JPH0349436B2 - - Google Patents
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- JPH0349436B2 JPH0349436B2 JP59192870A JP19287084A JPH0349436B2 JP H0349436 B2 JPH0349436 B2 JP H0349436B2 JP 59192870 A JP59192870 A JP 59192870A JP 19287084 A JP19287084 A JP 19287084A JP H0349436 B2 JPH0349436 B2 JP H0349436B2
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Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、表示パネル用プローバに関するも
ので、例えば、アクテイブ・マトリツクス構成の
液晶表示パネル用プローバに利用して有効な技術
に関するものである。
ので、例えば、アクテイブ・マトリツクス構成の
液晶表示パネル用プローバに利用して有効な技術
に関するものである。
液晶表示パネルとして、そのコントラスト比を
高めるため、薄膜トランジスタ（TFT）を内臓
して、アクテイブ・マトリツクス構成とした液晶
表示パネルが開発されている（例えば、日経マグ
ロウヒル社1984年１月２日付「日経エレクトロニ
クス」頁104〜頁105参照）。
高めるため、薄膜トランジスタ（TFT）を内臓
して、アクテイブ・マトリツクス構成とした液晶
表示パネルが開発されている（例えば、日経マグ
ロウヒル社1984年１月２日付「日経エレクトロニ
クス」頁104〜頁105参照）。
このような液晶表示パネルにおいては、技術の
進展により試作品の段階から商品として量産され
始めている。このため、試作の段階ではあまり問
題にされなかつた動作試験のためほ検査装置が必
要になつた。この試験においては、画素毎に設け
られた薄膜トランジスタが所望の特性を持つもの
であるい否かの試験を行うものである。しかしな
がら、上記薄膜トランジスタは、高解像度を得る
ために極めて小さく形成された画素毎にそれぞれ
が形成されるものであるので、膨大な数になると
ともに高密度に形成されるため、その電極への電
気的接続を行うことが極めて難しい。
進展により試作品の段階から商品として量産され
始めている。このため、試作の段階ではあまり問
題にされなかつた動作試験のためほ検査装置が必
要になつた。この試験においては、画素毎に設け
られた薄膜トランジスタが所望の特性を持つもの
であるい否かの試験を行うものである。しかしな
がら、上記薄膜トランジスタは、高解像度を得る
ために極めて小さく形成された画素毎にそれぞれ
が形成されるものであるので、膨大な数になると
ともに高密度に形成されるため、その電極への電
気的接続を行うことが極めて難しい。
この発明の目的は、比較的簡単な構成によつて
表示パネルの試験のために、その測定電極への電
気的持続を行う表示パネル用ブローバを提供する
ことにある。
表示パネルの試験のために、その測定電極への電
気的持続を行う表示パネル用ブローバを提供する
ことにある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な
特徴は、この明細書の記述および添付図面から明
らかになるであろう。
特徴は、この明細書の記述および添付図面から明
らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。すなわち、被試験表示パネルを載置させる載
置台の一辺と、この一辺と直角をなす他辺にそれ
ぞれ平行にプローブヘツドを上記それぞれ辺に沿
つて移動させるＸ及びＹステージと、上記一辺又
は他辺に対向する所定の位置にプローブヘツドを
上記一辺及び他辺に沿つて移動させるＸ／Ｙステ
ージとを設け、上記プローブヘツドにプローブを
取り付けて、画素毎のトランジスタを１個づつ測
定するようにするものである。
のの概要を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。すなわち、被試験表示パネルを載置させる載
置台の一辺と、この一辺と直角をなす他辺にそれ
