応しており且つＶ口Ｆが安定な電圧であるということである。

センサと該基準電圧との間で増幅器回路をスイッチングさせ次いでプロセサ３９ 内でそれらの信号を比較することにより、設定点回路３０ｂは、第４図の従来回 路３０ａよりも著しく廉価なものとなる。

プロセサ３９と関連してこの設定点回ｊ！８３０ｂを使用することにより、精密 抵抗は必要ではなくなり、従って従来のものと比較して著しく廉価なガス分析器 が提供される。

以上、本発明の好適実施例について説明したが、本発明の技術的範囲を逸脱する ことなしに当業者が種々の変形及び変更を行うことが可能であることは明らかで ある。

特に、本発明において説明したプロセサは、多様なその他のタイプの装置とする ことが可能である。

更に詳細には、基準電圧とセンサとの間で設定点制御回路のスイッチングを行う ためにディスクリートな論理回路を使用することも可能である。又、多くのタイ プの安定な基準電圧発生器が公知であり、本発明に基づいて使用することが可能 なものである。

更に１本発明の図示した実施例においては二つのセンサが使用されるものである が、任意の数のセンサを使用することが可能であることは明らかである。最後に 、設定点実施例を与えるために使用したパラメータは温度であるが、例えば圧力 、温度等のようなその他のパラメータを使用してガス分析器用の設定点を与える ことも可能である。

従って、本発明を特定の図示例に基づいて説明したが、本発明の原理は当業者に よって広範な修正を行うことが可能なものである。従って１本発明は以下の請求 の範囲によってのみ制限されるものである。

国際調査報告

Claims (29)

