JPH0350204B2 - - Google Patents

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JPH0350204B2
JPH0350204B2 JP56026216A JP2621681A JPH0350204B2 JP H0350204 B2 JPH0350204 B2 JP H0350204B2 JP 56026216 A JP56026216 A JP 56026216A JP 2621681 A JP2621681 A JP 2621681A JP H0350204 B2 JPH0350204 B2 JP H0350204B2
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light
scanning
angle
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JP56026216A
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Shumitsuto Uaruteru
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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Dr Johannes Heidenhain GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36Forming the light into pulses

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、1つの対象物に結合した尺度の増分
目盛りが、別の対象物に結合した走査装置によつ
て少なくとも1つのアナログ信号を提供するため
に走査され、1つの評価装置によつてこの信号か
ら2つの対象物の相対位置を定めるためのデイジ
タル測定値が形成され、アナログ信号は、走査装
置において逆極性且つ並列に接続されている一対
の感光要素によつて発生した2つの反対位相のア
ナログ走査信号の差を形成することによつて得ら
れ、そしてこれらの反対位相の2つのアナログ走
査信号を電気的に対称形にする(即ち、反対位相
の周期的な2つの走査信号に含まれる直流成分を
互いに等しい値に調整し、そしてこれら2つの走
査信号の差を求めることによつて直流成分を消去
し、信号零位置(時間軸)に関して対称的に周期
的に振動する信号を得る)ための装置を有してい
る、2つの対象物の相対位置を測定するための光
電的デイジタル測長または測角装置に関する。
上記したような測長又は測角装置では周期的で
反対位相になつている走査信号をポテンシオメー
ターを用いて電気的に対称形にすることは公知に
なつており、このことはまた、照明装置の明るさ
を変化することによつても行われ、その際双方の
走査信号は評価装置において別々に増巾されそし
て該信号の誤差を考慮しながら加算される。この
様な調整は、評価装置を交換する毎に電気的に対
称形にするための調整を行われなければならない
という欠点を持つている。
本発明の目的は、冒頭に述べた種類の測長又は
測角装置を創成し、該装置においては評価装置を
交換しても、周期的で反対位相の走査信号の電気
的な対称性に何等の影響もあらわれないものにす
ることである。
上記の目的は本発明により特許請求の範囲第1
項に記載した回路構成により達成される。
本発明により得られる有利な点は、外部に位置
する評価装置を有するこの種類の測長又は測角装
置において、該評価装置の交換が問題なく行われ
るということである。何故ならば2つの走査信号
の電気的な対称性は該評価装置の交換に関係なく
維持されているからである。
本発明の上記以外の特徴は添附図を用いた次の
詳細な説明において明らかにされる。
第1図においては推移可能な尺度1が、図示さ
れていない方法により、例えば工作機械の往復台
に結合されそして増分目盛り2および補助目盛り
3を所有し、これらの目盛りは走査装置4により
走査され、該走査装置は工作機械のベツドに固定
されている。走査装置4は、白熱電球5、コンデ
ンサー6、増分目盛り2のための走査窓81〜8
、補助目盛り3のための走査窓91および定常光
線信号JGを発生させるための走査窓92並びに走
査窓81〜84に付設された感光要素101〜104
および走査窓91〜92に付設されている感光要素
111,112を有する走査板7を所有している。
走査窓81〜84又は走査窓91は図示されてい
ない目盛りを備え、これらの目盛りは、尺度1の
目盛り2又は補助目盛り3と等しい目盛りであ
る。さて走査窓81〜84の目盛りは夫々、分割周
期の1/4=90℃だけ相互に置き換えられているか
ら、尺度1が走査装置4に対して相対的な運動を
する時、付設されている感光要素101〜104
夫々周期的な走査信号S1〜S4を提供し、これらの
信号は90℃だけ相互にずれたものになつている。
補助目盛り3を走査する時感光要素111は、増
分目盛りの零点からの距離を確定しそして測定系
の完全な機能を管理するための補助信号Rを発生
し、一方感光要素112は測定範囲全体に亘つて
一定の定常光線信号JGを提供し、該信号JGは、補
助信号Rを形成した後で一定数の増分間隔を隔て
た増分目盛り線のそれぞれに付設させることがで
きる様に補助信号Rの閾値を決定するのに役立つ
ている。
信号S1〜S4の直流電圧部分を除去するため、感
光要素101,103又は102,104を互に逆極
性且つ並列に接続することにより差の値:S1−S3
又はS2−S4が形成され直流成分が消去されてい
る。この様に、形成された信号の直流成分が消去
されていることは尺度の目盛り位置を評価装置を
介して正確に読み取るために是非必要である。斯
くして信号値の差S2−S4は信号値の差S1−S3に対
して90゜だけ位相がずれた信号になつており、こ
の位相差により尺度1の走査装置4に対する運動
方向の一義的な判別が行われる。
しかし市販されている感光要素の特性は一般に
相互に相異なるものであるから、信号値S1〜S4
2つの信号の差を形成したとき直流成分が消去さ
れた電気的に対称形な信号を形成するように調整
されていなければならない。第2図では走査装置
4の光電素子10′1,10′3の形の2つの感光要
素101,103が互に逆極性且つ並列に接続され
そして外部の評価装置13の差動増巾器12の2
つの入力端子に接続されており、該評価装置は走