ぞれ平行にプローブヘツドを上記それぞれ辺に沿
つて移動させるＸ及びＹステージと、上記一辺又
は他辺に対向する所定の位置にプローブヘツドを
上記一辺及び他辺に沿つて移動させるＸ／Ｙステ
ージとを設け、上記プローブヘツドにプローブを
取り付けて、画素毎のトランジスタを１個づつ測
定するようにするものである。
第１図には、この発明に係る表示パネル用プロ
ーバの一実施例の概略平面図が示されている。
ーバの一実施例の概略平面図が示されている。
被試験液晶表示パネルLCDは、後述する載置
台TBLに載置される。この載置台TBLの同図に
おける上辺に平行に、ＸステージXSTが設けら
れる。このＸステージXSTGは、パルス（ステ
ツピング）モータによつて駆動され、プローブヘ
ツドＨ１を同図に示した矢印のようにＸ軸方向に
高精度に移動させる。このプローブヘツドＨ１
は、プローブアームＡ１が設けられる。このプロ
ーブアームＡ１の先端部には、その先端が液晶表
示パネルの電極面に向かうようなプローブが取り
付けられる。特に制限されないが、このプローブ
は、バネ性をもつた細い線条のタングステン針に
よつて構成される。例えば、半導体ウエハプロー
バに用いられるようなプローブが利用される。上
記プローブヘツドＨ１は、特に制限されないが、
上記プローブの尖端の位置をＸ、Ｙ方向に移動さ
せる微調整機構（マニユピレータ機構）が設けら
れる。また、上記プローブヘツドＨ１は、上記プ
ローブアームＡ１を上下動させる、言い換えるな
らば、プローブの尖端を液晶表示パネルの電極面
に圧着させる。このようなプローブアームＡ１の
動作は、特に制限されないが、電磁石が利用され
る。
台TBLに載置される。この載置台TBLの同図に
おける上辺に平行に、ＸステージXSTが設けら
れる。このＸステージXSTGは、パルス（ステ
ツピング）モータによつて駆動され、プローブヘ
ツドＨ１を同図に示した矢印のようにＸ軸方向に
高精度に移動させる。このプローブヘツドＨ１
は、プローブアームＡ１が設けられる。このプロ
ーブアームＡ１の先端部には、その先端が液晶表
示パネルの電極面に向かうようなプローブが取り
付けられる。特に制限されないが、このプローブ
は、バネ性をもつた細い線条のタングステン針に
よつて構成される。例えば、半導体ウエハプロー
バに用いられるようなプローブが利用される。上
記プローブヘツドＨ１は、特に制限されないが、
上記プローブの尖端の位置をＸ、Ｙ方向に移動さ
せる微調整機構（マニユピレータ機構）が設けら
れる。また、上記プローブヘツドＨ１は、上記プ
ローブアームＡ１を上下動させる、言い換えるな
らば、プローブの尖端を液晶表示パネルの電極面
に圧着させる。このようなプローブアームＡ１の
動作は、特に制限されないが、電磁石が利用され
る。
上記載置台TBLの同図における左辺に平行に、
ＹステージYSTGが設けられる。このＹステー
ジYSTGは、パルス（ステツピング）モータに
よつて駆動され、プローブヘツドＨ２を同図に矢
印で示したようにＹ軸方向に高精度に移動させ
る。このプローブヘツドＨ２は、上記同様なプロ
ーブが取り付けられるプローブアームＡ２が設け
られる。このプローブヘツドＨ２は、上記プロー
ブヘツドＨ１と同様に上記プローブの尖端の位置
をＸ、Ｙ方向に移動させる微調整機構（マニユピ
レータ機構）と、プローブアームＡ２を上下動さ
せる電磁石が設けられる。
ＹステージYSTGが設けられる。このＹステー
ジYSTGは、パルス（ステツピング）モータに
よつて駆動され、プローブヘツドＨ２を同図に矢
印で示したようにＹ軸方向に高精度に移動させ
る。このプローブヘツドＨ２は、上記同様なプロ
ーブが取り付けられるプローブアームＡ２が設け
られる。このプローブヘツドＨ２は、上記プロー
ブヘツドＨ１と同様に上記プローブの尖端の位置
をＸ、Ｙ方向に移動させる微調整機構（マニユピ
レータ機構）と、プローブアームＡ２を上下動さ
せる電磁石が設けられる。
上記載置台TBLの動図における右辺側には、
Ｘ／ＹステージＸ／YSTGが設けられる。この
Ｘ／ＹステージＸ／YSTGは、上記同様に２つ
のパルス（ステツピング）モータによつて駆動さ
れ、プローブヘツドＨ３を同図に矢印で示したよ
うにＸ軸及びＹ軸方向に高精度に移動させる。こ
のプローブヘツドＨ３は、上記同様なプローブが
取り付けられるプローブアームＡ３が設けられ
る。このプローブヘツドＨ３は、上記プローブヘ