【特許請求の範囲】
1. １．ガス分析器用の安定な設定点を与える回路において、基準信号を発生する手 段が設けられており、センス信号を発生するセンサが設けられており、前記セン ス信号は前記ガス分析器のパラメータに依存するものであり、設定点回路が設け られており、前記設定点回路は、入力端及び出力端を具備するスイッチ手段を有 しており、前記スイッチ手段の前記入力端は前記基準信号発生手段と前記センサ とに交互に結合されるべく適合されており、且つ前記基準信号手段と前記センサ との間で前記増幅器の前記入力端へ交互に結合させるために前記スイッチ手段を 選択的に制御し且つ前記信号を受取るべく前記スイッチ手段の前記出力端へ結合 されているプロセサ手段を有しており、前記プロセサ手段は、更に、前記基準信 号と前記センス信号とを比較し、前記プロセサ手段は前記基準信号と前記センス 信号との比較に応答し且つ前記センス信号が前記基準信号に対応して前記ガス分 析器に対する安定な設定点を与える迄前記パラメータを制御することを特徴とす る回路。
2. ２．請求の範囲第１項において、前記スイッチ手段が、更に、入力端と出力端と を持った増幅器を有しており、前記増幅器の前記入力端は、それに結合された場 合に前記出力端上に前記基準信号手段を表わす信号を与え且つそれに結合された 場合に前記出力端上に前記センサを表わす信号を供給するために前記基準信号手 段と前記センサとに選択的に結合されるべく適合されていることを特徴とする回 路。
3. ３．請求の範囲第２項において、更に、前足増幅器に結合されており前記基準信 号及び前記センス信号を第一及び第二デジタル信号へ変換する手段が設けられて おり、前記プロセサ手段は、前記第一及び第二デジタル信号を比較し且つ、前記 第二デジタル信号が前記第一デジタル信号に対応する迄、前記パラメータを制御 することを特徴とする回路。
4. ４．請求の範囲第３項において、前記設定点回路が、更に、前記センサへ結合す べく適合されている第一スイッチを有しており、反転及び非反転入力端と出力端 とを持った第一オペアンプを有しており、前記第一オペアンプの前記非反転入力 端が前記第一スイッチへ結合されており、前記第一オペアンプの前記出力端へ結 合されている第二スイッチを有しており、前記第一オペアンプ手段によって与え られるオフセット電圧を除去するための第一及び第二入力端と出力端とを具備す る積分器を有しており、前記積分器手段の前記第一入力端は前記第二スイッチへ 結合されており、前記積分器手段の前記第二入力端は前記基準電圧発生手段へ結 合されており、且つ反転及び非反転入力端と出力端とを持った第二オペアンプを 有しており、前記オペアンプの前記反転入力端は前記積分器の前記出力端へ結合 されており、前記第二オペアンプの前記反転入力端は前記基準電圧発生手段へ結 合されており、前記第二オペアンプの前記出力端は前記第一オペアンプの前記反 転入力端へ結合されていることを特徴と回路。
5. ５．請求の範囲第４項において、前記第１オペアンプは、更に、前記第一オペア ンプの前記反転入力端と前記出力端との間においてフィードバック関係で結合さ れている第一抵抗を有することを特徴とする回路。
6. ６．請求の範囲第５項において、前記第二オペアンプは、更に、前記第二オペア ンプの前記反転入力端と前記出力端との間においてフィードバック関係で結合さ れている抵抗を有することを特徴とする回路。
7. ７．請求の範囲第６項において、前記積分器手段が、反転及び非反転入力端と出 力端とを具備するオペアンプを有すると共に前記反転入力端と前記出力端との間 に結合されているコンデンサを有することを特徴とする回路。
8. ８．請求の範囲第７項において、更に、前記第二スイッチと前記積分器手段の前 記反転入力端との間に結合して抵抗が設けられていることを特徴とする回路。
9. ９．請求の範囲第８項において、更に、前記積分器の前記出力端と前記第二オペ アンプの前記反転入力端との間に結合して抵抗が設けられていることを特徴とす る回路。
10. １０．請求の範囲第９項において、更に、前記第ニオベアンプの前記反転入力端 と前記第一オペアンプの前記反転入力端との間に結合して抵抗が設けられている ことを特徴とする回路。
11. １１．請求の範囲第１０項において、前記第一及び第二スイッチの各々が電界効 果トランジスタを有することを特徴とする回路。
12. １２．請求の範囲第１１項において、前記プロセサ手段がマイクロプロセサを有 することを特徴とする回路。
13. １３．請求の範囲第１２項において、前記パラメータが温度であることを特徴と する回路。
14. １４．請求の範囲第１３項において、前記変換手段がアナログーデジタル変換器 を有することを特徴とする回路。
15. １５．ガス分析器用の安定な設定点を与える方法において、（ａ）基準信号を発 生し、（ｂ）前記基準信号を最終的デジタル信号へ変換し、（ｃ）前記第一デジ タル信号をプロセサへ送給し、（ｄ）前記ガス分析器のパラメータに依存する信 号を発生し、（ｅ）前記パラメータ信号を第二デジタル信号へ変換し、（ｆ）前 記第二デジタル信号を前記プロセサへ送給し、（ｇ）前記第二デジタル信号と前 記第一デジタル信号とを前記プロセサ内で比較し、（ｈ）前記第一及び第二デジ タル信号の前記比較に応答して前記パラメータを制御する、上記各ステップを有 することを特徴とする方法。
16. １６．請求の範囲第１５項において、前記パラメータが温度であることを特徴と する方法。