査装置4から空間的に分離されている。尺度1が
相対的に移動しそして走査板7の走査窓81,83
によつて変調された照明系5,6の光は光電素子
10′1,10′3を反対位相(180゜の位相差)で照
射し、従つてこれらの光電素子は周期的に反対位
相(180゜の位相差)の走査信号S′1,S′3を提供し、
これらの信号は、信号値の差を形成する際、本発
明により次の様にして電気的に対称形に調整され
る。即ち定常光線感光要素112から発生される
定常光線信号JGの一部が、走査装置4の互に逆極
性且つ並列に接続された2つの光電素子10′1
10′3に並列に接続されているポテンシオメータ
ー15の中央摺動接点を介して供給されることに
よりそれらの信号に含まれる直流成分が互いに等
しくなるように調整される。上記ポテンシオメー
ターにより調整された信号S′1,S′3により形成さ
れる信号値のS′1−S′3は外部の評価装置13で評
価されそして図示されていない表示装置に移動の
情報を表示するために導かれる。図示されていな
いが、これと同様の態様で感光要素101,104
の別の一対の反対位相を持つた走査信号S2,S4
電気的に対称形に調整され、その際感光要素10
,104は評価装置13の図示されていない差動
増巾器に互に逆極性且つ並列に接続されている。
第3又は4図では、フオトダイオード10″1
10″3又はフオトトランジスター101,10
3の形の2つの感光要素101,103が走査装
置4′又は4″の中で互に逆極性且つ並列に接続さ
れておりそして外部の評価装置13′又は13″の
差動増巾器12′又は12″の2つの入力端に接続
され、該評価装置は走査装置4′又は4″と空間的
に分離されている。フオトダイオード10″1,1
0″3又はフオトトランジスター101,103
から発生する反対位相を持つ走査信号を電気的に
対称形に調整するため、定常光線感光要素112
から提供される定常光線信号JGの一部分が、走査
装置4′又は4″の2つのフオトダイオード10″
,10″3又は2つのフオトトランジスター10
1,103の並列に接続されているポテンシオ
メーター15′又は15′の中央摺動接点を介して
供給される。フオトダイオード10″1,10″3
陽極は外部導体14の電位に、そしてフオトトラ
ンジスター101,103のコレクターは外部
導体15の電位に接続される。
第5図においては2つの走査信号を電気的に対
称形に調整するため走査単位4の中で第2図の如
く互に逆極性且つ並列に接続されている2つの光
電素子10′1,10′3に付加的な光電素子16
が、定常光線信号J′Gを供給するため、光電素子
10′1,10′3の回路に並列に接続され、該光電
素子16は発光ダイオード17によつて照射さ
れ、照明の強さに比例するダイオードの電流はポ
テンシオメーター18により調整可能になつてい
る。光電素子16の照明はまた照明装置5,6を
介して行うことも可能である。
図に示されていない態様によつて付加的な光電
素子16により供給される定常光線信号J′Gはま
た、ポテンシオメーターを介して感光要素101
103;102,104の回路に提供されることが
可能である。定常光線信号J′Gを発生するための
付加的な感光要素16は補助感光要素や付加的な
定常光線感光要素を有していない絶対測長又は測
角装置および増分測長又は測角装置において必要
なものである。
付加的な感光要素16と同様な態様で、別の照
明要素によつて照射されることが可能な定常光線
感光要素112が、感光要素101,103;10
,104の回路に並列に接続されることも可能で
ある。しかし定常光線信号JG,J′Gを供給する方
向を逆にするため、感光要素112,16を感光
要素101,103;102,104の回路に接続す
る所は極性を逆にすることが可能になつていなけ
ればならない。
【図面の簡単な説明】
第1図は光電的なデイジタル増分測長装置の略
図、第2乃至5図は本発明による走査信号を電気
的に対称形に調整するための種々異なる回路配置
を示す。 図において、4,4′,4″……走査装置、5,
6……照明装置、101,103;102,104
…感光要素、111,112……感光要素、15,
15′,15″……ポテンシオメーター、16……
感光要素、17……照明要素、18……ポテンシ
オメーター、JG,J′G……定常光線信号である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 1つの対象物に結合した尺度の増分目盛り
    が、別の対象物に結合した走査装置によつて少な
    くとも1つのアナログ信号を提供するために走査
    され、1つの評価装置によつてこの信号から2つ
    の対象物の相対位置を定めるためのデイジタル測
    定値が形成され、アナログ信号は、走査装置にお
    いて互いに逆極性且つ並列に接続されている一対
    の感光要素によつて発生した2つの反対位相のア
    ナログ走査信号の差を形成することによつて得ら
    れ、そしてこれらの反対位相の2つのアナログ走
    査信号を電気的に対称形にするための装置を有し
    ている、2つの対象物の相対位置を測定するため
    の光電的デイジタル測長または測角装置におい
    て、アナログ走査信号を電気的に対象形にするた
    め、走査装置4,4′,4″の少なくとも1対の感
    光要素101,103;102,104の回路に、感
    光要素101,103;102,104の1対毎の2
    つの反対位相のアナログ走査信号S1,S3;S2,S4
    をそれぞれ電気的に対称形にしそしてこれらのア
    ナログ信号を評価装置13,13′,13″の中で
    正確に評価するため、定常光線信号JG,J′Gを発
    生する装置112,16を設けたことを特徴とす
    る、光電的デイジタル測長又は測角装置。 2 特許請求の範囲第1項記載の光電的デイジタ
    ル測長または測角装置において、定常光線信号
    J′Gを発生させる装置は付加的な感光要素16に
    より形成されていることを特徴とする光電的デイ
    ジタル測長又は測角装置。 3 補助目盛りを走査するための感光要素を備え
    た特許請求の範囲第1項記載の増分測長または測
    角装置において、定常光線信号JGを発生するため
    の装置は補助感光要素111の定常光線感光要素
    112により形成されていることを特徴とする増
    分測長又は測角装置。 4 特許請求の範囲第2項又は第3項記載の測定
    装置において、付加的な感光要素16および定常