ツドＨ１と同様に上記プローブの尖端の位置を
Ｘ、Ｙ方向に移動させる微調整機構（マニユピレ
ータ機構）と、プローブアームＡ３を上下動させ
る電磁石が設けられる。なお、上記載置台TBL
の各辺と各ステージXSTG，YSTGの軸とは平
行に配置される。したがつて、これらのステージ
XSTG，YSTGは、各辺に対して比較的短い間
隔をもつて配置される。これにより、上記プロー
ブヘツドＨ１とＨ２に取り付けられるプローブア
ームＡ１，Ａ２は、比較的短く形成される。これ
に対して、Ｘ／ＹステージＸ／YSTGは、Ｘス
テージによる最も左側の位置が載置台（TBL）
の右辺に接触してしまわないようにする必要があ
る。これにより、プローブアームＡ３の長さは、
載置台（液晶表示パネルLCD）TBLのＸ方向の
長さとほゞ同じような長さにされる。
Ｘ／ＹステージＸ／YSTGが設けられる。この
Ｘ／ＹステージＸ／YSTGは、上記同様に２つ
のパルス（ステツピング）モータによつて駆動さ
れ、プローブヘツドＨ３を同図に矢印で示したよ
うにＸ軸及びＹ軸方向に高精度に移動させる。こ
のプローブヘツドＨ３は、上記同様なプローブが
取り付けられるプローブアームＡ３が設けられ
る。このプローブヘツドＨ３は、上記プローブヘ
ツドＨ１と同様に上記プローブの尖端の位置を
Ｘ、Ｙ方向に移動させる微調整機構（マニユピレ
ータ機構）と、プローブアームＡ３を上下動させ
る電磁石が設けられる。なお、上記載置台TBL
の各辺と各ステージXSTG，YSTGの軸とは平
行に配置される。したがつて、これらのステージ
XSTG，YSTGは、各辺に対して比較的短い間
隔をもつて配置される。これにより、上記プロー
ブヘツドＨ１とＨ２に取り付けられるプローブア
ームＡ１，Ａ２は、比較的短く形成される。これ
に対して、Ｘ／ＹステージＸ／YSTGは、Ｘス
テージによる最も左側の位置が載置台（TBL）
の右辺に接触してしまわないようにする必要があ
る。これにより、プローブアームＡ３の長さは、
載置台（液晶表示パネルLCD）TBLのＸ方向の
長さとほゞ同じような長さにされる。
顕微鏡MCは、上記プローブの尖端と液晶表示
パネルLFDの測定電極との針合わせ等のための
観察に利用される。この顕微鏡MCにより液晶表
示パネプの全面の観察を行うようにするため、顕
微鏡MCは、Ｌ字形の自在アームMCAMに取り
付けられている。
パネルLFDの測定電極との針合わせ等のための
観察に利用される。この顕微鏡MCにより液晶表
示パネプの全面の観察を行うようにするため、顕
微鏡MCは、Ｌ字形の自在アームMCAMに取り
付けられている。
第２図には、上記プローバの概略正面図が示さ
れている。
れている。
載置台TBLは、支柱の上面側に液晶表示パネ
ルLCDを微小回転させる回転機構が設けられる。
この回転機構は、調整ノブNVの操作によつて、
液晶表示パネルの台を微小角度だけ回転させる。
これによつて、この載置台TBLに載置された液
晶表示のパネルのＸ、Ｙ軸と、上記各テーブルの
軸とを一致させる。このような動作は、半導体ウ
エハプローバにおけるアライニングと同様であ
る。プローブアームＡ２の先端部分には、斜めに
液晶表示パネルLCDの表面に向かうプローブが
取り付けられる。特に制限されるが、このプロー
ブの他端側には、リード線の一端が接続され、他
端はテスター側との接続を行うコネクターに接続
される。そして、このコネクタによりケーブルを
介してテスターとの接続がおこなわる。このよう
な構成は、例えば、周知の半導体ウエハプローバ
等と同様であるので、その詳細な説明を省略す
る。
ルLCDを微小回転させる回転機構が設けられる。
この回転機構は、調整ノブNVの操作によつて、
液晶表示パネルの台を微小角度だけ回転させる。
これによつて、この載置台TBLに載置された液
晶表示のパネルのＸ、Ｙ軸と、上記各テーブルの
軸とを一致させる。このような動作は、半導体ウ
エハプローバにおけるアライニングと同様であ
る。プローブアームＡ２の先端部分には、斜めに
液晶表示パネルLCDの表面に向かうプローブが
取り付けられる。特に制限されるが、このプロー
ブの他端側には、リード線の一端が接続され、他
端はテスター側との接続を行うコネクターに接続
される。そして、このコネクタによりケーブルを
介してテスターとの接続がおこなわる。このよう
な構成は、例えば、周知の半導体ウエハプローバ
等と同様であるので、その詳細な説明を省略す