17. １７．所定のガスの存在に対して分析されるべき第一サンブルガス混合物を収容 するサンブルセルが設けられており、前記サンブルセルを介して赤外線エネルギ を指向させる手段が設けられており、前記赤外線エネルギの振幅を変調する手段 が設けられており、前記所定のガスの特性波長において前記サンブルセルを介し て通過する赤外線エネルギを検知し且つそれを表わす出力信号を発生する手段が 設けられており、前記検知手段を所定の温度へ加熱する手段が設けられており、 且つ前記指向手段及び前記加熱手段に応答しガス分析器用の安定な設定点を与え る手段が設けられているガス分析器において、前記安定な設定点手段が、基準信 号を発生する手段を有しており、センス信号を発生するセンサを有しており、前 記センス信号は前記所定温度に依存するものであり、設定点回路を有しており、 前記設定点回路が、入力端と出力端とを持った増幅器を有しており、前記増幅器 の前記入力端は前記基準信号手段及び前記増幅器のセンサへ選択的に結合すべく 適合されていてそれと結合された場合に前記出力端上に前記基準信号手段を表わ す信号を供給し且つそれと結合された場合に前記出力端上に前記センサを表わす 信号を供給し、且つ入力端と出力端とを具備するスイッチ手段を有しており、前 記スイッチ手段の前記入力端は前記基準信号発生手段と前記センサとに交互に結 合されるべく適合されており且つ前記スイッチ手段の前記出力端は前記増幅器の 前記入力端へ結合され、前記増幅器の前記出力端へ結合されており前記基準信号 及び前記センス信号を第一及び第二デジタル信号へ変換する手段を有しており、 且つ前記第一及び第二デジタル信号を供給するために前記基準信号手段と前記セ ンサとの間において前記増幅器の前記入力端を交互に結合させるために前記スイ ッチ手段を選択的に制御するプロセサ手段を有しており、前記プロセサ手段は更 に前記第一及び第二デジタル信号を比較し、その際に、前記プロセサ手段は前記 第一及び第二デジタル信号の比較に応答して、前記ガス分析器の安定な設定点を 与えるために前記第二デジタル信号が前記第一デジタル信号に対応する迄、前記 加熱手段を調節することを特徴とするガス分析器。
18. １８．請求の範囲第１７項において、前記設定点回路が、更に、前記センサへ結 合されるべく適合されている第一スイッチを有しており、反転及び非反転入力端 と出力端とを持った第一オペアンプを有しており、前記第一オペアンプの前記非 反転入力端は前記第一スイッチへ結合されており、前記第一オペアンプの前記出 力端へ結合される第二スイッチを有しており、前記第一オペアンプ手段によって 与えられるオフセット電圧を除去するために第一及び第二入力端と出力端とを具 備する積分器を有しており、前記積分器手段の前記第一入力端は前記第二スイッ チへ結合されており、前記積分器手段の前記第二入力端は前記基準電圧発生手段 へ結合されており、且つ反転及び非反転入力端と出力端とを持った第二オペアン プ手段を有しており、前記第二オペアンプ手段の前記反転入力端は前記積分器の 前記出力端へ結合されており、前記第二オペアンプの前記第二入力端は前記基準 電圧発生手段へ結合されており、前記第二オペアンプの前記出力端は前記第一オ ペアンプの前記反転入力端へ結合されていることを特徴とするガス分析器。
19. １９．請求の範囲第１８項において、前記第一オペアンプは、更に、前記第一オ ペアンプ手段の前記反転入力端と前記出力端との間にフィードバック関係で結合 されている第一抵抗を有することを特徴とするガス分析器。
20. ２０．請求の範囲第１９項において、前記第二オペアンプが、更に、前記第二オ ペアンプの前記反転入力端と前記出力端との間にフィードバック関係で結合され ている抵抗を有することを特徴とするガス分析器。
21. ２１．請求の範囲第２０項において、前記積分器手段が、反転及び非反転入力端 と出力端とを具備するオペアンプを有しており、且つ前記反転入力端と前記出力 端との間に綜合されているコンデンサを有することを特徴とするガス分析器。
22. ２２．請求の範囲第２１項において、前記安定な設定点手段が、更に、前記第二 スイッチと前記積分器手段の前記反転入力端との間に結合されている抵抗を有す ることを特徴とするガス分析器。
23. ２３．請求の範囲第２２項において、前記安定な設定点手段が、更に、前記積分 器の前記出力端と前記第二オペアンプの前記反転入力端との間に結合されている 抵抗を有することを特徴とするガス分析器。
24. ２４．請求の範囲第２３項において、前記安定な設定点手段が、更に、前記第二 オペアンプの前記非反転入力端と前記第一オペアンプの前記反転入力端との間に 結合されている抵抗を有することを特徴とするガス分析器。
25. ２５．請求の範囲第２４項において、前記安定な設定点手段が、更に、前記第二 オペアンプの前記出力端と前記第一オペアンプの前記非反転入力端との間に結合 して抵抗を有することを特徴とするガス分析器。
26. ２６．請求の範囲第２５項において、前記第一及び第二スイッチの各々が電界効 果トランジスタを有することを特徴とするガス分析器。
27. ２７．請求の範囲第２６項において、前記プロセサ手段がマイクロプロセサを有 することを特徴とするガス分析器。
28. ２８．請求の範囲第２６項において、前記パラメータが温度であることを特徴と するガス分析器。
29. ２９．請求の範囲第２８項において、前記変換手段がアナログーデジタル変換器 を有することを特徴とするガス分析器。