    光線感光要素112は、感光要素101,103
    102,104を照明するために用いられているの
    と同じ照明装置5,6によつて照射されることを
    特徴とする測長又は測角装置。 5 特許請求の範囲第2項又は第3項記載の測定
    装置において、付加的な感光要素16および定常
    光線感光要素112は、別に設けられ照明の強さ
    が調節可能な照明要素17によつて照射されるこ
    とを特徴とする測長又は測角装置。 6 特許請求の範囲第5項記載の測定装置におい
    て、別に設けられた照明要素17は発光ダイオー
    ドから形成され、該ダイオードの照明の強さはポ
    テンシオメータ18によつて調節可能になつてい
    ることを特徴とする測長又は測角装置。 7 特許請求の範囲第1項から第3項までのうち
    のいずれか一つに記載の測定装置において、定常
    光線信号JG,J′Gはポテンシオメーター15,1
    5′,15″を介して感光要素101,103;10
    ,104の少なくとも1対の回路に供給されるこ
    とを特徴とする測長又は測角装置。 8 特許請求の範囲第7項記載の測定装置におい
    て、定常光線信号JG,J′Gは感光要素101,10
    ;102,104に並列に接続されているポテン
    シオメーター15,15′,15″の中央摺動接点
    を介して供給されることを特徴とする測長又は測
    角装置。 9 特許請求の範囲第2項および第3項記載の測
    定装置において、付加的な感光要素16又は定常
    光線感光要素112は感光要素101,103;1
    2,104の1対の回路に並列に接続されている
    ことを特徴とする測長又は測角装置。 10 特許請求の範囲第1項から第9項までのう
    ちいずれか一つに記載の測定装置において、感光
    要素101,103;102,104;111,11
    ;16は光電素子、フオトダイオード又はフオ
    トトランジスターとして形成されていることを特
    徴とする測長又は測角装置。
JP2621681A 1980-02-27 1981-02-26 Photoelectrical digital length or angle measuring system Granted JPS56157811A (en)

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Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3039483C2 (de) * 1980-10-18 1986-09-11 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US4546347A (en) * 1981-05-18 1985-10-08 Mouse Systems Corporation Detector for electro-optical mouse
DE3144334C2 (de) * 1981-11-07 1985-06-13 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Wegmeßeinrichtung mit Referenzmarken
DE3201005A1 (de) * 1982-01-15 1983-07-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen
DE3204012C1 (de) * 1982-02-05 1983-02-03 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Messeinrichtung
DE3229846C2 (de) * 1982-08-11 1984-05-24 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US4654525A (en) * 1982-08-31 1987-03-31 Sharp Kabushiki Kaisha Optical rotary encoder
DE3245357C2 (de) * 1982-12-08 1985-02-14 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Inkrementale Meßeinrichtung
DE3245914C1 (de) * 1982-12-11 1984-03-29 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Messeinrichtung
DE3307931C2 (de) * 1983-03-05 1985-02-07 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Digitales elektrisches Längen- oder Winkelmeßsystem
US4561846A (en) * 1983-09-02 1985-12-31 Denar Corporation Dental pantograph
JPH0758206B2 (ja) * 1984-03-30 1995-06-21 株式会社日立製作所 モワレ縞を用いた位置検出装置
DE3416864C2 (de) * 1984-05-08 1986-04-10 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Photoelektrische Meßeinrichtung
AT396631B (de) * 1984-07-06 1993-10-25 Rsf Elektronik Gmbh Inkrementales messsystem
DE3541199C1 (de) * 1985-11-21 1987-06-25 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Lichtelektrische Positionsmesseinrichtung
GB2183951B (en) * 1985-11-28 1990-05-23 Duracell Int Displacement measuring apparatus
WO1987005693A1 (en) * 1986-03-14 1987-09-24 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Photoelectric displacement detector