る。
この実施例によるプローバによるアクテイブ・
マトリツクス・パネルに対する試験動作の作動形
態を説明する。
マトリツクス・パネルに対する試験動作の作動形
態を説明する。
被試験液晶表示パネルLCDは、各画素毎に薄
膜トランジスタが形成される。例えば、これらの
マトリツクス配置された薄膜トランジスタのう
ち、横の行に配置された薄膜トランジスタのう
ち、横の行に配置された薄膜トランジスタのゲー
トは、横方向に走る配線によつて共通接続され
る。上記ゲートを共通接続する配線の両端は、液
晶表示パネルLCDの左右の両辺に沿つて配列さ
れた電極に接続される。また、縦の列に配置され
た薄膜トランジスタのドレインは、縦方向に走る
配線によつて共通接続される。上記ドレインを共
通接続する配線の両端は、液晶表示パネルLCD
の上下の両辺に沿つて配列された電極に接続され
る。上記薄膜トランジスタのソースは、各画素を
構成する液晶の一方の電極に接続される。上記画
素の数は、例えば横８インチで縦６インチの平面
に1200×800のように高密度に形成される。
膜トランジスタが形成される。例えば、これらの
マトリツクス配置された薄膜トランジスタのう
ち、横の行に配置された薄膜トランジスタのう
ち、横の行に配置された薄膜トランジスタのゲー
トは、横方向に走る配線によつて共通接続され
る。上記ゲートを共通接続する配線の両端は、液
晶表示パネルLCDの左右の両辺に沿つて配列さ
れた電極に接続される。また、縦の列に配置され
た薄膜トランジスタのドレインは、縦方向に走る
配線によつて共通接続される。上記ドレインを共
通接続する配線の両端は、液晶表示パネルLCD
の上下の両辺に沿つて配列された電極に接続され
る。上記薄膜トランジスタのソースは、各画素を
構成する液晶の一方の電極に接続される。上記画
素の数は、例えば横８インチで縦６インチの平面
に1200×800のように高密度に形成される。
以上構成のアクテイブ・マトリツクス構成の液
晶パネルの薄膜トランジスタの特性試験を行うに
当たり、被試験液晶表示パネルLCDは、上記プ
ローバの載置台TBLに固定載置される。次に、
例えば、Ｘステージを一定の範囲で繰り返し移動
させる。この状態での針先の軌跡と液晶表示パネ
ルのＸ軸方向に配置された素子のパターン又は配
線とを比較観察して、両者が一致するように上記
載置台TBLに設けられた調整ノブNVの操作を行
う。これによつて、上記テーブルの軸と、液晶表
示パネルLCDとの軸とを一致させる。
晶パネルの薄膜トランジスタの特性試験を行うに
当たり、被試験液晶表示パネルLCDは、上記プ
ローバの載置台TBLに固定載置される。次に、
例えば、Ｘステージを一定の範囲で繰り返し移動
させる。この状態での針先の軌跡と液晶表示パネ
ルのＸ軸方向に配置された素子のパターン又は配
線とを比較観察して、両者が一致するように上記
載置台TBLに設けられた調整ノブNVの操作を行
う。これによつて、上記テーブルの軸と、液晶表
示パネルLCDとの軸とを一致させる。
この後、例えば、第１図において、３本のプロ
ーブが液晶表示パネルのLCDを左上に来るよう
に、ステージを移動させる。次に、各プローブヘ
ツドＨ１〜Ｈ３の微調整機構を操作して、各プロ
ーブの尖端の位置合わせを行う。すなわち、プロ
ーブヘツドＨ１のプローブは、上辺に沿つて横方
向に配列された電極のうち左端の電極に合わせ
る。プローブヘツドＨ２のプローブは、左辺に沿
つて縦方向に配列された電極のうち上端の合わせ
る。そして、プローブヘツドＨ３のブロープは、
上記左上端の薄膜トランジスタのソース電極に合
わせる。
ーブが液晶表示パネルのLCDを左上に来るよう
に、ステージを移動させる。次に、各プローブヘ
ツドＨ１〜Ｈ３の微調整機構を操作して、各プロ
ーブの尖端の位置合わせを行う。すなわち、プロ
ーブヘツドＨ１のプローブは、上辺に沿つて横方
向に配列された電極のうち左端の電極に合わせ
る。プローブヘツドＨ２のプローブは、左辺に沿
つて縦方向に配列された電極のうち上端の合わせ
る。そして、プローブヘツドＨ３のブロープは、
上記左上端の薄膜トランジスタのソース電極に合
わせる。
このような位置合わせ作業の後、試験動作を開
始させると、各プローブヘツドＨ１〜Ｈ３の電磁
石が作動して、各プローブを上記位置合わせされ
た電極方面に圧着させることによつて各電極に対
する電気的線接続を得る。その後、テスターから