DE3612146A1 (de) * 1986-04-10 1987-10-29 Hinkel Ralf Verfahren und einrichtung zur weglaengenmessung
DE3619408A1 (de) * 1986-06-09 1987-12-10 Battelle Institut E V Anordnung zur gewinnung von geradsymmetrischen signalen
GB2195179B (en) * 1986-09-11 1991-05-15 Synergy Computer Graphics Registration system for a moving substrate
US4808832A (en) * 1986-09-11 1989-02-28 Synergy Computer Graphics Corp. Registration system for a moving substrate
DE3716465C2 (de) * 1987-05-16 1993-09-30 Danfoss As Opto-elektrische Drehwinkel-Meßvorrichtung
JP2844073B2 (ja) * 1989-01-19 1999-01-06 中西金属工業株式会社 キャリヤ自走式コンベヤ
DE3929239A1 (de) * 1989-09-02 1991-03-07 Teldix Gmbh Ringlaserkreisel
GB2238865B (en) * 1989-12-04 1994-01-26 Mitutoyo Corp Photoelectric displacement detector
DE4017954C1 (ja) * 1990-06-05 1991-08-29 Pav Praezisions-Apparatebau Ag, Vaduz, Li
DE4017898A1 (de) * 1990-06-02 1991-12-05 Hengstler Gmbh Optisches abtastsystem fuer dreh- oder linear-impulsgeber
DE4206544A1 (de) * 1992-03-02 1993-09-09 Lpkf Cad Cam Systeme In Thueri Zweikoordinaten-wegmesssystem
CN1041558C (zh) * 1993-04-14 1999-01-06 北京超精细工程研究所 密封式光栅线位移传感器
EP0662603B1 (de) * 1993-12-08 1997-03-12 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Längenmesssystem
EP0669519B1 (de) * 1994-02-23 2000-05-03 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Positionsmessvorrichtung
DE19507613C2 (de) * 1995-03-04 1997-01-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmeßeinrichtung
US6166723A (en) * 1995-11-17 2000-12-26 Immersion Corporation Mouse interface device providing force feedback
US6374255B1 (en) * 1996-05-21 2002-04-16 Immersion Corporation Haptic authoring
DE19641997A1 (de) * 1996-10-11 1998-04-16 Helmut Dr Baader Photodetektoranordnung
ATE229642T1 (de) 1997-08-07 2002-12-15 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Abtasteinheit für eine optische positionsmesseinrichtung
US6256011B1 (en) 1997-12-03 2001-07-03 Immersion Corporation Multi-function control device with force feedback
US6704683B1 (en) 1998-04-28 2004-03-09 Immersion Corporation Direct velocity estimation for encoders using nonlinear period measurement
WO1999056087A1 (en) * 1998-04-30 1999-11-04 Immersion Corporation Encoder with improved sensing resolution
DE19908328A1 (de) 1999-02-26 2000-08-31 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Optische Positionsmeßeinrichtung
US6564168B1 (en) * 1999-09-14 2003-05-13 Immersion Corporation High-resolution optical encoder with phased-array photodetectors
US6693626B1 (en) * 1999-12-07 2004-02-17 Immersion Corporation Haptic feedback using a keyboard device
US7084854B1 (en) * 2000-09-28 2006-08-01 Immersion Corporation Actuator for providing tactile sensations and device for directional tactile sensations
US6937033B2 (en) * 2001-06-27 2005-08-30 Immersion Corporation Position sensor with resistive element