の試験又は電流が供給され、その特性試験が行わ
れる。
始させると、各プローブヘツドＨ１〜Ｈ３の電磁
石が作動して、各プローブを上記位置合わせされ
た電極方面に圧着させることによつて各電極に対
する電気的線接続を得る。その後、テスターから
の試験又は電流が供給され、その特性試験が行わ
れる。
この試験が終わると、上記電磁石によるプロー
ブの圧着を開放させる。そして、例えば、Ｘステ
ージXSTGのパルスモータに上記配線のピツチ
に相当する距離を移動させるパルスを供給して、
１ピツチ分右側に移動させる。これにより、プロ
ーブヘツドＨ１の尖端は、次の電極上に移動させ
られる。また、同様にＸ／ＹステージＸ／
YSTGにも薄膜トランジスタのソース電極の１
ピツチ分に相当するパルスを供給して、そのプロ
ーブ尖端を次の薄膜トランジスタのソース電極上
に移動せる。このように、左側から右側に向かつ
て横方向に順に測定を行う場合、最初の行の試験
測定が終了するまでの間、ＹステージYSTGは、
最初の状態のままとされる。
ブの圧着を開放させる。そして、例えば、Ｘステ
ージXSTGのパルスモータに上記配線のピツチ
に相当する距離を移動させるパルスを供給して、
１ピツチ分右側に移動させる。これにより、プロ
ーブヘツドＨ１の尖端は、次の電極上に移動させ
られる。また、同様にＸ／ＹステージＸ／
YSTGにも薄膜トランジスタのソース電極の１
ピツチ分に相当するパルスを供給して、そのプロ
ーブ尖端を次の薄膜トランジスタのソース電極上
に移動せる。このように、左側から右側に向かつ
て横方向に順に測定を行う場合、最初の行の試験
測定が終了するまでの間、ＹステージYSTGは、
最初の状態のままとされる。
上記最初の行の試験が終了すると、Ｙステージ
YSTGは、その電極（配線）の１ピツチ分下に
移動する。また、Ｘ／ＹステージＸ／YSTGも、
次の行の薄膜トランジスタの１ピツチ分に相当す
る移動を行う。これによつて、次の行の右端の薄
膜トランジスタへの針合わせが自動的に行われ、
上記同様に特性試験を行う。そして、この行にお
いては、上記最初の行とは逆に右側から左側に向
かつて次々に上記動作を繰り替えしてその特性試
験を行う。以下同様の動作を繰り返すことによつ
て、全ての薄膜トランジスタの特性試験を行うこ
とができる。
YSTGは、その電極（配線）の１ピツチ分下に
移動する。また、Ｘ／ＹステージＸ／YSTGも、
次の行の薄膜トランジスタの１ピツチ分に相当す
る移動を行う。これによつて、次の行の右端の薄
膜トランジスタへの針合わせが自動的に行われ、
上記同様に特性試験を行う。そして、この行にお
いては、上記最初の行とは逆に右側から左側に向
かつて次々に上記動作を繰り替えしてその特性試
験を行う。以下同様の動作を繰り返すことによつ
て、全ての薄膜トランジスタの特性試験を行うこ
とができる。
なお、上記アクテイブ素子を含まない、例えば
横方向に走る走査電極と、縦方向に走る信号電極
からなるドツトマトリツクス構成の液晶表示パネ
ルにおいては、例えば、上記ＹステージYSTG
のプローブにより上記走査電極の左端に接続を行
い、Ｘ／ＹステージＸ／ＹステージＸ／YSTG
のプローブにより上記走査電極の右端の接続を行
うことによつて、横方向に走る走査電極の断線の
有無及び抵抗値を検出することができる。また、
上記ＸステージXSTGのプローブにより上記信
号電極の上端に接続を行い、Ｘ／ＹステージＸ／
ＹステージＸ／YSTGのプローブにより上記信
号電極の下端の接続を行うことによつて、縦方向
に走る信号電極の断線の有無及び抵抗値を検出す
ることができる。
横方向に走る走査電極と、縦方向に走る信号電極
からなるドツトマトリツクス構成の液晶表示パネ
ルにおいては、例えば、上記ＹステージYSTG
のプローブにより上記走査電極の左端に接続を行
い、Ｘ／ＹステージＸ／ＹステージＸ／YSTG
のプローブにより上記走査電極の右端の接続を行
うことによつて、横方向に走る走査電極の断線の
有無及び抵抗値を検出することができる。また、
上記ＸステージXSTGのプローブにより上記信
号電極の上端に接続を行い、Ｘ／ＹステージＸ／
ＹステージＸ／YSTGのプローブにより上記信
号電極の下端の接続を行うことによつて、縦方向
に走る信号電極の断線の有無及び抵抗値を検出す
ることができる。
(1) Ｘ、Ｙ及びＸ／Ｙステージ機構にそれぞれに
プローブヘツドを設けるという簡単な構成によ
つて、高密度の配置される表示パネルを構成す
る素子への電気的接続を容易に行うことができ
るという効果が得られる。
プローブヘツドを設けるという簡単な構成によ
つて、高密度の配置される表示パネルを構成す
る素子への電気的接続を容易に行うことができ
るという効果が得られる。
(2) プローブの数は、３本のみで構成できるか
ら、針合わせが極めて容易に行えるという効果
が得られる。
ら、針合わせが極めて容易に行えるという効果
が得られる。
(3) プローブによる電気的接続は、測定中の素子
に対してのみ行うものであるから、測定すべき
素子を選択するためのスキヤナー等の外部選択
回路（スイチツトリー）が不要になるという効
果が得られる。
に対してのみ行うものであるから、測定すべき
素子を選択するためのスキヤナー等の外部選択
回路（スイチツトリー）が不要になるという効
果が得られる。
(4) 上記(3)により、プローバとテスターとの電気
的接続を行うケーブルの数を少なくできるとい
う効果が得られる。
的接続を行うケーブルの数を少なくできるとい
う効果が得られる。
以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
基づき具体的に説明したが、この発明は上記実施
例に限定されたものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。例えば、載置台にＺステージを設け、半導
体ウエハプローバのように、被測定物を上に押し
上げることによつてプローブと圧着を行うように
するものであつてもよい。また、被測定物である
表示パネルの表面の反り、歪を検出するためのセ
ンサーを各プローブヘツドに設けて、そのセンサ
ー圧力によつて、プローブの押し下げ量を制御す
るような機能を付加するものであつてもよい。こ
の場合には、上記プローブヘツドは、上記電磁石
等に代えてパルスモータを用いてプローブアーム
のアツプ／ダウン制御を行うものである。上記セ
ンサー出力に従つて駆動パルス数を形成すること
によつて、ブローブ尖端のアツプ／ダウン量が高
精度に制御できるから上記表示パネルの表面の反
り、歪に応じた最適な針圧を得ることができると
いう効果が得られる。
基づき具体的に説明したが、この発明は上記実施
例に限定されたものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。例えば、載置台にＺステージを設け、半導
体ウエハプローバのように、被測定物を上に押し
上げることによつてプローブと圧着を行うように
するものであつてもよい。また、被測定物である
表示パネルの表面の反り、歪を検出するためのセ
ンサーを各プローブヘツドに設けて、そのセンサ
ー圧力によつて、プローブの押し下げ量を制御す
るような機能を付加するものであつてもよい。こ
の場合には、上記プローブヘツドは、上記電磁石
等に代えてパルスモータを用いてプローブアーム
のアツプ／ダウン制御を行うものである。上記セ
ンサー出力に従つて駆動パルス数を形成すること
によつて、ブローブ尖端のアツプ／ダウン量が高
精度に制御できるから上記表示パネルの表面の反
り、歪に応じた最適な針圧を得ることができると
いう効果が得られる。
この発明は、高密度に画素が構成される表示パ
ネル用プローバとして広く利用できる。
ネル用プローバとして広く利用できる。
第１図は、この発明の一実施例を示す概略平面
図、第２図は、その一実施例を示す概略正面図で
ある。 XSTG……Ｘステージ、YSTG……Ｙステー
ジ、Ｘ／YSTG……Ｘ／Ｙテスージ、Ｈ１〜Ｈ
３……プローブヘツド、Ａ１〜Ａ３……、ブロー
ブアーム、LCD……液晶表示パネル、MC……顕
微鏡、TBL……載置台。
図、第２図は、その一実施例を示す概略正面図で
ある。 XSTG……Ｘステージ、YSTG……Ｙステー
ジ、Ｘ／YSTG……Ｘ／Ｙテスージ、Ｈ１〜Ｈ
３……プローブヘツド、Ａ１〜Ａ３……、ブロー
ブアーム、LCD……液晶表示パネル、MC……顕
微鏡、TBL……載置台。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ アクテイブ・マトリツクス又はドツトマトリ
ツクス構成の被試験表示パネルの載置台と、この
載置台の一辺に平行に設けられ、第１のプローブ
ヘツドを上記一辺に沿つて移動させるＸステージ