US6904823B2 (en) * 2002-04-03 2005-06-14 Immersion Corporation Haptic shifting devices
WO2004036405A2 (en) 2002-10-15 2004-04-29 Immersion Corporation Products and processes for providing force sensations in a user interface
JP2004163302A (ja) * 2002-11-14 2004-06-10 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 光学式エンコーダ
GB2418475B (en) 2003-06-09 2007-10-24 Immersion Corp Interactive gaming systems with haptic feedback
US7825903B2 (en) * 2005-05-12 2010-11-02 Immersion Corporation Method and apparatus for providing haptic effects to a touch panel
CN101517514A (zh) 2006-09-13 2009-08-26 伊梅森公司 用于游戏厅游戏触觉的系统和方法
US9486292B2 (en) 2008-02-14 2016-11-08 Immersion Corporation Systems and methods for real-time winding analysis for knot detection
US9104791B2 (en) * 2009-05-28 2015-08-11 Immersion Corporation Systems and methods for editing a model of a physical system for a simulation
US8493572B2 (en) 2010-05-05 2013-07-23 Mitutoyo Corporation Optical encoder having contamination and defect resistant signal processing
US9866924B2 (en) 2013-03-14 2018-01-09 Immersion Corporation Systems and methods for enhanced television interaction
GB2521167A (en) 2013-12-11 2015-06-17 British American Tobacco Co An apparatus for forming a circumferential slit in a tobacco industry rod article

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2082594A5 (ja) * 1970-03-20 1971-12-10 Sopelem
GB1352839A (en) * 1970-07-31 1974-05-15 Nat Res Dev Methods of and apparatus for effecting optical measurement and analysis
US3713139A (en) * 1971-01-25 1973-01-23 Bendix Corp Apparatus and method of determining displacements
BE789538A (fr) * 1971-10-13 1973-01-15 Sopelem Perfectionnements aux systemes de mesures de
US3757126A (en) * 1972-08-28 1973-09-04 Bendix Corp Input stage amplifier gain and balance method of setting moire fringe transducer reading head skew angle and
AU2383277A (en) * 1976-05-05 1978-10-05 Gen Electric Photoelectric signal generating circuits
US4078173A (en) * 1976-06-24 1978-03-07 Pertec Computer Corporation Light amplitude control system for position and motion transducers
JPS6042886B2 (ja) * 1978-07-13 1985-09-25 双葉電子工業株式会社 測長装置
DE2852530C3 (de) * 1978-12-05 1981-05-21 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Photoelemente-Schaltung
US4263506A (en) * 1978-12-21 1981-04-21 Hewlett-Packard Company Pulse generating apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
CH651134A5 (de) 1985-08-30
JPS56157811A (en) 1981-12-05
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DE3007311A1 (de) 1981-10-29
IT1146002B (it) 1986-11-12
GB2070766A (en) 1981-09-09
US4385836A (en) 1983-05-31
GB2070766B (en) 1984-10-31
FR2476830A1 (fr) 1981-08-28
ATA91481A (de) 1987-08-15
IT8112449A0 (it) 1981-02-26
AT385353B (de) 1988-03-25
FR2476830B1 (fr) 1986-03-07

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