と、上記一辺と直角をなす他辺に平行に設けら
れ、第２のプローブヘツドを上記他辺に沿つて移
動させるＹステージと、上記一辺又は他辺に対向
する所定の位置に設けられ、第３のプローブヘツ
ドを上記一辺及び他辺に沿つてそれぞれ移動させ
るＸ／Ｙステージとを含むことを特徴とする表示
パネル用プローバ。 ２ 上記載置台は、被試験表示パネルの軸と上記
ステージの軸とを合わせる回転調整機構を備え、
上記第１、第２及び第３のプローブヘツドは、そ
れぞれのアームに取り付けられたプローブの尖端
の微調整を行う機構と上記プローブの尖端を上下
動させる機構とが設けられるものであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の表示パネル
用プローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59192870A JPS6170579A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 表示パネル用プロ−バ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59192870A JPS6170579A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 表示パネル用プロ−バ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6170579A JPS6170579A (ja) | 1986-04-11 |
| JPH0349436B2 true JPH0349436B2 (ja) | 1991-07-29 |
Family
ID=16298342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59192870A Granted JPS6170579A (ja) | 1984-09-14 | 1984-09-14 | 表示パネル用プロ−バ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6170579A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63259677A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-26 | 株式会社 日本マイクロニクス | 表示パネル用プロ−バ |
| JPH01221786A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-05 | Tokyo Electron Ltd | 液晶表示体検査装置 |
| JP2683546B2 (ja) * | 1988-06-18 | 1997-12-03 | 東京エレクトロン株式会社 | プローブ装置 |
| JP4913287B2 (ja) * | 2001-04-18 | 2012-04-11 | アグリテクノ矢崎株式会社 | ポンプの駆動装置 |
| CN103348282B (zh) * | 2011-02-08 | 2016-02-24 | 夏普株式会社 | 显示面板的检查方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5367878A (en) * | 1976-11-29 | 1978-06-16 | Fujitsu Ltd | Device for inspecting electrode |
-
1984
- 1984-09-14 JP JP59192870A patent/JPS6170579A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5367878A (en) * | 1976-11-29 | 1978-06-16 | Fujitsu Ltd | Device for inspecting electrode |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6170579A (ja) | 1986-04-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |